JP5833359B2 - レーザー光線照射装置 - Google Patents
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Description
該レーザー光線発振手段と該集光レンズとの間に配設され該レーザー光線発振手段が発振したレーザー光線のスポット形状を規定する回折光学素子と、該回折光学素子によってスポット形状を規定した一次光と一次光に生成されなかった0次光のうち、0次光を排除してスポット形状を規定した一次光のみを該集光器レンズに導く0次光排除手段と、を具備し、
該0次光排除手段は、一次光と0次光が入光する入光面と該入光面に対して傾斜し一次光と一次光に対して角度を有する0次光とが出光する一の出光面を備えた第1のプリズムと、該第1のプリズムの該出光面から出光された一次光を入光し、該第1のプリズムの該出光面から出光された0次光を反射する0次光反射面と一次光を出光する一次光出光面を備えた第2のプリズムと、該第2のプリズムの該0次光反射面で反射した0次光を吸収するダンパーとを含んでいる、
ことを特徴とするレーザー光線照射装置が提供される。
上記第2のプリズムの0次光反射面には、角度分離コーティングが施されていることが望ましい。
図3には、上述したレーザー加工機によって加工される被加工物としての光デバイスウエーハの斜視図が示されている。図3に示す光デバイスウエーハ10は、例えば厚みが100μmのサファイア基板の表面に窒化物半導体からなる光デバイス層としての発光層(エピ層)110が5μmの厚みで積層されている。そして、発光層(エピ層)110が格子状に形成された複数のストリート111によって区画された複数の領域に発光ダイオード、レーザーダイオード等の光デバイス112が形成されている。
テープTを載置する。そして、図示しない吸引手段を作動することにより、粘着テープTを介して光デバイスウエーハ10をチャックテーブル36上に吸引保持する(ウエーハ保持工程)。従って、チャックテーブル36に吸引保持された光デバイスウエーハ10は、表面10aが上側となる。そして、光デバイスウエーハ10が貼着されている粘着テープTを装着した環状のフレームFは、チャックテーブル36に配設されたクランプ362によって固定される。このようにして、光デバイスウエーハ10を吸引保持したチャックテーブル36は、加工送り手段37によって撮像手段7の直下に位置付けられる。
光源 :YAGレーザー
波長 :355nmのパルスレーザー
繰り返し周波数 :10kHz
平均出力 :3.5W
集光スポット径 :短軸10μm、長軸200μmの楕円形
加工送り速度 :100mm/秒
3:チャックテーブル機構
36:チャックテーブル
37:加工送り手段
38:第1の割り出し送り手段
4:レーザー光線照射ユニット支持機構
42:可動支持基台
43:第2の割り出し送り手段
5:レーザー光線照射ユニット
53:集光点位置調整手段
6:レーザー光線照射装置
62:パルスレーザー光線発振手段
63:集光器
631:方向変換ミラー
632:集光レンズ
633:回折光学素子
634:0次光排除手段
635:第1のプリズム
636:第2のプリズム
637:ダンパー
7:撮像手段
10:光デバイスウエーハ
F:環状のフレーム
T:粘着テープ
Claims (3)
- レーザー光線を発振するレーザー光線発振手段と、該レーザー光線発振手段が発振したレーザー光線を集光せしめる集光レンズと、を具備するレーザー光線照射装置において、
該レーザー光線発振手段と該集光レンズとの間に配設され該レーザー光線発振手段が発振したレーザー光線のスポット形状を規定する回折光学素子と、該回折光学素子によってスポット形状を規定した一次光と一次光に生成されなかった0次光のうち、0次光を排除してスポット形状を規定した一次光のみを該集光器レンズに導く0次光排除手段と、を具備し、
該0次光排除手段は、一次光と0次光が入光する入光面と該入光面に対して傾斜し一次光と一次光に対して角度を有する0次光とが出光する一の出光面を備えた第1のプリズムと、該第1のプリズムの該出光面から出光された一次光を入光し、該第1のプリズムの該出光面から出光された0次光を反射する0次光反射面と一次光を出光する一次光出光面を備えた第2のプリズムと、該第2のプリズムの該0次光反射面で反射した0次光を吸収するダンパーとを含んでいる、
ことを特徴とするレーザー光線照射装置。 - 該第1のプリズムの該入光面は該回折光学素子を通過した一次光が垂直に入光するように設定され、該第1のプリズムの該出光面と該第2のプリズムの該0次光反射面は平行に設定され、該第1のプリズムの該入光面と該第2のプリズムの該出光面は平行に設定されており、該回折光学素子によって規定されたスポット形状が該集光レンズに相似形で導かれる、請求項1記載のレーザー光線照射装置。
- 該第2のプリズムの該0次光反射面には、角度分離コーティングが施されている、請求項1又は2記載のレーザー光線照射装置。
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