JP5798212B2 - 基板の反りを調整する方法および装置 - Google Patents
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Description
110 保持具
112 凹部
114、114a、114b 肩部
120 気孔付きカバープレート
122 気孔
124 凸部
130 気孔なしカバープレート
140 キャビティ
140a 上キャビティ
140b 下キャビティ
200 基板の反りを調整する方法
300 基板
302 はんだバンプ
500 真空管
502 真空吸着ステップ
600 冷却装置
700 プロセス
Claims (16)
- 保持具に備えられ、肩部を有する凹部内に基板を配置し、且つ前記基板が前記肩部に位置決めされる配置ステップと、
前記肩部に対応する凸部を有する気孔付きカバープレートで前記保持具をカバーし、前記肩部と前記凸部との間に前記基板を挟んで固定するとともに、前記基板を収容して前記基板で分割されたキャビティを形成する第1のカバーステップと、
前記保持具を加熱し、この加熱によって前記基板を加熱して軟化させる加熱ステップと、
前記気孔付きカバープレートの気孔を介して、前記基板で分割されたキャビティの一方の圧力を下げることによって、前記加熱ステップによる加熱で軟化している状態の前記基板を前記気孔に向けて変形させる変形ステップと、
前記変形ステップによって変形した前記基板を冷却し、前記基板の変形を保持させる冷却ステップと
を有することを特徴とする基板の反りを調整する方法。 - 前記配置ステップと前記第1のカバーステップとの間に、
前記保持具を気孔なしカバープレートでカバーする第2のカバーステップと、
前記基板にリフロープロセスを行うリフロープロセスステップと
を行い、
前記第1のカバーステップは、前記リフロープロセスステップの後に、前記気孔なしカバープレートを前記気孔付きカバープレートに置き換える
ことを特徴とする請求項1に記載の基板の反りを調整する方法。 - 前記変形ステップを行っているとき、前記加熱ステップを持続して行い、且つ前記加熱ステップは、前記基板を持続して加熱し、前記基板をそのガラス転移温度でほぼ維持することを特徴とする請求項1または2に記載の基板の反りを調整する方法。
- 前記変形ステップは、45〜70秒間行われることを特徴とする請求項3に記載の基板の反りを調整する方法。
- 前記変形ステップの真空度は、−65〜−95kPaであることを特徴とする請求項4に記載の基板の反りを調整する方法。
- 前記冷却ステップは、
前記基板の温度を60秒以内で室温に下げることを特徴とする請求項1または2に記載の基板の反りを調整する方法。 - 前記保持具および前記気孔付きカバープレートの材料は、アルミニウム、鉄、鋼、銅、もしくはこれらの金属の合金、またはこれらの組み合わせのいずれかであることを特徴とする請求項1または2に記載の基板の反りを調整する方法。
- 前記冷却ステップの後、前記基板の曲率半径は、1〜180μmであることを特徴とする請求項1または2に記載の基板の反りを調整する方法。
- 前記肩部は前記凹部の側面に沿って設置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の基板の反りを調整する方法。
- 前記肩部は、前記凹部の側面に沿って連続に設置された環形をした肩部、前記凹部の相対する側面に沿って不連続に設置された肩部、または前記凹部の4つの側面に沿って不連続に設置された肩部のいずれかであることを特徴とする請求項1または2に記載の基板の反りを調整する方法。
- 前記保持具は、
前記肩部を有する複数の前記凹部を有し、
前記気孔付きカバープレートは、
前記複数の凹部に対応する複数の前記気孔、および
前記複数の凹部の前記肩部に対応する複数の前記凸部を有しており、
前記複数の凹部内に複数の前記基板を同時に配置し、前記第1のカバーステップから前記冷却ステップまでを行うことを特徴とする請求項1または2に記載の基板の反りを調整する方法。 - 内部に基板が配置される凹部と、前記凹部の辺縁に配置され、前記基板を支持し、位置決めする肩部とを有する保持具と、
前記保持具をカバーすることによって、前記肩部で支持された前記基板を収容して、前記基板で分割されたキャビティを形成する気孔付きカバープレートと、
前記気孔付きカバープレートに設けられ、前記凹部内の前記基板を前記肩部との間に挟んで固定する凸部と、
前記凹部内に前記基板を収容した状態で、前記保持具を加熱することによって、前記基板を加熱して軟化させる加熱手段と、
前記気孔付きカバープレートの気孔を介して、前記基板によって分割された前記キャビティの一方の圧力を下げることによって、前記加熱手段による加熱で軟化している状態の前記基板を前記気孔に向けて変形させる真空管と、
前記保持具を冷却することにより、変形した前記基板を冷却して前記基板の変形を保持させる冷却手段と
を備えることを特徴とする基板の反りを調整する装置。 - 前記保持具および前記気孔付きカバープレートの材料は、アルミニウム、鉄、鋼、銅、もしくはこれらの合金、またはこれらの組み合わせのいずれかであることを特徴とする請求項12に記載の基板の反りを調整する装置。
- 前記肩部は前記凹部の側面に沿って設置されることを特徴とする請求項12に記載の基板の反りを調整する装置。
- 前記保持具は、
前記肩部を有する複数の前記凹部を有し、
前記気孔付きカバープレートは、
前記複数の凹部に対応する複数の前記気孔、および
前記複数の凹部の前記肩部に対応する複数の前記凸部を有することを特徴とする請求項12に記載の基板の反りを調整する装置。 - 前記肩部は、前記凹部の側面に沿って連続に設置された環形をした肩部、前記凹部の相対する側面に沿って不連続に設置された肩部、または前記凹部の4つの側面に沿って不連続に設置された肩部のいずれかであることを特徴とする請求項12に記載の基板の反りを調整する装置。
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