JP5824615B2 - スクリーン印刷装置およびペースト残量検出方法 - Google Patents

Description

本発明は、基板にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷するスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷装置においてペーストの残量を検出するペースト残量検出方法に関するものである。

電子部品実装工程において、基板上にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷する方法としてスクリーン印刷が用いられている。この方法は、印刷対象部位に応じてパターン孔が開口されたスクリーンマスクに基板をセットし、ペーストが供給されたスクリーンマスク上でスキージを摺動させることにより、パターン孔を介して基板上にペーストを印刷するものである。このスクリーン印刷においては、スクリーンマスク上に供給されたペーストはスキージを摺動させるスキージング動作を反復実行することにより消耗し、スクリーンマスク上のペーストの残量が減少する。そしてペーストの残量が規定量を下回るタイミングにおいてペーストの補給が行われる。

このペーストの補給のタイミングを適切に設定するため、従来よりスクリーンマスク上に規定量のペーストが存在しているか否かを検出するペースト検出機能を備えたスクリーン印刷装置が知られている（例えば特許文献１参照）。この特許文献例に示す先行技術では、予め検出点として設定された固定位置に設置されたセンサがペーストを検出するか否かによって、スクリーンマスク上のペーストの残量を検出するようにしている。

実開平５−０３５２７２号公報

しかしながら上述の特許文献例を含め、設定された検出点におけるペーストの有無によってペースト残量を検出する従来技術には、以下のような難点があった。すなわち、従来技術においては検出点として設定された固定位置におけるペーストの有無を検出していることから、ペースト補給の基準となる規定量が基板品種やペーストの種類によって異なる場合には、それぞれの規定量に合わせてセンサの位置を調整する必要があり、多品種対応性や汎用性に欠けるという問題があった。また固定配置されたセンサの位置でのみペーストを検出する構成であることから、必ずしも適正なタイミングで残量の検出を行うことができるとは限らず、残量検出の精度を確保することが困難であった。このように、従来技術のスクリーン印刷装置におけるペースト残量検出においては、ペーストを検出する構成に起因して、汎用性や検出精度が確保されないという課題があった。

そこで本発明は、ペーストの残量検出の汎用性や検出精度に優れたスクリーン印刷装置およびペースト残量検出方法を提供することを目的とする。

本発明のスクリーン印刷装置は、パターン孔が設けられたスクリーンマスクに基板を当接させ、ペーストが供給された前記スクリーンマスク上でスキージを摺動させるスキージング動作により、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、前記基板を保持して前記スクリーンマスクに対して位置決めする基板位置決め部と、前記スキージが配設されたスキージヘッドを昇降および水平移動させることにより前記スキージング動作を行わせるスクリーン印刷機構と、前記スクリーンマスク上のペーストの残量を検出するペースト残量検出部とを備え、前記ペースト残量検出部は、前記スキージヘッドと一体的に移動し投光部と受光部とを対向させて構成されて計測対象の一次元サイズを計測可能なセンサと、前記センサによる計測結果に基づいて前記ペーストの残量を推定算出するペースト残量算出部とを有し、前記センサは、前記投光部から投光されスキージによって掻き寄せられるペーストによって部分的に遮光された計測光を前記受光部が受光することにより、このペーストの断面形状における所定部位の一次元サイズをペースト断面長さとして計測し、前記ペースト残量算出部は、前記ペースト断面長さをペーストの残量の指標とする。

本発明のペースト残量検出方法は、パターン孔が設けられたスクリーンマスクに基板を当接させ、ペーストが供給された前記スクリーンマスク上でスキージを摺動させるスキージング動作により、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置において、前記ペーストの残量を検出するペースト残量検出方法であって、前記スクリーン印刷装置は、前記基板を保持して前記スクリーンマスクに対して位置決めする基板位置決め部と、前記スキージが配設されたスキージヘッドを昇降および水平移動させることにより前記スキージング動作を行わせるスクリーン印刷機構と、前記スキージヘッドと一体的に移動し投光部と受光部とを対向させて構成されて計測対象の一次元サイズを計測可能なセンサと、前記センサによる計測結果に基づいて前記ペーストの残量を推定算出するペースト残量算出部とを有し、前記スクリーンマスク上のペーストの残量を検出するペースト残量検出工程において、前記投光部から投光されスキージによって掻き寄せられるペーストによって部分的に遮光された計測光を前記受光部が受光することにより、前記センサがこのペーストの断面形状における所定部位の一次元サイズをペースト断面長さとして計測し、前記ペースト残量算出部が、前記ペースト断面長さをペーストの残量の指標とする。

本発明によれば、スキージヘッドと一体的に移動し投光部と受光部とを対向させて構成されて計測対象の一次元サイズを計測可能なセンサによる計測結果に基づいてスクリーンマスク上のペーストの残量を推定算出するペースト残量検出工程において、投光部から投光されスキージによって掻き寄せられるペーストによって部分的に遮光された計測光を受光部が受光することにより、センサがこのペーストの断面形状における所定部位の一次元サイズをペースト断面長さとして計測し、このペースト断面長さをペーストの残量の指標とすることにより、ペーストの残量を常に数値的に把握することができ、ペーストの残量検出の汎用性や検出精度を確保することができる。

本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の動作説明図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置におけるスキージホルダおよびペースト残量検出用のセンサの構成説明図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置におけるペースト残量検出用のセンサの機能説明図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の制御系の構成を示すブロック図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置におけるペースト補給データの説明図

次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図１、図２、図３を参照して、スクリーン印刷装置の構造を説明する。図１において、スクリーン印刷装置は、基板位置決め部１の上方にスクリーン印刷機構１１を配設して構成されている。基板位置決め部１は、Ｙ軸テーブル２、Ｘ軸テーブル３およびθ軸テーブル４を段積みし、更にその上に第１のＺ軸テーブル５、第２のＺ軸テーブル６を組み合わせて構成されている。

第１のＺ軸テーブル５の構成を説明する。θ軸テーブル４の上面に設けられた水平なベースプレート４ａの上面側には、同様に水平なベースプレート５ａが昇降ガイド機構（図示省略）によって昇降自在に保持されている。ベースプレート５ａは、複数の送りねじ５ｃをモータ５ｂによってベルト５ｄを介して回転駆動する構成のＺ軸昇降機構によって昇降する。

ベースプレート５ａには垂直フレーム５ｅが立設されており、垂直フレーム５ｅの上端部には基板搬送機構８が保持されている。基板搬送機構８は基板搬送方向（Ｘ方向−−図１において紙面垂直方向）に平行に配設された２条の搬送レールを備えており、これらの搬送レールによって印刷対象の基板１０の両端部を支持して搬送する。第１のＺ軸テーブル５を駆動することにより、基板搬送機構８によって保持された状態の基板１０を、基板搬送機構８とともにスクリーン印刷機構１１に対して昇降させることができる。図２、図３に示すように、基板搬送機構８は上流側（図２、図３において左側）および下流側に延出し、上流側から搬入された基板１０は基板搬送機構８によって搬送され、さらに基板位置決め部１によって位置決めされる。そしてスクリーン印刷機構１１によって印刷が行われた後の基板１０は、基板搬送機構８によって下流側に搬出される。

第２のＺ軸テーブル６の構成を説明する。基板搬送機構８とベースプレート５ａの中間には、水平なベースプレート６ａが昇降ガイド機構（図示省略）に沿って昇降自在に配設されている。ベースプレート６ａは、複数の送りねじ６ｃをモータ６ｂによってベルト６ｄを介して回転駆動する構成のＺ軸昇降機構によって昇降する。ベースプレート６ａの上面には、上面に基板１０を保持する下受け面が設けられた基板下受部７が配設されている。

第２のＺ軸テーブル６を駆動することにより、基板下受部７は基板搬送機構８に保持された状態の基板１０に対して昇降する。そして基板下受部７の下受け面が基板１０の下面に当接することにより、基板下受部７は基板１０を下面側から支持する。基板搬送機構８の上面にはクランプ機構９が配設されている。クランプ機構９は、左右対向して配置された２つのクランプ部材９ａを備えており、一方側のクランプ部材９ａを駆動機構９ｂによって進退させることにより、基板１０を両側からクランプして固定する。

次に基板位置決め部１の上方に配設されたスクリーン印刷機構１１について説明する。図１，図２において、マスク枠１２ａにはスクリーンマスク１２が展張されており、スクリーンマスク１２には、基板１０において印刷対象となる電極１０ａの形状・位置（図３参照）に対応して、パターン孔１２ｂが設けられている。スクリーンマスク１２上にはスキージユニット１３が配設されている。スキージユニット１３は、水平な移動プレート１４にスキージホルダ１７に保持されたスキージ１６を昇降させるスキージ昇降機構１５を配設した構成となっている。スキージ昇降機構１５を駆動することによりスキージホルダ１７とともにスキージ１６は昇降して、スクリーンマスク１２の上面に当接する。スキージユニット１３においてスキージホルダ１７の両側端部には、スクリーンマスク１２上のペーストであるクリーム半田１９（図４参照）の残量を検出するためのセンサユニット１８ａ、１８ｂがそれぞれ配設されている。

図２に示すように、縦フレーム２０上にはガイドレール２１がＹ方向に配設されており、ガイドレール２１にスライド自在に嵌合したスライダ２２は、結合部材２３を介して移動プレート１４の両端に結合されている。これにより、スキージユニット１３はＹ方向にスライド自在となっている。移動プレート１４は、ナット２５、送りねじ２４および送りねじ２４を回転駆動するスキージ移動用モータ（図示省略）より成るスキージ移動手段２６によりＹ方向に水平移動する。

次に図４を参照して、スクリーン印刷機構１１による印刷動作について説明する。まず基板搬送機構８によって基板１０が印刷位置に搬入されると、第２のＺ軸テーブル６を駆動して基板下受部７を上昇させ（矢印ａ）、図４（ａ）に示すように、基板１０の下面を下受けするとともに、基板１０をクランプ部材９ａによって挟み込んでクランプする。そしてこの状態で基板位置決め部１を駆動して基板１０をスクリーンマスク１２に対して位置合わせする。

この後、図４（ｂ）に示すように、第１のＺ軸テーブル５を駆動して基板１０を基板搬送機構８とともに上昇させて（矢印ｂ）スクリーンマスク１２の下面に当接させる。これにより、スキージユニット１３によるスキージングにおいて、基板１０がスクリーンマスク１２に対して位置決め固定される。そしてこの状態で、ペーストであるクリーム半田１９が供給されたスクリーンマスク１２上でスキージ１６を摺動させる（矢印ｃ）スキージング動作を実行させることにより、パターン孔１２ｂを介して基板１０にはクリーム半田１９が印刷される。すなわちスクリーン印刷機構１１は、スキージ１６が配設されたスキージユニット１３を昇降および水平移動させることにより、スキージ１６にスキージング動作を行わせる。

次に、図５、図６，図７を参照して、スキージユニット１３の詳細構成およびスキージユニット１３のスキージホルダ１７の両側端面に装着されたペースト残量検出用のセンサユニット１８ａ、１８ｂの構成および機能を説明する。図５（ａ）に示すように、スキージユニット１３は、スキージ昇降機構１５から下方に延出した昇降駆動軸１５ａに、スキージホルダ１７を介して、板状のスキージ１６をスキージング方向（Ｙ方向）に傾斜した姿勢で保持させた構成となっている。スキージホルダ１７は、結合部材１７ｃを介して昇降駆動軸１５ａに結合されており、ホルダ基部１７ａとホルダ基部１７ａの前面に沿って配設された挟み込み部材１７ｂとの間に、板状のスキージ１６を挟み込んで固定する。

スキージホルダ１７の両側端部には、スキージング方向における前面に位置して、センサユニット１８ａ、１８ｂが配設されている。なお、センサユニット１８ａ、１８ｂは、２つのスキージホルダ１７のうち、１つのみに装備すればよい。センサユニット１８ａ、１８ｂは、センサ２７を構成する投光部２７ａ、受光部２７ｂをそれぞれ屈曲板状のブラケット２９によってスキージホルダ１７に固定した構成となっている。

このセンサ２７の配置において、投光部２７ａ、受光部２７ｂはスキージ１６のスキージング方向側の前面に位置しており、センサ２７のセンサー中心線２７ｃはスクリーンマスク１２の上面に対して所定の角度だけ傾斜して配置されている。そしてセンサー中心線２７ｃを下方に延長した延長線上には、スキージ１６がスクリーンマスク１２と摺接する摺接点１６ａが位置する。

センサユニット１８ａ、１８ｂをスキージホルダ１７の両側端に装着した状態では、図５（ｂ）に示すように、投光部２７ａと受光部２７ｂとは相対向する位置にある。そして投光部２７ａから投射された帯状の検査光２８が破線枠で示す検査断面領域２８＊を透過して受光部２７ｂに受光される過程において、検査断面領域２８＊に存在する計測対象物のサイズを計測する。なおセンサ２７として、本実施の形態においては、投光部２７ａに列状に配列された計測光の光源としてのレーザ発光素子から検査光２８を照射し、この照射光を受光部２７ｂにおいて同様に列状に配列されたＣＣＤなどの受光素子によって受光することにより、計測対象物の一次元サイズを検出する構成の測長センサを用いている。

すなわち図６（ａ）のセンサ２７に示すように、センサ２７は投光部２７ａ、受光部２７ｂおよびコントローラ２７ｄより構成される。照射幅Ｂで投光部２７ａから照射された帯状の検査光２８が受光部２７ｂに到達する経路に計測対象物であるクリーム半田１９が存在する場合には、検査光２８におけるクリーム半田１９のサイズに相当する遮光幅Ｂ２については受光部２７ｂによって受光されず、受光幅Ｂ１のみが受光部２７ｂによって受光される。そしてこの受光結果をコントローラ２７ｄが受信することにより、遮光幅Ｂ２、すなわち計測対象域におけるクリーム半田１９の一次元サイズがデジタルのセンサー値として計測される。

図６（ｂ）は、このような機能を有するセンサ２７によって、スクリーンマスク１２の上面におけるクリーム半田１９の残量を検出するに際して用いられる指標を示している。センサ２７は計測レンジＬ１の範囲内で長さ計測が可能となっており、センサ２７の選定に際してはクリーム半田１９の残量計測に必要十分な計測レンジＬ１を有するものが選定される。図５（ａ）に示すように、センサ２７はセンサー中心線２７ｃをスクリーンマスク１２に対して所定の角度だけ傾斜させた位置であって、且つ摺接点１６ａから所定距離Ｌ０だけ計測始端部を隔てた位置に配置される。

このようなセンサ２７の配置によりスキージング動作においてスキージ１６によって掻き寄せられるクリーム半田１９の断面形状の外縁は、センサ２７の計測レンジＬ１範囲内に位置する。この配置状態においてセンサ２７を作動させることにより、計測始端部からクリーム半田１９の外縁に至る長さ（計測長さＬ）に相当するデジタルのセンサー値Ｎが、計測結果として出力される。そしてこの計測結果に基づいて、ペースト残量算出部３４（図７参照）はクリーム半田１９の残量を推定算出する。

すなわちセンサ２７は、投光部２７ａから投光され、スキージ１６によって掻き寄せられるクリーム半田１９によって部分的に遮光された検査光２８を、受光部２７ｂが受光することにより、このクリーム半田１９の断面形状における所定部位の一次元サイズをペースト断面長さとして計測する。そしてペースト残量算出部３４は、クリーム半田１９の残量の推定算出においてこのペースト断面長さをクリーム半田１９の残量の指標とするようにしている。

ここで、ペースト断面長さは、厳密には摺接点１６ａから所定距離Ｌ０に計測長さＬを加算した合計長さとなるが、所定距離Ｌ０は固定値であることから、計測長さＬをペースト残量管理のための指標として用いて差し支えない。そしてこの場合におけるペースト断面長さは、スキージ１６によって掻き寄せられたクリーム半田１９の断面形状において、スクリーンマスク１２の上面に対して所定の角度θだけ傾斜して設定された直線上の長さ、すなわちセンサー中心線２７ｃに沿った長さとなっている。

なおセンサ２７の配置姿勢については、必ずしもセンサー中心線２７ｃを摺接点１６ａに一致させる必要はなく、掻き寄せられた状態のクリーム半田１９の断面長さを示す指標を取得することが可能な姿勢であればよい。また、センサ２７としては、投光部２７ａからの照射光を計測対象物が遮光することによってペースト断面長さを取得することが可能な機能を有するものであれば、レーザ光をＣＣＤによって受光する構成以外のものであってもよい。

次に図７を参照して、制御系の構成を説明する。図７において、制御部３０は演算処理機能を有するＣＰＵであり、記憶部３１に記憶されたプログラムやデータに基づき、以下の各部の動作・処理を制御する。記憶部３１には、スクリーン印刷作業を実行するための印刷動作プログラムや印刷条件データのほか、ペースト残量算出データ３１ａ、ペースト補給データ３１ｂが記憶されている。ペースト残量算出データ３１ａは、センサ２７の計測結果に基づいて、クリーム半田１９の残量を算出するために必要なデータを記憶する。ペースト補給データ３１ｂは、クリーム半田１９の残量の計測結果に基づいてペースト補給を適正に実行するためのデータであり、本実施の形態においてはこれらのデータをペースト品種毎に設定しておくことにより、ペースト補給を実行すべきタイミングや適正なペースト補給量が自動的に報知されるようになっている。

機構制御部３２は、制御部３０に制御されて基板搬送機構８、基板位置決め部１、スクリーン印刷機構１１を駆動する。これにより、基板１０を対象とした基板搬送作業、位置決め作業、スクリーン印刷作業が実行される。ペースト残量検出部３３は、スクリーンマスク１２上のクリーム半田１９の残量を検出する処理を行う。ペースト残量検出部３３は、センサ２７およびペースト残量算出部３４を備えており、センサ２７は、図６（ａ）に示すように、スキージユニット１３のスキージホルダ１７と一体的に移動する投光部２７ａと受光部２７ｂとを対向させて構成されて、受光部２７ｂからの受光信号をコントローラ２７ｄによって規定のセンサー値の形式でペースト残量算出部３４に対して出力する。そしてペースト残量算出部３４は、センサ２７による計測結果に基づいてクリーム半田１９の残量を推定算出する処理を行う。

ペースト補給処理部３５は、ペースト残量検出部３３によって演算されたクリーム半田１９の残量および記憶部３１に記憶されたペースト補給データ３１ｂに基づいて、クリーム半田１９の補給が必要となるタイミングまたは必要とされる補給量を、表示部３７の表示画面上で報知する処理を行う。操作・入力部３６はキーボードやタッチパネルなどの入力装置であり、装置を稼働させるための操作指令や、記憶部３１へ記憶されるデータの入力を行う。表示部３７は液晶パネルなどの表示装置であり、操作・入力部３６による入力操作の案内画面や各種の報知画面の表示を行う。

次に図８を参照して、本実施の形態のスクリーン印刷装置においてスクリーンマスク１２上のクリーム半田１９の残量を検出するペースト残量検出方法について説明する。図８（ａ）は、図４（ｂ）に示すスキージング動作の過程において、クリーム半田１９をセンサ２７によって計測して残量を検出するペースト残量検出工程を示している。ここでは、スキージ１６によって掻き寄せられて回転流動（矢印ｄ）を行うローリング状態にあるクリーム半田１９を対象として、クリーム半田１９の断面形状においてセンサー中心線２７ｃに沿った一次元サイズである計測長さＬを、センサ２７によって計測する。

すなわち本実施の形態においては、ペースト残量検出部３３は、スキージ１６によって掻き寄せられてローリング状態にあるクリーム半田１９を対象として、ペースト断面長さを計測するようになっている。これにより、スクリーンマスク１２上に残留するクリーム半田１９が最も残量計測に適した形状となっているタイミングにて、正確な計測値を検出することが可能となっている。

このペースト残留検出工程では、図６（ａ）に示すように、投光部２７ａから投光されクリーム半田１９によって部分的に遮光された検査光２８を受光部２７ｂが受光することにより、センサ２７がこのクリーム半田１９の断面形状における所定部位の一次元サイズをペースト断面長さとして計測する。そしてペースト残量検出部３３は、計測されたペースト断面長さをクリーム半田１９の残量の指標とするようにしている。すなわちペースト残量検出によって、ペースト断面長さとしての計測長さＬが求められる。なお前述のように、ここでは、所定距離Ｌ０に計測長さＬを加算した合計長さに替えて、単独の計測長さＬをペースト残量管理のための指標であるペースト断面長さとして用いる例を示している。

このペースト残量検出過程において、クリーム半田１９の残留量が予め設定された規定値まで減少すると、ペースト補給処理部３５の機能により表示部３７にペースト補給のタイミングおよび必要な補給量がペースト残量算出部３４に表示される。これにより、作業者は確実に適正量のクリーム半田１９を適正なタイミングで補給することができ、クリーム半田１９の過不足に起因する印刷不良が防止される。

図８（ｂ）は、このペースト補給処理において参照されるペースト補給データ３１ｂの例を示している。ここでは、「ペースト品種」３１ｃ（ＡＡＡ，ＢＢＢ、ＣＣＣ・・・）のそれぞれに対して、適正な補給タイミングに相当する補給時センサー値３１ｄ（Ｎａ，Ｎｂ，Ｎｃ・・・）が個別に設定されている。これらのＮａ，Ｎｂ，Ｎｃ・・・は、実際のペースト断面長さＬａ，Ｌｂ，Ｌｃ・・・）に対応するものである。このように本実施の形態に示すペースト残量検出部３３では、センサ２７によって計測されるペースト断面長さによってクリーム半田１９の残量を常に数値的に検出する構成となっていることから、使用するペースト品種によってペースト補給時の適正残量が異なる場合にあっても、単に補給時センサー値３１ｄを予め設定することのみで、適正なペースト残量管理を行うことが可能となっている。

上記説明したように、本実施の形態に示すスクリーン印刷装置およびペースト残量検出においては、スキージユニット１３と一体的に移動し投光部２７ａと受光部２７ｂとを対向させて構成されて計測対象の一次元サイズを計測可能なセンサ２７による計測結果に基づいてスクリーンマスク１２上のクリーム半田１９の残量を推定算出するペースト残量検出工程において、投光部２７ａから投光されスキージ１６によって掻き寄せられるクリーム半田１９によって部分的に遮光された計測光を受光部２７ｂが受光することにより、センサ２７がこのクリーム半田１９の断面形状における所定部位の一次元サイズをペースト断面長さとして計測し、このペースト断面長さをクリーム半田１９の残量の指標としている。これにより、クリーム半田１９の残量を常に数値的に把握することができ、クリーム半田１９の残量検出の汎用性や検出精度を確保することができる。

本発明のスクリーン印刷装置およびペースト残量検出方法は、ペーストの残量検出の汎用性や検出精度を確保することができるという効果を有し、基板にクリーム半田などのペーストを印刷する分野において有用である。

１ 基板位置決め部
１０ 基板
１１ スクリーン印刷機構
１２ スクリーンマスク
１２ｂ パターン孔
１３ スキージユニット
１５ スキージ昇降機構
１６ スキージ
１７ スキージホルダ
１８ａ、１８ｂ センサユニット
１９ クリーム半田（ペースト）
２７ センサ
２７ａ 投光部
２７ｂ 受光部
２７ｄ コントローラ
２８ 検査光
Ｌ 計測長さ
Ｎ センサー値

Claims (9)

1. パターン孔が設けられたスクリーンマスクに基板を当接させ、ペーストが供給された前記スクリーンマスク上でスキージを摺動させるスキージング動作により、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、
   前記基板を保持して前記スクリーンマスクに対して位置決めする基板位置決め部と、前記スキージが配設されたスキージヘッドを昇降および水平移動させることにより前記スキージング動作を行わせるスクリーン印刷機構と、前記スクリーンマスク上のペーストの残量を検出するペースト残量検出部とを備え、
   前記ペースト残量検出部は、前記スキージヘッドと一体的に移動し、前記スキージの幅方向における両端部のうちの一端に投光部と他端に受光部とを対向させて構成された計測対象の一次元サイズを計測可能なセンサと、
   前記センサによる計測結果に基づいて前記ペーストの残量を推定算出するペースト残量算出部とを有し、
   前記センサは、前記投光部から投光されスキージによって掻き寄せられるペーストによって部分的に遮光された計測光を前記受光部が受光することにより、このペーストの断面形状における所定部位の一次元サイズをペースト断面長さとして計測し、
   前記ペースト残量算出部は、前記ペースト断面長さをペーストの残量の指標とすることを特徴とするスクリーン印刷装置。
2. 前記ペースト断面長さは、前記断面形状において前記スクリーンマスクの上面に対して所定の角度だけ傾斜して設定された直線上の長さであることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷装置。
3. 前記ペースト残量検出部は、スキージによって掻き寄せられてローリング状態にあるペーストを対象として、前記ペースト断面長さを計測することを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載のスクリーン印刷装置。
4. 前記推定算出されたペーストの残量に基づいて、ペーストの補給が必要となるタイミングまたは必要とされる補給量を報知するペースト補給処理部を備えたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のスクリーン印刷装置。
5. 前記投光部から投射された帯状の検査光は、前記スクリーンマスクの上面に対して所定の角度傾斜することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のスクリーン印刷装置。
6. パターン孔が設けられたスクリーンマスクに基板を当接させ、ペーストが供給された前記スクリーンマスク上でスキージを摺動させるスキージング動作により、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置において、前記ペーストの残量を検出するペースト残量検出方法であって、
   前記スクリーン印刷装置は、前記基板を保持して前記スクリーンマスクに対して位置決めする基板位置決め部と、前記スキージが配設されたスキージヘッドを昇降および水平移動させることにより前記スキージング動作を行わせるスクリーン印刷機構と、前記スキージヘッドと一体的に移動し、前記スキージの幅方向における両端部のうちの一端に投光部と他端に受光部とを対向させて構成された計測対象の一次元サイズを計測可能なセンサと、前記センサによる計測結果に基づいて前記ペーストの残量を推定算出するペースト残量算出部とを有し、
   前記スクリーンマスク上のペーストの残量を検出するペースト残量検出工程において、
   前記投光部から投光されスキージによって掻き寄せられるペーストによって部分的に遮光された計測光を前記受光部が受光することにより、前記センサがこのペーストの断面形状における所定部位の一次元サイズをペースト断面長さとして計測し、
   前記ペースト残量算出部が、前記ペースト断面長さをペーストの残量の指標とすることを特徴とするペースト残量検出方法。
7. 前記ペースト断面長さは、前記断面形状において前記スクリーンマスクの上面に対して所定の角度だけ傾斜して設定された直線上の長さであることを特徴とする請求項６記載のペースト残量検出方法。
8. 前記ペースト残量検出部は、スキージによって掻き寄せられてローリング状態にあるペーストを対象として、前記ペースト断面長さを計測することを特徴とする請求項６または７のいずれかに記載のペースト残量検出方法。
9. 前記投光部から投射された帯状の検査光は、前記スクリーンマスクの上面に対して所定の角度傾斜することを特徴とする請求項６乃至８のいずれかに記載のペースト残量検出方法。

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