JP5919089B2 - 液体制御装置 - Google Patents

Description

本発明は、面に接した液体の広がり及び気化を制御する液体制御装置に関する。

この種の液体制御装置において、蓄熱板の上面にメッシュを重ねて配置することにより、蓄熱板上に微細な凹凸を形成したものがある（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のものによれば、蓄熱板の上面とメッシュとの間に供給された液体が、界面張力によって広がるため、メッシュの広い面積に液体を供給することができる。そして、ヒータ８０により蓄熱板が加熱されることで、蓄熱板の上面の液体を気化させることができる。

特許文献１に記載のものでは、熱電対により蓄熱板の温度を検出し、検出された温度を使用して蓄熱板の温度をフィードバック制御している。また、熱電対により液体の気化に起因する温度変化を検出し、プロセスが正常であることを確認している。

特許第４６７３４４９号公報

ところで、特許文献１に記載のものでは、熱電対によりヒータ近傍の温度を検出しているため、ヒータの発熱量の変化により、検出される温度が変動し易い。このため、熱電対により検出される温度変化に基づいて、プロセスが正常であるか否か正確に判断できないおそれがある。

ここで、ヒータの発熱量の変化に起因する検出温度の変動を抑制するために、蓄熱板のうちヒータから離れた部分の温度を検出するように、熱電対を配置することも考えられる。しかしながら、その場合には、ヒータの発熱量の変化と検出温度との応答性が低下するため、蓄熱板の温度を目標温度に制御する際の応答性が低下することとなる。

本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その主たる目的は、温度制御での応答性を維持しつつ、液体の気化プロセスを正確に監視することのできる液体制御装置を提供することにある。

本発明は、上記課題を解決するために、以下の手段を採用した。

第１の手段は、液体の広がり及び気化を制御する液体制御装置であって、前記液体の供給される被供給面を有する本体と、前記被供給面に供給された前記液体の広がりを促進させる微細構造を有する促進部と、前記被供給面の広がり方向において前記被供給面における前記液体が供給される被供給位置から離れた位置で、前記本体の内部から前記被供給面を加熱するヒータと、前記被供給面の広がり方向において前記被供給位置と前記ヒータとの間で、前記本体の内部の第１部分の温度を検出する第１温度センサと、前記被供給面の広がり方向において前記被供給位置を挟んで前記第１部分と反対側で、前記本体の内部の第２部分の温度を検出する第２温度センサと、前記第１温度センサにより検出される前記第１部分の温度に基づいて、前記ヒータの発熱量を制御する制御部と、前記第２温度センサにより検出される前記第２部分の温度に基づいて、所定の監視処理を実行する監視部と、を備えることを特徴とする。

上記構成によれば、促進部は、被供給面に供給された液体の広がりを促進させる微細構造を有している。このため、被供給面に供給された液体は、微細構造において界面張力により、被供給面に沿って広がることとなる。そして、被供給面において液体が供給される被供給位置から、被供給面に沿って広がった液体は、ヒータにより本体の内部から加熱される。これにより、被供給面において広い面積で、液体を気化させることができる。

ここで、第１温度センサにより、被供給面の広がり方向において上記被供給位置とヒータとの間で、本体の内部の第１部分の温度が検出される。第１部分は、被供給面の広がり方向において、被供給位置よりもヒータに近い位置であるため、ヒータの発熱量の変化が迅速に反映される。そして、制御部により、第１温度センサにより検出される第１部分の温度に基づいて、ヒータの発熱量が制御される。このため、ヒータにより本体の温度を制御する際の応答性を維持することができる。

さらに、第２温度センサにより、被供給面の広がり方向において被供給位置を挟んで第１部分と反対側で、本体の内部の第２部分の温度が検出される。第２部分は、被供給面の広がり方向において、被供給位置よりもヒータから離れた位置である。このため、第２部分の温度は、ヒータの発熱量の変化の影響を受けにくく、液体の気化状態を正確に反映する。そして、監視部により、第２温度センサにより検出される第２部分の温度に基づいて、所定の監視処理が実行される。したがって、液体の気化プロセスを正確に監視することができる。なお、所定の監視処理としては、第２部分の温度をモニタ（表示部）に表示させる処理や、第２部分の温度に基づいて異常を検知又は報知する処理などを採用することができる。

第２の手段では、前記第１部分及び前記第２部分は、前記被供給面に垂直な方向において前記本体の内部の前記被供給面寄りの部分である。

上記構成によれば、第１温度センサにより、被供給面に垂直な方向において本体の内部の被供給面寄りの第１部分（本体の内部において被供給面に近い第１部分）の温度が検出される。このため、液体に接する被供給面の温度を正確に検出することができ、ひいては被供給面の温度を正確に制御することができる。また、第２温度センサにより、被供給面に垂直な方向において本体の内部の被供給面寄りの第２部分（本体の内部において被供給面に近い第２部分）の温度が検出される。このため、被供給面での液体の気化に起因する温度変化を正確に検出することができ、ひいては被供給面での液体の気化状態を正確に監視することができる。なお、被供給面での液体の気化に起因する温度変化としては、液体の気化熱による温度低下、ヒータの加熱による液体の気化後の温度上昇等がある。

第３の手段では、画像を表示する表示部を備え、前記監視部は、前記監視処理として、前記第２温度センサにより検出される前記第２部分の温度の推移を前記表示部に表示させる。

上記構成によれば、第２温度センサにより検出される第２部分の温度の推移が表示部に表示される。このため、使用者は、表示部に表示される第２部分の温度の推移を観察して、液体の気化プロセスが正常か否か判断することができる。

第４の手段では、前記監視部は、前記監視処理として、前記第２温度センサにより検出される前記第２部分の温度に基づいて異常を検知する。

上述したように、第２部分の温度は液体の気化状態を正確に反映する。この点、上記構成によれば、第２温度センサにより検出される第２部分の温度に基づいて異常が検知されるため、液体の気化プロセスの異常を適切に検知することができる。

第５の手段では、前記監視部は、前記制御部により前記ヒータの発熱量が制御されている状態において、前記第２温度センサにより検出される前記第２部分の温度が判定温度幅を超えて低下した場合に、前記ヒータによる加熱に異常が生じていることを検知する。

制御部によりヒータの発熱量が制御されている状態では、被供給面に供給された液体はヒータにより加熱されて気化する。このため、第２部分の温度は、液体の気化により低下した後にヒータの熱により上昇する。しかしながら、ヒータによる加熱に異常が生じている場合、例えばヒータの電源がＯＦＦにされている場合には、被供給面に供給された液体がヒータにより加熱されず、第２部分の温度は正常時よりも低下することとなる。

この点、上記構成によれば、制御部によりヒータの発熱量が制御されている状態において、第２温度センサにより検出される第２部分の温度が判定温度幅を超えて低下した場合に、ヒータによる加熱に異常が生じていることが検知される。したがって、ヒータによる加熱が適切に行われていないことを検知することができる。なお、上記の場合に、監視部は、被供給面に液体が供給されたことを検知するようにしてもよい。すなわち、ヒータによる加熱に異常が生じている場合であっても、被供給面に薬液が供給されている状態では、薬液が揮発して第２部分の温度が低下することとなる。

第６の手段では、前記監視部は、前記監視処理として、前記第２温度センサにより検出される前記第２部分の温度に基づいて前記液体の気化を検知する。

上述したように、第２部分の温度は液体の気化状態を正確に反映する。この点、上記構成によれば、第２温度センサにより検出される第２部分の温度に基づいて液体の気化が検知されるため、被供給面で液体が気化したことを正確に検知することができる。

第７の手段では、前記監視部は、前記第２温度センサにより検出される前記第２部分の温度が所定温度に維持されている状態において、前記第２温度センサにより検出される前記第２部分の温度が低下した後に前記所定温度まで上昇して維持された場合に、前記液体の供給及び気化を検知する。

第１部分はヒータの発熱量の変化による影響を受け易いのに対して、第２部分はヒータの発熱量の変化による影響を受けにくい。このため、液体の供給に伴う第１部分の温度低下を補うべくヒータの発熱量が増加された場合に、第１部分の温度は上記所定温度をオーバーシュートし易いのに対して、第２部分の温度は上記所定温度をオーバーシュートしにくい。

この点、上記構成によれば、第２温度センサにより検出される第２部分の温度が所定温度に維持されている状態において、第２温度センサにより検出される第２部分の温度が低下した後に上記所定温度まで上昇して維持された場合に、液体の供給及び気化が検知される。したがって、被供給位置に液体が供給されたこと、及び供給された液体が気化したことを正確に検知することができる。

第８の手段では、前記監視部は、前記制御部により前記ヒータの発熱量が制御されている状態において、前記第１温度センサにより検出される前記第１部分の温度が判定温度幅を超えて低下した場合に、前記ヒータによる加熱に異常が生じていることを検知する。

ヒータによる加熱に異常が生じている場合には、被供給面に供給された液体がヒータにより加熱されず、第１部分の温度は正常時よりも低下することとなる。

この点、上記構成によれば、制御部によりヒータの発熱量が制御されている状態において、第１温度センサにより検出される第１部分の温度が判定温度幅を超えて低下した場合に、ヒータによる加熱に異常が生じていることが検知される。したがって、ヒータによる加熱が適切に行われていないことを検知することができる。なお、上記の場合に、監視部は、被供給面に液体が供給されたことを検知するようにしてもよい。

第９の手段では、前記促進部は、網目状に編まれ、前記被供給面に接するように設けられた網状体であり、前記本体とで前記網状体を挟んで前記網状体に接する誘導部材を備える。

上記構成によれば、促進部として、網目状に編まれ、上記被供給面に接するように設けられた網状体が採用されている。このため、被供給面と網状体との間に複数の界面が形成され、被供給面に供給された液体は、複数の界面における界面張力により、被供給面に沿って広がることとなる。

ここで、本体とで網状体を挟んで網状体に接する誘導部材が設けられているため、網状体と誘導部材との間にも複数の界面が形成される。したがって、網状体と誘導部材との間においても、界面張力により液体を広げることができる。このため、誘導部材の設けられた部分では、液体の広がりを他の部分よりも促進させることができる。その結果、誘導部材の配置を調整することにより、被供給面に接した液体を所望の方向へ優先的に広げることができる。

第１０の手段では、前記誘導部材は、網目状に編まれて形成されている。

上記構成によれば、誘導部材は網目状に編まれて形成されているため、誘導部材が板状や膜状に形成されている場合と比較して、誘導部材を介した液体の蒸発を促進させることができる。このため、被供給面に接した液体を所望の方向へ優先的に広げつつ、液体の蒸発を促進させることができる。

第１１の手段では、前記本体の内部には、前記液体を流通させる液体流路が設けられ、前記液体流路は、前記被供給面で開口して前記液体の供給口を形成し、前記被供給位置は、前記供給口を通じて前記被供給面へ前記液体が供給される位置であり、前記網状体及び前記誘導部材は、前記被供給面のうち前記第１部分に対応する部分、前記被供給面のうち前記第２部分に対応する部分、及び前記供給口を覆っている。

上記構成によれば、本体の内部には、液体を流通させる液体流路が設けられ、液体流路の被供給面での開口が液体の供給口を形成している。このため、本体の内部のスペースを有効に用いて、被供給面に液体を供給することができる。そして、上記被供給位置として、供給口を通じて被供給面へ液体が供給される位置を採用することができる。

さらに、網状体及び誘導部材により、被供給面のうち上記第１部分に対応する部分、被供給面のうち上記第２部分に対応する部分、及び供給口が覆われている。このため、供給口から供給された液体を、被供給面の広がり方向において第１部分の方向及び第２部分の方向へ優先的に広げることができる。したがって、被供給面のうち第１部分に対応する部分へ十分に液体を供給しつつ、第１部分の温度に基づいてヒータの発熱量を制御することができる。その結果、安定して液体が供給される状態で、液体の気化状態を制御することができる。また、被供給面のうち第２部分に対応する部分へ十分に液体を供給しつつ、第２部分の温度に基づいて所定の監視処理を実行することができる。その結果、安定して液体が供給される状態で、液体の気化プロセスを監視することができる。

第１２の手段では、前記被供給面には、前記被供給面の広がり方向において前記第２部分を挟んで前記被供給位置と反対側への前記液体の広がりを抑制する溝が設けられている。

本体の被供給面に供給された液体は、促進部の微細構造における界面張力により広がる。これに対して、被供給面に溝を形成した場合には、その溝の部分では被供給面に界面が形成されず、液体の広がりが抑制される。

このため、上記構成によれば、被供給面に設けられた溝により、被供給面の広がり方向において第２部分を挟んで被供給位置と反対側への液体の広がりが抑制される。そして、第２部分を挟んで被供給位置と反対側への液体の広がりを抑制することにより、被供給面のうち第２部分に対応する部分への液体の供給を促進させることができる。その結果、より安定して液体が供給される状態で、液体の気化プロセスを監視することができる。

第１３の手段では、前記本体の内部には、気体を流通させる第１気体流路及び第２気体流路が設けられ、前記第１気体流路は、前記被供給面で開口して前記気体の導入口を形成し、前記第２気体流路は、前記被供給面で開口して前記気体の排出口を形成し、前記導入口と前記排出口とは、前記ヒータを挟んで設けられている。

上記構成によれば、本体の内部には、気体を流通させる第１気体流路及び第２気体流路が設けられ、第１気体流路及び第２気体流路の被供給面での開口が、それぞれ気体の導入口及び排出口を形成している。このため、本体の内部のスペースを有効に用いて、被供給面の周囲の空間に気体を導入するとともに、被供給面の周囲の空間から気体を排出することができる。このとき、被供給面に接した液体は、気体の流れ方向への広がりが促進される。そして、気体の導入口と排出口とは、ヒータを挟んで設けられているため、ヒータを通過する方向への液体の広がりを促進させることができる。その結果、ヒータによる液体の加熱を促進させることができる。

第１４の手段では、前記被供給面が上側となるように前記本体が配置されており、前記第２気体流路には、前記第２気体流路よりも下方へ凹む凹部が形成されている。

上記構成によれば、被供給面が上側となるように本体が配置されており、第２気体流路には、第２気体流路よりも下方へ凹む凹部が形成されている。このため、第２気体流路内へ流入した液体は、第２気体流路に形成された凹部に溜まり、凹部よりも先へ流れにくくなる。したがって、液体が、気化されずに第２気体流路を通じて排出されることを抑制することができる。さらに、凹部に溜まった液体を、ヒータの熱により気化させることができる。

第１５の手段では、前記本体の内部における前記凹部の近傍の第３部分の温度を検出する第３温度センサを備え、前記監視部は、前記第３温度センサにより検出される前記第３部分の温度が判定温度幅を超えて低下した場合に、前記第２気体流路に前記液体が流入したことを検知する。

凹部に液体が溜まった場合には、凹部内の液体が気化することにより、凹部近傍の温度が低下することとなる。

この点、上記構成によれば、第３温度センサにより、本体の内部における凹部の近傍の第３部分の温度が検出される。そして、監視部により、第３温度センサにより検出される第３部分の温度が判定温度幅を超えて低下した場合に、第２気体流路に液体が流入したことが検知される。したがって、第２気体流路に液体が流入したことを適切に検知することができ、液体の供給を停止させる等の処置を行うことが可能となる。

第１６の手段では、前記被供給面が上側となるように前記本体が配置されており、前記被供給面の広がり方向において、前記被供給位置と前記排出口との間に集液溝が設けられている。

上記構成によれば、被供給面の広がり方向において、被供給位置と排出口との間に集液溝が設けられているため、被供給位置に供給された液体が前記排出口よりも手前の集液溝に流入し易くなる。したがって、排出口を通じて第２気体流路に液体が流入することを抑制することができる。

第１７の手段では、前記排出口の開口面の高さは、前記集液溝の開口面の高さよりも高くなっている。

上記構成によれば、排出口の開口面の高さは、集液溝の開口面の高さよりも高くなっているため、被供給面の液体は排出口よりも集液溝へ優先的に流入する。したがって、排出口を通じて第２気体流路に液体が流入することを更に抑制することができる。

第１８の手段では、前記本体の内部における前記集液溝の下方の第３部分の温度を検出する第３温度センサを備え、前記監視部は、前記第３温度センサにより検出される前記第３部分の温度が判定温度幅を超えて低下した場合に、前記集液溝に前記液体が流入したことを検知する。

上記構成によれば、第１５の手段と同様にして、集液溝に液体が流入したことを適切に検知することができ、液体の供給を停止させる等の処置を行うことが可能となる。

液体制御装置を示す図。 液体制御装置を示す図。 液体気化器を示す斜視図。 液体気化器の本体を示す斜視図。 液体気化器の分解斜視図。 メッシュの拡大平面図。 本体の上面及びメッシュの拡大断面図。 本体の上面及びメッシュの拡大断面図。 本体の上面、メッシュ、及びメッシュバンドの拡大断面図。 本体の上面、メッシュ、及び遮蔽部材の拡大断面図。 １回のポンプ動作と第１部分及び第２部分の温度との関係を示すグラフ。 連続ポンプ動作と第１部分及び第２部分の温度との関係を示すグラフ。 周期的ポンプ動作と第１部分及び第２部分の温度との関係を示すグラフ。 液体気化器の本体の変形例を示す斜視図。 液体気化器の本体の他の変形例を示す斜視図。 液体気化器の本体の他の変形例を示す斜視図。 第２気体流路周辺の変形例を示す斜視図。

以下、一実施形態について図面を参照しつつ説明する。本実施形態は、液体を広げるとともに気化させて、不活性ガスと混合させつつ排出する液体制御装置として具体化している。

図１において、（ａ）は液体制御装置１０を示す平面図であり、（ｂ）は（ａ）の１Ｂ−１Ｂ線断面図である。同図に示すように、液体制御装置１０は、第１ハウジング１１、第２ハウジング２０、液体気化器３０、弁装置６０、ヒータ８０、温度センサ８３，８４、コントローラ７０、モニタ７１等を備えている。

第１ハウジング１１は、中空の直方体状に形成されており、内部に底面長円形の柱状空間Ｓが形成されている。柱状空間Ｓは、第１ハウジング１１の側面１１ａにおいて、長円形の開口部１２によって開口している。第１ハウジング１１の下面１１ｂには、弁装置６０を挿入する挿入孔１３が形成されている。第１ハウジング１１の上面１１ｃには、ガラス板１４を取り付ける取付孔１５が形成されている。

柱状空間Ｓには、開口部１２から液体気化器３０が挿入されている。また、上記挿入孔１３には、弁装置６０が挿入されている。第１ハウジング１１と弁装置６０との間は、シール部材によりシールされている。上記取付孔１５には、締結部材によりガラス板１４が取り付けられている。第１ハウジング１１とガラス板１４との間は、シール部材によりシールされている。使用者は、ガラス板１４を介して、上方から第１ハウジング１１の内部を観察することができる。

図２（ａ）は、図１の２Ａ−２Ａ線から見た第２ハウジング２０の側面図である。図２（ａ）を併せて参照すると、第２ハウジング２０は、直方体状に形成されており、第１ハウジング１１の側面１１ａに取り付けられている。第１ハウジング１１と第２ハウジング２０との間は、シール部材によりシールされている。第２ハウジング２０において、第１ハウジング１１の側面１１ａに対向する面は側面２０ｂとなっている。第２ハウジング２０には、第１気体流路２１、第２気体流路２２、薬液流路２３、ヒータ挿入孔２４、及び温度センサ挿入孔２５ａ，２５ｂが形成されている。

第１気体流路２１は、第２ハウジング２０において、上記側面２０ｂから、上面２０ａへと貫通している。第２気体流路２２は、側面２０ｂから、側面２０ｂと反対側の側面２０ｃへと貫通している。第１気体流路２１及び第２気体流路２２は、上面２０ａの長手方向において、両端寄りの位置にそれぞれ設けられている。薬液流路２３（液体流路）は、側面２０ｂ及び側面２０ｃの略中央において、側面２０ｂから側面２０ｃへと貫通している。ヒータ挿入孔２４は、第２気体流路２２と薬液流路２３との間において、側面２０ｂから側面２０ｃへと貫通している。温度センサ挿入孔２５ａは、薬液流路２３とヒータ挿入孔２４との間において、側面２０ｂから側面２０ｃへと貫通している。温度センサ挿入孔２５ｂは、薬液流路２３と第１気体流路２１との間において、側面２０ｂから側面２０ｃへと貫通している。

第２ハウジング２０には、締結部材等により、第１ブロック２６、第２ブロック２７、薬液ブロック２８が取り付けられている。

第１ブロック２６は、第２ハウジング２０の上記上面２０ａに取り付けられている。第１ブロック２６には、その下面から上面へと貫通する第１ブロック流路２６ａが設けられている。第１ブロック流路２６ａの一端は、上記第１気体流路２１に接続している。第１ブロック流路２６ａの他端には、第１気体配管２６ｂが接続されている。そして、第１気体配管２６ｂから第１ブロック２６へ気体が導入される。

第２ブロック２７は、第２ハウジング２０の上記側面２０ｃに取り付けられている。第２ブロック２７には、その側面から上面へと貫通する第２ブロック流路２７ａが設けられている。第２ブロック流路２７ａの一端は、上記第２気体流路２２に接続している。第２ブロック流路２７ａの他端には、第２気体配管２７ｂが接続されている。そして、第２ブロック２７から第２気体配管２７ｂへ気体が排出される。

薬液ブロック２８は、第２ハウジング２０の上記側面２０ｃに取り付けられている。薬液ブロック２８には、その側面から下面へと貫通する薬液ブロック流路２８ａが設けられている。薬液ブロック流路２８ａの一端は、上記薬液流路２３に接続している。薬液ブロック流路２８ａの他端には、薬液配管２８ｂが接続されている。そして、ポンプ（図示略）の駆動により、薬液配管２８ｂから薬液ブロック２８へ薬液が導入される。ポンプは、１回の駆動で所定量の薬液を吐出するものであり、コントローラ７０により駆動が制御される。

図２（ｂ），（ｃ）は、それぞれ図１の２Ｂ−２Ｂ線断面図，２ｃ−２ｃ線断面図である。図２（ｂ），（ｃ）を併せて参照すると、液体気化器３０は、本体３１を備えている。

本体３１は、上記柱状空間Ｓに対応して底面長円形の柱状に形成されており、柱状空間Ｓよりも一回り小さく形成されている。上述したように、第１ハウジング１１の柱状空間Ｓには、開口部１２から液体気化器３０が挿入されている。そして、液体気化器３０は、本体３１に形成された貫通孔Ｂに締結部材を用いて、第２ハウジング２０の側面２０ｂに取り付けられている。これにより、上記第１ハウジング１１の内周面と本体３１との間には、長円形の筒状の隙間が形成されている。本体３１において、第２ハウジング２０の側面２０ｂに対向する面は側面３１ｂとなっている。

本体３１には、第１気体流路３３、第２気体流路３４、薬液流路３５、ヒータ挿入孔３６、温度センサ挿入孔３７ａ，３７ｂ、及び凹部３８が形成されている。

第１気体流路３３は、本体３１においてその側面から上面へと貫通している。第１気体流路３３の一端は、上記第１気体流路２１に接続している。第１気体流路３３の他端は、第２ハウジング２０から第１ハウジング１１への方向（本体３１の上面３１ｃの短手方向）において、本体３１の上面３１ｃの略中央で開口している。

第２気体流路３４は、本体３１においてその側面から上面へと貫通している。第２気体流路３４の一端は、上記第２気体流路２２に接続している。第２気体流路３４の他端は、本体３１の上面３１ｃの短手方向において、本体３１の上面３１ｃの略中央で開口している。第１気体流路３３及び第２気体流路３４は、上面３１ｃの長手方向において、両端寄りの位置にそれぞれ設けられている。第１気体流路３３と第２気体流路３４とは、互いに平行に配置されている。

薬液流路３５（液体流路）は、本体３１において、側面３１ｂから上面３１ｃへと貫通している。薬液流路３５の一端は、上記薬液流路２３に接続している。薬液流路３５の他端は、本体３１の上面３１ｃの短手方向において、本体３１の上面３１ｃの略中央で開口している。

ヒータ挿入孔３６は、上記ヒータ挿入孔２４に接続しており、側面３１ｂから反対側の側面３１ｄ付近まで延びている。そして、ヒータ挿入孔２４，３６にヒータ８０が挿入されており、ヒータ８０により上面３１ｃが加熱される。

温度センサ挿入孔３７ａは、上記温度センサ挿入孔２５ａに接続しており、本体３１の上面３１ｃの短手方向において、本体３１の略中央まで延びている。温度センサ挿入孔３７ａは、本体３１において上面３１ｃ近傍（上面３１ｃに垂直な方向において本体３１の内部の上面３１ｃ寄り）に形成されている。そして、温度センサ挿入孔２５ａ，３７ａに第１温度センサ８３が挿入されており、第１温度センサ８３により上面３１ｃ近傍（第１部分）の温度が検出される。第１温度センサ８３は、白金を用いた測温抵抗体等により構成されている。

温度センサ挿入孔３７ｂは、上記温度センサ挿入孔２５ｂに接続しており、本体３１の上面３１ｃの短手方向において、本体３１の略中央まで延びている。温度センサ挿入孔３７ｂは、本体３１において上面３１ｃ近傍（上面３１ｃに垂直な方向において本体３１の内部の上面３１ｃ寄り）に形成されている。そして、温度センサ挿入孔２５ｂ，３７ｂに第２温度センサ８４が挿入されており、第２温度センサ８４により上面３１ｃ近傍（第２部分）の温度が検出される。すなわち、第２温度センサ８４により、上面３１ｃの広がり方向において薬液流路３５（供給口３５ａ）を挟んで上記第１部分と反対側で、本体３１の内部の第２部分の温度が検出される。第２温度センサ８４は、白金を用いた測温抵抗体等により構成されている。

ヒータ８０、温度センサ８３，８４は、上記コントローラ７０に接続されている（図１参照）。コントローラ７０は、ＣＰＵ、記憶装置、入出力回路等を備えている。温度センサ８３，８４の検出温度は、コントローラ７０へ入力される。コントローラ７０（制御部）は、第１温度センサ８３により検出される上記第１部分の温度に基づいて、ヒータ８０の発熱量を制御する。また、コントローラ７０（監視部）は、第１温度センサ８３及び第２温度センサ８４によりそれぞれ検出される上記第１部分の温度及び上記第２部分の温度に基づいて、所定の監視処理を実行する。

コントローラ７０には、上記モニタ７１が接続されている。モニタ７１（表示部）は、コントローラ７０からの出力に基づいて画像を表示する。コントローラ７０は、上記監視処理として、第１温度センサ８３及び第２温度センサ８４によりそれぞれ検出される上記第１部分の温度及び上記第２部分の温度の推移をモニタ７１に表示させる。詳しくは、時間に対する上記第１部分の温度及び上記第２部分の温度の変化を、モニタ７１にグラフとして表示させる。

本体３１において、上記第１ハウジング１１の上記挿入孔１３に対向する位置には、凹部３８が形成されている。挿入孔１３及び凹部３８には、弁装置６０が挿入されており、締結部材等により本体３１に弁装置６０が取り付けられている。本体３１と弁装置６０との間は、シール部材によりシールされている。凹部３８は、上記薬液流路３５と連通している。薬液流路３５と凹部３８との連通部分には、弁座３９が設けられている。本体３１には、作動気体流路４０が形成されている。作動気体流路４０は、第１ハウジング１１の上面１１ｃの長手方向において第１ハウジング１１の側面１１ｄから第１ハウジング１１の略中央まで延び、上面１１ｃの短手方向へ曲がって挿入孔１３に連通している。そして、上記コントローラ７０により、作動気体流路４０への作動気体の導入及び排出が制御される。

弁装置６０は、本体６１、ピストン６２、ダイアフラム弁体６３、ばね６４、ばね押さえ６５等を備えている。

本体６１は、円筒状に形成されており、その内部にピストン６２が収容されている。本体６１及びピストン６２は、互いの中心軸線が一致している。

ピストン６２は、本体６１によって、中心軸線方向に摺動可能に支持されている。本体６１と第１ハウジング１１との間、本体６１と液体気化器３０の本体３１との間、及び本体６１とピストン６２との間は、それぞれシール部材によってシールされている。

ピストン６２の先端には、ダイアフラム弁体６３の弁本体６３ａが取り付けられている。ダイアフラム弁体６３のダイアフラム６３ｂは、その外縁部が液体気化器３０の本体３１及び本体６１によって挟持されている。

ばね６４において、その一端はピストン６２に当たっており、他端はばね押さえ６５によって支持されている。ピストン６２は、ばね６４によって、上記弁座３９の方向へ付勢されている。これにより、自然状態において、ダイアフラム弁体６３の弁本体６３ａが弁座３９に押し付けられ、上記薬液流路３５が遮断されている。

本体６１には、作動気体流路６６が形成されている。作動気体流路６６の一端は、第１ハウジング１１の作動気体流路４０に接続されている。作動気体流路６６の他端は、本体６１において、ピストン６２のフランジ部６２ａを挟んでばね６４と反対側の加圧室６７に連通している。そして、作動気体流路４０，６６を通じて、作動気体が導入されることにより、ピストン６２が弁座３９から離れる方向へ移動させられる。これにより、薬液流路３５が連通させられ、液体気化器３０の本体３１の上面３１ｃに薬液が供給される。

次に、液体気化器３０の構成を詳細に説明する。図３は液体気化器３０を示す斜視図であり、図４は液体気化器３０の本体３１を示す斜視図である。同図に示すように、液体気化器３０は、本体３１、メッシュ４７、第１遮蔽部材５０、メッシュバンド５２、メッシュ押さえ５５ａ，５５ｂ、及び固定部材５６を備えている。本体３１は、薬液に対する耐腐食性が比較的高く且つ薬液の濡れ性が比較的高い材料、例えば薬液が疎水化処理液である場合には、ステンレス材又はアルミニウム材で形成されている。

本体３１の上面３１ｃには、上記第１気体流路３３が開口しており、気体の導入口３３ａが形成されている。本体３１の上面３１ｃには、上記第２気体流路３４が開口しており、気体の排出口３４ａが形成されている。本体３１の上面３１ｃ（被供給面）には、上記薬液流路３５が開口しており、薬液の供給口３５ａが形成されている。すなわち、供給口３５ａを通じて上面３１ｃへ薬液が供給される位置は、上面３１ｃにおいて薬液が供給される被供給位置となっている。

そして、導入口３３ａと排出口３４ａとは、供給口３５ａ、温度センサ挿入孔３７ａ，３７ｂ（温度センサ８３，８４）及びヒータ挿入孔３６（ヒータ８０）を挟んで設けられている。すなわち、上面３１ｃの広がり方向において、導入口３３ａと排出口３４ａとの間に、供給口３５ａ、温度センサ挿入孔３７ａ，３７ｂ及びヒータ挿入孔３６が設けられている。供給口３５ａは、導入口３３ａと排出口３４ａとの間、詳しくは導入口３３ａと排出口３４ａとの間において若干導入口３３ａ寄りに設けられている。

供給口３５ａは、上面３１ｃの広がり方向において、導入口３３ａと、温度センサ挿入孔３７ａ及びヒータ挿入孔３６との間に設けられている。すなわち、供給口３５ａは、温度センサ挿入孔３７ａ及びヒータ挿入孔３６よりも、導入口３３ａ側に設けられている。一方、供給口３５ａは、温度センサ挿入孔３７ｂよりも、排出口３４ａ側に設けられている。

温度センサ挿入孔３７ａ及びヒータ挿入孔３６は、上面３１ｃの広がり方向において、供給口３５ａと排出口３４ａとの間に設けられている。すなわち、温度センサ挿入孔３７ａ及びヒータ挿入孔３６は、供給口３５ａよりも排出口３４ａ側に設けられている。詳しくは、温度センサ挿入孔３７ａは、上面３１ｃの広がり方向において、ヒータ挿入孔３６よりも供給口３５ａ側に設けられている。一方、温度センサ挿入孔３７ｂは、供給口３５ａよりも導入口３３ａ側に設けられている。

排出口３４ａは、導入口３３ａよりも大きく形成されている。詳しくは、上面３１ｃにおいて導入口３３ａから排出口３４ａへ向かう方向に垂直な方向（上面３１ｃの短手方向）において、排出口３４ａは導入口３３ａよりも長く延びている。

本体３１の上面３１ｃには、排出口３４ａに連通する（接続された）集液溝３４ｂが形成されている。上面３１ｃの短手方向において、集液溝３４ｂ（第２の溝）は、排出口３４ａの両端からそれぞれ延びている。集液溝３４ｂは、上面３１ｃの短手方向において、全長にわたって設けられている。すなわち、集液溝３４ｂは、上面３１ｃにおいて、供給口３５ａ（導入口３３ａ）から排出口３４ａへの方向に対して略垂直な方向へ延びている。集液溝３４ｂには、排出口３４ａから導入口３３ａへの方向（上面３１ｃの長手方向）に延びてから、供給口３５ａから排出口３４ａへの方向に対して略垂直な方向へ上面３１ｃの外縁まで延びる延長部３４ｃが設けられている。導入口３３ａから排出口３４ａへ向かう方向において、集液溝３４ｂの幅は排出口３４ａの幅よりも若干狭く形成されている。集液溝３４ｂの深さは、供給口３５ａから排出口３４ａの方向へ流通する液体を、集液溝３４ｂに沿って排出口３４ａへと集めることのできる深さ、例えば０．５〜１．５ｍｍに設定されており、望ましくは１．０ｍｍに設定されている。集液溝３４ｂの幅は、例えば１．０〜２．０ｍｍに設定されており、望ましくは１．５ｍｍに設定されている。

第２気体流路３４には、第２気体流路３４よりも下方へ凹む凹部３４ｄが形成されている。凹部３４ｄは、第２気体流路３４において排出口３４ａの下方に形成されている。

本体３１には、温度センサ挿入孔３７ｃが形成されている。温度センサ挿入孔３７ｃは、第１ハウジング１１に形成された温度センサ挿入孔（図示略）に接続しており、本体３１の上面３１ｃの短手方向において凹部３４ｄ近傍まで延びている。温度センサ挿入孔３７ｃは、本体３１において下面３１ｅ近傍（上面３１ｃに垂直な方向において本体３１の内部の下面３１ｅ寄り）に形成されている。そして、温度センサ挿入孔３７ｃに第３温度センサ８５が挿入されており、第３温度センサ８５により凹部３４ｄ近傍（第３部分）の温度が検出される。第３温度センサ８５は、白金を用いた測温抵抗体等により構成されている。なお、第３温度センサ８５により凹部３４ｄの下方（第３部分）の温度を検出するようにしてもよい。

本体３１の上面３１ｃには、供給口３５ａから、ヒータ挿入孔３６（ヒータ８０）と反対側、及び温度センサ挿入孔３７ａ（第１温度センサ８３）と反対側への薬液の広がりを抑制する抑制溝４１（第１の溝）が形成されている。また、抑制溝４１は、上面３１ｃの広がり方向において上記第２部分を挟んで供給口３５ａ（被供給位置）と反対側への薬液の広がりを抑制する。抑制溝４１は、円弧部４１ａ及び直線部４１ｃを備えている。

円弧部４１ａは、半円の円弧として形成されており、ヒータ挿入孔３６側、及び温度センサ挿入孔３７ａ側を除いて供給口３５ａの周囲を囲んでいる。すなわち、円弧部４１ａは、供給口３５ａの導入口３３ａ側半周（排出口３４ａと反対側半周）を囲んでいる。

排出口３４ａ、供給口３５ａ、温度センサ挿入孔３７ａ，３７ｂ（温度センサ８３，８４）、及びヒータ挿入孔３６（ヒータ８０）に対して、抑制溝４１は導入口３３ａと同様の位置関係になっている。すなわち、上面３１ｃの広がり方向において、抑制溝４１と排出口３４ａとの間に、供給口３５ａ、温度センサ挿入孔３７ａ，３７ｂ及びヒータ挿入孔３６が設けられている。供給口３５ａは、上面３１ｃの広がり方向において、抑制溝４１と、温度センサ挿入孔３７ａ及びヒータ挿入孔３６との間に設けられている。

直線部４１ｃは、円弧部４１ａの端部から、上面３１ｃの短手方向のうち上面３１ｃの外側へ延びている。直線部４１ｃの長さは、円弧部４１ａの半径よりも短くなっている。直線部４１ｃは、上面３１ｃの長手方向において端部まで延びている。抑制溝４１の幅及び深さは、上記集液溝３４ｂの幅及び深さと同様に設定されている。

上面３１ｃにおいて、円弧部４１ａ（溝）の中央部の側方、詳しくは供給口３５ａと反対側には、凹部４２が設けられている。凹部４２は、略円形に形成されており、抑制溝４１の円弧部４１ａに連通している。本体３１（液体気化器３０）は、供給口３５ａの設けられた被供給面が上面３１ｃとなるように配置されている。上記導入口３３ａは、凹部４２の略中央、すなわち抑制溝４１からずれた位置に設けられている。導入口３３ａ、供給口３５ａ、及び排出口３４ａは、同一直線上に配置されている。

本体３１の下面３１ｅには、その長手方向の両端部に、メッシュ押さえ５５ａ，５５ｂ、及び固定部材５６を係合させる係合溝４５がそれぞれ形成されている。係合溝４５は、所定の幅及び深さで、下面３１ｅの短手方向に沿って延びるように形成されている。

メッシュ押さえ５５ａ，５５ｂは、断面「Ｌ」型の棒状に形成されている。固定部材５６は、断面「Ｔ」型の棒状に形成されている。メッシュ押さえ５５ａ，５５ｂ、及び固定部材５６の長さは、下面３１ｅの短手方向の長さと等しくなっている。

係合溝４５の幅及び深さは、第１メッシュ押さえ５５ａ、第２メッシュ押さえ５５ｂ、及び固定部材５６を順に組み付けた場合に、これらが固定されるように設定されている。なお、固定部材５６は、第２メッシュ押さえ５５ｂを本体３１に締結する締結部材として構成されていてもよい。

本体３１の曲面３１ｆには、上面３１ｃの短手方向に直線状に延びるように凹部４４がそれぞれ形成されている。

本体３１の外周には、網目状に編まれたメッシュ４７（網状体）が、上面３１ｃ及び曲面３１ｆに接するように設けられている。したがって、凹部４２、導入口３３ａ、抑制溝４１、排出口３４ａ、及び集液溝３４ｂは、上面３１ｃにおいてメッシュ４７と接する部分に設けられている。

メッシュ４７は、矩形状に形成されており、上面３１ｃ及び曲面３１ｆを覆うことのできる大きさで形成されている。詳しくは、上面３１ｃの短手方向の長さとメッシュ４７の短手方向の長さとが一致しており、上面３１ｃの長手方向の長さ及び曲面３１ｆの外周の長さを合わせた長さよりも、メッシュ４７の長手方向の長さが長くなっている。

そして、上面３１ｃ及び２つの曲面３１ｆに、メッシュ４７が巻き付けられている。このため、導入口３３ａ、供給口３５ａ、抑制溝４１、集液溝３４ｂ、及び排出口３４ａは、メッシュ４７によって覆われている。さらに、メッシュ４７は、上面３１ｃのうち上記第１部分に対応する部分、上面３１ｃのうち上記第２部分に対応する部分を覆っている。

メッシュ４７の編み目の粗さは、メッシュ４７の開口に薬液が膜を作り易い粗さ、例えば１インチあたりの開口数が３００である３００メッシュとなっている。詳しくは、メッシュ４７では、線径が０．０３ｍｍ、線間距離（線と線との間の距離）が０．０５４ｍｍとなっている。メッシュ４７の粗さは、メッシュ４７に対する薬液の濡れ性や、本体３１に対する薬液の濡れ性、薬液の粘度等に応じて、適切に設定することが望ましい。なお、メッシュ４７の粗さを、薬液の広がり状態を試験して、その結果に応じて設定してもよい。ここでは、上記抑制溝４１及び集液溝３４ｂの幅はメッシュ４７の線間距離の１６倍以上となっており、抑制溝４１及び集液溝３４ｂの深さはメッシュ４７の線径の１６倍以上となっている。メッシュ４７は、薬液に対する耐腐食性が比較的高く且つ薬液の濡れ性が比較的高い材料、例えば薬液が疎水化処理液である場合にはステンレス材で形成されている。

供給口３５ａに対応する位置には、供給口３５ａを覆うように第１遮蔽部材５０が設けられている。詳しくは、第１遮蔽部材５０（遮蔽部材、誘導部材）は、供給口３５ａ及びその近傍のみを覆っており、上記抑制溝４１の円弧部４１ａによって囲まれている。第１遮蔽部材５０は、メッシュ４７の外側に設けられており、メッシュ４７に接している。すなわち、第１遮蔽部材５０はメッシュ４７に対して本体３１側と反対側で接しており、本体３１の上面３１ｃと第１遮蔽部材５０とでメッシュ４７を挟んでいる。

このため、第１遮蔽部材５０は本体３１の上面３１ｃに接しておらず、メッシュ４７によって上面３１ｃと第１遮蔽部材５０との間に薬液の流路が確保されている。第１遮蔽部材５０も、薬液に対する耐腐食性が比較的高く且つ薬液の濡れ性が比較的高い材料で形成されている。

凹部４２の位置では、メッシュ４７の下方に隙間が形成されている。すなわち、凹部４２の位置では、本体３１とメッシュ４７との間には界面が形成されていない。さらに、凹部４２は、抑制溝４１の円弧部４１ａと接続しており、円弧部４１ａとの接続部でもメッシュ４７の下方に隙間が形成されている。

本体３１（メッシュ４７）の外周には、導入口３３ａから排出口３４ａの方向（上面３１ｃの長手方向）に沿って延びるように、網目状に編まれたメッシュバンド５２が設けられている。

メッシュバンド５２（誘導部材）は、導入口３３ａ、供給口３５ａ（第１遮蔽部材５０）、及び排出口３４ａを覆っている。さらに、メッシュバンド５２は、上面３１ｃのうち上記第１部分に対応する部分、上面３１ｃのうち上記第２部分に対応する部分を覆っている。すなわち、メッシュバンド５２は、導入口３３ａから、順に温度センサ挿入孔３７ｂ（第２温度センサ８４）、供給口３５ａ、温度センサ挿入孔３７ａ（第１温度センサ８３）、ヒータ挿入孔２４（ヒータ８０）、排出口３４ａへ向かって延びている。

メッシュバンド５２は、メッシュ４７及び第１遮蔽部材５０の外側に設けられており、メッシュ４７及び第１遮蔽部材５０に接している。すなわち、メッシュバンド５２はメッシュ４７に対して本体３１側と反対側で接しており、本体３１の上面３１ｃとメッシュバンド５２とでメッシュ４７を挟んでいる。また、メッシュ４７とメッシュバンド５２とで第１遮蔽部材５０を挟んでいる。

メッシュバンド５２は、矩形状（帯状）に形成されており、導入口３３ａ及び第１遮蔽部材５０（供給口３５ａ）を覆うことのできる大きさで形成されている。詳しくは、第１遮蔽部材５０の径とメッシュバンド５２の短手方向の長さとが略等しくなっている。上面３１ｃの長手方向の長さ及び曲面３１ｆの外周の長さを合わせた長さよりも、メッシュバンド５２の長手方向の長さが長くなっている。

そして、上面３１ｃ及び２つの曲面３１ｆに、メッシュバンド５２が巻き付けられている。メッシュバンド５２の編み目の粗さも、メッシュバンド５２の開口に薬液が膜を作り易い粗さ、例えば１インチあたりの開口数が３００である３００メッシュとなっている。メッシュバンド５２も、薬液に対する耐腐食性が比較的高く且つ薬液の濡れ性が比較的高い材料で形成されている。

上記メッシュ４７及びメッシュバンド５２の長手方向の両端部は、それぞれメッシュ押さえ５５ａ，５５ｂ、及び固定部材５６によって固定されている。詳しくは、係合溝４５内において、メッシュ４７及びメッシュバンド５２の端部は、第１メッシュ押さえ５５ａによって押さえられており、第１メッシュ押さえ５５ａは第２メッシュ押さえ５５ｂによって押さえられている。

メッシュ４７及びメッシュバンド５２の端部は、第１メッシュ押さえ５５ａと第２メッシュ押さえ５５ｂとの間から外側へと導かれている。すなわち、メッシュ４７及びメッシュバンド５２の端部は、第１メッシュ押さえ５５ａと第２メッシュ押さえ５５ｂとで挟み込まれている。

そして、第２メッシュ押さえ５５ｂが固定部材５６によって押さえられた状態で、固定部材５６が係合溝４５に係合させられている。これにより、メッシュ押さえ５５ａ，５５ｂ、及び固定部材５６は、係合溝４５に係合した状態で固定されている。なお、図示は省略するが、固定部材５６がねじで構成されている場合には、第２メッシュ押さえ５５ｂがねじによって本体３１に締結されている。

ここで、メッシュ４７及びメッシュバンド５２は、それらの長手方向に引っ張られた状態で固定されている。このため、本体３１の上面３１ｃ及び曲面３１ｆにメッシュ４７が密着した状態となっており、メッシュ４７にメッシュバンド５２が密着した状態となっている。また、第１遮蔽部材５０は、メッシュ４７及びメッシュバンド５２に密着した状態となっている。

次に、液体気化器３０を組み立てる手順を説明する。図５は、液体気化器３０の分解斜視図である。同図に示すように、上記第１遮蔽部材５０は、円板状の円板部５０ａと、針状のピン５０ｂとを備えている。円板部５０ａの中心には、貫通孔５０ｃが形成されている。ピン５０ｂにおいて、一端は針状に尖った尖端部となっており、他端は他の部分よりも径の大きい頭部となっている。ピン５０ｂの頭部の径は貫通孔５０ｃの径よりも大きくなっており、ピン５０ｂの頭部以外の部分の径は貫通孔５０ｃの径よりも小さくなっている。ピン５０ｂの尖端部の径は、上記メッシュ４７の線間距離０．０５４ｍｍよりも小さくなっている。

まず、本体３１の上面３１ｃの長手方向とメッシュ４７の長手方向とを合わせて、本体３１の外周にメッシュ４７を巻き付ける。このとき、メッシュ４７は、上面３１ｃ及び曲面３１ｆの全体を覆って、更に両端が余った状態となる。また、メッシュ４７は、凹部４２、抑制溝４１、供給口３５ａ、排出口３４ａ、集液溝３４ｂ、及び延長部３４ｃの設けられた部分を除いて、上面３１ｃに接した状態となる。

次に、メッシュ４７の外側から供給口３５ａを覆うように、第１遮蔽部材５０の円板部５０ａを配置する。このとき、供給口３５ａの中心の位置と、円板部５０ａの中心（貫通孔５０ｃ）の位置とを合わせる。そして、円板部５０ａの貫通孔５０ｃにピン５０ｂを尖端部から挿入し、メッシュ４７を貫通させてピン５０ｂを供給口３５ａへ挿入する。このとき、ピン５０ｂの尖端部の径はメッシュ４７の線間距離よりも小さくなっているため、メッシュ４７の線材と線材との間に尖端部を挿入することができる。そして、ピン５０ｂの頭部を円板部５０ａに当てて、ピン５０ｂの挿入を完了する。

続いて、本体３１の上面３１ｃの長手方向とメッシュバンド５２の長手方向とを合わせて、本体３１の外周にメッシュバンド５２を巻き付ける。詳しくは、導入口３３ａ、供給口３５ａ（第１遮蔽部材５０）、及び排出口３４ａに重なるように、メッシュバンド５２を巻き付ける。このとき、メッシュバンド５２は、上面３１ｃ及び曲面３１ｆを覆って、更に両端が余った状態となる。

続いて、図２（ｂ），（ｃ）及び図３に示すように、係合溝４５において第１メッシュ押さえ５５ａによって、メッシュ４７及びメッシュバンド５２の両端部をそれぞれ仮止めする。この状態、又は第２メッシュ押さえ５５ｂによって第１メッシュ押さえ５５ａを押さえた状態で、メッシュ４７及びメッシュバンド５２をそれぞれ長手方向に引っ張る。これにより、メッシュ４７及びメッシュバンド５２の皺を伸ばすとともに、メッシュ４７及びメッシュバンド５２に張力が発生した状態とする。そして、固定部材５６によってメッシュ押さえ５５ａ，５５ｂを固定して、液体気化器３０の組み立てを終了する。

こうして組み立てられた液体気化器３０は、上述したように、本体３１に形成された貫通孔Ｂに締結部材を用いて、第２ハウジング２０の側面２０ｂに取り付けられている。そして、上記第１ハウジング１１の内周面と本体３１との間には、長円形の筒状の隙間が形成されている。

メッシュ４７及びメッシュバンド５２が本体３１の外周に巻き付けられて固定された状体では、メッシュ４７及びメッシュバンド５２と上記曲面３１ｆの凹部４４との間に隙間が生じることとなる。そこで、凹部４４に係合するように、第１ハウジング１１の内周面とメッシュ４７及びメッシュバンド５２との間に、本体３１の軸線方向（上面３１ｃの短手方向）から挿入部材５７が挿入されている。

挿入部材５７は、丸棒状に形成されており、その断面の半径は凹部４４の曲率半径と略等しくなっている。挿入部材５７の先端部は、他の部分よりも若干細くなっており、その先端部から、メッシュ４７及びメッシュバンド５２を凹部４４へ押し付けつつ、第１ハウジング１１の内周面とメッシュ４７及びメッシュバンド５２との間に挿入されている。これにより、凹部４４とメッシュ４７及びメッシュバンド５２との間の隙間が縮められ、メッシュ４７及びメッシュバンド５２に発生する張力を増加させることができる。その結果、メッシュ４７及びメッシュバンド５２が、本体３１に強く密着させられた状態となる。

次に、本体３１の上面３１ｃに接した薬液を、メッシュ４７、メッシュバンド５２、及び第１遮蔽部材５０によって広げる原理について説明する。図６は、メッシュ４７の拡大平面図である。メッシュ４７は、縦線材４８ａ，４８ｂ，４８ｃ，４８ｄと横線材４９ａ，４９ｂ，４９ｃ，４９ｄとを、相互に網目状に編む（織る）ことによって形成されている。

メッシュ４７には、平面視において縦線材及び横線材で囲まれた網目空間が形成されている。網目空間は、直方体（平面視において正方形）であり、メッシュ４７の縦方向及び横方向に等間隔で形成されている。例えば、網目空間Ｔ１は、２本の縦線材４８ｂ，４８ｃと２本の横線材４９ｂ，４９ｃとによって囲まれた微細な空間（０．０５４ｍｍ×０．０５４ｍｍ×メッシュ４７の厚み）である。

網目空間Ｔ１は微細な空間であるため、線材４８ｂ，４８ｃ，４９ｂ，４９ｃと薬液との間には比較的大きな分子間力が作用する。その結果、網目空間Ｔ１に薬液が吸引され、網目空間Ｔ１を閉じるように薬液の膜が形成される（毛細管現象）。この状態では、薬液が各網目空間に吸引されており、薬液がメッシュ４７の面に沿って広がろうとする作用は比較的小さい。

図７は、本体３１の上面３１ｃ及びメッシュ４７の拡大断面図である。同図に示すように、本体３１の上面３１ｃとメッシュ４７との間には、側面視において上面３１ｃ、縦線材及び横線材で囲まれた流通空間Ｔ２が形成されている。流通空間Ｔ２は、上面３１ｃと、縦線材及び横線材との間の隙間を接続した空間であり、上面３１ｃに沿って広がっている。

縦線材４８ａ，４８ｂ，４８ｃ，４８ｄが上面３１ｃに接する部分（線材同士の交差部分）では、横線材４９ａ，４９ｂ，４９ｃ，４９ｄは上面３１ｃから離れている。一方、横線材４９ａ，４９ｂ，４９ｃ，４９ｄが上面３１ｃに接する部分（線材同士の交差部分）では、縦線材４８ａ，４８ｂ，４８ｃ，４８ｄは上面３１ｃから離れている。このため、流通空間Ｔ２は、縦線材及び横線材によって遮断されることはなく、上面３１ｃに沿って連続している。

そして、上面３１ｃと縦線材及び横線材との間には、多数の微細な界面が形成されている。したがって、上面３１ｃに供給された薬液は、多数の微細な界面における界面張力により、流通空間Ｔ２を通じて上面３１ｃに沿って広がることとなる（毛細管現象）。すなわち、メッシュ４７（促進部）は、上面３１ｃに供給された薬液の広がりを促進させる微細構造を形成している。さらに、薬液は、上面３１ｃ、縦線材及び横線材に対して濡れ性を有しているため、上面３１ｃに沿った薬液の広がりが促進される。

図８は、本体３１の上面３１ｃ及びメッシュ４７の拡大断面図である。ここでは、横線材４９ｂの一部が上面３１ｃから離れており、ギャップＧが生じた状態を示している。このような状態であっても、流通空間Ｔ２では界面張力により薬液が広げられる。すなわち、上面３１ｃと縦線材及び横線材とは、一部が離れていてもよい。

図９は、本体３１の上面３１ｃ、メッシュ４７、及びメッシュバンド５２の拡大断面図である。同図に示すように、上記流通空間Ｔ２に加えて、メッシュ４７とメッシュバンド５２との間には、側面視においてメッシュ４７の縦線材及び横線材と、メッシュバンド５２の縦線材及び横線材とで囲まれた流通空間Ｔ３が形成されている。流通空間Ｔ３は、メッシュ４７の縦線材及び横線材と、メッシュバンド５２の縦線材及び横線材との間の隙間を接続した空間であり、上面３１ｃと略平行に広がっている。

メッシュバンド５２の縦線材５３ａ，５３ｂ，５３ｃ，５３ｄがメッシュ４７の横線材に接する部分（線材同士の交差部分）では、メッシュバンド５２の横線材はメッシュ４７の横線材から離れている。一方、メッシュバンド５２の横線材がメッシュ４７の縦線材に接する部分（線材同士の交差部分）では、メッシュバンド５２の縦線材５３ａ，５３ｂ，５３ｃ，５３ｄはメッシュ４７の縦線材から離れている。このため、流通空間Ｔ３は、縦線材及び横線材によって遮断されることはなく、上面３１ｃと略平行に連続している。

そして、メッシュ４７の縦線材及び横線材とメッシュバンド５２の縦線材及び横線材との間には、多数の微細な界面が形成されている。すなわち、メッシュバンド５２（促進部）は、上面３１ｃに供給された薬液の広がりを促進させる微細構造を形成している。したがって、上面３１ｃに供給された薬液は、多数の微細な界面における界面張力により、流通空間Ｔ２を通じて上面３１ｃに沿って広がるとともに、流通空間Ｔ３を通じて上面３１ｃと略平行に広がることとなる（毛細管現象）。さらに、薬液は、上面３１ｃ、メッシュ４７の縦線材及び横線材、並びにメッシュバンド５２の縦線材及び横線材に対して濡れ性を有しているため、薬液の広がりが促進される。なお、同図では、メッシュ４７の縦線材とメッシュバンド５２の縦線材との位置、及びメッシュ４７の横線材とメッシュバンド５２の横線材との位置が、互いに一致している状態を示したが、これらが互いにずれていてもよい。

図１０は、本体３１の上面３１ｃ、メッシュ４７、及び第１遮蔽部材５０の拡大断面図である。同図に示すように、上記流通空間Ｔ２に加えて、第１遮蔽部材５０の円板部５０ａとメッシュ４７との間には、側面視において円板部５０ａ、縦線材及び横線材で囲まれた流通空間Ｔ４が形成されている。流通空間Ｔ４は、上記流通空間Ｔ２と同様に形成されており、円板部５０ａの下面と、縦線材及び横線材との間の隙間を接続した空間であり、円板部５０ａの下面に沿って広がっている。

したがって、上面３１ｃに供給された薬液は、多数の微細な界面における界面張力により、流通空間Ｔ２を通じて上面３１ｃに沿って広がるとともに、流通空間Ｔ４を通じて円板部５０ａの下面に沿って広がることとなる（毛細管現象）。さらに、薬液は、上面３１ｃ、円板部５０ａの下面、縦線材及び横線材に対して濡れ性を有しているため、薬液の広がりが促進される。

次に、図１，３を参照して、液体制御装置１０の作用を説明する。ここでは、液体気化器３０により広げられるとともに気化させられる薬液（例えば疎水化処理液）を、不活性ガス（例えば窒素）と混合して次の装置へと供給する場合を例として説明する。

第１気体配管２６ｂから不活性ガスが導入されると、第１気体流路２１，３３を通じて、本体３１の導入口３３ａから凹部４２を介して不活性ガスが吹き出す。ここで、導入口３３ａは凹部４２を介して抑制溝４１に接続しているため、導入口３３ａから吹き出した不活性ガスの一部は、メッシュ４７により覆われた抑制溝４１に沿って流通することとなる。その結果、第１ハウジング１１内の柱状空間Ｓへ不活性ガスが導入される。

そして、不活性ガスは、第１ハウジング１１の内周面と液体気化器３０の本体３１との間に形成される隙間を流通して排出口３４ａへ流入する。排出口３４ａへ流入した不活性ガスは、第２気体流路３４，２２を通じて、第２気体配管２７ｂから排出される。第２気体配管２７ｂは次の装置に接続されており、第２気体配管２７ｂから排出される不活性ガスは次の装置へと供給される。

ポンプの駆動により薬液配管２８ｂから薬液が供給されると、薬液流路２３，３５を通じて、本体３１の供給口３５ａから上面３１ｃへと薬液が供給される。このとき、供給口３５ａから供給される薬液は、供給口３５ａを覆う第１遮蔽部材５０に当たるため、薬液がメッシュ４７やメッシュバンド５２を通過して噴出されることが抑制される。また、第１遮蔽部材５０のピン５０ｂが供給口３５ａに挿入されているため、第１遮蔽部材５０に薬液の圧力が作用したとしても、第１遮蔽部材５０が供給口３５ａからずれることが抑制される。さらに、ピン５０ｂを、供給口３５ａに対する第１遮蔽部材５０の位置決めに利用することもできる。

本体３１の上面３１ｃと第１遮蔽部材５０の円板部５０ａとの間では、図１０に示したように、供給された薬液は、多数の微細な界面における界面張力により、流通空間Ｔ２を通じて上面３１ｃに沿って広がるとともに、流通空間Ｔ４を通じて円板部５０ａの下面に沿って広がる。したがって、この部分では、上面３１ｃに対してメッシュ４７のみが設けられている部分よりも、薬液が速く広がることとなる。

薬液は、第１遮蔽部材５０の円板部５０ａの下を流通して更に周囲へと広がる。上面３１ｃに対してメッシュ４７のみが設けられている部分では、図７に示したように、薬液は、多数の微細な界面における界面張力により、流通空間Ｔ２を通じて上面３１ｃに沿って広がる。一方、上面３１ｃに対してメッシュ４７及びメッシュバンド５２が設けられている部分では、図９に示したように、薬液は、多数の微細な界面における界面張力により、流通空間Ｔ２を通じて上面３１ｃに沿って広がるとともに、流通空間Ｔ３を通じて上面３１ｃと略平行に広がる。したがって、第１遮蔽部材５０の円板部５０ａの下を流通した薬液は、メッシュバンド５２に沿って優先的に広がることとなる。

また、上面３１ｃに沿って第１遮蔽部材５０の周囲へと広がった薬液の一部は、上面３１ｃの抑制溝４１に到達する。抑制溝４１が形成された部分では、上面３１ｃとメッシュ４７との間に界面が形成されないため、薬液の広がりが抑制される。さらに、メッシュ４７において抑制溝４１を覆う部分、特に凹部４２を覆う部分では網目から不活性ガスが吹き出しているため、薬液が抑制溝４１を超えて広がることが効果的に抑制される。

特に、抑制溝４１とメッシュバンド５２とが重なる部分では、メッシュバンド５２を伝わることにより抑制溝４１を超えて薬液が広がるおそれがある。この点、抑制溝４１とメッシュバンド５２とが重なる部分には凹部４２が接続しているため、抑制溝４１の幅が実質的に広くされている。このため、メッシュバンド５２を伝わって、抑制溝４１を超えて薬液が広がることを効果的に抑制することができる。

ここで、抑制溝４１の円弧部４１ａは、ヒータ挿入孔３６（ヒータ８０）側及び温度センサ挿入孔３７ａ（第１温度センサ８３）側を除いて供給口３５ａの周囲を囲んでいるため、ヒータ８０及び第１温度センサ８３側以外の方向への薬液の広がりが抑制される。その結果、ヒータ８０側及び第１温度センサ８３側へ流通する薬液の量が増加し、ヒータ８０側及び第１温度センサ８３側へ薬液の広がりが促進される。抑制溝４１の直線部４１ｃによっても、ヒータ８０側及び第１温度センサ８３側への薬液の広がりが促進される。また、抑制溝４１により、上面３１ｃの広がり方向において上記第２部分を挟んで供給口３５ａ（被供給位置）と反対側への薬液の広がりが抑制される。そして、第２部分を挟んで供給口３５ａと反対側への薬液の広がりを抑制することにより、上面３１ｃのうち第２部分に対応する部分への薬液の供給を促進させることができる。

ヒータ挿入孔３６にはヒータ８０が挿入されており、ヒータ８０により本体３１の上面３１ｃが加熱される。ここで、メッシュバンド５２及び抑制溝４１により、ヒータ８０側への薬液の広がりが促進されるため、ヒータ８０により薬液を加熱する効率を向上させることができる。さらに、メッシュバンド５２は網目状に編まれて形成されているため、メッシュバンド５２が板状や膜状に形成されている場合と比較して、メッシュバンド５２を介した薬液の蒸発が促進される。したがって、メッシュバンド５２により、薬液の良好な蒸発を維持しつつ、ヒータ８０側への薬液の広がりを促進させることができる。

ここで、図１１〜１３を参照して、ポンプの動作（右軸）と上記第１部分及び第２部分の温度（左軸）との関係を説明する。これら図１１〜１３では、コントローラ７０は、第１温度センサ８３により検出される第１部分の温度を７５℃に維持するように、第１温度センサ８３により検出される第１部分の温度に基づいて、ヒータ８０の発熱量をフィードバック制御している。フィードバック制御としては、ＰＩＤ制御や、ＰＤ制御等を採用することができる。

図１１は、１回のポンプ動作と第１部分及び第２部分の温度との関係を示すグラフである。同図に示すように、ポンプにより薬液の吐出動作を１回行うと、第１部分の温度及び第２部分の温度が低下する。そして、第１部分の温度が低下したため、コントローラ７０によりヒータ８０の発熱量が増加される。このとき、第１部分はヒータ８０に近いため、第１部分の温度は、ヒータ８０の発熱量の変化に対する応答性が高いものの、ヒータ８０の発熱量の変化により変動し易くなる。その結果、第１部分の温度は、オーバーシュート及びアンダーシュートを繰り返した後に７５℃に収束する。一方、第２部分はヒータ８０から遠いため、第２部分の温度は、ヒータ８０の発熱量の変化に対する応答性が若干低いものの、ヒータ８０の発熱量が変化しても変動しにくくなる。その結果、第２部分の温度は、オーバーシュート及びアンダーシュートをせず、７５℃まで上昇して収束する。

図１２は、連続ポンプ動作と第１部分及び第２部分の温度との関係を示すグラフである。同図に示すように、ポンプにより薬液の吐出動作を複数回連続して行った場合も、第１部分の温度及び第２部分の温度の推移は、図１１と同様の傾向となる。ただし、この場合は、薬液の吐出量及び気化量が増加しているため、温度の低下幅及び上昇幅が図１１よりも大きくなっている。

図１３は、周期的に繰り返される連続ポンプ動作と第１部分及び第２部分の温度との関係を示すグラフである。同図に示すように、ポンプにより薬液の連続的な吐出動作を周期的に繰り返して行った場合も、第１部分の温度及び第２部分の温度の推移は、図１２と同様の傾向となる。すなわち、この場合は図１２の温度の推移を周期的に繰り返すこととなる。このようなポンプの吐出動作により、薬液を液体気化器３０へ連続的に供給することができる。そして、液体気化器３０により、上面３１ｃに供給された薬液を広げて気化させることができる。

図１１〜１３に示した温度の推移の傾向に着目して、コントローラ７０は以下のような監視処理を実行する。

コントローラ７０は、第２温度センサ８４により検出される第２部分の温度に基づいて異常を検知する。詳しくは、コントローラ７０は、ヒータ８０の発熱量を制御している状態において、第２温度センサ８４により検出される第２部分の温度が判定温度幅を超えて低下した場合に、ヒータ８０による加熱に異常が生じていることを検知する。ヒータ８０による加熱に異常が生じている場合、例えばヒータ８０の電源がＯＦＦにされている場合や、ヒータ８０へ電力を供給する配線に断線が生じている場合には、上面３１ｃに供給された薬液がヒータ８０により加熱されず、第２部分の温度は正常時よりも低下することとなる。したがって、ヒータ８０による加熱が適切に行われていないことを検知することができる。さらに、上記の場合に、コントローラ７０は、上面３１ｃに薬液が供給されたことを検知する。すなわち、ヒータ８０による加熱に異常が生じている場合であっても、上面３１ｃに薬液が供給されている状態で上面３１ｃに沿って不活性ガスが流通させられると、薬液が揮発して第２部分の温度が低下することとなる。

また、コントローラ７０は、第２温度センサ８４により検出される第２部分の温度に基づいて薬液の気化を検知する。詳しくは、コントローラ７０は、第２温度センサ８４により検出される第２部分の温度が７５℃（所定温度）に維持されている状態において、第２温度センサ８４により検出される第２部分の温度が低下した後に７５℃まで上昇して維持された場合に、薬液の供給及び気化を検知する。第１部分はヒータ８０の発熱量の変化による影響を受け易いのに対して、第２部分はヒータ８０の発熱量の変化による影響を受けにくい。このため、薬液の供給に伴う第１部分の温度低下を補うべくヒータ８０の発熱量が増加された場合に、第１部分の温度は７５℃をオーバーシュートし易いのに対して、第２部分の温度は７５℃をオーバーシュートしにくい。したがって、供給口３５ａから上面３１ｃに薬液が供給されたこと、及び供給された薬液が気化したことを正確に検知することができる。

また、コントローラ７０は、ヒータ８０の発熱量を制御している状態において、第１温度センサ８３により検出される第１部分の温度が判定温度幅を超えて低下した場合に、ヒータ８０による加熱に異常が生じていることを検知する。ヒータ８０による加熱に異常が生じている場合には、上面３１ｃに供給された薬液がヒータ８０により加熱されず、第１部分の温度は正常時よりも低下することとなる。したがって、ヒータ８０による加熱が適切に行われていないことを検知することができる。さらに、上記の場合に、コントローラ７０は、上面３１ｃに薬液が供給されたことを検知する。

図１〜３に戻り、凹部４２及び抑制溝４１の部分においてメッシュ４７の網目から吹き出した不活性ガスは、第２温度センサ８４、供給口３５ａ、第１温度センサ８３、ヒータ８０の上を順に通過して、排出口３４ａから排出される。このため、不活性ガスによっても、供給口３５ａからヒータ８０側及び第１温度センサ８３側への薬液の広がりが促進される。薬液が蒸発して生成された蒸気は、不活性ガスにより押されて排出口３４ａの方向へ導かれる。ここで、抑制溝４１は、供給口３５ａに対して排出口３４ａと反対側に、本体３１の短手方向の全長にわたって設けられている。このため、凹部４２及び抑制溝４１の部分においてメッシュ４７の網目から吹き出す不活性ガスにより、薬液の蒸気を排出口３４ａの方向へ効果的に導くことができる。

排出口３４ａには、供給口３５ａから排出口３４ａへの方向に対して略垂直な方向へ延びる集液溝３４ｂが接続されている。このため、供給口３５ａから排出口３４ａへの方向から外れて広がる薬液や薬液の蒸気が、集液溝３４ｂにより排出口３４ａへ導かれる。

ここで、上面３１ｃの外縁では、本体３１と上記第２ハウジング２０との境界に沿って、詳しくは本体３１の上面３１ｃと第２ハウジング２０の側面２０ｂとの境界に沿って、薬液が界面張力により広がり易くなる。この点、上面３１ｃの外縁に沿って広がる薬液が、排出口３４ａから供給口３５ａへの方向に延びてから、供給口３５ａから排出口３４ａへの方向に対して略垂直な方向へ上面３１ｃの外縁まで延びる延長部３４ｃに流入することとなる。このため、上面３１ｃの外縁に沿って広がる薬液を、集液溝３４ｂにより効率的に排出口３４ａへ導くことができる。

排出口３４ａを通じて第２気体流路３４へ流入した薬液は、第２気体流路２２において排出口３４ａの下方に設けられた凹部３４ｄに溜まり、凹部３４ｄよりも先へ流れにくくなる。そして、凹部３４ｄに溜まった薬液は、ヒータ８０の熱により気化される。このとき、凹部３４ｄ内の薬液の気化熱により、凹部３４ｄ近傍の温度が低下することとなる。

そこで、コントローラ７０は、第３温度センサ８５により検出される第３部分の温度が判定温度幅を超えて低下した場合に、第２気体流路３４に薬液が流入したことを検知する。そして、コントローラ７０はポンプによる薬液の吐出動作を停止させる。その後、第３温度センサ８５により検出される第３部分の温度が上昇して一定温度に収束した後に、コントローラ７０はポンプによる薬液の吐出動作を再開する。

以上詳述した本実施形態は以下の利点を有する。

・メッシュ４７は、上面３１ｃに供給された薬液の広がりを促進させる微細構造を有している。このため、上面３１ｃに供給された薬液は、微細構造において界面張力により、上面３１ｃに沿って広がることとなる。そして、上面３１ｃにおいて薬液が供給される供給口３５ａから、上面３１ｃに沿って広がった薬液は、ヒータ８０により本体３１の内部から加熱される。これにより、上面３１ｃにおいて広い面積で、薬液を気化させることができる。

ここで、第１温度センサ８３により、上面３１ｃの広がり方向において上記供給口３５ａとヒータ８０との間で、本体３１の内部の第１部分の温度が検出される。第１部分は、上面３１ｃの広がり方向において、供給口３５ａよりもヒータ８０に近い位置であるため、ヒータ８０の発熱量の変化が迅速に反映される。そして、コントローラ７０により、第１温度センサ８３により検出される第１部分の温度に基づいて、ヒータ８０の発熱量が制御される。このため、ヒータ８０により本体３１の温度を制御する際の応答性を維持することができる。

さらに、第２温度センサ８４により、上面３１ｃの広がり方向において供給口３５ａを挟んで第１部分と反対側で、本体３１の内部の第２部分の温度が検出される。第２部分は、上面３１ｃの広がり方向において、供給口３５ａよりもヒータ８０から離れた位置である。このため、第２部分の温度は、ヒータ８０の発熱量の変化の影響を受けにくく、薬液の気化状態を正確に反映する。そして、コントローラ７０により、第２温度センサ８４により検出される第２部分の温度に基づいて、所定の監視処理が実行される。したがって、薬液の気化プロセスを正確に監視することができる。

・第１部分及び第２部分は、上面３１ｃに垂直な方向において本体３１の内部の上面３１ｃ寄りの部分、すなわち本体３１の内部において上面３１ｃの近傍の部分に設定されている。このため、第１部分での検出温度に基づいて、薬液に接する上面３１ｃの温度を正確に検出することができ、ひいては上面３１ｃの温度を正確に制御することができる。また、第２部分での検出温度に基づいて、上面３１ｃでの薬液の気化に起因する温度変化を正確に検出することができ、ひいては上面３１ｃでの薬液の気化状態を正確に監視することができる。

・第２温度センサ８４により検出される第２部分の温度の推移がモニタ７１に表示される。このため、使用者は、モニタ７１に表示される第２部分の温度の推移を観察して、薬液の気化プロセスが正常か否か判断することができる。

・第２部分の温度は薬液の気化状態を正確に反映する。この点、第２温度センサ８４により検出される第２部分の温度に基づいて異常が検知されるため、薬液の気化プロセスの異常を適切に検知することができる。

・コントローラ７０によりヒータ８０の発熱量が制御されている状態において、第２温度センサ８４により検出される第２部分の温度が判定温度幅を超えて低下した場合に、ヒータ８０による加熱に異常が生じていることが検知される。したがって、ヒータ８０による加熱が適切に行われていないことを検知することができる。さらに、上記の場合に、コントローラ７０は、上面３１ｃに薬液が供給されたことを検知することができる。

・第２温度センサ８４により検出される第２部分の温度に基づいて薬液の気化が検知されるため、上面３１ｃで薬液が気化したことを正確に検知することができる。

・第２温度センサ８４により検出される第２部分の温度が７５℃に維持されている状態において、第２温度センサ８４により検出される第２部分の温度が低下した後に７５℃まで上昇して維持された場合に、薬液の供給及び気化が検知される。したがって、供給口３５ａから薬液が供給されたこと、及び供給された薬液が気化したことを正確に検知することができる。

・コントローラ７０によりヒータ８０の発熱量が制御されている状態において、第１温度センサ８３により検出される第１部分の温度が判定温度幅を超えて低下した場合に、ヒータ８０による加熱に異常が生じていることが検知される。したがって、ヒータ８０による加熱が適切に行われていないことを検知することができる。さらに、上記の場合に、コントローラ７０は、上面３１ｃに薬液が供給されたことを検知することができる。

・本体３１とでメッシュ４７を挟んでメッシュ４７に接するメッシュバンド５２が設けられているため、メッシュ４７とメッシュバンド５２との間にも複数の界面が形成される。したがって、メッシュ４７とメッシュバンド５２との間においても、界面張力により薬液を広げることができる。このため、メッシュバンド５２の設けられた部分では、薬液の広がりを他の部分よりも促進させることができる。その結果、メッシュバンド５２の配置を調整することにより、上面３１ｃに接した薬液を所望の方向へ優先的に広げることができる。

・メッシュバンド５２は網目状に編まれて形成されているため、メッシュバンド５２が板状や膜状に形成されている場合と比較して、メッシュバンド５２を介した薬液の蒸発を促進させることができる。このため、上面３１ｃに接した薬液を所望の方向へ優先的に広げつつ、薬液の蒸発を促進させることができる。

・本体３１の内部には、薬液を流通させる薬液流路３５が設けられ、薬液流路３５の上面３１ｃでの開口が薬液の供給口３５ａを形成している。このため、本体３１の内部のスペースを有効に用いて、上面３１ｃに薬液を供給することができる。そして、上記供給口３５ａとして、供給口３５ａを通じて上面３１ｃへ薬液が供給される位置を採用することができる。

さらに、メッシュ４７及びメッシュバンド５２により、上面３１ｃのうち上記第１部分に対応する部分、上面３１ｃのうち上記第２部分に対応する部分、及び供給口３５ａが覆われている。このため、供給口３５ａから供給された薬液を、上面３１ｃの広がり方向において第１部分の方向及び第２部分の方向へ優先的に広げることができる。したがって、上面３１ｃのうち第１部分に対応する部分へ十分に薬液を供給しつつ、第１部分の温度に基づいてヒータ８０の発熱量を制御することができる。その結果、安定して薬液が供給される状態で、薬液の気化状態を制御することができる。また、上面３１ｃのうち第２部分に対応する部分へ十分に薬液を供給しつつ、第２部分の温度に基づいて所定の監視処理を実行することができる。その結果、安定して薬液が供給される状態で、薬液の気化プロセスを監視することができる。

・上面３１ｃに設けられた抑制溝４１により、上面３１ｃの広がり方向において第２部分を挟んで供給口３５ａと反対側への薬液の広がりが抑制される。そして、第２部分を挟んで供給口３５ａと反対側への薬液の広がりを抑制することにより、上面３１ｃのうち第２部分に対応する部分への薬液の供給を促進させることができる。その結果、より安定して薬液が供給される状態で、薬液の気化プロセスを監視することができる。

・本体３１の内部には、気体を流通させる第１気体流路３３及び第２気体流路３４が設けられ、第１気体流路３３及び第２気体流路３４の上面３１ｃでの開口が、それぞれ気体の導入口３３ａ及び排出口３４ａを形成している。このため、本体３１の内部のスペースを有効に用いて、上面３１ｃの周囲の空間に気体を導入するとともに、上面３１ｃの周囲の空間から気体を排出することができる。このとき、上面３１ｃに接した薬液は、気体の流れ方向への広がりが促進される。そして、気体の導入口３３ａと排出口３４ａとは、ヒータ８０を挟んで設けられているため、ヒータ８０を通過する方向への薬液の広がりを促進させることができる。その結果、ヒータ８０による薬液の加熱を促進させることができる。

・上面３１ｃが上側となるように本体３１が配置されており、第２気体流路３４には、第２気体流路３４よりも下方へ凹む凹部３４ｄが形成されている。このため、第２気体流路３４内へ流入した薬液は、第２気体流路３４に形成された凹部３４ｄに溜まることとなる。したがって、薬液が、気化されずに第２気体流路３４を通じて排出されることを抑制することができる。さらに、凹部３４ｄに溜まった薬液を、ヒータ８０の熱により気化させることができる。

・第３温度センサにより、本体３１の内部における凹部３４ｄの近傍の第３部分の温度が検出される。そして、コントローラ７０により、第３温度センサにより検出される第３部分の温度が判定温度幅を超えて低下した場合に、第２気体流路３４に薬液が流入したことが検知される。したがって、第２気体流路３４に薬液が流入したことを適切に検知することができ、薬液の供給を停止させる等の処置を行うことが可能となる。

なお、上記実施形態を、次のように変形して実施することもできる。上記実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。

・図１４は、液体気化器３０の本体３１の変形例を示す斜視図である。同図に示すように、抑制溝１４１の円弧部１４１ａに導入口３３ａが直接連通している構成を採用することもできる。こうした構成によっても、本体３１の内部から導入口３３ａを通じて不活性ガスが抑制溝１４１へ導入されるため、抑制溝１４１とメッシュ４７とで形成される流路内に不活性ガスを流通させることができる。そして、抑制溝１４１内を流通してメッシュ４７の網目から吹き出す不活性ガスにより、抑制溝１４１を超えて薬液が広がることを抑制することができる。なお、同図に示すように、温度センサ挿入孔３７ａ，３７ｂ（温度センサ８３，８４）を、上下方向において本体３１の略中央に配置することもできる。

・図１５は、液体気化器３０の本体３１の他の変形例を示す斜視図である。同図に示すように、本体３１の上面３１ｃにおいて、凹部４２と排出口３４ａとを接続する抑制溝２４１を採用することもできる。こうした構成によれば、上述した集液溝３４ｂに流入する薬液だけでなく、抑制溝２４１に流入する薬液も排出口３４ａに導くことができる。さらに、抑制溝２４１は供給口３５ａの全周を囲んでいる。このため、上面３１ｃから薬液が溢れ出すことを抑制することができる。

また、同図に示すように、薬液流路３５及び供給口３５ａを省略して、被供給位置２３５ａに上方から薬液を供給することもできる。この場合には、被供給位置２３５ａの上方まで薬液を流通させる薬液流路が設けられる。なお、同図に示すように、温度センサ挿入孔３７ａ（第１温度センサ８３）を、上下方向において本体３１の下面３１ｅ寄りに配置することもできる。

・図１６は、液体気化器３０の本体３１の他の変形例を示す斜視図である。同図に示すように、本体１３１には、上面３１ｃの対角線上に導入口３３ａ及び排出口３４ａが形成されている。そして、上面３１ｃにおいて集液溝３４ｂに平行な抑制溝３４１が設けられており、導入口３３ａが抑制溝３４１に連通している。こうした構成によっても、抑制溝３４１に導入される不活性ガスが抑制溝３４１に沿って流通する。ここでは、本体１３１に対して、下方から上方（本体１３１の厚み方向）へ延びる温度センサ挿入孔３３７ａ，３３７ｂが設けられている。そして、温度センサ挿入孔３３７ａ，３３７ｂに、それぞれ第１温度センサ８３，第２温度センサ８４が挿入され、上面３１ｃ近傍の温度が検出される。

上記構成によっても、抑制溝３４１の部分においてメッシュ４７の網目から吹き出す不活性ガスが、温度センサ挿入孔３３７ｂ（第２温度センサ８４）、供給口３５ａ、温度センサ挿入孔３３７ａ（第１温度センサ８３）、ヒータ挿入孔３６（ヒータ８０）の上を順に通過して、排出口３４ａから排出される。したがって、不活性ガスによって、供給口３５ａからヒータ８０側及び温度センサ８３側への薬液の広がりや、薬液の蒸気の流通を促進することができる。

・図１７は、第２気体流路３４周辺の変形例を示す斜視図である。同図に示すように、上面３１ｃの広がり方向において、供給口３５ａ（被供給位置）と排出口３４ａとの間に集液溝３４ｅを設けてもよい。集液溝３４ｅは、上面３１ｃの広がり方向において、供給口３５ａから排出口３４ａに向かう方向に垂直な方向へ延びている。排出口３４ａの開口面の高さは、集液溝３４ｅの開口面の高さよりも高くなっている。このため、薬液は集液溝３４ｅに流入することとなり、薬液が排出口３４ａに流入することを抑制することができる。なお、同図に示すように、本体３１の内部において、第２気体流路３４を上面３１ｃ寄りの位置に設けることもできる。

そして、本体３１の内部において集液溝３４ｅの下方には、温度センサ挿入孔４３７ｃ（第３温度センサ４８５）が設けられている。温度センサ挿入孔４３７ｃ（第３温度センサ４８５）は、上面３１ｃの短手方向に延びている。第３温度センサ４８５は、集液溝３４ｅの底部近傍の第３部分の温度を検出する。こうした構成によれば、コントローラ７０により、第３温度センサにより検出される第３部分の温度が判定温度幅を超えて低下した場合に、集液溝３４ｅに薬液が流入したことを適切に検知することができ、薬液の供給を停止させる等の処置を行うことが可能となる。

・第１温度センサ８３（第２温度センサ８４）により検知される第１部分（第２部分）の温度が、所定期間よりも長い期間上昇しない場合に、ヒータ８０による加熱に異常が生じていることを検知してもよい。

・コントローラ７０は、第１部分の温度及び第２部分の温度を、モニタ７１にデジタル表示させることもできる。

・液体気化器３０に温度ヒューズを設けて、液体気化器３０の温度が所定温度よりも高くなった場合に、温度ヒューズによりヒータ８０の加熱が停止されるようにしてもよい。

・第２気体流路３４の凹部３４ｄに、液体を検知する液体センサを取り付けてもよい。そして、液体センサにより、凹部３４ｄに溜まった薬液を検知することもできる。

・第１遮蔽部材５０を、メッシュバンド５２の外側に設けることもできる。また、第１遮蔽部材５０は、供給口３５ａを覆うものであればよく、その形状を任意に変更することができる。

・メッシュ４７やメッシュバンド５２の編み方（織り方）は、平織りに限らず、綾織り等の他の織り方を採用することもできる。また、メッシュ４７やメッシュバンド５２の粗さは、それらに対する薬液の濡れ性や、本体３１に対する薬液の濡れ性、薬液の粘度等に応じて、１００〜５００メッシュ程度の範囲で適切に設定することが望ましい。

・上記の各実施形態では、メッシュバンド５２が網目状に編まれていたが、これらを膜状に形成することもできる。この場合には、膜状に形成されたバンドが第１遮蔽部材５０の機能を果たすため、第１遮蔽部材５０を省略してもよい。また、薬液の供給圧力が低く、薬液がメッシュ４７やメッシュバンド５２を通過して噴出する可能性が低い場合にも、第１遮蔽部材５０を省略してもよい。反対に、第１遮蔽部材５０の設けられている部分には、メッシュバンド５２を設けないようにしてもよい。すなわち、第１遮蔽部材５０の設けられてない部分にのみ、メッシュバンド５２を設けることもできる。なお、メッシュバンド５２を、板状に形成することもできる。

・本体３１の形状は、底面長円形の柱状に限らず、直方体状等の他の形状を採用することもできる。また、本体３１の上面３１ｃ（被供給面）は、平面に限らず、曲面を採用することもできる。

・抑制溝４１，１４１，２４１，３４１を省略することもできる。

・上面３１ｃに供給された薬液の広がりを促進させる微細構造として、上面３１ｃに微細な凹凸を形成した構造を採用することもできる。この場合には、上面３１ｃの微細な凹凸構造が促進部を構成するため、メッシュ４７を省略することができる。

・薬液として、疎水化処理液（ＨＭＤＳ）に限らず、シンナー系溶剤、シランカップリング剤等、他の薬液を採用することもできる。その際には、メッシュ４７やメッシュバンド５２の材質を、薬液との濡れ性に応じて変更することが望ましい。これらの材質として、例えばステンレス材以外の金属や樹脂等を用いることもできる。また、液体気化器３０は、液体制御装置１０に限らず、薬液塗布器、成膜装置等、他の機器に適用することもできる。

１０…液体制御装置、２１…第１気体流路、２２…第２気体流路、２３…薬液流路（液体流路）、３０…液体気化器、３１…本体、３３…第１気体流路、３３ａ…導入口、３４…第２気体流路、３４ａ…排出口、３４ｄ…凹部、３４ｅ…集液溝、３５…薬液流路（液体流路）、３５ａ…供給口、４１…抑制溝（溝）、４７…メッシュ（促進部、網状体）、５２…メッシュバンド（促進部、網状体、誘導部材）、７０…コントローラ（制御部、監視部）、７１…モニタ（表示部）、８０…ヒータ、８３…第１温度センサ、８４…第２温度センサ、８５…第３温度センサ、１３１…本体、１４１…抑制溝（溝）、２３５ａ…被供給位置、２４１…抑制溝（溝）、３４１…抑制溝（溝）、４８５…第３温度センサ。

Claims (18)

1. 液体の広がり及び気化を制御する液体制御装置であって、
   前記液体の供給される被供給面を有する本体と、
   前記被供給面に供給された前記液体の広がりを促進させる微細構造を有する促進部と、
   前記被供給面の広がり方向において前記被供給面における前記液体が供給される被供給位置から離れた位置で、前記本体の内部から前記被供給面を加熱するヒータと、
   前記被供給面の広がり方向において前記被供給位置と前記ヒータとの間で、前記本体の内部の第１部分の温度を検出する第１温度センサと、
   前記被供給面の広がり方向において前記被供給位置を挟んで前記第１部分と反対側で、前記本体の内部の第２部分の温度を検出する第２温度センサと、
   前記第１温度センサにより検出される前記第１部分の温度に基づいて、前記ヒータの発熱量を制御する制御部と、
   前記第２温度センサにより検出される前記第２部分の温度に基づいて、所定の監視処理を実行する監視部と、
   を備えることを特徴とする液体制御装置。
2. 前記第１部分及び前記第２部分は、前記被供給面に垂直な方向において前記本体の内部の前記被供給面寄りの部分である請求項１に記載の液体制御装置。
3. 画像を表示する表示部を備え、
   前記監視部は、前記監視処理として、前記第２温度センサにより検出される前記第２部分の温度の推移を前記表示部に表示させる請求項１又は２に記載の液体制御装置。
4. 前記監視部は、前記監視処理として、前記第２温度センサにより検出される前記第２部分の温度に基づいて異常を検知する請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体制御装置。
5. 前記監視部は、前記制御部により前記ヒータの発熱量が制御されている状態において、前記第２温度センサにより検出される前記第２部分の温度が判定温度幅を超えて低下した場合に、前記ヒータによる加熱に異常が生じていることを検知する請求項４に記載の液体制御装置。
6. 前記監視部は、前記監視処理として、前記第２温度センサにより検出される前記第２部分の温度に基づいて前記液体の気化を検知する請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体制御装置。
7. 前記監視部は、前記第２温度センサにより検出される前記第２部分の温度が所定温度に維持されている状態において、前記第２温度センサにより検出される前記第２部分の温度が低下した後に前記所定温度まで上昇して維持された場合に、前記液体の供給及び気化を検知する請求項６に記載の液体制御装置。
8. 前記監視部は、前記制御部により前記ヒータの発熱量が制御されている状態において、前記第１温度センサにより検出される前記第１部分の温度が判定温度幅を超えて低下した場合に、前記ヒータによる加熱に異常が生じていることを検知する請求項１〜７のいずれか１項に記載の液体制御装置。
9. 前記促進部は、網目状に編まれ、前記被供給面に接するように設けられた網状体であり、
   前記本体とで前記網状体を挟んで前記網状体に接する誘導部材を備える請求項１〜８のいずれか１項に記載の液体制御装置。
10. 前記誘導部材は、網目状に編まれて形成されている請求項９に記載の液体制御装置。
11. 前記本体の内部には、前記液体を流通させる液体流路が設けられ、
    前記液体流路は、前記被供給面で開口して前記液体の供給口を形成し、
    前記被供給位置は、前記供給口を通じて前記被供給面へ前記液体が供給される位置であり、
    前記網状体及び前記誘導部材は、前記被供給面のうち前記第１部分に対応する部分、前記被供給面のうち前記第２部分に対応する部分、及び前記供給口を覆っている請求項９又は１０に記載の液体制御装置。
12. 前記被供給面には、前記被供給面の広がり方向において前記第２部分を挟んで前記被供給位置と反対側への前記液体の広がりを抑制する溝が設けられている請求項１〜１１のいずれか１項に記載の液体制御装置。
13. 前記本体の内部には、気体を流通させる第１気体流路及び第２気体流路が設けられ、
    前記第１気体流路は、前記被供給面で開口して前記気体の導入口を形成し、
    前記第２気体流路は、前記被供給面で開口して前記気体の排出口を形成し、
    前記導入口と前記排出口とは、前記ヒータを挟んで設けられている請求項１〜１２のいずれか１項に記載の液体制御装置。
14. 前記被供給面が前記本体の上面となるように前記本体が配置されており、
    前記第２気体流路には、前記第２気体流路よりも下方へ凹む凹部が形成されている請求項１３に記載の液体制御装置。
15. 前記本体の内部における前記凹部の近傍の第３部分の温度を検出する第３温度センサを備え、
    前記監視部は、前記第３温度センサにより検出される前記第３部分の温度が判定温度幅を超えて低下した場合に、前記第２気体流路に前記液体が流入したことを検知する請求項１４に記載の液体制御装置。
16. 前記被供給面が前記本体の上面となるように前記本体が配置されており、
    前記被供給面の広がり方向において、前記被供給位置と前記排出口との間に集液溝が設けられている請求項１３に記載の液体制御装置。
17. 前記排出口の開口面の高さは、前記集液溝の開口面の高さよりも高くなっている請求項１６に記載の液体制御装置。
18. 前記本体の内部における前記集液溝の下方の第３部分の温度を検出する第３温度センサを備え、
    前記監視部は、前記第３温度センサにより検出される前記第３部分の温度が判定温度幅を超えて低下した場合に、前記集液溝に前記液体が流入したことを検知する請求項１６又は１７に記載の液体制御装置。

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