JP5839027B2 - 有機エレクトロルミネッセンス素子、その製造方法、照明装置及び表示装置 - Google Patents
有機エレクトロルミネッセンス素子、その製造方法、照明装置及び表示装置 Download PDFInfo
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Description
該電子輸送層は少なくとも1つの電子輸送材料を含有し、
該電子輸送層の膜厚が50〜200nmの範囲内であり、
該電子輸送層には、前記電子輸送材料による結晶粒が存在し、該結晶粒によるX線回折線が観察され、
前記電子輸送材料が、下記一般式(b)で表される化合物であることを特徴とする、有機エレクトロルミネッセンス素子。
7.前記1〜4のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、
膜厚が50〜200nmの範囲内の前記電子輸送層を形成する工程と、
前記電子輸送層に溶媒を含まないまたは除去した状態で加熱する工程と
を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
8.前記1〜4のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、
膜厚が50〜200nmの範囲内の前記電子輸送層を真空蒸着法で形成する工程と、
前記電子輸送層を形成中または形成後に加熱する工程と、
を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
9.前記1〜4のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、
前記有機エレクトロルミネッセンス素子を構成する少なくとも2層をウェットプロセスで形成する工程を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
前記電子輸送層とは電子を輸送する機能を有する材料からなり、本発明においては電子注入層、正孔阻止層も電子輸送層に含まれる。電子輸送層は単層若しくは複数層を設けることができる。
式(1)
{(Ar1で表される芳香族縮合環を構成する環の数)×n01}+{(Ar2で表される芳香族縮合環を構成する環の数)×n02}+{(Ar3で表される芳香族縮合環を構成する環の数)×n03}≧4
式(1)は、分子内の芳香族縮合環が3つ以下の環で構成されている場合、分子同士がより配向・配列しやすい程度の分子間相互作用を得るために、分子内に2つ以上の芳香族縮合環が存在することを意味する。
R20で表される置換基としては、前述のAr1〜Ar3が有していてもよい置換基等が挙げられる。
R21及びR22で表される置換基としては、前述のAr1〜Ar3が有していてもよい置換基等が挙げられる。
以下に一般式(b)で表される化合物及び参考とされる化合物の具体例を示す。なお、下記一般式(b)の化合物は発光層のホスト化合物としても用いることができる。
構造は1H−NMRスペクトル及び質量分析スペクトルによって確認した。
電子輸送層は電子輸送材料を、例えば、真空蒸着法、湿式法(ウェットプロセスともいい、例えば、スピンコート法、キャスト法、ダイコート法、ブレードコート法、ロールコート法、インクジェット法、印刷法、スプレーコート法、カーテンコート法、LB法(ラングミュア・ブロジェット(Langmuir Blodgett法)等を挙げることができる。))等により、製膜して形成することができるが、本発明のX線回折線が観察される電子輸送層が効率的に得られることから湿式法が好ましい。
電子輸送層において結晶粒のX線回折線が観察されるとは、例えば、結晶粉末のX線回折線と同様のピークが電子輸送層のX線回折線でも観察されることをいう。更に結晶粒(分子の配向・配列が揃った領域)が大きい場合には、電子顕微鏡により粒子が観察される。
本発明の有機EL素子の構成層について説明する。本発明において、有機EL素子の層
構成の好ましい具体例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されない。
(i)陽極/発光層/電子輸送層/陰極
(ii)陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰極
(iii)陽極/正孔輸送層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/陰極
(iv)陽極/正孔輸送層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/陰極バッファー層/陰極
(v)陽極/陽極バッファー層/正孔輸送層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/陰極バッファー層/陰極
(vi)陽極/正孔輸送層/陽極バッファー層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/陰極バッファー層/陰極
(vii)陽極/陽極バッファー層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰極バッファー層/陰極
発光層は、ユニットを形成して発光層ユニットにすることもある。
本発明に係る発光層は、電極又は電子輸送層、正孔輸送層から注入されてくる電子及び正孔が再結合して発光する層であり、発光する部分は発光層の層内であっても発光層と隣接層との界面であってもよい。
発光性ドーパント化合物(発光ドーパントともいう)について説明する。
本発明に係るリン光ドーパントについて説明する。
蛍光ドーパントとしては、クマリン系色素、ピラン系色素、シアニン系色素、クロコニウム系色素、スクアリウム系色素、オキソベンツアントラセン系色素、フルオレセイン系色素、ローダミン系色素、ピリリウム系色素、ペリレン系色素、スチルベン系色素、ポリチオフェン系色素、又は希土類錯体系蛍光体等や、レーザー色素に代表される蛍光量子収率が高い化合物が挙げられる。
本発明においてホスト化合物は、発光層に含有される化合物の内で、その層中での質量比が20%以上であり、且つ室温(25℃)においてリン光発光のリン光量子収率が、0.1未満の化合物と定義される。好ましくはリン光量子収率が0.01未満である。
正孔輸送層とは正孔を輸送する機能を有する正孔輸送材料からなり、広い意味で正孔注入層、電子阻止層も正孔輸送層に含まれる。正孔輸送層は単層又は複数層設けることができる。
阻止層は、上記の如く有機化合物薄膜の基本構成層のほかに必要に応じて設けられるものである。例えば、特開平11−204258号公報、同11−204359号公報、及び「有機EL素子とその工業化最前線(1998年11月30日エヌ・ティー・エス社発行)」の237頁等に記載されている正孔阻止(ホールブロック)層がある。
注入層は必要に応じて設け、電子注入層と正孔注入層があり、上記の如く陽極と発光層又は正孔輸送層の間、及び陰極と発光層又は電子輸送層との間に存在させてもよい。
有機EL素子における陽極としては、仕事関数の大きい(4eV以上)金属、合金、電気伝導性化合物及びこれらの混合物を電極物質とするものが好ましく用いられる。このような電極物質の具体例としては、Au等の金属、CuI、インジウムチンオキシド(ITO)、SnO2、ZnO等の導電性透明材料が挙げられる。
一方、陰極としては仕事関数の小さい(4eV以下)金属(電子注入性金属と称する)、合金、電気伝導性化合物及びこれらの混合物を電極物質とするものが用いられる。このような電極物質の具体例としては、ナトリウム、ナトリウム−カリウム合金、マグネシウム、リチウム、マグネシウム/銅混合物、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、アルミニウム/酸化アルミニウム(Al2O3)混合物、インジウム、リチウム/アルミニウム混合物、希土類金属等が挙げられる。
本発明の有機EL素子に用いることのできる支持基板(以下、基体、基板、基材、支持体等ともいう)としては、ガラス、プラスチック等の種類には特に限定はなく、また透明であっても不透明であってもよい。支持基板側から光を取り出す場合には、支持基板は透明であることが好ましい。好ましく用いられる透明な支持基板としては、ガラス、石英、透明樹脂フィルムを挙げることができる。特に好ましい支持基板は、有機EL素子にフレキシブル性を与えることが可能な樹脂フィルムである。
有機EL素子の製造方法の一例として、陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/陰極バッファー層(電子注入層)/陰極からなる素子の製造方法について説明する。
本発明に用いられる封止手段としては、例えば、封止部材と電極、支持基板とを接着剤で接着する方法を挙げることができる。
有機層を挟み支持基板と対向する側の前記封止膜、あるいは前記封止用フィルムの外側に、素子の機械的強度を高めるために保護膜、あるいは保護板を設けてもよい。特に封止が前記封止膜により行われている場合には、その機械的強度は必ずしも高くないため、このような保護膜、保護板を設けることが好ましい。これに使用することができる材料としては、前記封止に用いたのと同様なガラス板、ポリマー板・フィルム、金属板・フィルム等を用いることができるが、軽量且つ薄膜化ということからポリマーフィルムを用いることが好ましい。
有機EL素子は空気よりも屈折率の高い(屈折率が1.7〜2.1の範囲内程度)層の内部で発光し、発光層で発生した光のうち15%から20%程度の光しか取り出せないことが一般的に言われている。これは、臨界角以上の角度θで界面(透明基板と空気との界面)に入射する光は、全反射を起こし素子外部に取り出すことができないことや、透明電極ないし発光層と透明基板との間で光が全反射を起こし、光が透明電極ないし発光層を導波し、結果として光が素子側面方向に逃げるためである。
本発明の有機EL素子は基板の光取り出し側に、例えば、マイクロレンズアレイ状の構造を設けるように加工したり、あるいはいわゆる集光シートと組み合わせることにより、特定方向、例えば、素子発光面に対し正面方向に集光することにより、特定方向上の輝度を高めることができる。
本発明の有機EL素子は、表示デバイス、ディスプレイ、各種発光光源として用いることができる。発光光源として、例えば、照明装置(家庭用照明、車内照明)、時計や液晶用バックライト、看板広告、信号機、光記憶媒体の光源、電子写真複写機の光源、光通信処理機の光源、光センサーの光源等が挙げられるがこれに限定するものではないが、特に液晶表示装置のバックライト、照明用光源としての用途に有効に用いることができる。
本発明の表示装置について説明する。本発明の表示装置は、本発明の有機EL素子を具備したものである。
本発明の照明装置について説明する。本発明の照明装置は上記有機EL素子を有する。
本発明の有機EL素子を具備した、本発明の照明装置の一態様について説明する。
《有機EL素子の作製》
〔有機EL素子101(比較例)の作製〕
陽極として30mm×30mm×0.7mmのガラス基板上に、ITO(インジウムチンオキシド)を120nm製膜した基板にパターニングを行った後、このITO透明電極を設けた基板をイソプロピルアルコールで超音波洗浄し、乾燥窒素ガスで乾燥し、UVオゾン洗浄を5分間行った。この基板上に、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)−ポリスチレンスルホネート(PEDOT/PSS、Bayer製、Baytron PAl 4083)を純水で70%に希釈した溶液を3000rpm、30秒でスピンコート法により製膜した後、200℃にて1時間乾燥し、膜厚30nmの正孔注入層を設けた。
トルエン 100g
HT−30 0.45g
HT−31 0.05g
次いで、発光層塗布液を下記のように調製し、スピンコーターにて、30秒間に500rpmから5000rpmまで上げる条件で塗布した。更に150℃で30分加熱し発光層を設けた。別途用意した基板にて、同条件で塗布を行い測定したところ、膜厚は40nmであった。
トルエン 100g
H−25 1g
D−26 0.11g
次いで、電子輸送層用塗布液を下記のように調製し、スピンコーターにて、700rpm、30秒の条件で塗布した。
別途用意した基板にて、同条件で塗布を行い測定したところ、膜厚は55nmであった。
2,2,3,3−テトラフルオロ−1−プロパノール 100g
ET−9 0.9g
次いで、電子輸送層まで設けた基板を、大気曝露せずに、蒸着機に移動し、4×10−4Paまで減圧した。なお、フッ化セシウム及びアルミニウムをそれぞれタンタル製抵抗加熱ボートに入れ、蒸着機に取り付けておいた。
前記有機EL素子101の作製において、以下の手順で電子輸送層を設けること以外は同様にして、有機EL素子102を作製した。
2,2,3,3−テトラフルオロ−1−プロパノール 100g
ET−9 0.9g
〔有機EL素子103〜108(本発明)の作製〕
前記有機EL素子102の作製において、電子輸送層材料を表1記載の材料に変え、さらに電子輸送層用塗布液の濃度及びスピンコーターの回転数を変えて膜厚を表1記載の膜厚に変えた以外は有機EL素子102と同様にして、有機EL素子103〜108を作製した。なお、化合物85は参考とされる化合物である。
得られた有機EL素子102〜108を評価するに際しては、有機EL素子101と同様に封止し、図6、図7に示すような照明装置を形成して評価した。
(外部取り出し量子効率)
有機EL素子を室温(約23℃〜25℃の範囲内)、2.5mA/cm2の定電流条件下で発光させ、発光開始直後の発光輝度(L)[cd/m2]を測定することにより、外部取り出し量子効率(η)を算出した。
有機EL素子を室温(約23℃〜25℃の範囲内)、2.5mA/cm2の定電流条件下により駆動したときの電圧を各々測定し、有機EL素子101を100として各々相対値で下記表1に示した。
有機EL素子を室温下、2.5mA/cm2の定電流条件下による連続発光を行い、初期輝度の半分の輝度になるのに要する時間(τ1/2)を測定した。なお、発光寿命は有機EL素子101のτ1/2を100としたときの、各有機EL素子のτ1/2の相対値で表した。
《有機EL素子201の作製》
〔有機EL素子201の作製〕
陽極として30mm×30mm×0.7mmのガラス基板上に、ITO(インジウムチンオキシド)を120nm製膜した基板にパターニングを行った後、このITO透明電極を設けた基板をイソプロピルアルコールで超音波洗浄し、乾燥窒素ガスで乾燥し、UVオゾン洗浄を5分間行った。この基板上に、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)−ポリスチレンスルホネート(PEDOT/PSS、Bayer製、Baytron PAl 4083)を純水で70%に希釈した溶液を3000rpm、30秒でスピンコート法により製膜した後、200℃にて1時間乾燥し、膜厚30nmの正孔注入層を設けた。
有機EL素子201において、電子輸送層を下記のように作製した以外は有機EL素子201と同様にして有機EL素子202を形成した。
有機EL素子201と同様にして陰極まで形成した後、120℃で15分加熱処理し、有機EL素子203を得た。
有機EL素子202と同様にして陰極まで形成した後、120℃で15分加熱処理し、有機EL素子204を得た。
前記有機EL素子204の作製において、電子輸送層材料及びホスト化合物を表2記載の材料に変え、さらに蒸着時間を変えることにより膜厚を表2記載の膜厚に変えた以外は有機EL素子204と同様にして、有機EL素子205〜212を作製した。なお、素子207〜211では、発光層のホストとして、参考とされる化合物を用いた。電子輸送層中の結晶粒の確認は有機EL素子204と同様の方法で行った。電子輸送層中の結晶粒の有り無しの判定結果を表2に記す。
70℃環境下で各有機EL素子を200時間保存した後、2.5mA/cm2の一定電流値で駆動した際の電力効率保持率(未処理時の電力効率を100%とした時の70℃で200h保存した後における電力効率比)、駆動寿命保持率(未処理時の寿命を100%とした時の70℃で200h保存した後における寿命比)、及び輝度ムラを測定し、これを有機EL素子の保存安定性の尺度とした。なお、駆動寿命は参考例1と同様の方法で求めた。
《有機EL素子の作製》
〔有機EL素子301の作製〕
陽極として30mm×30mm×0.7mmのガラス基板上に、ITO(インジウムチンオキシド)を120nm製膜した基板にパターニングを行った後、このITO透明電極を設けた基板をイソプロピルアルコールで超音波洗浄し、乾燥窒素ガスで乾燥し、UVオゾン洗浄を5分間行った。この基板上に、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)−ポリスチレンスルホネート(PEDOT/PSS、Bayer製、Baytron PAl 4083)を純水で70%に希釈した溶液を3000rpm、30秒でスピンコート法により製膜した後、200℃にて1時間乾燥し、膜厚30nmの正孔注入層を設けた。
ジクロロベンゼン 100g
ADS254BE(American Dye Source, Inc製)0.5g
この基板を、市販の真空蒸着装置の基板ホルダーに固定し、一方モリブデン製抵抗加熱ボートに別のモリブデン製抵抗加熱ボートにホスト化合物として化合物例14(参考とされる化合物)を200mg入れ、別のモリブデン製抵抗加熱ボートにドーパント化合物としてD−9を100mg入れ真空蒸着装置に取り付けた。
1−ブタノール 100g
ET−13 1g
次いで、電子輸送層まで設けた基板を、大気曝露せずに、蒸着機に移動し、4×10−4Paまで減圧した。なお、フッ化リチウム及びアルミニウムをそれぞれタンタル製抵抗加熱ボートに入れ、蒸着機に取り付けておいた。
有機EL素子301の作製において、1−ブタノールの代わりに2,2,3,3−テトラフルオロ−1−プロパノールを用いた以外は同様にして有機EL素子302を作製した。電子輸送層中の結晶粒の確認は有機EL素子301と同様の方法で行った。電子輸送層中の結晶粒の有り無しの判定結果を表2に記す。
前記有機EL素子302の作製において、電子輸送層材料を表3記載の材料に変え、さらに電子輸送層用塗布液の濃度及びスピンコーターの回転数を変えて膜厚を表3記載の膜厚に変えた以外は有機EL素子302と同様にして、有機EL素子303〜308を作製した。電子輸送層中の結晶粒の確認は有機EL素子301と同様の方法で行った。電子輸送層中の結晶粒の有り無しの判定結果を表2に記す。
得られた有機EL素子301〜308を評価するに際しては、参考例1の有機EL素子101と同様に封止し、図6、図7に示すような照明装置を形成して評価した。
分光放射輝度計CS−1000(コニカミノルタセンシング社製)を用いて、各有機EL素子の正面輝度及び輝度角度依存性を測定し、正面輝度1000cd/m2における電力効率を求めた。なお、電力効率は有機EL素子301の電力効率を100と設定したときの相対値で表した。
6mA/cm2の一定電流で駆動したときに、初期電圧と150時間後の電圧を測定した。初期電圧100に対する150時間後の電圧の相対値を電圧上昇率とした。
発光寿命については参考例1と同様の方法で評価した。
《白色の有機EL素子401の作製》
陽極として100mm×100mm×1.1mmのガラス基板上にITO(インジウムチンオキシド)を100nm成膜した基板(NHテクノグラス社製NA45)にパターニングを行った後、このITO透明電極を設けた透明支持基板をイソプロピルアルコールで超音波洗浄し、乾燥窒素ガスで乾燥し、UVオゾン洗浄を5分間行った。
《白色の有機EL素子501の作製》
陽極として100mm×100mm×1.1mmのガラス基板上にITO(インジウムチンオキシド)を100nm成膜した基板(NHテクノグラス社製NA45)にパターニングを行った後、このITO透明電極を設けた透明支持基板をイソプロピルアルコールで超音波洗浄し、乾燥窒素ガスで乾燥し、UVオゾン洗浄を5分間行った。
《白色の有機EL素子601の作製》
陽極として30mm×30mm×0.7mmのガラス基板上に、ITO(インジウムチンオキシド)を120nm製膜した基板にパターニングを行った後、このITO透明電極を設けた基板をイソプロピルアルコールで超音波洗浄し、乾燥窒素ガスで乾燥し、UVオゾン洗浄を5分間行った。この基板上に、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)−ポリスチレンスルホネート(PEDOT/PSS、Bayer製、Baytron PAl 4083)を純水で70%に希釈した溶液を3000rpm、30秒でスピンコート法により製膜した後、200℃にて1時間乾燥し、膜厚30nmの正孔注入層を設けた。
トルエン 100g
HT−30 0.50g
次いで、発光層塗布液を下記のように調製し、スピンコーターにて、1500rpm、30秒の条件で塗布した。更に150℃で30分加熱し第1発光層を設けた。別途用意した基板にて、同条件で塗布を行い測定したところ、膜厚は20nmであった。
トルエン 100g
化合物例18 5g
D−3 0.03g
D−10 0.008g
この基板を、市販の真空蒸着装置の基板ホルダーに固定し、一方モリブデン製抵抗加熱ボートにホスト化合物として化合物例17を200mg入れ、別のモリブデン製抵抗加熱ボートにドーパント化合物としてD−50を100mg入れ、別のモリブデン製抵抗加熱ボートに1つめの電子輸送材料としてET−14を200mg入れ、更に2つめの電子輸送材料として化合物90を200mg入れ真空蒸着装置に取り付けた。
〔有機EL素子701の作製〕
有機EL素子601の作製において、化合物例17の代わりに化合物例Host−39を用いた以外は同様にして、発光層まで作製した。
2,2,3,3−テトラフルオロ−1−プロパノール 100g
化合物91(HPLC純度 97.8%) 0.9g
次いで、電子輸送層まで設けた基板を、大気曝露せずに、蒸着機に移動し、4×10−4Paまで減圧した。なお、フッ化カリウム及びアルミニウムをそれぞれタンタル製抵抗加熱ボートに入れ、蒸着機に取り付けておいた。
有機EL素子701において、電子輸送層用塗布液1の代わりに下記の電子輸送層用塗布液2を用いた以外は有機EL素子701と同様にして有機EL素子702を形成した。
2,2,3,3−テトラフルオロ−1−プロパノール 100g
化合物91(HPLC純度 99.8%) 0.9g
別途用意した基板に上記と同様にして、電子輸送層までを設けた。この基板の中心近傍の3点についてX線回折測定したところ結晶化度を算出し、3点の平均をとったところ5%であり、電子輸送層中には結晶粒によるX線回折ピークが検出された。なお、X線回折測定は、前記(X線回折線)の項に記載した方法に従って行った。
得られた有機EL素子701,702を評価するに際しては、参考例1の有機EL素子101と同様に封止し、図6、図7に示すような照明装置を形成して評価した。
〔白色の有機EL素子801の作製〕
有機EL素子401の作製において、HOST−54の代わりに化合物104、D−6の代わりにD−10、D−48の代わりにD−52を用いて発光層を製膜し、化合物88の代わりに化合物103を用いて電子輸送層を製膜した以外は同様にして、有機EL素子801を作製した。なお電子輸送層の膜厚は60nmであった。
3 画素
5 走査線
6 データ線
7 電源ライン
10 有機EL素子
11 スイッチングトランジスタ
12 駆動トランジスタ
13 コンデンサ
A 表示部
B 制御部
L 光
21 X線回折線(結晶粒なし)
22 X線回折線(結晶粒あり)
23 X線回折線(結晶粒あり)
24 X線回折線(結晶粉体)
101 有機EL素子
102 ガラスカバー
104 電子輸送層
105 陰極
106 有機EL層
107 透明電極付きガラス基板
108 窒素ガス
109 捕水剤
Claims (9)
- 少なくとも、陽極、少なくとも1つのリン光性ドーパントを含有した発光層及び少なくとも1層の電子輸送層を有する有機エレクトロルミネッセンス素子であって、
該電子輸送層は、少なくとも1つの電子輸送材料を含有し、
該電子輸送層の膜厚が、50〜200nmの範囲内であり、
該電子輸送層には、前記電子輸送材料による結晶粒が存在し、該結晶粒によるX線回折線が観察され、
前記電子輸送材料が、下記一般式(b)で表される化合物であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記電子輸送層が単一の材料からなることを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記リン光性ドーパントが下記一般式(a)で表されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 白色発光することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を備えたことを特徴とする照明装置。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を備えたことを特徴とする表示装置。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、
膜厚が50〜200nmの範囲内の前記電子輸送層を形成する工程と、
前記電子輸送層に溶媒を含まないまたは除去した状態で加熱する工程と
を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、
膜厚が50〜200nmの範囲内の前記電子輸送層を真空蒸着法で形成する工程と、
前記電子輸送層を形成中または形成後に加熱する工程と、
を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、
前記有機エレクトロルミネッセンス素子を構成する少なくとも2層をウェットプロセスで形成する工程を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
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