JP2010245195A - 半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】所望の温度を得るための熱効率を向上することができ、また基板を冷却する際の冷却能力の低下を防止することができ、さらに1枚の基板に複数個の半導体素子を実装することができるようにする。
【解決手段】配線基板2に半導体素子1を実装する半導体装置の製造装置において、配線基板2を支持するステージ4と、半導体素子1側より加熱する加熱ユニット15とを具備し、ステージ4に配線基板2を吸着固定する第1の流路7と、第1の流路7と独立し、配線基板2の半導体素子1が実装される領域と接し、ステージ4の断熱と配線基板2の冷却を行う第2の流路9とが具備されている。
【選択図】図1
【解決手段】配線基板2に半導体素子1を実装する半導体装置の製造装置において、配線基板2を支持するステージ4と、半導体素子1側より加熱する加熱ユニット15とを具備し、ステージ4に配線基板2を吸着固定する第1の流路7と、第1の流路7と独立し、配線基板2の半導体素子1が実装される領域と接し、ステージ4の断熱と配線基板2の冷却を行う第2の流路9とが具備されている。
【選択図】図1
Description
この発明は、半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法に係り、詳しくは、反りの発生を防止するフリップチップ方式の実装構造を有する半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法に関する。
近年、半導体装置の小型化に対応するパッケージ構造として、フリップチップ実装方式を用いた構造が適用され量産化されている。このようなフリップチップ方式の実装構造を有する半導体装置は、図8に示すように、電極形成面が下向きとなるように配置された半導体素子(半導体チップ)が、図9に示すような、関連技術に係る半導体装置の製造装置を用いて製造される。以下、図8及び図9を参照して、この半導体装置の製造方法を工程順に説明する。
まず、図8に示すように、電極上にハンダバンプ103が形成されている半導体素子101と、ハンダバンプ103と相対する位置に電極が形成された配線基板102とを、搭載機を用いて双方の電極が一致するように位置合せを行い、半導体素子101を配線基板102上にフラックスによって仮固定する。次に、図9に示すように、半導体素子101が仮固定された配線基板102を、搬送ユニット119に乗せてリフロー炉118内へ投入する。ここで、リフロー炉118は、加熱ユニット115によって120℃から180℃程度に加熱された予備加熱雰囲気ゾーンAと、ハンダの融点以上に加熱された本加熱雰囲気ゾーンBと、冷却ユニット120によってハンダの融点以下に冷却された冷却雰囲気ゾーンCとが、配線基板102の搬送方向から順に並んでいる。
この各加熱雰囲気ゾーンA、B内に配線基板102が到達した際、半導体素子101、配線基板102及びハンダバンプ103は各雰囲気とほぼ同等の温度に加熱される。また、本加熱雰囲気ゾーンA、Bに到達したとき、ハンダバンプ103は溶融して配線基板102の電極と金属反応する。そして、ハンダの融点以下に冷却された冷却雰囲気ゾーンC内に配線基板102が到達した際、半導体素子101、配線基板102及びハンダバンプ103はハンダの融点以下まで冷却される。最後に、配線基板102がリフロー炉118内より搬送ユニット119によって搬出され、半導体素子101はハンダバンプ103を介し配線基板102と電気的に接続された状態が得られる。以上の工程により、フリップチップ実装構造を有する半導体装置が製造される。
しかしながら、上述の関連技術に係る半導体装置の製造方法には幾つかの問題がある。最も大きな問題は、冷却雰囲気ゾーンCにおいてハンダ融点以下まで冷却した後に半導体素子101と配線基板102に反りが発生するということである。この原因は、各雰囲気中で加熱及び冷却処理を行っているため、半導体素子101と配線基板102とが同じ温度になってしまうことに起因する。半導体素子101と配線基板102とは線膨張係数が異なることから、同じ温度でも膨張量に差が生じる。加熱後に常温まで冷却を行った場合、ハンダの融点付近の温度でハンダバンプ103が凝固し半導体素子101と配線基板102とは固定される。さらに冷却が進むと、半導体素子101と配線基板102との収縮量は異なっていることから反りが発生してしまうことになる。
例えば、シリコンをベースとした半導体素子101の線膨張係数は約3.5ppm(シリコンの線膨張係数)、ガラスエポキシを使用した配線基板102の線膨張係数は約15ppmである。従って、リフロー炉118を用いて各雰囲気中で加熱及び冷却を行った場合、各温度における半導体素子101と配線基板102との膨張量の比は約1:4(半導体素子:ガラスエポキシ配線基板)となる。この状態で加熱後の冷却を行うと、一般に広く用いられるSn/Ag系の鉛フリーハンダを使用した場合では、ハンダ凝固点である220℃から230℃付近でハンダバンプ103が凝固して半導体素子101と配線基板102とが固定されてしまい、さらに常温まで冷却が進むとハンダ凝固点付近から常温までの半導体素子101と配線基板102との収縮量の差が反りとして発生してしまう。
また原因の一つとして、近年において携帯端末等に使用される半導体装置では、薄型化への要求が高く半導体素子101や配線基板102自体の厚みを薄くする方向であることがあげられる。半導体素子101や配線基板102自体の厚みが薄くなることによって、剛性がなくなり反りが発生し易い構造となってしまう。このような場合、リフロー炉118に搬送レールで配線基板102を支持し炉内を移動させる機構のものを用いると、加熱時に生じる反りによって搬送レールから配線基板が脱落し、炉内で基板が落下してしまう恐れがある。
このような観点から、雰囲気中で加熱及び冷却を行わないで、接触式の加熱方式を用いて、線膨張差を考慮し半導体素子と配線基板を独立して温度制御を行う実装技術が提供されている(特許文献1、特許文献2及び特許文献3)。一例として、特許文献1に開示されている半導体装置の製造装置201は、図10に示すように、回路基板202を保持するステージ201と、半導体チップ207を保持する真空チャック206と、半導体チップ207を加熱するセラミックヒータ205と、回路基板202に対して半導体チップ207を圧接する圧接ツール204と、ステージ201に対してエアブローを吹き付ける冷却装置209とを備えている。これにより、半導体チップ207と回路基板202との電極同士を接続する際に、セラミックヒータ205から半導体チップ207を介して伝導した熱が、回路基板202から冷却されたステージ201へと速やかに拡散されるので、回路基板202の温度が半導体チップ207の温度よりも低く維持されて、反りが抑制されるとされている。
しかし、これらの特許文献においても幾つかの問題点が存在している。第1の問題は、加熱効率が低く生産性が低い点である。この原因は、加熱ユニット側からの加熱時にステージ側では加熱ユニット側より低い温度で制御を行い実装することに起因する。ステージ側が加熱ユニット側より低い温度で制御されているため、加熱ユニット側からの熱はステージ側へ逃げ易い。従って、高い設定温度で加熱ユニット側より加熱しなければ接続部で十分な熱量を得ることができない。また、昇温にも時間がかかるため、実装動作のサイクルタイムが長く生産性が低い。さらに、加熱ユニット側の加熱温度が高い場合、加熱によって半導体素子を壊してしまう恐れがある。
第2の問題として、複数個の半導体素子を一括で実装する場合、歩留まりが低下してしまう点である。この原因は、半導体素子の実装に接触式の加熱方式を適用していることに起因する。1枚の配線基板に複数個の半導体素子を実装する場合、複数個の半導体素子のハンダバンプ全てを配線基板に接触させ同じ温度で同時に加熱する必要がある。しかし、個々の半導体素子では素子の厚みバラツキ、バンプの高さバラツキが生じている。従って、複数個の半導体素子のハンダバンプ全てを配線基板に接触させることができないことから、各々の半導体素子で一様な接続状態が得られず安定した品質を確保することが難しい。
また、接触式の加熱方式により反りの小さいフリップチップを得るようにした他の実装技術が提供されている(特許文献4)。特許文献4に開示されている半導体装置の製造装置321は、図11に示すように、加熱手段302を内蔵したチップ吸着フロック301と、基板吸着手段327及び基板冷却手段325を備えたステージ323とを具備し、加熱手段327及び基板冷却手段325が同時に動作するように構成されている。これにより、半導体装置を製造する場合は、ステージ323上に基板325を吸着保持し、チップ吸着ブロック301に吸着保持したフリップチップ303を加熱しながら基板305上に加圧し、同時に基板305をステージ323側から強制冷却する。
ところで、特許文献4に開示されている半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置には、以下のような問題がある。
第1の問題は、図11に示したように、フリップチップ303を吸着保持したチップ吸着フロック301の加熱時にも、同時に基板305をステージ323側より強制冷却しているので、チップ吸着ブロック301側からの熱量がステージ323側に逃げ易くなるため、所望の温度を得るにはチップ吸着ブロック301側から大きな熱量を加えなければならず、熱効率が悪くなることである。
第2の問題は、基板305の冷却を基板冷却手段325により直接ではなく、ステージ323を介して行うので、ステージ323の材質の熱伝導率による冷却能力の低下を生じさせることである。
第3の問題は、加熱手段302を保持するチップ吸着ブロック301により接触式でフリップチップ303を加熱するので、前述したように、1枚の配線基板に複数個の半導体素子を実装する場合、複数個の半導体素子のハンダバンプ全てを配線基板に接触させ同じ温度で同時に加熱する必要があるが、個々の半導体素子では素子の厚みバラツキ、バンプの高さバラツキが生じているため、複数個の半導体素子のハンダバンプ全てを配線基板に接触させることができないことである。
第1の問題は、図11に示したように、フリップチップ303を吸着保持したチップ吸着フロック301の加熱時にも、同時に基板305をステージ323側より強制冷却しているので、チップ吸着ブロック301側からの熱量がステージ323側に逃げ易くなるため、所望の温度を得るにはチップ吸着ブロック301側から大きな熱量を加えなければならず、熱効率が悪くなることである。
第2の問題は、基板305の冷却を基板冷却手段325により直接ではなく、ステージ323を介して行うので、ステージ323の材質の熱伝導率による冷却能力の低下を生じさせることである。
第3の問題は、加熱手段302を保持するチップ吸着ブロック301により接触式でフリップチップ303を加熱するので、前述したように、1枚の配線基板に複数個の半導体素子を実装する場合、複数個の半導体素子のハンダバンプ全てを配線基板に接触させ同じ温度で同時に加熱する必要があるが、個々の半導体素子では素子の厚みバラツキ、バンプの高さバラツキが生じているため、複数個の半導体素子のハンダバンプ全てを配線基板に接触させることができないことである。
この発明は、上述の事情に鑑みてなされたもので、所望の温度を得るための熱効率を向上することができ、また基板を冷却する際の冷却能力の低下を防止することができ、さらに1枚の基板に複数個の半導体素子を実装することができる半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法を提供することを目的としている。
この発明は、配線基板に半導体素子を実装する半導体装置の製造装置に係り、前記配線基板を支持するステージと、前記半導体素子側より加熱する加熱ユニットとを具備し、前記ステージに前記配線基板を吸着固定する第1の流路と、前記第1の流路と独立し、前記配線基板の前記半導体素子が実装される領域と接し、前記ステージの断熱と前記配線基板の冷却を行う第2の流路とが具備されていることを最も主要な特徴とする。
この発明の半導体装置の製造装置によれば、ステージに第2の流路が具備されており、この第2の流路内の気体の動きを制御し、ステージの断熱と配線基板も含めた冷却を行うことができるので、配線基板上への半導体素子実装において効率的な加熱、冷却が可能となる。
また、この発明の半導体装置の製造装置では、第2の流路が半導体素子の実装領域直下で幾つもの経路に分岐した機構を有していることで、配線基板の半導体素子が実装される領域内に第2の流路の気体が斑なく接し、均一に加熱、冷却することができる。従って、温度分布起因によるハンダ濡れ性バラツキを抑制し、安定した接続状態を得ることが可能となる。さらに、上記構成の製造装置によれば、非接触加熱方式の加熱ユニットにより加熱を行うことで、半導体素子の厚みバラツキに影響されること無く複数個の半導体素子を同時に均一に加熱することが可能となり、生産性の向上を図ることができる。
また、上記構成の半導体装置の製造装置を用いた、半導体装置の製造方法によれば、配線基板上への半導体素子実装において、冷却時に第2の流路内の気体制御による冷却動作と加熱ユニットから半導体素子に与える熱量の制御を行い、ハンダバンプが凝固点に達した時点での半導体素子と配線基板の温度差を制御することで、線膨張差起因で生じる半導体装置の反りを制御することが可能である。
また、この発明の半導体装置の製造装置では、第2の流路が半導体素子の実装領域直下で幾つもの経路に分岐した機構を有していることで、配線基板の半導体素子が実装される領域内に第2の流路の気体が斑なく接し、均一に加熱、冷却することができる。従って、温度分布起因によるハンダ濡れ性バラツキを抑制し、安定した接続状態を得ることが可能となる。さらに、上記構成の製造装置によれば、非接触加熱方式の加熱ユニットにより加熱を行うことで、半導体素子の厚みバラツキに影響されること無く複数個の半導体素子を同時に均一に加熱することが可能となり、生産性の向上を図ることができる。
また、上記構成の半導体装置の製造装置を用いた、半導体装置の製造方法によれば、配線基板上への半導体素子実装において、冷却時に第2の流路内の気体制御による冷却動作と加熱ユニットから半導体素子に与える熱量の制御を行い、ハンダバンプが凝固点に達した時点での半導体素子と配線基板の温度差を制御することで、線膨張差起因で生じる半導体装置の反りを制御することが可能である。
配線基板2に半導体素子1を実装する半導体装置の製造装置において、配線基板2を支持するステージ4と、半導体素子1側より加熱する加熱ユニット15とを具備し、ステージ4に配線基板2を吸着固定する第1の流路7と、第1の流路7と独立し、配線基板2の半導体素子1が実装される領域と接し、ステージ4の断熱と配線基板2の冷却を行う第2の流路9とが具備されている。
図1は、この発明の第1の実施形態である半導体装置の製造装置の概略構成を示す断面図、図2は同半導体装置の製造装置の主要部の概略構成を示す平面図、また、図3は図2の断面構造を示し、図3(a)はA―A’矢視断面図、図3(b)はB−B’矢視断面図、図3(c)はC−C‘矢視断面図である。
第1の実施形態である半導体装置の製造装置20は、図1〜図3に示すように、半導体素子1が仮固定された配線基板2を支持、固定するステージ4は、配線基板2を予備加熱する温調部6と配線基板2を吸着固する吸着プレート5とで構成されている。図示はしていないが、温度制御のために空冷、又は水冷機構が温調部6に具備されていても良い。また、ステージ4には、第1の流路7と第2の流路9が具備されている。第1の流路7は配線基板2をステージ4に吸着固定するための機構であり、第2の流路9は加熱ユニット15からの加熱に対するステージ4の断熱と、配線基板2も含めた冷却を行うための機構である。
第1の実施形態である半導体装置の製造装置20は、図1〜図3に示すように、半導体素子1が仮固定された配線基板2を支持、固定するステージ4は、配線基板2を予備加熱する温調部6と配線基板2を吸着固する吸着プレート5とで構成されている。図示はしていないが、温度制御のために空冷、又は水冷機構が温調部6に具備されていても良い。また、ステージ4には、第1の流路7と第2の流路9が具備されている。第1の流路7は配線基板2をステージ4に吸着固定するための機構であり、第2の流路9は加熱ユニット15からの加熱に対するステージ4の断熱と、配線基板2も含めた冷却を行うための機構である。
第1の流路7と第2の流路9の断面構造は、図3に示すように、各々独立した経路であり、第1の経路7は温調部6から吸着プレート5上の第1の溝8に繋がっている。また、温調部6の開口からは配管等で真空ポンプ13に接続されている。ここで第1の溝8は、配線基板2の半導体素子1が実装される領域よりも外側の位置に配置されており、この箇所で配線基板2はステージ4に吸着固定される。第2の流路9は、吸着プレート5の側面から吸着プレート5内に埋め込まれた多孔質プレート10を介して、対面に貫通した経路となっている。ここで多孔質プレート10は配線基板2の半導体素子1を実装する領域と対応した位置に配置されており、吸着プレート5に固定されている。多孔質プレート10の材質はアルミナ系材質や炭化珪素系材質を用いても良い。また、気孔率は40%から60%のものを用いることが望ましい。
第2の流路9において、吸着プレート5側面の一方の開口には配管を介し開閉動作可能な電磁弁12が具備されており、他方の開口には同様に電磁弁12と第2の流路9内の気体、例えばエア、窒素ガス等の冷媒を吸引する吸引ユニット14が接続されている。第2の流路9では、配線基板2がステージ4に第1の流路7を通じて吸着固定された際に、この電磁弁12の開閉動作と吸引ユニット14の動作により、多孔質プレート10内を含めた第2の流路9の気体の動きを制御することができる。双方の電磁弁12を閉じ吸引ユニット14からの吸引を行わない場合は、第2の流路9は密閉状態となる。加熱ユニット15から配線基板2上の半導体素子1を加熱する際、第2の流路9の多孔質プレート10内に閉じ込められた気体が断熱材として機能する。
ここで、気体が膨張し配線基板2を押し上げる力が生じた場合は、電磁弁12を少量開放し第2の流路9内の気体をリークさせても良い。双方の電磁弁12を開いた状態で吸引ユニット14からの吸引を行った場合では、第2の流路9内で気体が流動している状態となる。ステージ4上に吸着固定した配線基板2を冷却する際、第2の流路9の多孔質プレート10内に閉じ込められた気体を排出すると共に、配線基板2の半導体素子1の実装領域とその直下のステージ4の加熱領域は流動する気体によって直接冷却される。このとき、電磁弁12の絞りと吸引ユニット14の吸引力制御により、第2の流路9内の風速、流量を制御しても良い。さらに、図示はしていないが吸引ユニット14に接続されていない方へ温調ユニットを接続し、任意の温度に制御した気体を第2の流路9内に投入できるようにしても良い。
半導体素子1側から加熱を行う加熱ユニット15は、非接触方式による加熱機構で熱風加熱や赤外線加熱を適用することができる。熱風加熱方式の場合、流量、温度、ステージ4表面からの高さ及び加熱時間の制御ユニットが具備されており、加熱対象物に与える熱量が制御できる。また、配線基板2の半導体素子1の実装領域に該当する位置に任意の孔をあけたプレートを熱風発生源と配線基板2との間に設置し、半導体素子1のみに直接熱風を当て加熱する構造としても良い。赤外線加熱方式の場合では、光源に与える電力、ステージ4表面からの高さ及び加熱時間の制御ユニットが具備されており、加熱対象物に与える熱量を制御できる。また、配線基板2の半導体素子1の実装領域に該当する位置以外に赤外光を反射する機構が具備されたプレートを光源と配線基板2との間に設置し、半導体素子1のみに直接光を当て加熱する構造としても良い。
この実施形態の半導体装置の製造装置20では、配線基板が第1の流路7によってステージ4上に吸着固定された状態で実装できることから、加熱時の配線基板2の反りを抑制することができ、接続安定性を確保することが可能となる。また、第2の流路9内の気体の動きを制御し、ステージ4の断熱と配線基板2も含めた冷却を行うことができるので、配線基板2上への半導体素子1の実装において効率的な加熱、冷却が可能となる。さらに、多孔質プレート10を適用することにより、配線基板2の半導体素子1が実装される領域内に第2の流路9内の気体が斑なく接することができるので、均一に加熱、冷却することができる。従って、温度分布起因によるハンダ濡れ性バラツキを抑制し、安定した接続状態を得ることが可能となる。また、この実施形態による半導体装置の製造装置20によれば、非接触加熱方式の加熱ユニット15により加熱を行うことで、半導体素子1の厚みバラツキに影響されること無く複数個の半導体素子1を同時に均一に加熱することが可能となり、生産性の向上を図ることができる。
次に、この実施形態による半導体装置の製造装置を用いた半導体装置の製造方法について、図7を参照して工程順に説明する。なお、各工程においては、加熱ユニット15の動作及びステージ4の動作の概要を示している。
A.配線基板吸着工程
初めに、電極にハンダバンプ3が形成された半導体素子1が仮固定された配線基板2をステージ4上に搬送、設置し、真空ポンプ13にて吸引することで第1の流路7により吸着固定する。ここで、ステージ4の温調部6によって任意の温度と時間で配線基板2を予備加熱しても良い。予備加熱温度は80℃から150℃の範囲が好ましい。また、配線基板2上への仮固定は、関連技術の製造方法と同様にフラックス等を用いて行う。
A.配線基板吸着工程
初めに、電極にハンダバンプ3が形成された半導体素子1が仮固定された配線基板2をステージ4上に搬送、設置し、真空ポンプ13にて吸引することで第1の流路7により吸着固定する。ここで、ステージ4の温調部6によって任意の温度と時間で配線基板2を予備加熱しても良い。予備加熱温度は80℃から150℃の範囲が好ましい。また、配線基板2上への仮固定は、関連技術の製造方法と同様にフラックス等を用いて行う。
B.半導体素子加熱工程
次に、ステージ4が加熱位置に移動し、加熱ユニット15より非接触で半導体素子1をハンダバンプ3の温度がハンダ融点以上の任意の温度になるまで昇温させる(加熱制御A)。この時、ステージ4の第2の流路9を密閉状態に制御することで、断熱作用を持たせている。また、ステージ4の温調部6における制御は解除されている状態である。ハンダバンプ3の到達温度は260℃から330℃の範囲が好ましい。その後、この加熱状態を任意の時間保持し、ハンダバンプ3と配線基板2に設けられた電極の材料と十分に反応させる。ここで、加熱状態を保持する時間は10secから60secの範囲が好ましい。
次に、ステージ4が加熱位置に移動し、加熱ユニット15より非接触で半導体素子1をハンダバンプ3の温度がハンダ融点以上の任意の温度になるまで昇温させる(加熱制御A)。この時、ステージ4の第2の流路9を密閉状態に制御することで、断熱作用を持たせている。また、ステージ4の温調部6における制御は解除されている状態である。ハンダバンプ3の到達温度は260℃から330℃の範囲が好ましい。その後、この加熱状態を任意の時間保持し、ハンダバンプ3と配線基板2に設けられた電極の材料と十分に反応させる。ここで、加熱状態を保持する時間は10secから60secの範囲が好ましい。
C.配線基板冷却工程
次に、第2の流路9内を気体が流動する状態に制御することで、配線基板2の半導体素子1が実装された領域とその直下のステージ4の加熱された領域を直接冷却し、ハンダバンプ3がハンダ凝固点以下の任意の温度となるまで冷却する。この時、吸引ユニット14の吸引力と必要に応じ第2の流路9に投入される気体の温度を制御し、また加熱ユニット15側から半導体素子1に与える熱量の制御を行うことで(加熱制御B)、ハンダバンプ3が凝固点に達した時点での半導体素子1と配線基板2の温度差及び冷却勾配を制御する。冷却完了温度としては、80℃から150℃の範囲が好ましい。
次に、第2の流路9内を気体が流動する状態に制御することで、配線基板2の半導体素子1が実装された領域とその直下のステージ4の加熱された領域を直接冷却し、ハンダバンプ3がハンダ凝固点以下の任意の温度となるまで冷却する。この時、吸引ユニット14の吸引力と必要に応じ第2の流路9に投入される気体の温度を制御し、また加熱ユニット15側から半導体素子1に与える熱量の制御を行うことで(加熱制御B)、ハンダバンプ3が凝固点に達した時点での半導体素子1と配線基板2の温度差及び冷却勾配を制御する。冷却完了温度としては、80℃から150℃の範囲が好ましい。
D.配線基板搬出工程
最後に、ステージ4が搬出位置に移動し吸引ユニット14の吸引を解除した後、半導体素子1が実装された配線基板2の吸着固定を解除し、ステージ4より搬出することで完了する。以上の工程により、フリップチップ実装構造を有する半導体装置が製造される。
最後に、ステージ4が搬出位置に移動し吸引ユニット14の吸引を解除した後、半導体素子1が実装された配線基板2の吸着固定を解除し、ステージ4より搬出することで完了する。以上の工程により、フリップチップ実装構造を有する半導体装置が製造される。
上述したようなこの発明の半導体装置の製造方法では、配線基板2上への半導体素子1の実装において、冷却時に第2の流路9内の気体制御による冷却動作と加熱ユニット15から半導体素子1に与える熱量の制御を行い、ハンダバンプ3の凝固点における半導体素子1と配線基板2の温度差を制御することで、線膨張差起因で生じる半導体装置の反りを制御することが可能である。
図4は、この発明の第2の実施形態である半導体装置の製造装置の概略構成を示す断面図、図5は同半導体装置の製造装置の主要部の概略構成を示す平面図、また、図6は図5の断面構造を示し、図6(a)はA―A’矢視断面図、図6(b)はB−B’矢視断面図、図6(c)はC−C‘矢視断面図である。第2の実施形態による半導体装置の製造装置の構成が、上述の第1の実施形態のそれと大きく異なるところは、多孔質プレートに代えて格子状の溝を具備するようにした点である。
この実施形態による半導体装置の製造装置21は、図4〜図5に示すように、ステージ4の吸着プレート5上において配線基板2の半導体素子1が実装される領域と対応する位置に、第2の流路と繋がった格子状の第2の溝11が具備されている。ここで、第2の溝11の面積は半導体素子1の実装領域の面積に対し略40%以上であることが好ましい。これ以外は、上述した第1の実施形態と略同様である。それゆえ、図4〜図6において、図1〜図3の構成部分と対応する各部には、同一の番号を付してその説明を省略する。
この実施形態による半導体装置の製造装置21は、図4〜図5に示すように、ステージ4の吸着プレート5上において配線基板2の半導体素子1が実装される領域と対応する位置に、第2の流路と繋がった格子状の第2の溝11が具備されている。ここで、第2の溝11の面積は半導体素子1の実装領域の面積に対し略40%以上であることが好ましい。これ以外は、上述した第1の実施形態と略同様である。それゆえ、図4〜図6において、図1〜図3の構成部分と対応する各部には、同一の番号を付してその説明を省略する。
このように、この実施形態による半導体装置の製造装置21によれば、第2の溝11が格子状であることにより、第1の実施形態と同様に配線基板2の半導体素子1が実装される領域内に第2の流路9内の気体が斑なく接することができるので、均一に加熱、冷却することができる。従って、温度分布起因によるハンダ濡れ性バラツキを抑制し、安定した接続状態を得ることが可能となる。また、第2の溝は吸着プレートの一部を加工した一体構造であるため、製造装置を安価に組み立てることが可能である。
次に、この実施形態による半導体装置の製造装置を用いた半導体装置の製造方法について、図7を参照して工程順に説明する。
A.配線基板吸着工程
初めに電極にハンダバンプ3が形成された半導体素子1が仮固定された配線基板2をステージ4上に搬送、設置し、真空ポンプ13にて吸引することで第1の流路7により吸着固定する。ここで、バンプ材質はSn-Ag-Cuハンダである。配線基板2は□14mmの1個片が4個×9個のマトリックス状に配置されているもので、サイズは150mm×75mmで厚さが0.35mmである。また、半導体素子1のサイズは□9mmで厚さ0.12mm、バンプ数は1000で150μmピッチ千鳥の配列である。さらに、配線基板2上には上記の半導体素子1が36個フラックスによって仮固定されている。仮固定方法は、関連技術の製造方法と同様である。第1の流路7による配線基板2の吸着固定位置は、□14mmの周辺部である。
A.配線基板吸着工程
初めに電極にハンダバンプ3が形成された半導体素子1が仮固定された配線基板2をステージ4上に搬送、設置し、真空ポンプ13にて吸引することで第1の流路7により吸着固定する。ここで、バンプ材質はSn-Ag-Cuハンダである。配線基板2は□14mmの1個片が4個×9個のマトリックス状に配置されているもので、サイズは150mm×75mmで厚さが0.35mmである。また、半導体素子1のサイズは□9mmで厚さ0.12mm、バンプ数は1000で150μmピッチ千鳥の配列である。さらに、配線基板2上には上記の半導体素子1が36個フラックスによって仮固定されている。仮固定方法は、関連技術の製造方法と同様である。第1の流路7による配線基板2の吸着固定位置は、□14mmの周辺部である。
B.半導体素子加熱工程
次に、ステージ4の温調部6により120℃で30sec間、配線基板2を予備加熱する。その後、ステージ4が加熱位置に移動し、加熱ユニット15より熱風加熱で36個の半導体素子1を一括加熱し、ハンダバンプ3の温度が300℃になるまで昇温させる(加熱制御A)。この時、ステージ4の第2の流路9を密閉状態に制御することで、断熱作用を持たせている。また、ステージ4の温調部6における制御は解除されている状態である。その後、この加熱状態を20sec間保持し、ハンダバンプ3と配線基板2に設けられた電極の材料と十分に反応させる。
次に、ステージ4の温調部6により120℃で30sec間、配線基板2を予備加熱する。その後、ステージ4が加熱位置に移動し、加熱ユニット15より熱風加熱で36個の半導体素子1を一括加熱し、ハンダバンプ3の温度が300℃になるまで昇温させる(加熱制御A)。この時、ステージ4の第2の流路9を密閉状態に制御することで、断熱作用を持たせている。また、ステージ4の温調部6における制御は解除されている状態である。その後、この加熱状態を20sec間保持し、ハンダバンプ3と配線基板2に設けられた電極の材料と十分に反応させる。
C.配線基板冷却工程
次に、第2の流路9内を気体が流動する状態に制御することで、配線基板2の36個の半導体素子1が実装される各領域とその直下のステージ4の加熱された各領域を直接冷却し、ハンダバンプ3が凝固点以下の120℃になるまで冷却する。この時、吸引ユニット14の吸引力は16kPaで、第2の流路9に投入される気体の温度は常温で制御し、加熱ユニット15はステージ4から上方向に退避させることで(加熱制御B)、ハンダバンプ3が凝固点に達した時点での半導体素子1と配線基板2の温度差及び冷却勾配を制御する。
次に、第2の流路9内を気体が流動する状態に制御することで、配線基板2の36個の半導体素子1が実装される各領域とその直下のステージ4の加熱された各領域を直接冷却し、ハンダバンプ3が凝固点以下の120℃になるまで冷却する。この時、吸引ユニット14の吸引力は16kPaで、第2の流路9に投入される気体の温度は常温で制御し、加熱ユニット15はステージ4から上方向に退避させることで(加熱制御B)、ハンダバンプ3が凝固点に達した時点での半導体素子1と配線基板2の温度差及び冷却勾配を制御する。
D.配線基板搬出工程
最後に、ステージ4が搬出位置に移動し吸引ユニット14の吸引を解除した後、36個の半導体素子1が実装された配線基板2の吸着固定を解除し、ステージ4より搬出することで工程を完了する。以上の工程により、フリップチップ実装構造を有する半導体装置が製造される。
最後に、ステージ4が搬出位置に移動し吸引ユニット14の吸引を解除した後、36個の半導体素子1が実装された配線基板2の吸着固定を解除し、ステージ4より搬出することで工程を完了する。以上の工程により、フリップチップ実装構造を有する半導体装置が製造される。
上述したようなこの発明の半導体装置の製造方法においても、配線基板2上への半導体素子1の実装において、冷却時に第2の流路9内の気体制御による冷却動作と加熱ユニット15から半導体素子1に与える熱量の制御を行い、ハンダバンプ3の凝固点における半導体素子1と配線基板2の温度差を制御することで、線膨張差起因で生じる半導体装置の反りを制御することが可能である。
ステージ4の断熱と配線基板2の冷却を行う第2の流路9に繋がる構成部として、第2の実施形態では格子状の溝11が用いる例で示したが、この例に限らず冷却媒体の流れ方向に平行方向に溝を設けた構造等を採ってもよい。
第1の部品と第2の部品とをハンダ付けにより一体化して所望の動作を行う機能を有する電子回路部品を製造する場合、いずれかの部品をステージに保持してこの部品の上に他の部品を実装するような部品製造技術に全て適用することができる。
1 半導体素子
2 配線基板
3 ハンダバンプ
4 ステージ
5 吸着プレート
6 温調部
7 第1の流路
8 第1の溝
9 第2の流路
10 多孔質プレート
11 第2の溝
12 電磁弁
13 真空ポンプ
14 吸引ユニット
15 加熱ユニット
16 ヒータ
20、21 半導体装置の製造装置
2 配線基板
3 ハンダバンプ
4 ステージ
5 吸着プレート
6 温調部
7 第1の流路
8 第1の溝
9 第2の流路
10 多孔質プレート
11 第2の溝
12 電磁弁
13 真空ポンプ
14 吸引ユニット
15 加熱ユニット
16 ヒータ
20、21 半導体装置の製造装置
Claims (19)
- 配線基板に半導体素子を実装する半導体装置の製造装置であって、
前記配線基板を支持するステージと、前記半導体素子側より加熱する加熱ユニットとを具備し、
前記ステージに前記配線基板を吸着固定する第1の流路と、前記第1の流路と独立し、前記配線基板の前記半導体素子が実装される領域と接し、前記ステージの断熱と前記配線基板の冷却を行う第2の流路とが具備されていることを特徴とする半導体装置の製造装置。 - 前記第2の流路は、前記配線基板の前記半導体素子が実装される領域直下において複数の経路に分岐した構造を有していることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造装置。
- 前記複数の経路に分岐した構造は、多孔質プレートから構成されることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造装置。
- 前記多孔質プレートは、気孔率が40%から60%であることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造装置。
- 前記複数の経路に分岐した構造は、前記配線基板が吸着固定される面に格子状の溝を具備する構造から構成されることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造装置。
- 前記格子状の溝を具備する構造は、溝の面積が前記半導体素子の実装される領域のそれに対し、略40%以上であることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の製造装置。
- 前記加熱ユニットは、非接触式の加熱方式であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1に記載の半導体装置の製造装置。
- 前記加熱ユニットは、熱風加熱方式の加熱方式であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1に記載の半導体装置の製造装置。
- 前記加熱ユニットは、赤外線加熱方式の加熱方式であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1に記載の半導体装置の製造装置。
- 半導体素子上の電極と配線基板上の電極とをハンダバンプを介して電気的に接続する半導体装置の製造方法であって、
前記半導体素子を前記配線基板に仮固定する工程と、
前記配線基板を支持するステージに具備された第1の流路により前記配線基板を吸引し前記ステージに固定する工程と、
前記ステージから前記半導体素子及び前記配線基板を予備加熱する工程と、
前記ステージに具備された第2の流路を密閉状態に制御し、加熱ユニットより前記ハンダバンプが融点以上に達するまで前記半導体素子を加熱する工程と、
前記ハンダバンプが融点以上に達した状態で加熱保持する工程と、
前記第2の流路を開放状態にすると共に前記第2の流路内の気体を吸引し、前記ステージの加熱された領域と前記配線基板の前記半導体素子が実装される領域を前記ハンダバンプの凝固点以下まで冷却する工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第2の流路を開放状態に制御すると共に前記第2の流路内の気体を吸引し、前記ステージの加熱された領域と前記配線基板の前記半導体素子が実装される領域を前記ハンダバンプの凝固点以下まで冷却する工程は、前記ハンダバンプの凝固点において、前記半導体素子と前記配線基板との温度差の制御を行う工程、を含むこと特徴とする請求項10に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の流路を開放状態に制御すると共に前記第2の流路内の気体を吸引し、前記ステージの加熱された領域と前記配線基板の前記半導体素子が実装される領域を前記ハンダバンプの凝固点以下まで冷却する工程は、前記加熱ユニットから前記半導体素子に与える熱量と、前記第2の流路内の気体を吸引する吸引力の制御によって行うこと、を特徴とする請求項10、11に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の流路を開放状態に制御すると共に前記第2の流路内の気体を吸引し、前記ステージの加熱された領域と前記配線基板の前記半導体素子が実装される領域を前記ハンダバンプの凝固点以下まで冷却する工程は、前記加熱ユニットから前記半導体素子に与える熱量と、前記第2の流路内の気体を吸引する吸引力の制御と、前記第2の流路内に投入される気体の温度制御よって行うこと、を特徴とする請求項10、11又は12に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ステージに具備された第2の流路を密閉状態に制御し、加熱ユニットより前記ハンダバンプが融点以上に達するまで前記半導体素子を加熱する工程は、非接触式の加熱方式で行うことを特徴とする請求項10乃至13のいずれか1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記非接触式の加熱方式は、熱風加熱方式であることを特徴とする請求項14に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記熱風加熱方式は、流量と、流速と、ヒータ温度と、前記ステージから前記加熱ユニットまでの高さとで前記半導体素子に与える熱量の制御を行うことを特徴とする請求項15に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記非接触式の加熱方式は、赤外線加熱方式であることを特徴とする請求項14に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記赤外線加熱方式は、光源に与える電力と、前記ステージから前記加熱ユニットまでの高さとで前記半導体素子に与える熱量の制御を行うことを特徴とする請求項17に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体素子を前記配線基板に仮固定する工程は、固定手段としてフラックスを用いることを特徴とする請求項10乃至18のいずれか1に記載の半導体装置の製造方法。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013012542A (ja) * | 2011-06-28 | 2013-01-17 | Apic Yamada Corp | 圧着装置および温度制御方法 |
WO2015105149A1 (ja) * | 2014-01-08 | 2015-07-16 | 東レ株式会社 | 半導体装置の実装方法および実装装置 |
US9210836B2 (en) | 2012-05-01 | 2015-12-08 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Electronic component mounting device |
JP2016162920A (ja) * | 2015-03-03 | 2016-09-05 | 東レエンジニアリング株式会社 | 実装装置および実装方法 |
WO2021201439A1 (ko) * | 2020-03-31 | 2021-10-07 | 스템코 주식회사 | 워크 스테이지 유닛 및 이를 구비하는 리플로우 장치 |
-
2009
- 2009-04-02 JP JP2009090440A patent/JP2010245195A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013012542A (ja) * | 2011-06-28 | 2013-01-17 | Apic Yamada Corp | 圧着装置および温度制御方法 |
US9210836B2 (en) | 2012-05-01 | 2015-12-08 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Electronic component mounting device |
US9761556B2 (en) | 2012-05-01 | 2017-09-12 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Method of manufacturing electronic device |
WO2015105149A1 (ja) * | 2014-01-08 | 2015-07-16 | 東レ株式会社 | 半導体装置の実装方法および実装装置 |
TWI656582B (zh) * | 2014-01-08 | 2019-04-11 | 日商東麗工程股份有限公司 | Semiconductor device mounting method and mounting device |
JP2016162920A (ja) * | 2015-03-03 | 2016-09-05 | 東レエンジニアリング株式会社 | 実装装置および実装方法 |
TWI681478B (zh) * | 2015-03-03 | 2020-01-01 | 日商東麗工程股份有限公司 | 安裝裝置及安裝方法 |
WO2021201439A1 (ko) * | 2020-03-31 | 2021-10-07 | 스템코 주식회사 | 워크 스테이지 유닛 및 이를 구비하는 리플로우 장치 |
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