JP5810004B2 - 液体制御装置 - Google Patents

Description

本発明は、面に接した液体の広がり方を制御する液体制御装置に関する。

この種の液体制御装置において、蓄熱板の上面にメッシュ（網状体）を重ねて配置することにより、蓄熱板上に微細な凹凸を形成したものがある（例えば、特許文献１参照）。特許文献1に記載のものによれば、蓄熱板の上面とメッシュとの間に供給された液体が、界面張力によって広がるため、メッシュの広い面積に液体を供給することができる。

特許第４６７３４４９号公報

ところで、特許文献１に記載のものでは、微細な凹凸による界面張力を利用して、蓄熱板の上面に液体を広げることができるものの、面に接した液体を所望の方向へ優先的に広げる上で、未だ改善の余地を残すものとなっている。

本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その主たる目的は、面に接した液体を所望の方向へ優先的に広げることのできる液体制御装置を提供することにある。

本発明は、上記課題を解決するために、以下の手段を採用した。

第１の手段は、液体の広がり方を制御する液体制御装置であって、前記液体の供給される被供給面を有する本体と、網目状に編まれ、前記被供給面に接するように設けられた網状体と、前記網状体に対して前記本体側と反対側で接するように設けられた誘導部材と、を備えることを特徴とする。

上記構成によれば、網状体は、網目状に編まれ、本体の被供給面に接するように設けられているため、被供給面と網状体との間に複数の界面が形成される。したがって、被供給面に供給された液体は、複数の界面における界面張力により、被供給面に沿って広がることとなる。

ここで、網状体に対して本体側と反対側で接するように誘導部材が設けられているため、網状体と誘導部材との間にも複数の界面が形成される。したがって、網状体と誘導部材との間においても、界面張力により液体を広げることができる。このため、誘導部材の設けられた部分では、液体の広がりを他の部分よりも促進させることができる。その結果、誘導部材の配置を調整することにより、被供給面に接した液体を所望の方向へ優先的に広げることができる。

第２の手段では、前記誘導部材は、網目状に編まれて形成されている。

上記構成によれば、誘導部材は網目状に編まれて形成されているため、誘導部材が板状や膜状に形成されている場合と比較して、誘導部材を介した液体の蒸発を促進させることができる。このため、液体を蒸発させる用途、例えば液体気化器に第２の手段に記載の液体制御装置を用いる場合に、被供給面に接した液体を所望の方向へ優先的に広げつつ、液体の蒸発を促進させることができる。

第３の手段では、前記本体には、その内部から前記被供給面へ前記液体を供給する供給口が設けられ、前記網状体及び前記誘導部材は、前記供給口を覆うように設けられている。

上記構成によれば、本体に設けられた供給口を通じて、本体の内部から被供給面へ液体が供給される。ここで、網状体及び誘導部材は、供給口を覆うように設けられているため、供給口から供給された液体は、直ちに誘導部材に沿って優先的に広げられる。したがって、供給口から供給された液体を、所望の方向へ効率的に広げることができる。

網状体や誘導部材が供給口を覆っている場合であっても、供給口を通じて本体の内部から供給された液体が、網状体や、網目状に編まれた誘導部材を通過して噴出されるおそれがある。

この点、第４の手段では、板状又は膜状に形成された遮蔽部材が、供給口を覆うように設けられている。このため、供給口から供給された液体が、網状体及び誘導部材を通過して噴出されることを抑制することができる。

第５の手段では、前記本体には、その内部から前記被供給面へ前記液体を供給する供給口が設けられ、板状又は膜状に形成された遮蔽部材が、前記供給口を覆うように設けられている。

上記構成によれば、板状又は膜状に形成された遮蔽部材が、供給口を覆うように設けられているため、網状体や誘導部材が供給口を覆っていない場合であっても、供給口から供給された液体が噴出されることを抑制することができる。

第６の手段では、前記遮蔽部材は、前記供給口及びその近傍のみを覆うように設けられている。

本体において、板状又は膜状に形成された遮蔽部材の設けられた部分では、被供給面からの液体の蒸発が遮蔽部材により妨げられるおそれがある。

この点、上記構成によれば、供給口及びその近傍のみが遮蔽部材により覆われるため、供給口から供給された液体が噴出されることを抑制しつつ、液体の蒸発が遮蔽部材により妨げられることを抑制することができる。

第７の手段では、前記遮蔽部材は、前記供給口を覆う第１部分と、前記第１部分から突出する第２部分とを備え、前記第２部分は、前記供給口に挿入されている。

上記構成によれば、第１部分から突出する第２部分が供給口に挿入されているため、遮蔽部材に液体の圧力が作用したとしても、遮蔽部材が供給口からずれることを抑制することができる。さらに、第２部分を、供給口に対する遮蔽部材の位置決めに利用することもできる。

第８の手段では、前記本体の内部には、前記被供給面を加熱するヒータが設けられ、前記誘導部材は、前記ヒータへ向かって延びている。

上記構成によれば、本体の内部に設けられたヒータにより、液体の供給される被供給面が加熱される。ここで、誘導部材は、ヒータへ向かって延びているため、面に接した液体をヒータの方向へ優先的に広げることができる。その結果、ヒータによる液体の加熱を促進させることができる。

第９の手段では、前記本体には、その内部から前記被供給面へ前記液体を供給する供給口が設けられ、前記誘導部材は、前記供給口から前記ヒータへ向かって延びている。

上記構成によれば、本体に設けられた供給口を通じて、本体の内部から被供給面へ液体が供給される。ここで、誘導部材は、供給口からヒータへ向かって延びているため、供給口から供給された液体をヒータの方向へ優先的に広げることができる。その結果、液体をヒータによって効率的に加熱することができる。

第１０の手段では、前記本体の内部には、前記被供給面を加熱するヒータが設けられ、前記本体には、その内部から前記被供給面へ前記液体を供給する供給口が設けられ、前記被供給面には、前記供給口から前記ヒータと反対側への前記液体の広がりを抑制する溝が設けられている。

本体の被供給面に供給された液体は、被供給面と網状体との間に形成された複数の界面における界面張力により広がる。これに対して、被供給面に溝を形成した場合には、その溝の部分では被供給面と網状体との間に界面が形成されず、液体の広がりが抑制される。

したがって、上記構成によれば、被供給面に設けられた溝により、供給口からヒータと反対側への液体の広がりが抑制される。そして、ヒータと反対側への液体の広がりを抑制することにより、ヒータ側への液体の広がりを促進させることができる。その結果、ヒータによる液体の加熱を促進させることができる。

第１１の手段では、前記本体の内部には、前記被供給面を加熱するヒータが設けられ、前記本体には、その内部から前記被供給面へ前記液体を供給する供給口が設けられ、前記被供給面には、前記ヒータ側を除いて前記供給口の周囲を囲む溝が設けられている。

上記構成によれば、被供給面には、ヒータ側を除いて供給口の周囲を囲む溝が設けられているため、ヒータ側以外の方向への液体の広がりが抑制される。したがって、ヒータ側への液体の広がりを促進させることができる。

第１２の手段では、前記本体には、気体の導入口と排出口とが設けられ、前記導入口は、前記本体の内部から前記被供給面の周囲の空間へ気体を導入する開口であり、前記排出口は、前記空間から前記本体の内部へ前記気体を排出する開口であり、前記導入口と前記排出口とは、前記ヒータを挟んで設けられている。

上記構成によれば、本体の内部から導入口を通じて被供給面の周囲の空間へ気体が導入され、その空間から排出口を通じて本体の内部へ気体が排出される。このとき、被供給面に接した液体は、気体の流れ方向への広がりが促進される。そして、気体の導入口と排出口とは、ヒータを挟んで設けられているため、ヒータを通過する方向への液体の広がりを促進させることができる。その結果、ヒータによる液体の加熱を促進させることができる。

第１３の手段では、前記本体には、その内部から前記被供給面へ前記液体を供給する供給口が、前記ヒータよりも前記導入口側に設けられている。

上記構成によれば、本体に設けられた供給口を通じて、本体の内部から被供給面へ液体が供給される。ここで、この供給口は、ヒータよりも気体の導入口側に設けられているため、導入口から排出口への気体の流れによって、ヒータ側への液体の広がりが促進される。したがって、供給口から供給された液体を、ヒータ側へ効率的に広げることができる。

第１４の手段では、前記本体の内部には、前記被供給面の温度を検出する温度センサが設けられ、前記誘導部材は、前記温度センサへ向かって延びている。

被供給面に供給された液体が蒸発した場合には、その気化熱により被供給面の温度が低下する。このため、被供給面の温度を検出することにより、液体の気化度合を推測することができる。

この点、上記構成によれば、本体の内部に設けられた温度センサにより、液体の供給される被供給面の温度が検出される。ここで、誘導部材は、温度センサへ向かって延びているため、被供給面に接した液体を温度センサの方向へ優先的に広げることができる。その結果、液体の気化による被供給面の温度低下が、温度センサの検出値に敏感に反映されるため、液体の気化度合を推測する精度を向上させることができる。

第１５の主殿では、前記本体には、その内部から前記被供給面へ前記液体を供給する供給口が設けられ、前記誘導部材は、前記供給口から前記温度センサへ向かって延びている。

上記構成によれば、本体に設けられた供給口を通じて、本体の内部から被供給面へ液体が供給される。ここで、誘導部材は、供給口から温度センサへ向かって延びているため、供給口から供給された液体を温度センサの方向へ優先的に広げることができる。その結果、供給口から温度センサ方向への液体の広がりが安定するため、液体の気化による被供給面の温度低下を安定させることができる。

第１６の手段では、前記本体の内部には、前記被供給面の温度を検出する温度センサが設けられ、前記本体には、その内部から前記被供給面へ前記液体を供給する供給口が設けられ、前記被供給面には、前記供給口から前記温度センサと反対側への前記液体の広がりを抑制する溝が設けられている。

上記構成によれば、被供給面に設けられた溝により、供給口から温度センサと反対側への液体の広がりが抑制される。そして、温度センサと反対側への液体の広がりを抑制することにより、温度センサ側への液体の広がりを促進させることができる。その結果、液体の気化度合を推測する精度を向上させることができる。

第１７の手段では、前記本体の内部には、前記被供給面の温度を検出する温度センサが設けられ、前記本体には、その内部から前記被供給面へ前記液体を供給する供給口が設けられ、前記被供給面には、前記温度センサ側を除いて前記供給口の周囲を囲む溝が設けられている。

上記構成によれば、被供給面には、温度センサ側を除いて供給口の周囲を囲む溝が設けられているため、温度センサ以外の方向への液体の広がりが抑制される。したがって、温度センサ側への液体の広がりを促進させることができる。

第１８の手段では、前記本体には、気体の導入口と排出口とが設けられ、前記導入口は、前記本体の内部から前記被供給面の周囲の空間へ気体を導入する開口であり、前記排出口は、前記空間から前記本体の内部へ前記気体を排出する開口であり、前記導入口と前記排出口とは、前記温度センサを挟んで設けられている。

上記構成によれば、本体の内部から導入口を通じて被供給面の周囲の空間へ気体が導入され、その空間から排出口を通じて本体の内部へ気体が排出される。このとき、被供給面に接した液体は、気体の流れ方向への広がりが促進される。そして、気体の導入口と排出口とは、温度センサを挟んで設けられているため、温度センサを通過する方向への液体の広がりを促進させることができる。その結果、液体の気化度合を推測する精度を向上させることができる。

第１９の手段では、前記本体には、その内部から前記被供給面へ前記液体を供給する供給口が、前記温度センサよりも前記導入口側に設けられている。

上記構成によれば、本体に設けられた供給口を通じて、本体の内部から被供給面へ液体が供給される。ここで、この供給口は、温度センサよりも気体の導入口側に設けられているため、導入口から排出口への気体の流れによって、温度センサ側への液体の広がりが促進される。したがって、供給口から供給された液体を、温度センサ側へ効率的に広げることができる。

液体気化器を示す図。 液体気化器を示す図。 液体制御装置を示す斜視図。 液体制御装置の本体を示す斜視図。 液体制御装置の分解斜視図。 メッシュの拡大平面図。 本体の上面及びメッシュの拡大断面図。 本体の上面及びメッシュの拡大断面図。 本体の上面、メッシュ、及びメッシュバンドの拡大断面図。 本体の上面、メッシュ、及び遮蔽部材の拡大断面図。 メッシュバンドの変形例を示す斜視図。 液体制御装置の本体の変形例を示す斜視図。 液体制御装置の本体の他の変形例を示す斜視図。 液体制御装置の変形例を示す斜視図。

以下、一実施形態について図面を参照しつつ説明する。本実施形態は、薬液を気化させて不活性ガスと混合させつつ排出する液体気化器として具体化している。

図１において、（ａ）は液体気化器１０を示す平面図であり、（ｂ）は（ａ）の１Ｂ−１Ｂ線断面図である。同図に示すように、液体気化器１０は、第１ハウジング１１、第２ハウジング２０、液体制御装置３０、弁装置６０、ヒータ８０、熱電対８３，８４等を備えている。

第１ハウジング１１は、中空の直方体状に形成されており、内部に底面長円形の柱状空間Ｓが形成されている。柱状空間Ｓは、第１ハウジング１１の側面１１ａにおいて、長円形の開口部１２によって開口している。第１ハウジング１１の下面１１ｂには、弁装置６０を挿入する挿入孔１３が形成されている。第１ハウジング１１の上面１１ｃには、ガラス板１４を取り付ける取付孔１５が形成されている。

柱状空間Ｓには、開口部１２から液体制御装置３０が挿入されている。また、上記挿入孔１３には、弁装置６０が挿入されている。第１ハウジング１１と弁装置６０との間は、シール部材によりシールされている。上記取付孔１５には、締結部材によりガラス板１４が取り付けられている。第１ハウジング１１とガラス板１４との間は、シール部材によりシールされている。作業者は、ガラス板１４を介して、上方から第１ハウジング１１の内部を観察することができる。

図２（ａ）は、図１の２Ａ−２Ａ線から見た第２ハウジング２０の側面図である。図２（ａ）を併せて参照すると、第２ハウジング２０は、直方体状に形成されており、第１ハウジング１１の側面１１ａに取り付けられている。第１ハウジング１１と第２ハウジング２０との間は、シール部材によりシールされている。第２ハウジング２０において、第１ハウジング１１の側面１１ａに対向する面は側面２０ｂとなっている。第２ハウジング２０には、第１気体流路２１、第２気体流路２２、薬液流路２３、ヒータ挿入孔２４、及び熱電対挿入孔２５ａ，２５ｂが形成されている。

第１気体流路２１は、第２ハウジング２０において、上記側面２０ｂから、上面２０ａへと貫通している。第２気体流路２２は、側面２０ｂから、側面２０ｂと反対側の側面２０ｃへと貫通している。第１気体流路２１及び第２気体流路２２は、上面２０ａの長手方向において、両端寄りの位置にそれぞれ設けられている。薬液流路２３は、側面２０ｂ及び側面２０ｃの略中央において、側面２０ｂから側面２０ｃへと貫通している。ヒータ挿入孔２４は、第２気体流路２２と薬液流路２３との間において、側面２０ｂから側面２０ｃへと貫通している。熱電対挿入孔２５ａ，２５ｂは、薬液流路２３とヒータ挿入孔２４との間において、側面２０ｂから側面２０ｃへと貫通している。

第２ハウジング２０には、締結部材等により、第１ブロック２６、第２ブロック２７、薬液ブロック２８が取り付けられている。

第１ブロック２６は、第２ハウジング２０の上記上面２０ａに取り付けられている。第１ブロック２６には、その下面から上面へと貫通する第１ブロック流路２６ａが設けられている。第１ブロック流路２６ａの一端は、上記第１気体流路２１に接続している。第１ブロック流路２６ａの他端には、第１気体配管２６ｂが接続されている。そして、第１気体配管２６ｂから第１ブロック２６へ気体が導入される。

第２ブロック２７は、第２ハウジング２０の上記側面２０ｃに取り付けられている。第２ブロック２７には、その側面から上面へと貫通する第２ブロック流路２７ａが設けられている。第２ブロック流路２７ａの一端は、上記第２気体流路２２に接続している。第２ブロック流路２７ａの他端には、第２気体配管２７ｂが接続されている。そして、第２ブロック２７から第２気体配管２７ｂへ気体が排出される。

薬液ブロック２８は、第２ハウジング２０の上記側面２０ｃに取り付けられている。薬液ブロック２８には、その側面から下面へと貫通する薬液ブロック流路２８ａが設けられている。薬液ブロック流路２８ａの一端は、上記薬液流路２３に接続している。薬液ブロック流路２８ａの他端には、薬液配管２８ｂが接続されている。そして、薬液配管２８ｂから薬液ブロック２８へ薬液が導入される。

図２（ｂ），（ｃ）は、それぞれ図１の２Ｂ−２Ｂ線断面図，２ｃ−２ｃ線断面図である。図２（ｂ），（ｃ）を併せて参照すると、液体制御装置３０は、本体３１を備えている。

本体３１は、上記柱状空間Ｓに対応して底面長円形の柱状に形成されており、柱状空間Ｓよりも一回り小さく形成されている。上述したように、第１ハウジング１１の柱状空間Ｓには、開口部１２から液体制御装置３０が挿入されている。そして、液体制御装置３０は、本体３１に形成された貫通孔Ｂに締結部材を用いて、第２ハウジング２０の側面２０ｂに取り付けられている。これにより、上記第１ハウジング１１の内周面と本体３１との間には、長円形の筒状の隙間が形成されている。本体３１において、第２ハウジング２０の側面２０ｂに対向する面は側面３１ｂとなっている。

本体３１には、第１本体流路３３、第２本体流路３４、薬液流路３５、ヒータ挿入孔３６、熱電対挿入孔３７ａ，３７ｂ、及び凹部３８が形成されている。

第１本体流路３３は、本体３１においてその側面から上面へと貫通している。第１本体流路３３の一端は、上記第１気体流路２１に接続している。第１本体流路３３の他端は、第２ハウジング２０から第１ハウジング１１への方向（本体３１の上面３１ｃの短手方向）において、本体３１の略中央で開口している。

第２本体流路３４は、本体３１においてその側面から上面へと貫通している。第２本体流路３４の一端は、上記第２気体流路２２に接続している。第２本体流路３４の他端は、本体３１の上面３１ｃの短手方向において、本体３１の略中央で開口している。第１本体流路３３及び第２本体流路３４は、上面３１ｃの長手方向において、両端寄りの位置にそれぞれ設けられている。

薬液流路３５は、本体３１において、側面３１ｂから上面３１ｃへと貫通している。薬液流路３５の一端は、上記薬液流路２３に接続している。薬液流路３５の他端は、本体３１の上面３１ｃの短手方向において、本体３１の略中央で開口している。

ヒータ挿入孔３６は、上記ヒータ挿入孔２４に接続しており、側面３１ｂから反対側の側面３１ｄ付近まで延びている。そして、ヒータ挿入孔２４，３６にヒータ８０が挿入されており、ヒータ８０により上面３１ｃが加熱される。

熱電対挿入孔３７ａは、上記熱電対挿入孔２５ａに接続しており、本体３１の上面３１ｃの短手方向において、本体３１の略中央まで延びている。熱電対挿入孔３７ａは、本体３１において上面３１ｃ近傍に形成されている。そして、熱電対挿入孔２５ａ，３７ａに第１熱電対８３（温度センサ）が挿入されており、第１熱電対８３により上面３１ｃ近傍の温度が検出される。

熱電対挿入孔３７ｂは、上記熱電対挿入孔２５ｂに接続しており、本体３１の上面３１ｃの短手方向において、本体３１の中央よりも手前（約１／４の位置）まで延びている。熱電対挿入孔３７ｂは、本体３１において下面３１ｅ寄りの位置に形成されている。そして、熱電対挿入孔２５ｂ，３７ｂに第２熱電対８４（温度センサ）が挿入されており、第２熱電対８４により下面３１ｅ寄りの位置の温度が検出される。

本体３１において、上記第１ハウジング１１の挿入孔１３に対向する位置には、凹部３８が形成されている。挿入孔１３及び凹部３８には、弁装置６０が挿入されており、締結部材等により本体３１に弁装置６０が取り付けられている。本体３１と弁装置６０との間は、シール部材によりシールされている。凹部３８は、上記薬液流路３５と連通している。薬液流路３５と凹部３８との連通部分には、弁座３９が設けられている。本体３１には、作動気体流路４０が形成されている。作動気体流路４０は、第１ハウジング１１の上面１１ｃの長手方向において第１ハウジング１１の側面１１ｄから第１ハウジング１１の略中央まで延び、上面１１ｃの短手方向へ曲がって挿入孔１３に連通している。そして、液体制御装置３０の制御部により、作動気体流路４０への作動気体の導入及び排出が制御される。

弁装置６０は、本体６１、ピストン６２、ダイアフラム弁体６３、ばね６４、ばね押さえ６５等を備えている。

本体６１は、円筒状に形成されており、その内部にピストン６２が収容されている。本体６１及びピストン６２は、互いの中心軸線が一致している。

ピストン６２は、本体６１によって、中心軸線方向に摺動可能に支持されている。本体６１と第１ハウジング１１との間、本体６１と液体制御装置３０の本体３１との間、及び本体６１とピストン６２との間は、それぞれシール部材によってシールされている。

ピストン６２の先端には、ダイアフラム弁体６３の弁本体６３ａが取り付けられている。ダイアフラム弁体６３のダイアフラム６３ｂは、その外縁部が液体制御装置３０の本体３１及び本体６１によって挟持されている。

ばね６４において、その一端はピストン６２に当たっており、他端はばね押さえ６５によって支持されている。ピストン６２は、ばね６４によって、上記弁座３９の方向へ付勢されている。これにより、自然状態において、ダイアフラム弁体６３の弁本体６３ａが弁座３９に押し付けられ、上記薬液流路３５が遮断されている。

本体６１には、作動気体流路６６が形成されている。作動気体流路６６の一端は、第１ハウジング１１の作動気体流路４０に接続されている。作動気体流路６６の他端は、本体６１において、ピストン６２のフランジ部６２ａを挟んでばね６４と反対側の加圧室６７に連通している。そして、作動気体流路４０，６６を通じて、作動気体が導入されることにより、ピストン６２が弁座３９から離れる方向へ移動させられる。これにより、薬液流路３５が連通させられ、液体制御装置３０の本体３１の上面３１ｃに薬液が供給される。

次に、液体制御装置３０の構成を詳細に説明する。図３は液体制御装置３０を示す斜視図であり、図４は液体制御装置３０の本体３１を示す斜視図である。同図に示すように、液体制御装置３０は、本体３１、メッシュ４７、遮蔽部材５０、メッシュバンド５２、メッシュ押さえ５５ａ，５５ｂ、及び固定部材５６を備えている。本体３１は、薬液に対する耐腐食性が比較的高く且つ薬液の濡れ性が比較的高い材料、例えば薬液が疎水化処理液である場合には、ステンレス材又はアルミニウム材で形成されている。

本体３１の上面３１ｃには、上記第１本体流路３３が開口しており、気体の導入口３３ａが形成されている。本体３１の上面３１ｃには、上記第２本体流路３４が開口しており、気体の排出口３４ａが形成されている。本体３１の上面３１ｃ（被供給面）には、上記薬液流路３５が開口しており、薬液の供給口３５ａが形成されている。

そして、導入口３３ａと排出口３４ａとは、供給口３５ａ、熱電対挿入孔３７ａ，３７ｂ（熱電対８３，８４）及びヒータ挿入孔３６（ヒータ８０）を挟んで設けられている。供給口３５ａは、導入口３３ａと排出口３４ａとの間、詳しくは導入口３３ａと排出口３４ａとの間において若干導入口３３ａ寄りに設けられている。

供給口３５ａは、導入口３３ａと、熱電対挿入孔３７ａ，３７ｂ及びヒータ挿入孔３６との間に設けられている。すなわち、供給口３５ａは、熱電対挿入孔３７ａ，３７ｂ及びヒータ挿入孔３６よりも、導入口３３ａ側に設けられている。

熱電対挿入孔３７ａ，３７ｂ及びヒータ挿入孔３６は、供給口３５ａと排出口３４ａとの間に設けられている。すなわち、熱電対挿入孔３７ａ，３７ｂ及びヒータ挿入孔３６は、供給口３５ａよりも排出口３４ａ側に設けられている。

熱電対挿入孔３７ａ，３７ｂは、ヒータ挿入孔３６よりも供給口３５ａ側に設けられている。熱電対挿入孔３７ａは、熱電対挿入孔３７ｂよりも供給口３５ａ側に設けられている。

排出口３４ａは、導入口３３ａよりも大きく形成されている。詳しくは、導入口３３ａから排出口３４ａへ向かう方向に垂直な方向（上面３１ｃの短手方向）において、排出口３４ａは導入口３３ａよりも長く延びている。

本体３１の上面３１ｃには、排出口３４ａに連通する集気溝３４ｂが形成されている。上面３１ｃの短手方向において、集気溝３４ｂは、排出口３４ａの両端からそれぞれ延びている。集気溝３４ｂは、上面３１ｃの短手方向において、全長にわたって設けられている。導入口３３ａから排出口３４ａへ向かう方向（上面３１ｃの長手方向）において、集気溝３４ｂの幅は排出口３４ａの幅よりも若干狭く形成されている。集気溝３４ｂの深さは、導入口３３ａから排出口３４ａの方向へ流通する気体を、集気溝３４ｂに沿って排出口３４ａへと集めることのできる深さ、例えば０．２〜０．５ｍｍに設定されている。

本体３１の上面３１ｃには、供給口３５ａから、ヒータ挿入孔３６（ヒータ８０）と反対側、及び熱電対挿入孔３７ａ，３７ｂ（熱電対８３，８４）と反対側への薬液の広がりを抑制する抑制溝４１（溝）が形成されている。抑制溝４１は、円弧部分４１ａ、第１直線部４１ｂ、及び第２直線部４１ｃを備えている。

円弧部分４１ａは、半円の円弧として形成されており、ヒータ挿入孔３６側、及び熱電対挿入孔３７ａ，３７ｂ側を除いて供給口３５ａの周囲を囲んでいる。すなわち、円弧部分４１ａは、供給口３５ａの導入口３３ａ側半周（排出口３４ａと反対側半周）を囲んでいる。

第１直線部４１ｂは、円弧部分４１ａの両端から、それぞれヒータ挿入孔３６側へ延びている。第１直線部４１ｂの長さは、円弧部分４１ａの半径と略等しくなっている。

第２直線部４１ｃは、各第１直線部４１ｂの端部から、上面３１ｃの短手方向のうち上面３１ｃの外側へ延びている。第２直線部４１ｃの長さは、第１直線部４１ｂの長さと略等しくなっている。第２直線部４１ｃは、上面３１ｃの長手方向において端部まで延びている。抑制溝４１の幅は例えば０．７５〜５．０ｍｍに設定されており、抑制溝４１の深さは例えば０．２〜０．５ｍｍに設定されている。

本体３１の下面３１ｅには、その長手方向の両端部に、メッシュ押さえ５５ａ，５５ｂ、及び固定部材５６を係合させる係合溝４５がそれぞれ形成されている。係合溝４５は、所定の幅及び深さで、下面３１ｅの短手方向に沿って延びるように形成されている。

メッシュ押さえ５５ａ，５５ｂは、断面「Ｌ」型の棒状に形成されている。固定部材５６は、断面「Ｔ」型の棒状に形成されている。メッシュ押さえ５５ａ，５５ｂ、及び固定部材５６の長さは、下面３１ｅの短手方向の長さと等しくなっている。

係合溝４５の幅及び深さは、第１メッシュ押さえ５５ａ、第２メッシュ押さえ５５ｂ、及び固定部材５６を順に組み付けた場合に、これらが固定されるように設定されている。なお、固定部材５６は、第２メッシュ押さえ５５ｂを本体３１に締結する締結部材として構成されていてもよい。

本体３１の曲面３１ｆには、上面３１ｃの短手方向に直線状に延びるように凹部４４がそれぞれ形成されている。

本体３１の外周には、網目状に編まれたメッシュ４７（網状体）が、上面３１ｃ及び曲面３１ｆに接するように設けられている。

メッシュ４７は、矩形状に形成されており、上面３１ｃ及び曲面３１ｆを覆うことのできる大きさで形成されている。詳しくは、上面３１ｃの短手方向の長さとメッシュ４７の短手方向の長さとが一致しており、上面３１ｃの長手方向の長さ及び曲面３１ｆの外周の長さを合わせた長さよりも、メッシュ４７の長手方向の長さが長くなっている。

そして、上面３１ｃ及び２つの曲面３１ｆに、メッシュ４７が巻き付けられている。このため、導入口３３ａ、供給口３５ａ、抑制溝４１、集気溝３４ｂ、及び排出口３４ａは、メッシュ４７によって覆われている。

メッシュ４７の編み目の粗さは、メッシュ４７の開口に薬液が膜を作り易い粗さ、例えば１インチあたりの開口数が１００である１００メッシュとなっている。詳しくは、メッシュ４７では、線径が０．１ｍｍ、線間距離が０．１５ｍｍとなっている。メッシュ４７の粗さは、メッシュ４７に対する薬液の濡れ性や、本体３１に対する薬液の濡れ性、薬液の粘度等に応じて、適切に設定することが望ましい。ここでは、上記抑制溝４１の幅はメッシュ４７の線間距離の５倍以上となっており、抑制溝４１の深さはメッシュ４７の線径の２倍以上となっている。メッシュ４７は、薬液に対する耐腐食性が比較的高く且つ薬液の濡れ性が比較的高い材料、例えば薬液が疎水化処理液である場合にはステンレス材で形成されている。

供給口３５ａに対応する位置には、供給口３５ａを覆うように遮蔽部材５０が設けられている。詳しくは、遮蔽部材５０（遮蔽部材、誘導部材）は、供給口３５ａ及びその近傍のみを覆っており、上記抑制溝４１の円弧部分４１ａ及び第１直線部４１ｂによって囲まれている。遮蔽部材５０は、メッシュ４７の外側に設けられており、メッシュ４７に接している。すなわち、遮蔽部材５０はメッシュ４７に対して本体３１側と反対側で接しており、本体３１の上面３１ｃと遮蔽部材５０とでメッシュ４７を挟んでいる。

このため、遮蔽部材５０は本体３１の上面３１ｃに接しておらず、メッシュ４７によって上面３１ｃと遮蔽部材５０との間に薬液の流路が確保されている。遮蔽部材５０も、薬液に対する耐腐食性が比較的高く且つ薬液の濡れ性が比較的高い材料で形成されている。

本体３１（メッシュ４７）の外周には、導入口３３ａから排出口３４ａの方向（上面３１ｃの長手方向）に沿って延びるように、網目状に編まれたメッシュバンド５２が設けられている。

メッシュバンド５２（誘導部材）は、導入口３３ａ、供給口３５ａ（遮蔽部材５０）、及び排出口３４ａを覆っている。すなわち、メッシュバンド５２は、導入口３３ａから、順に供給口３５ａ、熱電対挿入孔３７ａ，３７ｂ（熱電対８３，８４）、ヒータ挿入孔２４(ヒータ８０)、排出口３４ａへ向かって延びている。

メッシュバンド５２は、メッシュ４７及び遮蔽部材５０の外側に設けられており、メッシュ４７及び遮蔽部材５０に接している。すなわち、メッシュバンド５２はメッシュ４７に対して本体３１側と反対側で接しており、本体３１の上面３１ｃとメッシュバンド５２とでメッシュ４７を挟んでいる。また、メッシュ４７とメッシュバンド５２とで遮蔽部材５０を挟んでいる。

メッシュバンド５２は、矩形状（帯状）に形成されており、導入口３３ａ及び遮蔽部材５０（供給口３５ａ）を覆うことのできる大きさで形成されている。詳しくは、遮蔽部材５０の径とメッシュバンド５２の短手方向の長さとが略等しくなっており、抑制溝４１の２つの第１直線部４１ｂ同士の間隔よりも、メッシュバンド５２の短手方向の長さが短くなっている。上面３１ｃの長手方向の長さ及び曲面３１ｆの外周の長さを合わせた長さよりも、メッシュバンド５２の長手方向の長さが長くなっている。

そして、上面３１ｃ及び２つの曲面３１ｆに、メッシュ４７が巻き付けられている。メッシュバンド５２の編み目の粗さも、メッシュバンド５２の開口に薬液が膜を作り易い粗さ、例えば１インチあたりの開口数が１００である１００メッシュとなっている。メッシュバンド５２も、薬液に対する耐腐食性が比較的高く且つ薬液の濡れ性が比較的高い材料で形成されている。

上記メッシュ４７及びメッシュバンド５２の長手方向の両端部は、それぞれメッシュ押さえ５５ａ，５５ｂ、及び固定部材５６によって固定されている。詳しくは、係合溝４５内において、メッシュ４７及びメッシュバンド５２の端部は、第１メッシュ押さえ５５ａによって押さえられており、第１メッシュ押さえ５５ａは第２メッシュ押さえ５５ｂによって押さえられている。

メッシュ４７及びメッシュバンド５２の端部は、第１メッシュ押さえ５５ａと第２メッシュ押さえ５５ｂとの間から外側へと導かれている。すなわち、メッシュ４７及びメッシュバンド５２の端部は、第１メッシュ押さえ５５ａと第２メッシュ押さえ５５ｂとで挟み込まれている。

そして、第２メッシュ押さえ５５ｂが固定部材５６によって押さえられた状態で、固定部材５６が係合溝４５に係合させられている。これにより、メッシュ押さえ５５ａ，５５ｂ、及び固定部材５６は、係合溝４５に係合した状態で固定されている。なお、図示は省略するが、固定部材５６がねじで構成されている場合には、第２メッシュ押さえ５５ｂがねじによって本体３１に締結されている。

ここで、メッシュ４７及びメッシュバンド５２は、それらの長手方向に引っ張られた状態で固定されている。このため、本体３１の上面３１ｃ及び曲面３１ｆにメッシュ４７が密着した状態となっており、メッシュ４７にメッシュバンド５２が密着した状態となっている。また、遮蔽部材５０は、メッシュ４７及びメッシュバンド５２に密着した状態となっている。

次に、液体制御装置３０を組み立てる手順を説明する。図５は、液体制御装置３０の分解斜視図である。同図に示すように、上記遮蔽部材５０は、円板状の円板部５０ａと、針状のピン５０ｂとを備えている。円板部５０ａ（第１部分）の中心には、貫通孔５０ｃが形成されている。ピン５０ｂ（第２部分）において、一端は針状に尖った尖端部となっており、他端は他の部分よりも径の大きい頭部となっている。ピン５０ｂの頭部の径は貫通孔５０ｃの径よりも大きくなっており、ピン５０ｂの頭部以外の部分の径は貫通孔５０ｃの径よりも小さくなっている。ピン５０ｂの尖端部の径は、上記メッシュ４７の線間距離０．１５ｍｍよりも小さくなっている。

まず、本体３１の上面３１ｃの長手方向とメッシュ４７の長手方向とを合わせて、本体３１の外周にメッシュ４７を巻き付ける。このとき、メッシュ４７は、上面３１ｃ及び曲面３１ｆの全体を覆って、更に両端が余った状態となる。

次に、メッシュ４７の外側から供給口３５ａを覆うように、遮蔽部材５０の円板部５０ａを配置する。このとき、供給口３５ａの中心の位置と、円板部５０ａの中心（貫通孔５０ｃ）の位置とを合わせる。そして、円板部５０ａの貫通孔５０ｃにピン５０ｂを尖端部から挿入し、メッシュ４７を貫通させてピン５０ｂを供給口３５ａへ挿入する。このとき、ピン５０ｂの尖端部の径はメッシュ４７の線間距離よりも小さくなっているため、メッシュ４７の線材と線材との間に尖端部を挿入することができる。そして、ピン５０ｂの頭部を円板部５０ａに当てて、ピン５０ｂの挿入を完了する。

次に、本体３１の上面３１ｃの長手方向とメッシュバンド５２の長手方向とを合わせて、本体３１の外周にメッシュバンド５２を巻き付ける。詳しくは、導入口３３ａ、供給口３５ａ（遮蔽部材５０）、及び排出口３４ａに重なるように、メッシュバンド５２を巻き付ける。このとき、メッシュバンド５２は、上面３１ｃ及び曲面３１ｆを覆って、更に両端が余った状態となる。

次に、図２（ｂ），（ｃ）及び図３に示すように、係合溝４５において第１メッシュ押さえ５５ａによって、メッシュ４７及びメッシュバンド５２の両端部をそれぞれ仮止めする。この状態、又は第２メッシュ押さえ５５ｂによって第１メッシュ押さえ５５ａを押さえた状態で、メッシュ４７及びメッシュバンド５２をそれぞれ長手方向に引っ張る。これにより、メッシュ４７及びメッシュバンド５２の皺を伸ばすとともに、メッシュ４７及びメッシュバンド５２に張力が発生した状態とする。そして、固定部材５６によってメッシュ押さえ５５ａ，５５ｂを固定して、液体制御装置３０の組み立てを終了する。

こうして組み立てられた液体制御装置３０は、上述したように、本体３１に形成された貫通孔Ｂに締結部材を用いて、第２ハウジング２０の側面２０ｂに取り付けられている。そして、上記第１ハウジング１１の内周面と本体３１との間には、長円形の筒状の隙間が形成されている。

メッシュ４７及びメッシュバンド５２が本体３１の外周に巻き付けられて固定された状体では、メッシュ４７及びメッシュバンド５２と上記曲面３１ｆの凹部４４との間に隙間が生じることとなる。そこで、凹部４４に係合するように、本体３１とメッシュ４７及びメッシュバンド５２との間に、本体３１の軸線方向（上面３１ｃの短手方向）から挿入部材５７が挿入されている。

挿入部材５７は、丸棒状に形成されており、その断面の半径は凹部４４の曲率半径と略等しくなっている。挿入部材５７の先端部は、他の部分よりも若干細くなっており、その先端部からメッシュ４７及びメッシュバンド５２を凹部４４へ押し付けつつ挿入されている。これにより、凹部４４とメッシュ４７及びメッシュバンド５２との間の隙間が縮められ、メッシュ４７及びメッシュバンド５２に発生する張力を増加させることができる。その結果、メッシュ４７及びメッシュバンド５２が、本体３１に強く密着させられた状態となる。

次に、本体３１の上面３１ｃに接した薬液を、メッシュ４７、メッシュバンド５２、及び遮蔽部材５０によって広げる原理について説明する。図６は、メッシュ４７の拡大平面図である。メッシュ４７は、縦線材４８ａ，４８ｂ，４８ｃ，４８ｄと横線材４９ａ，４９ｂ，４９ｃ，４９ｄとを、相互に網目状に編む（織る）ことによって形成されている。

メッシュ４７には、平面視において縦線材及び横線材で囲まれた網目空間が形成されている。網目空間は、直方体（平面視において正方形）であり、メッシュ４７の縦方向及び横方向に等間隔で形成されている。例えば、網目空間Ｔ１は、２本の縦線材４８ｂ，４８ｃと２本の横線材４９ｂ，４９ｃとによって囲まれた微細な空間（０．１５ｍｍ×０．１５ｍｍ×メッシュ４７の厚み）である。

網目空間Ｔ１は微細な空間であるため、線材４８ｂ，４８ｃ，４９ｂ，４９ｃと薬液との間には比較的大きな分子間力が作用する。その結果、網目空間Ｔ１に薬液が吸引され、網目空間Ｔ１を閉じるように薬液の膜が形成される（毛細管現象）。この状態では、薬液が各網目空間に吸引されており、薬液がメッシュ４７の面に沿って広がろうとする作用は比較的小さい。

図７は、本体３１の上面３１ｃ及びメッシュ４７の拡大断面図である。同図に示すように、本体３１の上面３１ｃとメッシュ４７との間には、側面視において上面３１ｃ、縦線材及び横線材で囲まれた流通空間Ｔ２が形成されている。流通空間Ｔ２は、上面３１ｃと、縦線材及び横線材との間の隙間を接続した空間であり、上面３１ｃに沿って広がっている。

縦線材４８ａ，４８ｂ，４８ｃ，４８ｄが上面３１ｃに接する部分（線材同士の交差部分）では、横線材４９ａ，４９ｂ，４９ｃ，４９ｄは上面３１ｃから離れている。一方、横線材４９ａ，４９ｂ，４９ｃ，４９ｄが上面３１ｃに接する部分（線材同士の交差部分）では、縦線材４８ａ，４８ｂ，４８ｃ，４８ｄは上面３１ｃから離れている。このため、流通空間Ｔ２は、縦線材及び横線材によって遮断されることはなく、上面３１ｃに沿って連続している。

そして、上面３１ｃと縦線材及び横線材との間には、多数の微細な界面が形成されている。したがって、上面３１ｃに供給された薬液は、多数の微細な界面における界面張力により、流通空間Ｔ２を通じて上面３１ｃに沿って広がることとなる（毛細管現象）。さらに、薬液は、上面３１ｃ、縦線材及び横線材に対して濡れ性を有しているため、上面３１ｃに沿った薬液の広がりが促進される。

図８は、本体３１の上面３１ｃ及びメッシュ４７の拡大断面図である。ここでは、横線材４９ｂの一部が上面３１ｃから離れており、ギャップＧが生じた状態を示している。このような状態であっても、流通空間Ｔ２では界面張力により薬液が広げられる。すなわち、上面３１ｃと縦線材及び横線材とは、一部が離れていてもよい。

図９は、本体３１の上面３１ｃ、メッシュ４７、及びメッシュバンド５２の拡大断面図である。同図に示すように、上記流通空間Ｔ２に加えて、メッシュ４７とメッシュバンド５２との間には、側面視においてメッシュ４７の縦線材及び横線材と、メッシュバンド５２の縦線材及び横線材とで囲まれた流通空間Ｔ３が形成されている。流通空間Ｔ３は、メッシュ４７の縦線材及び横線材と、メッシュバンド５２の縦線材及び横線材との間の隙間を接続した空間であり、上面３１ｃと略平行に沿って広がっている。

メッシュバンド５２の縦線材５３ａ，５３ｂ，５３ｃ，５３ｄがメッシュ４７の横線材に接する部分（線材同士の交差部分）では、メッシュバンド５２の横線材はメッシュ４７の横線材から離れている。一方、メッシュバンド５２の横線材がメッシュ４７の縦線材に接する部分（線材同士の交差部分）では、メッシュバンド５２の縦線材５３ａ，５３ｂ，５３ｃ，５３ｄはメッシュ４７の縦線材から離れている。このため、流通空間Ｔ３は、縦線材及び横線材によって遮断されることはなく、上面３１ｃと略平行に連続している。

そして、メッシュ４７の縦線材及び横線材とメッシュバンド５２の縦線材及び横線材との間には、多数の微細な界面が形成されている。したがって、上面３１ｃに供給された薬液は、多数の微細な界面における界面張力により、流通空間Ｔ２を通じて上面３１ｃに沿って広がるとともに、流通空間Ｔ３を通じて上面３１ｃと略平行に広がることとなる（毛細管現象）。さらに、薬液は、上面３１ｃ、メッシュ４７の縦線材及び横線材、並びにメッシュバンド５２の縦線材及び横線材に対して濡れ性を有しているため、薬液の広がりが促進される。なお、同図では、メッシュ４７の縦線材とメッシュバンド５２の縦線材との位置、及びメッシュ４７の横線材とメッシュバンド５２の横線材との位置が、互いに一致している状態を示したが、これらが互いにずれていてもよい。

図１０は、本体３１の上面３１ｃ、メッシュ４７、及び遮蔽部材５０の拡大断面図である。同図に示すように、上記流通空間Ｔ２に加えて、遮蔽部材５０の円板部５０ａとメッシュ４７との間には、側面視において円板部５０ａ、縦線材及び横線材で囲まれた流通空間Ｔ４が形成されている。流通空間Ｔ４は、上記流通空間Ｔ２と同様に形成されており、円板部５０ａの下面と、縦線材及び横線材との間の隙間を接続した空間であり、円板部５０ａの下面に沿って広がっている。

したがって、上面３１ｃに供給された薬液は、多数の微細な界面における界面張力により、流通空間Ｔ２を通じて上面３１ｃに沿って広がるとともに、流通空間Ｔ４を通じて円板部５０ａの下面に沿って広がることとなる（毛細管現象）。さらに、薬液は、上面３１ｃ、円板部５０ａの下面、縦線材及び横線材に対して濡れ性を有しているため、薬液の広がりが促進される。

次に、図１，３を参照して、液体気化器１０の作用を説明する。ここでは、液体制御装置３０により気化させられる薬液（例えば疎水化処理液）を、不活性ガス（例えば窒素）と混合して次の装置へと供給する場合を例として説明する。

第１気体配管２６ｂから不活性ガスが導入されると、第１気体流路２１及び第１本体流路３３を通じて、本体３１の導入口３３ａから第１ハウジング１１内の柱状空間Ｓへと不活性ガスが導入される。この不活性ガスは、第１ハウジング１１の内周面と液体制御装置３０の本体３１との間に形成される隙間を流通して、液体制御装置３０により気化された疎水化処理液と混合して排出口３４ａへ流入する。排出口３４ａへ流入した混合ガスは、第２本体流路３４及び第２気体流路２２を通じて、第２気体配管２７ｂから排出される。第２気体配管２７ｂは次の装置に接続されており、第２気体配管２７ｂから排出される混合ガスは次の装置へと供給される。

薬液配管２８ｂから薬液が供給されると、薬液流路２３，３５を通じて、本体３１の供給口３５ａから上面３１ｃへと薬液が供給される。このとき、供給口３５ａから供給される薬液は、供給口３５ａを覆う遮蔽部材５０に当たるため、薬液がメッシュ４７やメッシュバンド５２を通過して噴出されることが抑制される。また、遮蔽部材５０のピン５０ｂが供給口３５ａに挿入されているため、遮蔽部材５０に薬液の圧力が作用したとしても、遮蔽部材５０が供給口３５ａからずれることが抑制される。さらに、ピン５０ｂを、供給口３５ａに対する遮蔽部材５０の位置決めに利用することもできる。

本体３１の上面３１ｃと遮蔽部材５０の円板部５０ａとの間では、図１０に示したように、供給された薬液は、多数の微細な界面における界面張力により、流通空間Ｔ２を通じて上面３１ｃに沿って広がるとともに、流通空間Ｔ４を通じて円板部５０ａの下面に沿って広がる。したがって、この部分では、上面３１ｃに対してメッシュ４７のみが設けられている部分よりも、薬液が速く広がることとなる。

薬液は、遮蔽部材５０の円板部５０ａの下を流通して更に周囲へと広がる。上面３１ｃに対してメッシュ４７のみが設けられている部分では、図７に示したように、薬液は、多数の微細な界面における界面張力により、流通空間Ｔ２を通じて上面３１ｃに沿って広がる。一方、上面３１ｃに対してメッシュ４７及びメッシュバンド５２が設けられている部分では、図９に示したように、薬液は、多数の微細な界面における界面張力により、流通空間Ｔ２を通じて上面３１ｃに沿って広がるとともに、流通空間Ｔ３を通じて上面３１ｃと略平行に広がる。したがって、遮蔽部材５０の円板部５０ａの下を流通した薬液は、メッシュバンド５２に沿って優先的に広がることとなる。

また、上面３１ｃに沿って遮蔽部材５０の周囲へと広がった薬液の一部は、上面３１ｃの抑制溝４１に到達する。抑制溝４１が形成された部分では、上面３１ｃとメッシュ４７との間に界面が形成されないため、薬液の広がりが抑制される。ここで、抑制溝４１の円弧部分４１ａは、ヒータ挿入孔３６（ヒータ８０）側及び熱電対挿入孔３７ａ，３７ｂ（熱電対８３，８４）側を除いて供給口３５ａの周囲を囲んでいるため、ヒータ８０及び熱電対８３，８４側以外の方向への薬液の広がりが抑制される。その結果、ヒータ８０側及び熱電対８３，８４側へ流通する薬液の量が増加し、ヒータ８０側及び熱電対８３，８４側へ薬液の広がりが促進される。抑制溝４１の第１直線部分４１ｂ及び第２直線部４１ｃによっても、ヒータ８０側及び熱電対８３，８４側への薬液の広がりが促進される。

ヒータ挿入孔３６にはヒータ８０が挿入されており、ヒータ８０により本体３１の上面３１ｃが加熱される。ここで、メッシュバンド５２及び抑制溝４１により、ヒータ８０側への薬液の広がりが促進されるため、ヒータ８０により薬液を加熱する効率を向上させることができる。さらに、メッシュバンド５２は網目状に編まれて形成されているため、メッシュバンド５２が板状や膜状に形成されている場合と比較して、メッシュバンド５２を介した薬液の蒸発が促進される。したがって、メッシュバンド５２により、薬液の良好な蒸発を維持しつつ、ヒータ８０側への薬液の広がりを促進させることができる。

上面３１ｃに供給された薬液が蒸発した場合には、その気化熱により上面３１ｃの温度が低下する。このため、第１熱電対８３により上面３１ｃ近傍の温度を検出することにより、薬液の気化度合を推測することができる。ここで、メッシュバンド５２及び抑制溝４１により、第１熱電対８３側への薬液の広がりが促進されるため、薬液の気化による上面３１ｃの温度低下が第１熱電対８３の検出値に敏感に反映される。したがって、薬液の気化度合を推測する精度を向上させることができる。なお、第２熱電対８４により本体３１の下面３１ｅ寄りの位置の温度を検出することができるため、この検出値をヒータ８０により上面３１ｃを加熱する制御に利用することもできる。

また、導入口３３ａから導入された不活性ガスは、供給口３５ａ、第１熱電対８３、ヒータ８０の上を順に通過して、排出口３４ａから排出される。このため、不活性ガスによっても、供給口３５ａからヒータ８０側及び熱電対８３，８４側への薬液の広がりが促進される。

以上詳述した本実施形態は以下の利点を有する。

・メッシュ４７は、網目状に編まれ、本体３１の上面３１ｃに接するように設けられているため、上面３１ｃとメッシュ４７との間に複数の界面が形成される。したがって、上面３１ｃに供給された薬液は、複数の界面における界面張力により、上面３１ｃに沿って広がることとなる。

ここで、メッシュ４７に対して本体３１側と反対側で接するようにメッシュバンド５２が設けられているため、メッシュ４７とメッシュバンド５２との間にも複数の界面が形成される。したがって、メッシュ４７とメッシュバンド５２との間においても、界面張力により薬液を広げることができる。このため、メッシュバンド５２の設けられた部分では、薬液の広がりを他の部分よりも促進させることができる。その結果、メッシュバンド５２の配置を調整することにより、上面３１ｃに接した薬液を所望の方向へ優先的に広げることができる。

・メッシュバンド５２は網目状に編まれて形成されているため、メッシュバンド５２が板状や膜状に形成されている場合と比較して、メッシュバンド５２を介した薬液の蒸発を促進させることができる。

・メッシュ４７及びメッシュバンド５２は、供給口３５ａを覆うように設けられているため、供給口３５ａから供給された薬液は、直ちにメッシュバンド５２に沿って優先的に広げられる。したがって、供給口３５ａから供給された薬液を、所望の方向へ効率的に広げることができる。

・板状に形成された遮蔽部材５０の円板部５０ａが、供給口３５ａを覆うように設けられている。このため、供給口３５ａから供給された薬液が、メッシュ４７及びメッシュバンド５２を通過して噴出されることを抑制することができる。

・供給口３５ａ及びその近傍のみが遮蔽部材５０により覆われるため、供給口３５ａから供給された薬液が噴出されることを抑制しつつ、薬液の蒸発が遮蔽部材５０により妨げられることを抑制することができる。

・遮蔽部材５０の円板部５０ａから突出するピン５０ｂが供給口３５ａに挿入されているため、遮蔽部材５０に薬液の圧力が作用したとしても、遮蔽部材５０が供給口３５ａからずれることを抑制することができる。さらに、ピン５０ｂを、供給口３５ａに対する遮蔽部材５０の位置決めに利用することもできる。

・メッシュバンド５２は、供給口３５ａからヒータ８０へ向かって延びているため、供給口３５ａから供給された薬液をヒータ８０の方向へ優先的に広げることができる。その結果、薬液をヒータ８０によって効率的に加熱することができる。

・上面３１ｃに設けられた抑制溝４１により、供給口３５ａからヒータ８０と反対側への薬液の広がりが抑制される。そして、ヒータ８０と反対側への薬液の広がりを抑制することにより、ヒータ８０側への薬液の広がりを促進させることができる。その結果、ヒータ８０による薬液の加熱を促進させることができる。さらに、抑制溝４１の円弧部分４１ａは、ヒータ８０側を除いて供給口３５ａの周囲を囲んでいるため、ヒータ８０側以外の方向への薬液の広がりが抑制される。したがって、ヒータ８０側への薬液の広がりを更に促進させることができる。

・本体３１の内部から導入口３３ａを通じて上面３１ｃの周囲の柱状空間Ｓへ不活性ガスが導入され、その柱状空間Ｓから排出口３４ａを通じて本体３１の内部へ不活性ガスが排出される。このとき、上面３１ｃに接した薬液は、不活性ガスの流れ方向への広がりが促進される。そして、不活性ガスの導入口３３ａと排出口３４ａとは、ヒータ８０を挟んで設けられているため、ヒータ８０を通過する方向への薬液の広がりを促進させることができる。その結果、ヒータ８０による薬液の加熱を促進させることができる。

・供給口３５ａは、ヒータ８０よりも不活性ガスの導入口３３ａ側に設けられているため、導入口３３ａから排出口３４ａへの不活性ガスの流れによって、ヒータ８０側への薬液の広がりが促進される。したがって、供給口３５ａから供給された薬液を、ヒータ８０側へ効率的に広げることができる。

・メッシュバンド５２は、熱電対８３，８４へ向かって延びているため、上面３１ｃに接した薬液を熱電対８３，８４の方向へ優先的に広げることができる。その結果、薬液の気化による上面３１ｃの温度低下が、熱電対８３，８４の検出値に敏感に反映されるため、薬液の気化度合を推測する精度を向上させることができる。さらに、メッシュバンド５２は、供給口３５ａから熱電対８３，８４へ向かって延びているため、供給口３５ａから供給された薬液を熱電対８３，８４の方向へ優先的に広げることができる。その結果、供給口３５ａから熱電対８３，８４方向への薬液の広がりが安定するため、薬液の気化による上面３１ｃの温度低下を安定させることができる。

・上面３１ｃに設けられた抑制溝４１により、供給口３５ａから熱電対８３，８４と反対側への薬液の広がりが抑制される。そして、熱電対８３，８４と反対側への薬液の広がりを抑制することにより、熱電対８３，８４側への薬液の広がりを促進させることができる。その結果、薬液の気化度合を推測する精度を向上させることができる。さらに、抑制溝４１の円弧部分４１ａは、熱電対８３，８４側を除いて供給口３５ａの周囲を囲んでいるため、熱電対８３，８４以外の方向への薬液の広がりが抑制される。したがって、熱電対８３，８４側への薬液の広がりを更に促進させることができる。

・本体３１の内部から導入口３３ａを通じて上面３１ｃの周囲の柱状空間Ｓへ不活性ガスが導入され、その柱状空間Ｓから排出口３４ａを通じて本体３１の内部へ不活性ガスが排出される。このとき、上面３１ｃに接した薬液は、不活性ガスの流れ方向への広がりが促進される。そして、不活性ガスの導入口３３ａと排出口３４ａとは、熱電対８３，８４を挟んで設けられているため、熱電対８３，８４を通過する方向への薬液の広がりを促進させることができる。その結果、薬液の気化度合を推測する精度を向上させることができる。

・供給口３５ａは、熱電対８３，８４よりも不活性ガスの導入口３３ａ側に設けられているため、導入口３３ａから排出口３４ａへの不活性ガスの流れによって、熱電対８３，８４側への薬液の広がりが促進される。したがって、供給口３５ａから供給された薬液を、熱電対８３，８４側へ効率的に広げることができる。

なお、上記実施形態を、次のように変形して実施することもできる。上記実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。

・図１１は、メッシュバンド５２の変形例を示す斜視図である。同図に示すように、メッシュバンド１５２は、図３のメッシュバンド５２に相当する本体部１５２ａと、本体部１５２ａから分岐する分岐部１５２ｂと、端部１５２ｃとを備えている。分岐部１５２ｂは、本体部１５２ａにおいて遮蔽部材５０（本体３１の供給口３５ａ）に重なる位置から、ヒータ挿入孔３６（ヒータ８０）の方向へ斜めに分岐している。そして、分岐部１５２ｂの端部１５２ｃが折り曲げられており、本体３１の上面３１ｃとメッシュ４７との間に挿入されている。こうした構成によれば、供給口３５ａから供給された薬液を、本体部１５２ａ、及び２つの分岐部１５２ｂの方向へ優先的に広げることができる。したがって、ヒータ８０の設けられた範囲に対して、より広く薬液を広げることができる。その結果、ヒータ８０により薬液を加熱する効率を向上させることができる。また、分岐部１５２ｂの端部１５２ｃを折り曲げて隙間に挿入することにより、メッシュ４７に分岐部１５２ｂが密着した状態を容易に維持することができる。

・図１２は、液体制御装置３０の本体３１の変形例を示す斜視図である。同図に示すように、本体１３１には、上面３１ｃの対角線上に導入口３３ａ及び排出口３４ａが形成されている。こうした構成によっても、導入口３３ａから導入された不活性ガスが、供給口３５ａ、熱電対挿入孔３７ａ，３７ｂ（熱電対８３，８４）、ヒータ挿入孔３６（ヒータ８０）の上を順に通過して、排出口３４ａから排出される。したがって、不活性ガスによって、供給口３５ａからヒータ８０側及び熱電対８３，８４側への薬液の広がりを促進することができる。

また、本体１３１の上面３１ｃにおいて、供給口３５ａに対してヒータ８０及び熱電対８３，８４と反対側には、上面３１ｃの短手方向に延びる抑制溝１４１が形成されている。こうした構成によれば、供給口３５ａから、ヒータ８０及び熱電対８３，８４と反対側への薬液の広がりが抑制される。その結果、ヒータ８０側及び熱電対８３，８４側へ流通する薬液の量を増加させることができ、ヒータ８０側及び熱電対８３，８４側へ薬液の広がりを促進することができる。なお、抑制溝１４１は、上面３１ｃの短手方向に沿って直線状に延びているため、抑制溝１４１の構成を簡素化することができる。

・図１３は、液体制御装置３０の本体３１の他の変形例を示す斜視図である。同図に示すように、本体２３１には、上面３１ｃの長手方向の一端に排出口２３４ａが形成されている一方、導入口３３ａは形成されていない。すなわち、不活性ガスは、本体２３１の内部からではなく、第１ハウジング１１から導入される。詳しくは、第１ハウジング１１の内周において、排出口３４ａから離れた位置に不活性ガスの導入口が形成されている。こうした構成によっても、柱状空間Ｓに導入された不活性ガスを、排出口３４ａから排出することができる。さらに、排出口２３４ａは、上面３１ｃの短手方向の全長にわたって形成されているため、不活性ガスと気化された薬液との混合ガスを、排出口２３４ａから効率的に排出することができる。なお、不活性ガスが、第１ハウジング１１から排出されるようにすることもできる。

また、本体２３１の上面３１ｃには、直線状に延びる抑制溝２４１ａ，２４１ｂが個別に形成されている。抑制溝２４１ａ，２４１ｂは、ヒータ挿入孔３６（ヒータ８０）側、及び熱電対挿入孔３７ａ，３７ｂ（熱電対８３，８４）側を除いて、供給口３５ａの周囲を囲んでいる。こうした構成によっても、供給口３５ａから、ヒータ８０及び熱電対８３，８４と反対側への薬液の広がりが抑制される。その結果、ヒータ８０側及び熱電対８３，８４側へ流通する薬液の量を増加させることができ、ヒータ８０側及び熱電対８３，８４側へ薬液の広がりを促進することができる。さらに、２つの抑制溝２４１ｂの間隔は、ヒータ８０側及び熱電対８３，８４側ほど広くなっているため、ヒータ８０の設けられた範囲に対して、より広く薬液を広げることができる。

・図１４は、液体制御装置３０の変形例を示す斜視図である。同図に示すように、本体３３１には、２つのヒータ挿入孔３６が形成されており、各ヒータ挿入孔３６にヒータ８０が挿入される。そして、２つのヒータ８０によって、本体３３１の上面３１ｃ全体が加熱されるため、上面３１ｃには抑制溝４１等が形成されてない。

また、メッシュ４７の外周には、「Ｈ」字状のメッシュバンド３５２が巻き付けられている。メッシュバンド３５２において、中央部３５２ａは、上面３１ｃの短手方向に延びるとともに、遮蔽部材５０（供給口３５ａ）を覆うように設けられている。メッシュバンド３５２において、側部３５２ｂは、上面３１ｃの長手方向に延びるとともに、上面３１ｃの短手方向における端部寄りにそれぞれ設けられている。そして、２つの側部３５２ｂが、中央部３５２ａによって接続されている。

こうした構成によれば、供給口３５ａから供給された薬液は、中央部３５２ａに沿って上面３１ｃの短手方向に優先的に広がる。そして、薬液は、中央部３５２ａに接続した側部３５２ｂに沿って、上面３１ｃの長手方向へ優先的に広がる。したがって、２つのヒータ８０側へ、薬液を効率的に広げることができる。

・遮蔽部材５０を、メッシュバンド５２，１５２，３５２の外側に設けることもできる。また、遮蔽部材５０は、供給口３５ａを覆うものであればよく、その形状を任意に変更することができる。

・メッシュ４７やメッシュバンド５２，１５２，３５２の編み方（織り方）は、平織りに限らず、綾織り等の他の織り方を採用することもできる。また、メッシュ４７やメッシュバンド５２，１５２，３５２の粗さは、それらに対する薬液の濡れ性や、本体３１に対する薬液の濡れ性、薬液の粘度等に応じて、１００〜５００メッシュ程度の範囲で適切に設定することが望ましい。

・上記の各実施形態では、メッシュバンド５２，１５２，３５２が網目状に編まれていたが、これらを膜状に形成することもできる。この場合には、膜状に形成されたバンドが遮蔽部材５０の機能を果たすため、遮蔽部材５０を省略してもよい。また、薬液の供給圧力が低く、薬液がメッシュ４７やメッシュバンド５２，１５２，３５２を通過して噴出する可能性が低い場合にも、遮蔽部材５０を省略してもよい。反対に、遮蔽部材５０の設けられている部分には、メッシュバンド５２，１５２，３５２を設けないようにしてもよい。すなわち、遮蔽部材５０の設けられてない部分にのみ、メッシュバンド５２，１５２，３５２を設けることもできる。なお、メッシュバンド５２，１５２，３５２を、板状に形成することもできる。

・本体３１の形状は、底面長円形の柱状に限らず、直方体状等の他の形状を採用することもできる。また、本体３１の上面３１ｃ（被供給面）は、平面に限らず、曲面を採用することもできる。

・薬液として、疎水化処理液（ＨＭＤＳ）に限らず、シンナー系溶剤、シランカップリング剤等、他の薬液を採用することもできる。その際には、メッシュ４７やメッシュバンド５２，１５２，３５２の材質を、薬液との濡れ性に応じて変更することが望ましい。これらの材質として、例えばステンレス材以外の金属や樹脂等を用いることもできる。また、液体制御装置３０は、液体気化器１０に限らず、液体塗布器、成膜装置等、他の機器に適用することもできる。

１０…液体気化器、１１…第１ハウジング、２０…第２ハウジング、３０…液体制御装置、３１，１３１，２３１，３３１…本体、３１ｃ…上面（被供給面）、３３ａ…導入口、３４ａ，２３４ａ…排出口、３５ａ…供給口、４１，１４１，２４１ａ，２４１ｂ…抑制溝（溝）、４７…メッシュ（網状体）、５０…遮蔽部材（遮蔽部材、誘導部材）、５０ａ…円板部（第１部分）、５０ｂ…ピン（第２部分）、５２，１５２，３５２…メッシュバンド（誘導部材）、６０…弁装置、８０…ヒータ、８３，８４…熱電対（温度センサ）。

Claims (11)

1. 液体の広がり方を制御する液体制御装置であって、
   前記液体の供給される被供給面を有する本体と、
   網目状に編まれ、前記被供給面に接するように設けられた網状体と、
   を備え、
   前記本体の内部には、前記被供給面を加熱するヒータが設けられ、
   前記本体には、その内部から前記被供給面へ前記液体を供給する供給口が設けられ、
   前記被供給面には、前記供給口から前記ヒータと反対側への前記液体の広がりを抑制する溝が設けられていることを特徴とする液体制御装置。
2. 液体の広がり方を制御する液体制御装置であって、
   前記液体の供給される被供給面を有する本体と、
   網目状に編まれ、前記被供給面に接するように設けられた網状体と、
   を備え、
   前記本体の内部には、前記被供給面を加熱するヒータが設けられ、
   前記本体には、その内部から前記被供給面へ前記液体を供給する供給口が設けられ、
   前記被供給面には、前記ヒータ側を除いて前記供給口の周囲を囲む溝が設けられていることを特徴とする液体制御装置。
3. 前記本体には、気体の導入口と排出口とが設けられ、
   前記導入口は、前記本体の内部から前記被供給面の周囲の空間へ気体を導入する開口であり、
   前記排出口は、前記空間から前記本体の内部へ前記気体を排出する開口であり、
   前記導入口と前記排出口との間に、前記ヒータが設けられている請求項１又は２に記載の液体制御装置。
4. 前記本体には、その内部から前記被供給面へ前記液体を供給する供給口が、前記ヒータよりも前記導入口側に設けられている請求項３に記載の液体制御装置。
5. 液体の広がり方を制御する液体制御装置であって、
   前記液体の供給される被供給面を有する本体と、
   網目状に編まれ、前記被供給面に接するように設けられた網状体と、
   を備え、
   前記本体の内部には、前記被供給面の温度を検出する温度センサが設けられ、
   前記本体には、その内部から前記被供給面へ前記液体を供給する供給口が設けられ、
   前記被供給面には、前記供給口から前記温度センサと反対側への前記液体の広がりを抑制する溝が設けられていることを特徴とする液体制御装置。
6. 液体の広がり方を制御する液体制御装置であって、
   前記液体の供給される被供給面を有する本体と、
   網目状に編まれ、前記被供給面に接するように設けられた網状体と、
   を備え、
   前記本体の内部には、前記被供給面の温度を検出する温度センサが設けられ、
   前記本体には、その内部から前記被供給面へ前記液体を供給する供給口が設けられ、
   前記被供給面には、前記温度センサ側を除いて前記供給口の周囲を囲む溝が設けられていることを特徴とする液体制御装置。
7. 前記本体には、気体の導入口と排出口とが設けられ、
   前記導入口は、前記本体の内部から前記被供給面の周囲の空間へ気体を導入する開口であり、
   前記排出口は、前記空間から前記本体の内部へ前記気体を排出する開口であり、
   前記導入口と前記排出口との間に、前記温度センサが設けられている請求項５又は６に記載の液体制御装置。
8. 前記本体には、その内部から前記被供給面へ前記液体を供給する供給口が、前記温度センサよりも前記導入口側に設けられている請求項７に記載の液体制御装置。
9. 前記本体には、その内部から前記被供給面へ前記液体を供給する供給口が設けられ、
   板状又は膜状に形成された遮蔽部材が、前記供給口を覆うように設けられている請求項1〜８のいずれか１項に記載の液体制御装置。
10. 前記遮蔽部材は、前記供給口及びその近傍のみを覆うように設けられている請求項９に記載の液体制御装置。
11. 前記遮蔽部材は、前記供給口を覆う第１部分と、前記第１部分から突出する第２部分とを備え、
    前記第２部分は、前記供給口に挿入されている請求項９又は１０に記載の液体制御装置。

Images