JP5798211B1 - 共沸しない洗浄剤組成物を用いた洗浄システム及び洗浄方法 - Google Patents

Abstract

【課題】煮沸洗浄を含む洗浄システムにおいて、共沸しない混合溶剤を用いた簡便な洗浄システム及び洗浄方法を提供する。【解決手段】第１の成分と第２の成分とを含む洗浄剤組成物１を収容し、被洗浄物が浸漬され、かつ第１の成分の蒸気を発生させる煮沸槽１１と、煮沸槽により発生した第１の成分の蒸気２を液化して回収する回収部２３，２４と、回収部により回収された回収液から水を分離して第１の成分を抽出する水分離器２１と、を備える洗浄システムであって、第１の成分は、沸点が３０〜１００℃でありかつ蒸気比重が空気よりも大きく、第２の成分は、第１の成分の沸点に対して、５０℃以上高い沸点を有し、第１の成分と第２の成分とは、相溶するが共沸せず、水分離器により抽出された第１の成分は煮沸槽に供給されることを特徴とする、洗浄システム。【選択図】図１

Description

本発明は、物品表面に付着した汚れを除去する洗浄システム及び洗浄方法に関し、更に詳しくは、共沸しない洗浄剤組成物を用いた洗浄システム及び洗浄方法に関する。

従来、精密機械工業、光学機器工業、電気電子工業、及びプラスチック加工業等において、製造加工工程等で付着した油（例えば、切削油、プレス油、引抜き油、熱処理油、防錆油、潤滑油、加工油、グリース、フラックス、樹脂、ワックス）、及び塵埃を除去するための精密洗浄に、フッ素系溶剤等が用いられている。特に、不燃性で化学的及び熱的安定性に優れ、油脂類に対して溶解力のあるフッ素系溶剤として、ジクロロペンタフルオロプロパン（Ｒ２２５）およびジクロロフルオロエタン（Ｒ−１４１ｂ）等のハイドロクロロフルオロカーボン（以下、ＨＣＦＣと記す。）が広く使われている。しかし、ＨＣＦＣはオゾン破壊係数を有するため、先進国においては２０２０年に生産が全廃されることが決定されている。

そこで、近年では、ＨＣＦＣに代わる溶剤の開発が進められており、その１つとして、ハイドロフルオロエーテル（以下、ＨＦＥという。）と、ハイドロフルオロカーボン（以下、ＨＦＣという。）が注目されている。ＨＦＥ及びＨＦＣは、不燃性であり、化学的および熱的安定性に優れ、乾燥性が良好であり、オゾン破壊係数がゼロで地球温暖化係数が比較的小さい等の利点を有する。しかし、ＨＦＥ及びＨＦＣは、塩素及び臭素を含まないため、油脂類の汚れ等の溶解性が十分ではなく、さらなる溶解性能の向上が望まれていた。そこでこの溶解性を上げるために、ＨＦＥやＨＦＣと他の溶解性を有する溶剤との混合溶剤が種々提案されている。

特許文献１には、（１ａ）炭化水素類、（１ｂ）グリコールエーテル類、及び（１ｃ）エステル類から選ばれる１種以上を主成分とする洗浄液を収納し被洗浄物が浸漬される洗浄槽と、（２ａ）ハイドロフルオロカーボン類、及び（２ｂ）ハイドロフルオロエーテル類から選ばれる１種以上を主成分とするリンス液を収納し被洗浄物が浸漬されるリンス液槽と、前記リンス液を収納し該リンス液の蒸気を発生させる蒸気槽と、該蒸気槽中のリンス液の一部を被再生液として抜き出して再生する再生ユニットを備え、該再生ユニットは、前記被再生液を冷却する冷却器と、冷却後の被再生液を上層液と下層液に分離する比重分離槽を有し、該比重分離槽で分離された下層液が前記蒸気槽に戻されることを特徴とする洗浄システムが記載されている。

特許文献２には、１，１，１，３，３−ペンタフルオロブタンと（Ｚ）−１−クロロ−３，３，３−トリフルオロプロペンからなる共沸様組成物からなる洗浄剤が記載されている。特許文献２には、前記共沸様組成物は、混合比率の幅が広く、組成物を繰り返し蒸発・凝縮させても組成物の組成変化がないことが記載されている。

特開２００８−１６３４００号公報 特開２０１０−２４８４４３号公報

特許文献１の洗浄システムにおいて用いられている、グリコールエーテル類及びフッ素系溶剤を含有する洗浄用溶媒組成物は共沸組成物であることから、蒸気成分はグリコールエーテル類及びフッ素系溶剤の両方を含有する組成である。このような組成を煮沸洗浄の溶剤として用い、リンス液として再利用するためには、共沸組成である混合溶媒からリンス液成分のみを分離しなければならないという問題があった。また、特許文献２における、（Ｚ）−１−クロロ−３，３，３−トリフルオロプロペンは構造の中に塩素を含んでいることから、環境への影響などが懸念される問題がある。

よって、本発明は、煮沸洗浄を含む洗浄システムにおいて、共沸しない混合溶剤を用いた簡便な洗浄システム及び洗浄方法を提供することを目的とする。

本発明者らは、前記の課題を解決するべく鋭意研究を重ねた結果、相溶するが、共沸しない混合溶剤を用いた洗浄システムであって、混合溶剤を入れる煮沸槽と、煮沸槽から発生する蒸気を液化して回収する回収部と、回収部により回収された回収液から水を分離して、煮沸槽から発生する蒸気成分を抽出して、溶剤として再利用する水分離器とを有し、該蒸気が、混合溶剤のうちの沸点が低い溶剤である洗浄システムが、前記の問題を解決できることを見出し本発明に至った。

本発明は以下の構成を有する。
［１］第１の成分と第２の成分とを含む第１の洗浄剤組成物を収容し、被洗浄物が浸漬され、かつ第１の成分の蒸気を発生させる煮沸槽と、煮沸槽により発生した第１の成分の蒸気を液化して回収する回収部と、回収部により回収された回収液から水を分離して第１の成分を抽出する水分離器と、を備える洗浄システムであって、
第１の成分は、沸点が３０〜１００℃でありかつ蒸気比重が空気よりも大きく、第２の成分は、第１の成分の沸点に対して、５０℃以上高い沸点を有し、第１の成分と第２の成分とは、相溶するが共沸せず、
水分離器により抽出された第１の成分は煮沸槽に供給されることを特徴とする、洗浄システム。
［２］第１の成分と第２の成分とを含む第１の洗浄剤組成物を収容し、被洗浄物が浸漬され、かつ第１の成分の蒸気を発生させる煮沸槽と、第１の成分を含み、かつ第２の成分は含まないリンス液を収容し、被洗浄物が浸漬されてリンスされるリンス槽と、煮沸槽により発生した第１の成分の蒸気を液化して回収する回収部と、回収部により回収された回収液から水を分離して第１の成分を抽出する水分離器と、を備える洗浄システムであって、
第１の成分は、沸点が３０〜１００℃でありかつ蒸気比重が空気よりも大きく、第２の成分は、第１の成分の沸点に対して、５０℃以上高い沸点を有し、第１の成分と第２の成分とは、相溶するが共沸せず、
水分離器により抽出された第１の成分はリンス槽に供給されることを特徴とする、洗浄システム。
［３］第１の成分と第２の成分とを含む第１の洗浄剤組成物を収容し、被洗浄物が浸漬され、かつ第１の成分の蒸気を発生させる煮沸槽と、第１の成分を含み、かつ第２の成分は含まないリンス液を収容し、被洗浄物が浸漬されてリンスされるリンス槽と、第１の成分を含む第２の洗浄剤組成物を収容し、被洗浄物に接触させる第１の成分の蒸気を発生させる仕上槽と、煮沸槽または仕上槽により発生した第１の成分の蒸気を液化して回収する回収部と、回収部により回収された回収液から水を分離して第１の成分を抽出する水分離器と、を備える洗浄システムであって、
第１の成分は、沸点が３０〜１００℃でありかつ蒸気比重が空気よりも大きく、第２の成分は、第１の成分の沸点に対して、５０℃以上高い沸点を有し、第１の成分と第２の成分とは、相溶するが共沸せず、
水分離器により抽出された第１の成分はリンス槽に供給されることを特徴とする、洗浄システム。
［４］さらに、煮沸槽から回収した汚れた洗浄剤組成物を加熱して第１の成分の蒸気を発生させる蒸留再生装置を備え、蒸留再生装置には、発生した第１の成分の蒸気を液化して回収する回収部が設けられ、回収部により回収された回収液が水分離器に供給されることを特徴とする、［３］の洗浄システム。
［５］さらに、仕上槽には、仕上げ槽中の第２の洗浄剤組成物の量を検出するセンサが設けられ、センサにより第２の洗浄剤組成物の量が所定量以下になったときに、水分離器から仕上槽へと第１の成分が供給される、［４］の洗浄システム。
［６］水分離器は、比重分離により第１の成分を抽出することを特徴とする、［１］〜［５］のいずれかの洗浄システム。
［７］［１］の洗浄システムを用いた洗浄方法であって、
（１Ａ）被洗浄物を煮沸槽に浸漬して、煮沸洗浄する工程と、
（１Ｂ）被洗浄物を第１の成分の蒸気に接触させて、蒸気洗浄する工程と
を含む、洗浄方法。
［８］工程（１Ａ）の後で、（１Ａ’）第１の成分でシャワー洗浄する工程
を含む、［７］の洗浄方法。
［９］［２］の洗浄システムを用いた洗浄方法であって、
（２Ａ）被洗浄物を煮沸槽に浸漬して、煮沸洗浄する工程と、
（２Ｂ）被洗浄物をリンス槽に浸漬して、リンスする工程と、
（２Ｃ）被洗浄物を第１の成分の蒸気に接触させて、蒸気洗浄する工程と
を含む、洗浄方法。
［１０］［３］〜［５］のいずれかの洗浄システムを用いた洗浄方法であって、
（３Ａ）被洗浄物を煮沸槽に浸漬して、煮沸洗浄する工程と、
（３Ｂ）被洗浄物をリンス槽に浸漬して、リンスする工程と、
（３Ｃ）被洗浄物を仕上槽の上部に置いて、第１の成分の蒸気に接触させて、蒸気洗浄する工程と
を含む、洗浄方法。
［１１］第１の成分が、ハイドロフルオロカーボン及びハイドロフルオロエーテルからなる群より選択される１種以上のフッ素系溶剤であり、
第２の成分が、Ｃ_１２〜Ｃ_２０不飽和脂肪酸アルキルエステル、パラフィン系炭化水素、又は単環式モノテルペンである、［１］〜［６］のいずれかの洗浄システム。
［１２］第１の成分が、ハイドロフルオロカーボン及びハイドロフルオロエーテルからなる群より選択される１種以上のフッ素系溶剤であり、
第２の成分が、Ｃ_１２〜Ｃ_２０不飽和脂肪酸アルキルエステル、パラフィン系炭化水素、又は単環式モノテルペンである、［７］〜［１０］のいずれかの洗浄方法。

本発明により、煮沸洗浄を含む洗浄システムにおいて、共沸しない混合溶剤を用いた簡便な洗浄システム及び洗浄方法が提供される。

図１は、洗浄システム１の概略を示す図である。 図２は、水分離器の構造例を示す図である。 図３は、洗浄システム２の概略を示す図である。 図４は、洗浄システム３の概略を示す図である。 図５は、さらに蒸留再生装置及び液面検出スイッチを備える好ましい洗浄システム３の概略を示す図である。

１．洗浄剤組成物
本発明における洗浄システムである、洗浄システム１、洗浄システム２及び洗浄システム３（以下、これらをまとめて「洗浄システム」という場合がある。）で用いられる、第１の洗浄剤組成物、第２の洗浄剤組成物及びリンス液について説明する。

第１の洗浄剤組成物は、第１の成分と第２の成分とを含み、第１の成分は、沸点が３０〜１００℃でありかつ蒸気比重が空気よりも大きく、第２の成分は、第１の成分の沸点に対して、５０℃以上高い沸点を有し、第１の成分と第２の成分とは、相溶するが共沸しない。「相溶」とは、２種類または多種類の物質が相互に親和性を有し、溶液または混和物を形成する状態をいい、純物質の２つ以上の相から出発し、拡散混合して一様な液体になることをいう。第１の洗浄剤組成物は、後述する洗浄システム１〜３において、煮沸槽に収容される洗浄液である。第１の洗浄剤組成物は、第１の成分及び第２の成分からなるのが好ましい。

第１の洗浄剤組成物は相溶することから、混合された１液の状態で取り扱えるため、複数の液を利用する手間がない点で好ましい。また、第１の成分及び第２の成分は相溶するため、煮沸洗浄における洗浄効果が、第１の成分の単独の場合及び第２の成分の単独の場合と比較して相乗的に向上する。また、第１の洗浄剤組成物は共沸しないため、発生する蒸気の成分は第１の成分のみであることができる。そのため、後述する洗浄システム１において、第１の成分の蒸気は回収部及び水分離器を介して、第１の成分の液体として煮沸槽に戻されるため、蒸気になった第１の成分の再利用が可能である。また、後述する洗浄システム２及び洗浄システム３において、第１の成分の蒸気は回収部及び水分離器を介して、第１の成分の液体としてリンス槽又は仕上げ槽に戻されるため、蒸気成分となった第１の成分の再利用が可能である。また、蒸気となった第１の成分を再利用できることから、煮沸洗浄及び蒸気洗浄を、長い時間及び良好な状態で、同一の装置で行うことができる。

第２の洗浄剤組成物は、第１の成分を含む。第２の洗浄剤組成物は、後述する洗浄システム３において、仕上槽に収容される洗浄剤である。第２の洗浄剤組成物は、第２の成分を含んでいてもよい。すなわち、第２の洗浄剤組成物は、前記第１の洗浄剤組成物であってもよい。第２の洗浄剤組成物は、第１の成分からなるのが好ましい。

リンス液は、第１の成分を含み、かつ第２の成分は含まない。リンス液は、後述する洗浄システム２及び洗浄システム３において、リンス槽に収容される洗浄液である。第２の洗浄剤組成物は、第１の成分を含む限り特に限定されず、第２の成分を含んでいてもよい。より精密洗浄に適していることから、第２の洗浄剤組成物は、第１の成分を含み、かつ第２の成分を含まない、すなわち、第１の成分からなるのが好ましい。

（１）第１の成分
第１の成分は、沸点が３０〜１００℃でありかつ蒸気比重が空気よりも大きい。

第１の成分は、煮沸洗浄、蒸気洗浄及びリンス洗浄の洗浄成分である。第１の成分の沸点は、好ましくは４０℃〜７９℃であり、より好ましくは４０〜６５℃である。第１の成分の沸点が、４０〜７９℃の範囲であれば、耐熱性に劣る樹脂及び高温で変色する銅に対する、蒸気洗浄や蒸気リンスのために有効である。

第１の成分は、蒸気比重が空気よりも大きい。第１の成分は、蒸気比重が空気以下であると、第１の成分の蒸気が洗浄システムの系外へより放出されてしまう。第１の成分の蒸気比重は、空気の蒸気比重を１とした場合、好ましくは４〜７であり、より好ましくは５〜６である。第１の成分の蒸気比重が４〜７であれば、第１の成分の蒸気が洗浄システムの系外へ放出されてしまうことがより低減される傾向がある。

２１℃での水に対する第１の成分の溶解度は、特に限定されず、３ｇ／Ｌ以下であることが好ましく、２ｇ／Ｌ以下であるのがより好ましい。２１℃での水に対する第１の成分の溶解度の下限は、０ｇ／Ｌであることができ、０．１ｇ／Ｌであるのが好ましい。２１℃での水に対する第１の成分の溶解度が、３ｇ／Ｌ以下である場合、水分離器による第１の成分の再利用効率がより高くなる傾向がある。

第１の成分は、上記した特性を有し、洗浄剤に用いられている成分であれば特に限定されないが、ＨＦＣ及びＨＦＥからなる群より選択される１種以上のフッ素系溶剤が好ましい。これらは、単独で使用しても、１以上のＨＦＣ及び１以上のＨＦＥの混合物を使用してもよい。

ＨＦＣは、炭素原子、フッ素原子及び水素原子からなる化合物である。ＨＦＣは、例えば、１，１，１，３，３−ペンタフルオロブタン（Ｃ_４Ｈ_５Ｆ_５、地球温暖化係数７００、沸点４０℃）、ヘプタフルオロシクロペンタン（Ｃ_５Ｈ_３Ｆ_７、地球温暖化係数２５０、沸点８２．５℃）等が挙げられ、比較的地球温暖化係数が低い点で、１，１，１，３，３−ペンタフルオロブタンが好ましい。１，１，１，３，３−ペンタフルオロブタンの市販品は、日本ソルベイ社製のソルカン（登録商標）３６５ｍｆｃ、アルケマ社製のフォラン（登録商標）３６５ｍｆｃ、フォラン（登録商標）３６５ｍｆｃ／２２７ｅａ等が挙げられる。また、ヘプタフルオロシクロペンタンの市販品は、日本ゼオン社製のゼオローラ（登録商標）Ｈ等が挙げられる。

ＨＦＥは、炭素原子、フッ素原子、水素原子及びエーテル結合（−Ｏ−）からなる化合物である。ＨＦＥは、メチルノナフルオロｎ−ブチルエーテルとメチルノナフルオロイソブチルエーテルとの混合物である住友スリーエム社製ノベックＨＦＥ７１００（沸点６１℃、地球温暖化係数２９７）、エチルノナフルオロｎ−ブチルエーテルとエチルノナフルオロイソブチルエーテルとの混合物であるノベックＨＦＥ７２００（沸点７６℃、地球温暖化係数５９）、１，１，２，２−テトラフルオロ−１−（２，２，２−トリフルオロエトキシ）エタンである旭硝子製ＡＥ３０００（ＨＦＥ−３４７ｐｃｆ）（沸点５６℃、地球温暖化係数５３０）、主成分を１，１，１，２，２，３，４，５，５，５−デカフルオロ−３−メトキシ−４−（トリフルオロメチル）ペンタンとするノベックＨＦＥ７３００（沸点９８℃、地球温暖化係数２１０）、１，１，１，２，３，３−ヘキサフルオロ−４−（１，１，２，３，３，３−ヘキサフルオロプロポキシ）−ペンタン等が挙げられる。ＨＦＥは、メチルノナフルオロｎ−ブチルエーテル、メチルノナフルオロイソブチルエーテル、エチルノナフルオロｎ−ブチルエーテル、エチルノナフルオロイソブチルエーテル、メチルノナフルオロｎ−ブチルエーテルとメチルノナフルオロイソブチルエーテルとの混合物、及び、エチルノナフルオロｎ−ブチルエーテルとエチルノナフルオロイソブチルエーテルとの混合物が好ましく、メチルノナフルオロイソブチルエーテルとメチルノナフルオロｎ−ブチルエーテルとの混合物がより好ましい。

以上より、第１の成分は、１，１，１，３，３−ペンタフルオロブタン、及び、メチルノナフルオロイソブチルエーテルとメチルノナフルオロｎ−ブチルエーテルとの混合物が特に好ましい。

第１の成分は、単独で用いても、複数の組合せを用いてもよい。

（２）第２の成分
第２の成分は、第１の成分の沸点に対して、５０℃以上高い沸点を有する成分である。
第２の成分は、洗浄システムにおいて、煮沸洗浄における洗浄成分である。

第２の成分は、第１の成分の沸点に対して、５０〜８０℃高い沸点を有する成分であるのが好ましい。第２の成分の沸点と第１の成分の沸点との差が、５０℃未満である場合、煮沸洗浄や蒸気洗浄の際に、第１の成分の蒸気のみを効率よく発生させることができない。第２の成分の沸点は、８０〜２５０℃であるのがより好ましく、１５０〜２００℃であるのが更に好ましい。
なお、前記した第２の成分について、ある第１の成分の沸点よりも５０℃高い沸点を有する成分ではない場合、当該第１の成分の沸点よりも５０℃高い沸点を有する成分ではない成分と、当該第１の成分の沸点よりも５０℃以上高い成分との混合物とすることで、第２の成分としてもよい。

第２の成分として、上記した特性を有し、洗浄剤に用いられている成分であれば特に限定されないが、Ｃ_１２〜Ｃ_２０不飽和脂肪酸アルキルエステル、パラフィン系炭化水素又は単環式モノテルペンが好ましい。

Ｃ_１２〜Ｃ_２０不飽和脂肪酸アルキルエステルは、炭素数１２〜２０の不飽和脂肪酸の炭素数１〜８のアルキルエステルが挙げられる。炭素数１２〜２０の不飽和脂肪酸は、ラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、ステアリン酸、オレイン酸、リノール酸、リノレン酸、及びエレオステアリン酸等が挙げられる。炭素数１２〜２０の不飽和脂肪酸は、炭素数１２〜１８の不飽和脂肪酸が好ましく、炭素数１４〜１８の不飽和脂肪酸がより好ましく、炭素数１６〜１８の不飽和脂肪酸が特に好ましい。炭素数１〜８のアルキルエステルのアルキル基は、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、ｔｅｒｔ−ブチル、２−エチルヘキシル等が挙げられ、メチルが好ましい。

Ｃ_１２〜Ｃ_２０不飽和脂肪酸アルキルエステルの具体例は、オレイン酸メチル、オレイン酸エチル、オレイン酸ブチル、オレイン酸アリル、オレイン酸イソアミル、オレイン酸ヘプチル、オレイン酸−２−エチルヘキシル、リノール酸メチル、リノール酸エチル、リノール酸アリル、リノール酸プロピル、リノール酸イソプロピル、リノール酸ブチル、リノール酸イソブチル、リノレン酸メチル、リノレン酸エチル、リノレン酸ブチル、リノレン酸イソブチル、リノレン酸−ｔｅｒｔ−ブチル等が挙げられる。

本発明において、Ｃ_１２〜Ｃ_１８不飽和脂肪酸アルキルエステルの混合物が好ましく、Ｃ_１２〜Ｃ_１８不飽和脂肪酸メチルエステルの混合物がより好ましく、Ｃ_１４〜Ｃ_１８不飽和脂肪酸メチルエステル及びＣ_１６〜Ｃ_１８不飽和脂肪酸メチルエステルが更に好ましい。Ｃ_１２〜Ｃ_２０不飽和脂肪酸アルキルエステルの混合物は、市販品として、カネダ株式会社製の植物油ベースソルベント「ベジソル（登録商標）ＭＴ」、「ベジソル（登録商標）ＣＭ」、「ベジソル（登録商標）ＭＭ」、「ベジソル（登録商標）ＭＢ」、及び「ベジソル（登録商標）ＰＲ」が挙げられる。

パラフィン系炭化水素は、直鎖状の脂肪族炭化水素であり、例えば、ｎ−ヘキサン、ｎ−ヘプタン、ｎ−オクタン、ｎ−ノナン、ｎ−デカン、ｎ−ウンデカン、ｎ−テトラデカン、ｎ−ヘキサデカン、ｎ−エイコサン、ｎ−テトラコサン、及びｎ−ヘキサコサン等が挙げられる。パラフィン系炭化水素は、市販品として、ＮＳクリーン１００ＪＸ（日鉱日石エネルギー株式会社）が挙げられる。

単環式モノテルペンとして、メンタン（Ｃ_１０Ｈ_２０）、ｄ−リモネン（Ｃ_１０Ｈ_１６）、ｌ−リモネン（Ｃ_１０Ｈ_１６）、フェランドレン（Ｃ_１０Ｈ_１６）、テルピノレン（Ｃ_１０Ｈ_１６）、テルピネン（Ｃ_１０Ｈ_１６）、α−ピネン（Ｃ_１０Ｈ_１６）、β−ピネン（Ｃ_１０Ｈ_１６）、シメン（Ｃ_１０Ｈ_１４）等が挙げられ、ｄ−リモネンが好ましい。これらは、単独で使用しても、数種類を混合して使用してもよい。

第２の成分として、Ｃ_１２〜Ｃ_２０不飽和脂肪酸アルキルエステルの混合物がより好ましく、Ｃ_１４〜Ｃ_１８不飽和脂肪酸メチルエステルとＣ_１６〜Ｃ_１８不飽和脂肪酸メチルエステルとの混合物が特に好ましい。

第２の成分は、単独で用いても、複数の組合せを用いてもよい。

したがって、第１の洗浄剤組成物の好ましい組合せは、以下のとおりである。
（１）第１の成分が、ＨＦＣ及びＨＦＥからなる群より選択される１種以上のフッ素系溶剤であり、第２の成分が、Ｃ_１２〜Ｃ_２０不飽和脂肪酸アルキルエステル、パラフィン系炭化水素、又は単環式モノテルペンである。
（２）第１の成分が、ＨＦＣ及びＨＦＥからなる群より選択される１種以上のフッ素系溶剤であり、第２の成分が、Ｃ_１２〜Ｃ_２０不飽和脂肪酸アルキルエステルである。
（３）第１の成分が、１，１，１，３，３−ペンタフルオロブタン、又は、メチルノナフルオロｎ−ブチルエーテルとメチルノナフルオロイソブチルエーテルとの混合物であり、第２の成分が、Ｃ_１４〜Ｃ_１８不飽和脂肪酸メチルエステルとＣ_１６〜Ｃ_１８不飽和脂肪酸メチルエステルの混合物である。

また、第２の洗浄剤組成物及びリンス液における第１の成分として、ＨＦＣ及びＨＦＥからなる群より選択される１種以上のフッ素系溶剤が好ましく、１，１，１，３，３−ペンタフルオロブタン、又は、メチルノナフルオロｎ−ブチルエーテルとメチルノナフルオロイソブチルエーテルとの混合物が好ましい。なお、第２の洗浄剤組成物が第２の成分を含む場合、第２の洗浄剤組成物は、好ましいものも含め、第１の洗浄剤組成物において前記したとおりである。

第１の洗浄剤組成物において、第１の成分及び第２の成分の重量比（第１の成分：第２の成分）は、特に限定されず、１５：８５〜９９：１であるのが好ましく、２０：８０〜９９：１であるのがより好ましく、５０：５０〜７０：３０であるのがさらに好ましい。このような範囲であれば、共沸はしないが、相溶する組成であり、かつ煮沸洗浄において、油汚れを十分に洗浄除去できる。例えば、第１の成分がフッ素系溶剤であり、第２の成分がＣ_１２〜Ｃ_２０不飽和脂肪酸アルキルエステル類である場合、フッ素溶剤のみでは、油汚れに対する洗浄力が不足するため、油汚れの洗浄除去ができない。また、Ｃ_１２〜Ｃ_２０不飽和脂肪酸アルキルエステル類のみでは、油汚れに対する洗浄力はあるものの、沸点が高くかつ油を除去した被洗浄物の表面に残留してしまい、新たな汚れとなってしまうという欠点がある。

（３）更なる成分
第１の洗浄剤組成物、第２の洗浄剤組成物及びリンス液は、本発明の効果を損なわない限り、更なる成分を含んでいてもよい。このような成分として、安定剤、酸化防止剤、防錆剤が挙げられる。更なる成分は、第１の成分とは共沸しないが、第２の成分とは共沸してもよい。第１の洗浄剤組成物、第２の洗浄剤組成物及びリンス液が更なる成分を含む場合、更なる成分の含有量は、第１の成分及び第２の成分の合計１００重量部に対して、０．１〜５０重量部が好ましく、０．５〜１０重量部がより好ましく、１〜５重量部が特に好ましい。これらの成分は、洗浄剤分野で通常用いられている成分が挙げられる。なお、リンス液が更なる成分を含む場合、前記の更なる成分含有量は、第１の成分の１００重量に対する量である。

第１の洗浄剤組成物、第２の洗浄剤組成物及びリンス液は、第１の成分、第２の成分及び更なる成分を混合することにより製造することができる。

２．洗浄システム
洗浄システムについて説明する。
（１）洗浄システム１
洗浄システム１は、第１の成分と第２の成分とを含む第１の洗浄剤組成物を収容し、被洗浄物が浸漬され、かつ第１の成分の蒸気を発生させる煮沸槽と、煮沸槽により発生した第１の成分の蒸気を液化して回収する回収部と、回収部により回収された回収液から水を分離して第１の成分を抽出する水分離器と、を備える洗浄システムであって、第１の成分は、沸点が３０〜１００℃でありかつ蒸気比重が空気よりも大きく、第２の成分は、第１の成分の沸点に対して、５０℃以上高い沸点を有し、第１の成分と第２の成分とは、相溶するが共沸せず、水分離器により抽出された第１の成分は煮沸槽に供給されることを特徴とする、洗浄システムである。

洗浄システム１の概略を図１に示す。洗浄システム１は、好ましくは、第１の洗浄剤組成物（図１中、１）が収容される煮沸槽（図１中、１１）と、煮沸槽から発生する蒸気（図１中、２）を液化して回収する回収部（例えば、図１中、２３及び２４）と、回収部により回収された回収液から、水を分離して第１の成分を抽出して、抽出された第１の成分を煮沸槽に供給する水分離器（図１中、２１）を備えている。図１中、実線矢印は第１の成分の流れを示す。

煮沸槽は被洗浄物を煮沸洗浄するための槽である。煮沸槽は、洗浄剤組成物の温度を第１の成分の沸点以上に維持するためのヒーター（図１中、２２）を備えている。煮沸槽は、洗浄液に超音波振動を与える超音波発振機を有していてもよい。

第１の洗浄剤組成物を煮沸槽に投入すると、煮沸槽内の液相である第１の洗浄剤組成物に含まれる第１の成分及び第２の成分は相溶している。煮沸槽から発生する蒸気は、第１の成分の蒸気である。よって、煮沸槽に備えられているヒーターにより、煮沸槽から第１の成分の蒸気が発生する温度、例えば、第１の成分の沸点以上第２の成分の沸点未満の温度に調整される。煮沸槽に投入する洗浄剤組成物の量は、煮沸槽から蒸気を発生させ、かつ被洗浄物を煮沸洗浄可能な量であれば特に限定されない。なお、洗浄システム１において、煮沸槽にポンプ及びフィルター回路を敷設することができる。洗浄システム１がポンプ及びフィルター回路を備えることにより、被洗浄物から除去される汚れが固形物である場合、煮沸槽に汚れが蓄積することが回避される傾向がある。

煮沸槽の上部には、煮沸槽により発生した第１の成分の蒸気を液化して回収する回収部が設けられている。回収部は、第１の成分の蒸気を液化する手段及び水分離器に液化した成分を供給する手段を備えていれば特に限定されない。

第１の成分の蒸気を液化する手段は、特に限定されないが、冷却パイプ（図１中、２３）が好ましい。冷却パイプは、第１の成分の蒸気の温度を下げて、液化する手段である。洗浄システムが冷却パイプを備えることにより、第１の成分が洗浄システムから外部へ放出することがより低減される。
水分離器に液化した第１の成分を供給する手段は、特に限定されないが、樋（図１中、２４）が好ましい。樋は、冷却パイプ等に露滴する水が洗浄システムの各槽に混入することを目的として、冷却パイプ等により液化された第１の成分を、水分離器に供給するために設けられる。ここで、第１の成分の蒸気を液化する手段により液化され、水分離器に供給される第１の成分の液体を回収液という。
そして、第１の成分は、後述する水分離器により抽出されて、再生液として再利用される。

水分離器は、回収液から水を分離して第１の成分を抽出して煮沸槽に戻すために設けられる。水分離器による水分離の手段は、回収液から水を分離して、第１の成分を抽出できるものであれば特に限定されず、比重分離、膜分離等が挙げられる。水分離器は、比重分離により第１の成分を抽出するのが好ましい。

回収部が冷却パイプ及び樋を含み、水分離器による水分離の手段が比重分離である場合の水分離器の構造の例を図２に示す。水分離器には、樋から回収液が導入される。水分離器において、回収液は、水の相である上層液（図２中、５）と、第１の成分の相である下層液（図２中、６）とに比重分離され、第１の成分が抽出される。そして、上層液は廃棄され、下層液は第１の成分の液体として煮沸槽に供給される。通常、第１の成分の比重は水の比重よりも大きいことから、第１の成分が水に微量溶解するものであっても、水分離器により水と第１の成分とを比重分離することが可能である。なお、この水分離器には、第１の成分の蒸気が水分離器の外に放出されることを防止する目的で、冷却パイプが設置されていてもよい。

洗浄システム１には、図示していないが、第１の成分によるシャワー洗浄のための供給手段を有していてもよい。被洗浄物を煮沸洗浄及び蒸気洗浄した後に、第１の成分でシャワー洗浄して被洗浄物表面に第１の成分を衝突させることで、洗浄効果がより向上する傾向がある。

＜洗浄システム１を用いた洗浄方法＞
洗浄システム１を用いた洗浄方法は、以下の工程：（１Ａ）被洗浄物を煮沸槽に浸漬して、煮沸洗浄する工程と、（１Ｂ）被洗浄物を蒸気相に置いて、蒸気洗浄する工程とを含む。

工程（１Ａ）は、被洗浄物を煮沸槽に浸漬して、煮沸洗浄する工程である。図１では、被洗浄物（図１中、Ｓ）を洗浄開始のＳ１の位置から、Ｓ２の位置に移動して、第１の洗浄剤組成物１に浸漬する。工程（１Ａ）において、被洗浄物は、第１の成分の蒸気と、第１の成分及び第２の成分が相溶している第１の洗浄剤組成物と接触する。煮沸槽において、第１の洗浄剤組成物は、第１の成分が沸騰状態となり、かつ第２の成分が沸騰状態とならないように加熱される。すなわち、煮沸洗浄において、洗浄剤組成物の温度が、第１の成分の沸点以上第２の成分の沸点未満の範囲の温度になるように、ヒーターなどの加熱手段によって加熱される。

煮沸洗浄において、洗浄効果を高めるために、浸漬と同時に、攪拌、揺動、超音波振動、又はエアバブリング等による手段を組み合わせることが好ましく、超音波振動による手段を組み合わせることがより好ましい。

第１の洗浄剤組成物及び被洗浄物の接触時間に相当する煮沸洗浄時間は、被洗浄物に付着した油汚れを洗浄除去できる時間であれば特に制限されない。例えば、超音波振動を組み合わせた浸漬による方法における、油汚れが付着した被洗浄物を洗浄するための洗浄時間は、特に限定されないが、５秒間〜５分間であるのが好ましく、１０秒間〜１分間であるのがより好ましい。浸漬による方法における、油汚れが付着した被洗浄物を洗浄するための洗浄時間は、特に限定されないが、１０分〜５時間であるのが好ましく、３０分〜２時間であるのがより好ましい。前記の洗浄時間の範囲内であれば、洗浄効果が十分であり、付着した油を被洗浄物から十分に除去できる。工程（１Ａ）により、被洗浄物から油汚れが除去される。

工程（１Ａ）の後、被洗浄物の表面に付着する第１の洗浄剤組成物の除去をさらに促進するために、被洗浄物を上下左右に揺動するか、第１の成分でシャワー洗浄して被洗浄物表面に第１の成分を衝突させる等の手段を併用してもよい。洗浄システム１を用いた洗浄方法は、工程（１Ａ）の後で、（１Ａ’）第１の成分で被洗浄物をシャワー洗浄する工程を含むのが好ましい。

工程（１Ｂ）は、被洗浄物を蒸気相に置いて、蒸気洗浄する工程である。図１では、被洗浄物をＳ２の位置から、煮沸槽の上部であるＳ４の位置に移動して、蒸気相に置く。蒸気相は、第１の成分の蒸気からなる。工程（１Ｂ）では、被洗浄物を煮沸槽から発生する蒸気と接触させることにより、蒸気洗浄が行われる。蒸気洗浄の時間は、特に限定されないが１〜６０分とすることができる。これにより、被洗浄物に付着した第１の洗浄剤組成物及び汚れ成分と、蒸気相の成分とが交換される。また、被洗浄物が単純形状（直方体、立方体、球状等）である場合は、工程（１Ｂ）において、被洗浄物と第１の成分とが接触することから、蒸気洗浄する工程によってリンス（蒸気リンス）が行われる。そののち、被洗浄物を洗浄終了のＳ５の位置に移動して、洗浄を終了する。

（２）洗浄システム２
洗浄システム２は、第１の成分と第２の成分とを含む第１の洗浄剤組成物を収容し、被洗浄物が浸漬され、かつ第１の成分の蒸気を発生させる煮沸槽と、第１の成分を含み、かつ第２の成分は含まないリンス液を収容し、被洗浄物が浸漬されてリンスされるリンス槽と、煮沸槽により発生した第１の成分の蒸気を液化して回収する回収部と、回収部により回収された回収液から水を分離して第１の成分を抽出する水分離器と、を備える洗浄システムであって、第１の成分は、沸点が３０〜１００℃でありかつ蒸気比重が空気よりも大きく、第２の成分は、第１の成分の沸点に対して、５０℃以上高い沸点を有し、第１の成分と第２の成分とは、相溶するが共沸せず、水分離器により抽出された第１の成分はリンス槽に供給されることを特徴とする、洗浄システムである。

洗浄システム２の概略を図３に示す。洗浄システム２は、好ましくは、第１の洗浄剤組成物（図３中、１）が収容される煮沸槽（図３中、１１）と、リンス液（図３中、３）が収容されるリンス槽（図３中、１２）と、煮沸槽から発生する蒸気（図３中、２）を回収液化して回収部（例えば、図３中、２３及び２４）と、回収部により回収された回収液から、水を分離して第１の成分を抽出して、抽出された第１の成分をリンス槽に供給する水分離器（図３中、２１）を備えている。洗浄システム２は、水分離器から第１の成分がリンス槽に戻されることを除き、更にリンス槽を備える洗浄システム１に相当する。図３中、実線矢印は第１の成分の流れを示す。

洗浄システム２における煮沸槽については、好ましいものも含め、洗浄システム１で前記したとおりである。
リンス槽に収容される液体は、リンス液である。リンス液は、第１の成分を含み、かつ第２の成分を含まない。リンス槽は、リンス液に超音波振動を与える超音波発振機（図３中、２５）を備えていてもよい。また、図示していないが、リンス槽は、リンス液の温度を調節するためのヒーターを備えていてもよい。なお、第１の成分の蒸気の発生によるリンス液の減少を防ぐ観点から、リンス槽中のリンス液の温度は、リンス液の沸点未満であるのが好ましい。具体的には、リンス槽中のリンス液の温度は、１００℃未満であるのがより好ましく、６１℃未満であるのがさらに好ましく、４０℃未満であるのが特に好ましい。洗浄システム２において、被洗浄物から除去される汚れが固形物である場合、汚れの蓄積を回避する目的で、リンス槽にポンプ及びフィルター回路を敷設してもよい。

煮沸槽から発生する蒸気は、第１の成分である。また、煮沸槽の上部には、前記洗浄システム１で前記した回収部及び水分離器が設けられている。回収部は、冷却パイプ（図３中、２３）及び樋（図３中、２４）を備えるのが好ましい。洗浄システム２において、水分離器により抽出された第１の成分はリンス槽に供給される。洗浄システム２において、蒸気の成分は第１の成分であるから、蒸気の成分を液化して再利用する際に、リンス槽にリンス液の主成分である第１の成分のみが供給される。また、リンス槽の液面は、煮沸槽の液面よりも高く、リンス槽からオーバーフローしたリンス液が、煮沸槽に流入するようになっている。なお、リンス槽に投入するリンス液の量は、リンス槽に流入する再生液の量及びオーバーフローするリンス液の量を考慮して、被洗浄物をリンス可能な量であれば特に限定されない。

＜洗浄システム２を用いた洗浄方法＞
洗浄システム２を用いた洗浄方法は、以下の工程：（２Ａ）被洗浄物を煮沸槽に浸漬して、煮沸洗浄する工程と、（２Ｂ）被洗浄物をリンス槽に浸漬して、リンスする工程と、（２Ｃ）被洗浄物を蒸気相に置いて、蒸気洗浄する工程とを含む。

工程（２Ａ）は、被洗浄物（図２中、Ｓ）を煮沸槽に浸漬して、煮沸洗浄する工程である。工程（２Ａ）における条件は、好ましいものも含め、工程（１Ａ）で前記したとおりである。

工程（２Ｂ）は、被洗浄物をリンス槽に浸漬して、リンスする工程である。図３では、被洗浄物をＳ２の位置から、Ｓ３の位置に移動して、リンス液２に浸漬する。リンス槽に浸漬する時間、すなわちリンス液及び被洗浄物の接触時間に相当するリンス時間は、特に制限されず、１秒間〜６０分間であるのが好ましく、１０秒〜３０分間であるのがより好ましい。工程（２Ｂ）により、被洗浄物にわずかに付着した第１の洗浄剤組成物及び汚れ成分と、リンス液とが交換される。

工程（２Ｃ）は、被洗浄物を蒸気相に置いて、蒸気洗浄する工程である。図３では、被洗浄物をＳ３の位置から、リンス槽の上部であるＳ４の位置に移動して、蒸気相に置く。そして、被洗浄物を、煮沸槽から発生する蒸気と接触させることにより、蒸気洗浄を行う。工程（２Ｃ）における条件は、好ましいものも含め、工程（１Ｂ）で前記したとおりである。

（３）洗浄システム３
洗浄システム３は、第１の成分と第２の成分とを含む第１の洗浄剤組成物を収容し、被洗浄物が浸漬され、かつ第１の成分の蒸気を発生させる煮沸槽と、第１の成分を含み、かつ第２の成分は含まないリンス液を収容し、被洗浄物が浸漬されてリンスされるリンス槽と、第１の成分を含む第２の洗浄剤組成物を収容し、被洗浄物に接触させる第１の成分の蒸気を発生させる仕上槽と、煮沸槽または仕上槽により発生した第１の成分の蒸気を液化して回収する回収部と、回収部により回収された回収液から水を分離して第１の成分を抽出して煮沸槽に戻す水分離器と、を備える洗浄システムであって、第１の成分は、沸点が３０〜１００℃でありかつ蒸気比重が空気よりも大きく、第２の成分は、第１の成分の沸点に対して、５０℃以上高い沸点を有し、第１の成分と第２の成分とは、相溶するが共沸せず、水分離器により抽出された第１の成分はリンス槽に供給されることを特徴とする、洗浄システムである。

洗浄システム３の概略を図４に示す。洗浄システム３は、好ましくは、第１の洗浄剤組成物（図４中、１）が収容される煮沸槽（図４中、１１）と、リンス液（図４中、３）が収容されるリンス槽（図４中、１２）と、第２の洗浄剤組成物（図４中、４）が収容される仕上槽（図４中、１３）と、煮沸槽及び仕上槽からから発生する蒸気（図４中、２）を液化して、回収する回収部（例えば、図４中、２３及び２４）と、回収部により回収された回収液から、水を分離して第１の成分を抽出して、抽出された第１の成分をリンス槽に供給する水分離器（図４中、２１）を備えている。洗浄システム３は、更に仕上槽を備える洗浄システム２に相当する。図４中、実線矢印は第１の成分の流れを示す。

洗浄システム３における煮沸槽及びリンス槽については、洗浄システム１及び洗浄システム２で前記したとおりである。仕上槽は被洗浄物を蒸気洗浄するための槽である。仕上槽は、第２の洗浄剤組成物の温度を第１の成分の沸点以上に維持するためのヒーター（図４中、２６）を備えている。仕上槽に収容される液体は、第２の洗浄剤組成物である。

仕上槽から発生する蒸気は、第１の成分である。そのため、洗浄システム３では、煮沸槽及び仕上槽から発生する蒸気の成分は、いずれも第１の成分であるが、煮沸槽及び仕上槽に収容される洗浄剤組成物は、同一であっても、互いに異なっていてもよい。洗浄システム３における各槽（煮沸槽、リンス槽、仕上槽）の上部には、洗浄システム１で挙げられた回収部及び水分離器が設けられている。洗浄システム３において、水分離器によって抽出される第１の成分は、リンス槽に流入する。また、リンス槽の液面は、煮沸槽の液面よりも高く、リンス液槽からオーバーフローしたリンス液が、煮沸槽に流入するようになっている。さらに、煮沸槽の液面は、仕上槽の液面よりも高く、煮沸槽からオーバーフローした洗浄剤組成物が、仕上槽に流入するようになっている。なお、仕上槽に投入する液体の量は、煮沸槽からオーバーフローする液体の量を考慮して、蒸気を発生させ、かつ被洗浄物を蒸気洗浄することが可能な量であれば特に限定されない。

＜蒸留再生装置＞
洗浄システム３において、煮沸槽に含まれる第１の成分の清浄を目的して、蒸留再生装置を備えることが好ましい。よって、洗浄システム３が、さらに、煮沸槽から回収した汚れた洗浄剤組成物を加熱して第１の成分の蒸気を発生させる蒸留再生装置を備え、蒸留再生装置には、発生した第１の成分の蒸気を液化して回収する回収部が設けられ、回収部により回収された回収液が水分離器に供給される、洗浄システムであるのが好ましい。

洗浄システム３が蒸留再生装置を備えることにより、汚れが大量に付着した被洗浄物を大量に洗浄する場合及び長時間の洗浄を行う場合であっても、煮沸槽の洗浄剤組成物を清浄に保ち、清浄な第１の成分の蒸気を得ることができる傾向がある。よって、精密洗浄が要求される物品（例えば、電気・電子部品）を洗浄した場合であっても、洗浄後の物品において、不具合が発生する可能性は極めて低減される傾向がある。

また、洗浄システム３が蒸留再生装置を備える場合、さらに水分離器が仕上槽に自動開閉弁を通じて接続されているのが好ましい。すなわち、洗浄システム３が蒸留再生装置を備える場合、洗浄システム３は、さらに、仕上槽には、仕上槽中の第２の洗浄剤組成物の量を検出するセンサが設けられ、センサにより第２の洗浄剤組成物の量が所定量以下になったときに、水分離器から仕上槽へと第１の成分が供給されるのが好ましい。これにより、仕上槽の液面に応じて、再利用される第１の成分が供給され、仕上槽に収容される洗浄剤が存在しない、いわゆる空焚きの発生を抑えることができ、継続して清浄な第１の成分の蒸気を仕上槽から発生させることができる。

仕上槽中の第２の洗浄剤組成物の量を検出するセンサは、仕上槽中の第２の洗浄剤組成物の液面を検出するための液面検出スイッチ等が挙げられる。また、水分離器により抽出された第１の成分を、リンス槽又は仕上槽に供給することは、自動開閉弁によって制御することができる。

さらに蒸留再生装置及び液面検出スイッチを備える好ましい洗浄システム３の概略を図５に示す。好ましい洗浄システム３は、前記洗浄システム３に加えて、煮沸槽から汚れを含む第１の洗浄剤組成物から、第１の成分と汚れ及び第２の成分とを分離して、水分離器に第１の成分を供給するための蒸留再生装置（図５中、１４）と、自動開閉弁（図５中、２７）と、仕上槽中の第２の洗浄剤組成物の液面を検出するための液面検出スイッチ（図５中、２８）とを備える。なお、図５中、煮沸槽（図５中、１１）から蒸留再生装置（図５中、１４）への実線矢印は第１の洗浄剤組成物の流れを示す。また、図５中、蒸留再生装置（図５中、１４）から、水分離器（図５中、２１）及び自動開閉弁（図５中、２７）を経由する仕上槽（図５中、１３）への実線矢印は第１の成分の流れを示す。

蒸留再生装置は、煮沸槽（図５中、１１）から汚れを含む第１の洗浄剤組成物が供給され、汚れを含む第１の洗浄剤組成物から、第１の成分と汚れ及び第２の成分とを分離する装置である。蒸留再生装置は汚れを含んだ第１の洗浄剤組成物を加熱するためのヒーター（図５中、２２）と、蒸留再生装置の上部に回収部を有する。そして、第２の成分、第１の成分、及び汚れの沸点差を利用して、汚れを含んだ第１の洗浄剤組成物から第１の成分の蒸気のみを発生させ、回収部により、第１の成分の蒸気が液化され、回収される。回収部により、回収された回収液は水分離器（図５中、２１）に導入される。回収部は、好ましいものを含み、洗浄システム１で前記したとおりである。

液面検知スイッチは、仕上槽における第２の洗浄剤組成物の液面が所定の位置にあるか否かを検出するスイッチであり、これにより仕上槽中の第２の洗浄剤組成物の量が所定量以下であるか否かが検出される。仕上槽から発生した第１の成分の蒸気は、回収部により回収され、水分離器で第１の成分が抽出され、リンス槽に供給される。しかし、第１の成分の蒸気の一部は洗浄システムの系外に放出される。よって、仕上槽の第１の成分は、洗浄システム３の稼動により減少する。なお、仕上槽における第２の洗浄剤組成物の液面（すなわち、仕上槽中の第２の洗浄剤組成物の量）を検出することにより、蒸気として減少した第１の成分の量を測定することができる。

自動開閉弁は、水分離器により抽出された第１の成分を、リンス槽又は仕上槽に供給することを制御するための弁である。仕上槽中の第２の洗浄剤組成物の量が所定量以下になった場合、水分離器と仕上槽との間の自動開閉弁が開かれる。これにより、水分離器から仕上槽へと第１の成分が供給される。また、自動開閉弁が閉じているときは、水分離器からリンス槽へと第１の成分が供給される。自動開閉弁を開くための仕上槽中の第２の洗浄剤組成物の所定量とは、仕上槽の液相の量が少なくなり、仕上槽の下部に備えられたヒーターでの加熱が空焚きにならない量を維持する量である。なお、自動開閉弁の位置は特に限定されず、水分離器と仕上槽を接続するパイプが自動開閉弁を備えていてもよく、水分離器又は仕上槽が自動開閉弁を備えていてもよい。

＜洗浄システム３を用いた洗浄方法＞
本発明の洗浄システム３を用いた洗浄方法は、以下の工程：（３Ａ）被洗浄物を煮沸槽に浸漬して、煮沸洗浄する工程と、（３Ｂ）被洗浄物をリンス槽に浸漬して、リンスする工程と、（３Ｃ）被洗浄物を仕上槽の上部において、蒸気洗浄する工程とを含む。

工程（３Ａ）は、被洗浄物を煮沸槽に浸漬して、煮沸洗浄する工程である。工程（３Ａ）における条件は、好ましいものも含め、洗浄システム１で記載したとおりである。
工程（３Ｂ）は、被洗浄物をリンス槽に浸漬して、リンスする工程である。工程（３Ｂ）における条件は、好ましいものも含め、洗浄システム２で記載したとおりである。
工程（３Ｃ）は、被洗浄物を仕上槽の上部に置いて、蒸気洗浄する工程である。図４では、被洗浄物をＳ３の位置から、仕上槽の上部であるＳ４の位置に移動して、蒸気相に置く。そして、被洗浄物を、仕上槽及び煮沸槽から発生する蒸気と接触させることにより、蒸気洗浄を行う。仕上槽に備えられているヒーターは、仕上槽から第１の成分の蒸気が発生する温度、例えば、第１の成分の沸点以上第２の成分の沸点未満の温度に調整される。ここで、蒸気相は、仕上槽から発生する蒸気及び煮沸槽から発生する蒸気からなるが、いずれも第１の成分の蒸気である。蒸気洗浄の条件は、工程（１Ｂ）で記載したとおりである。

なお、本発明の洗浄システムを用いた洗浄方法は、被洗浄物を順次移動させるための搬送機構によって達成してもよい。図１、図３、図４及び図５中、点線は、本発明の洗浄システムにおける被洗浄物の移動経路を示す。洗浄システム１の場合は、搬送機構により、被洗浄物が、図１中Ｓ１（洗浄開始前）、Ｓ２（煮沸槽内）、Ｓ４（蒸気相内）、Ｓ５（洗浄終了）の位置を順次移動するようになっている。また、洗浄システム２の場合は、被洗浄物が、図３中Ｓ１（洗浄開始前）、Ｓ２（煮沸槽内）、Ｓ３（リンス槽内）Ｓ４（蒸気相内）、Ｓ５（洗浄終了）の位置を順次移動するようになっている。洗浄システム３の場合は、被洗浄物が、図４及び図５中Ｓ１（洗浄開始前）、Ｓ２（煮沸槽内）、Ｓ３（リンス槽内）Ｓ４（蒸気相内）、Ｓ５（洗浄終了）の位置を順次移動するようになっている。

また、本発明の洗浄システム及び洗浄方法では、蒸気洗浄の後に、蒸気ラインを通過させることにより乾燥処理され、最終の仕上げを行うこともできる。

３．被洗浄物及び洗浄除去対象物
本発明の洗浄システム及び洗浄方法は、油が付着した被洗浄物を洗浄するために用いることができる。本発明において、洗浄とは、油が付着した被洗浄物から、油を除去することをいう。本発明において、油としては、常温、例えば２０℃において液体であり、水に溶解せず、粘性を感じるものであれば特に限定されないが、例えば鉱物油、フッ素オイル、及びシリコーンオイルが挙げられる。よって、第１の洗浄剤組成物の用途として、例えば、油により汚染された被洗浄物用の洗浄剤、例えば切削油、プレス油、引抜き油、熱処理油、防錆油、潤滑油、金属加工油、グリース、フラックス、樹脂、及びワックスにより汚染された被洗浄物用の洗浄剤（具体的には、フラックス洗浄剤や脱脂洗浄剤等）が挙げられる。

鉱物油とは、天然の石油由来の油分で、精製蒸留されて得られる液状及びグリース状の化学物質である。鉱物油に含まれる成分として、例えばパラフィン系炭化水素、イソパラフィン系炭化水素、ナフテン系炭化水素、芳香族系炭化水素、並びにパラフィン系炭化水素、イソパラフィン系炭化水素、ナフテン系炭化水素及び芳香族系炭化水素からなる群より選択される２以上の炭化水素の混合物が挙げられる。これら炭化水素の具体例は上記の炭化水素系溶剤の具体例として挙げられた炭化水素が挙げられる。このような鉱物油は、市販品として、ユシロ化学工業株式会社製のユシロンオイルＣＸ、出光興産株式会社製のアリソールエース、アイソールソフト、及びアイソール；ジャパンエナジー社製のニッコーホワイトＮ−１０；エクソン化学社製エクソンＤ−４０、及びエクソンナフサＮｏ−５等が挙げられる。

本発明において、フッ素オイルとは、ポリアルキルエーテル化合物における水素原子の一部又は全部をフッ素で置換した物質であり、塩素及び臭素等のハロゲン、リン、硫黄、及び窒素などの更なる原子を含んでいてもよい。フッ素オイルは、常温で液状又はグリース状である。本発明において、フッ素オイルは、例えば一般式（１）：
ＣＦ₃ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ−（ＣＦ（ＣＦ₃）ＣＦ₂Ｏ）_ｘ−ＣＦ₂ＣＦ₃ （１）
（式中、ｘは、１以上の整数である）、
一般式（２）：
ＨＯＣＨ₂ＣＦ₂Ｏ−（ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_p−（ＣＦ₂Ｏ）_q−ＣＦ₂ＣＨ₂ＯＨ （２）
（式中、ｐ及びｑは、互いに独立して、１以上の整数である）、
又は、一般式（３）：
Ｆ−（ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_ｙ−ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ−ＣＨ₂ＯＨ （３）
（式中、ｙは、１以上の整数である）
で示される構造を有する。

上記のフッ素オイルは、市販品として、例えばソルベイソレクシス社製のフォンブリン Ｙ−ＬＶＡＣ、Ｙ−ＨＶＡＣ、Ｙ０４、及びＹＲ；ＮＯＫクリューバー社製のバリエルタ（ＢＡＲＲＩＥＲＴＡ）Ｊ１００フルード、バリエルタＪ２５フルード、バリエルタＪ４００フルード、バリエルタＪ２５Ｖ、バリエルタＳＪ０７、バリエルタＳＪ１５、及びバリエルタＳＪ３０；デュポン株式会社製のクライトックス１５０６、クライトックス１５１４、及びクライトックス１５２５；ダイキン工業株式会社製のデムナムＳ−２０等が挙げられる。第１の洗浄剤組成物は、フッ素オイルのなかで、一般式（１）及び（２）で示されるパーフルオロアルキルエーテルオイルに対して特に優れた洗浄効果を有する。

本発明において、シリコーンオイルとは、シロキサン結合からなる直鎖状ポリマーであるシリコーンオイルであり、主にジメチルシリコーンオイルやメチルフェニルシリコーンオイルの側鎖又は末端に、カルボキシル基、アミノ基、又はエポキシ基などの他の有機基を導入したものであってもよい。さらに、シリコーンオイルに増ちょう剤などの添加剤を加えたグリース状であってもよい。このようなシリコーンオイルの具体例としては、ジメチルポリシロキサン、メチルフェニルポリシロキサン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、デカメチルシクロペンタシロキサン、ポリオキシエチレン−メチルポリシロキサンなどが挙げられる。このようなシリコーンオイルとしては、市販品として、信越化学社製ＫＦ−９６Ｌ−２ＣＳ、東レ・ダウコーニング社のＤＯＷ ＣＯＲＮＩＮＧ ＴＯＲＡＹ ＳＨ３３Ｍ ＧＲＥＡＳＥが挙げられる。

第１の洗浄剤組成物を用いて洗浄される被洗浄物は、油が付着した、すなわち油により汚染された各種部品が挙げられる。このような部品として、金属加工物、電気・電子部品、光学部品、自動車部品、機械部品、半導体部品及び表示体部品等が挙げられ、これらは、いずれも精密洗浄が要求される部品である。なお、本発明の被洗浄物は、日常的なメンテナンス用、１日に１回〜２回洗浄される被洗浄物であるか、オーバーホール用、例えば６か月〜１年に１回洗浄される被洗浄物であってもよい。

例えば、電気・電子部品としては、プリント基板、及びセラミック基板などの配線基板が挙げられる。光学部品としては、光学レンズ（例えばカメラ用のレンズ）及び光学レンズのための部品（例えばカメラ筐体）が挙げられる。自動車部品としては、自動車用のシャフトやフレーム部品、外装部品等に用いられる金属製部品が挙げられる。機械部品としては、真空ポンプ、半導体製造装置、洗浄装置、モーター、ファンなどの軸受、時計などの精密機械用部品などの軸受、並びに印刷機のローラー等の部品が挙げられる。これらの部品は、金属製又は樹脂製であり、その形状は板状部材に限らず、断面円形状や矩形状のパイプ状部材や長尺部材であったり、その他、複雑な形状を有する部材であったりする。なお、第１の洗浄剤組成物は、洗浄後の乾燥性に優れるため、プリント基板や各種樹脂製部品に付着した塵や埃もあわせて除去することができる。本発明において、被洗浄物は、金属加工物、光学レンズ、プリント基板、半導体部品及び表示体部品であるのが好ましい。

以下、本発明を実施例及び比較例により更に詳細に説明するが、本発明はこれら実施例により限定されるものではない。

第１の洗浄剤組成物、第２の洗浄剤組成物及びリンス液のための成分として以下の成分を用いた。
（１）第１の成分
（１−１）ＨＦＣ：１，１，１，３，３−ペンタフルオロブタン（沸点４０℃、蒸気密度比５．１１）
（１−２）ＨＦＥ：メチルノナフルオロイソブチルエーテル及びメチルノナフルオロｎ−ブチルエーテルの混合物（ノベックＨＦＥ７１００、住友スリーエム社製、沸点６１℃、蒸気密度比５〜６）
（２）第２の成分
（２−１）植物系脂肪酸エステル：Ｃ_１４〜Ｃ_１８不飽和脂肪酸メチルエステル及びＣ_１６〜Ｃ_１８不飽和脂肪酸メチルエステルの混合物（カネダ化学社製植物油ベースソルベント ベジソル（登録商標）ＣＭ、沸点１８６℃、蒸気密度比１．０以下）

洗浄剤１〜５を、表１で示される重量比で各成分を混合することにより調製した。なお、洗浄剤１及び２は相溶した。

被洗浄物は、以下の試験片１及び２を用いた。なお、金属加工油の試験片への付着量は２ｇであった。
試験片１：金属加工油として、ユシロンオイルＣＸ（ユシロ化学製）に浸漬させたＳＵＳ板（５０ｍｍ×５０ｍｍ×２ｍｍｔ）
試験片２：金属加工油として、東レ・ダウコーニング社のDOW CORNING TORAY SH33M GREASE（シリコーングリース）を塗布したＳＵＳ板（３５ｍｍ×４０ｍｍ×２ｍｍｔ）

試験例１ 洗浄システム１を用いた洗浄試験
（１−１）実施例１
図１の洗浄システムと同等の煮沸槽及び水分離器を備えた洗浄システムにおいて、第１の洗浄剤組成物として洗浄剤１を用い、被洗浄物として試験片１を用いて、洗浄試験を行った。煮沸槽に第１の洗浄剤組成物を収容した。煮沸槽の第１の洗浄剤組成物を、加熱ヒーターで蒸気相が形成されるまで加熱した。ここで、蒸気相の成分は、冷却パイプによって液化し、液化した成分は、樋を通って回収され、回収液は水分離器に流入した。次いで、水分離器よって、蒸気相の成分が抽出され、抽出された蒸気相の成分は、煮沸槽に流入した。被洗浄物を煮沸槽に３分間浸漬させた。次いで、被洗浄物を引き上げて、蒸気相に置いて３分間蒸気洗浄を行った。試験後の被洗浄物の表面について、残留物の有無を目視により判定した。試験後の被洗浄物において、金属加工油及び洗浄剤組成物の残留物は見られなかった。

（１−２）比較例１
図１の洗浄システムと同等の煮沸槽及び水分離器を備えた洗浄システムにおいて、第１の洗浄剤組成物として洗浄剤３を用い、被洗浄物として試験片１を用いて、洗浄試験を行った。なお、洗浄剤３は、蒸気比重が空気よりも小さいので、加熱ヒーターで加熱しても、蒸気相が形成されなかった。よって、比較例１では、煮沸槽の第１の洗浄剤組成物の温度を１００℃に加熱して試験を行った。煮沸槽に第１の洗浄剤組成物を収容した。加熱ヒーターで煮沸槽の第１の洗浄剤組成物の温度を１００℃に加熱した。被洗浄物を煮沸槽に３分間浸漬させた。次いで、被洗浄物を引き上げて、３分間放置した。試験後の被洗浄物の表面について、残留物の有無を目視により判定した。試験後の被洗浄物の表面には、金属加工油の残留物が見られた。

（１−３）比較例２
洗浄剤組成物として、洗浄剤４を用いたこと以外は、実施例１と同様に行った。試験後の被洗浄物の表面において、金属加工油の残留物が見られた。

試験例２ 洗浄システム２を用いた洗浄試験
（２−１）実施例２
図３の洗浄システムと同等の煮沸槽、リンス槽及び水分離器を備えた洗浄システムにおいて、第１の洗浄剤組成物として洗浄剤１を用い、被洗浄物として試験片１を用いて、洗浄試験を行った。煮沸槽に第１の洗浄剤組成物を収容した。リンス槽に洗浄剤１の第１の成分のみを収容した。煮沸槽の第１の洗浄剤組成物を、加熱ヒーターで蒸気相が形成されるまで加熱した。蒸気相の成分は、冷却パイプによって液化し、液化した成分は、樋を通って回収され、回収液は水分離器に流入した。次いで、水分離器よって、蒸気相の成分が抽出され、抽出された蒸気相の成分は、リンス槽に流入した。被洗浄物を煮沸槽に３分間浸漬させた。次いで、被洗浄物をリンス槽で３分間すすぎ、続いて、被洗浄物を引き上げて、リンス槽上部の蒸気相に置いて３分間蒸気洗浄を行った。試験後の被洗浄物の表面について、残留物の有無を目視により判定した。試験後の被洗浄物の表面において、金属加工油及び洗浄剤組成物の残留物は見られなかった。

（２−２）実施例３
被洗浄物として試験片２を用いたこと以外は、実施例２と同様に行った。試験後の被洗浄物の表面において、金属加工油及び洗浄剤組成物の残留物は見られなかった。

（２−３）実施例４
第１の洗浄剤組成物として洗浄剤２を用いたこと以外は、実施例２と同様に行った。試験後の被洗浄物の表面において、金属加工油及び洗浄剤組成物の残留物は見られなかった。

（２−４）実施例５
第１の洗浄剤組成物として洗浄剤２を用い、被洗浄物として試験片２を用いたこと以外は、実施例２と同様に行った。試験後の被洗浄物の表面において、金属加工油及び洗浄剤組成物の残留物は見られなかった。

（２−５）比較例３
図３の洗浄システムと同等の煮沸槽、リンス槽及び水分離器を備えた洗浄システムにおいて、第１の洗浄組成物として洗浄剤３を用い、被洗浄物として試験片２を用いて、洗浄試験を行った。なお、洗浄剤３は、蒸気比重が空気よりも小さいので、加熱ヒーターで加熱しても、蒸気相が形成されなかった。よって、比較例３では、煮沸槽の第１の洗浄剤組成物の温度を１００℃に加熱して試験を行った。煮沸槽に第１の洗浄剤組成物を収容した。リンス槽に洗浄剤３を収容した。加熱ヒーターで煮沸槽の第１の洗浄剤組成物の温度を１００℃に加熱した。被洗浄物を煮沸槽に３分間浸漬させた。次いで、被洗浄物をリンス槽で３分間すすぎ、続いて、被洗浄物を引き上げて、リンス槽上部に置いて３分間放置した。試験後の被洗浄物の表面について、金属加工油の残渣、及び洗浄剤組成物の成分の残渣の有無を目視により判定した。試験後の被洗浄物の表面において、金属加工油及び洗浄剤組成物の残留物が見られた。

（２−６）比較例４
第１の洗浄剤組成物として洗浄剤４を用い、被洗浄物として試験片２を用いたこと以外は、実施例２と同様に行った。試験後の被洗浄物の表面において、金属加工油の残留物が見られた。

（２−７）比較例５
第１の洗浄組成物として洗浄剤５を用い、被洗浄物として試験片２を用いたこと以外は、実施例２と同様に行った。試験後の被洗浄物の表面において、金属加工油の残留物が見られた。

試験例３ 洗浄システム３を用いた洗浄試験
（３−１）実施例６
図４の洗浄システムと同等の煮沸槽、リンス槽、仕上槽及び水分離器を備えた洗浄システムにおいて、第１の洗浄剤組成物及び第２の洗浄剤組成物として洗浄剤１を用い、被洗浄物として試験片１を用いて、洗浄試験を行った。煮沸槽に第１の洗浄剤組成物を収容した。仕上槽に、第２の洗浄剤組成物を収容した。リンス槽に、洗浄剤１の第１の成分のみを収容した。煮沸槽の第１の洗浄剤組成物及び仕上槽の第２の洗浄剤組成物を、加熱ヒーターで蒸気相が形成されるまで加熱した。蒸気相の成分は、冷却パイプによって液化し、液化した成分は、樋を通って回収され、回収液は水分離器に流入した。次いで、水分離器によって蒸気相の成分が抽出され、抽出された蒸気相の成分は、リンス槽に流入した。被洗浄物を煮沸槽に３分間浸漬させた。次いで、被洗浄物をリンス槽で３分間すすぎ、続いて、被洗浄物を仕上槽上部の蒸気相に置いて３分間蒸気洗浄を行った。試験後の被洗浄物の表面について、金属加工油の残渣又は洗浄剤組成物の成分の残留物の有無を目視により判定した。試験後の被洗浄物の表面において、金属加工油及び洗浄剤組成物の残留物は見られなかった。

（３−２）実施例７
被洗浄物として試験片２を用いたこと以外は、実施例６と同様に行った。試験後の被洗浄物の表面において、金属加工油及び洗浄剤組成物の残留物は見られなかった。

第１の洗浄剤組成物は、混合するが共沸しないため、煮沸洗浄において優れた洗浄効果を発揮する一方、煮沸洗浄によって発生する蒸気がリンス成分となるため、煮沸洗浄を含む簡便な洗浄システムとすることができる。また、洗浄システムは、蒸気洗浄のための洗浄剤である第１の成分の沸点が低いことから、蒸気洗浄をより低い温度で行うことができるため、耐熱性に劣る樹脂、及び高温で変色しやすい銅部品等の洗浄に有効であり、煮沸洗浄を含む簡便な洗浄システムとして工業的に極めて有用である。

１ 第１の洗浄剤組成物、２ 蒸気、３ リンス液、４ 第２の洗浄剤組成物、５ 上層液、６ 下層液；
１１ 仕上槽、１２ リンス槽、１３ 仕上槽、１４ 蒸留再生装置；
２１ 水分離器、２２ ヒーター、２３ 冷却パイプ、２４ 樋、２５ 超音波装置、２６ ヒーター、２７ 自動開閉弁、２８ 液面検出スイッチ；
Ｓ 被洗浄物

Claims (10)

1. 第１の成分と第２の成分とを含む第１の洗浄剤組成物を収容し、被洗浄物が浸漬され、かつ第１の成分の蒸気を発生させる煮沸槽と、
   煮沸槽により発生した第１の成分の蒸気を液化して回収する回収部と、
   回収部により回収された回収液から水を分離して第１の成分を抽出して煮沸槽に戻す水分離器と、
   を備える洗浄システムであって、
   第１の成分は、沸点が３０〜１００℃でありかつ蒸気比重が空気よりも大きく、
   第２の成分は、第１の成分の沸点に対して、５０℃以上高い沸点を有し、
   第１の成分と第２の成分とは、相溶するが共沸せず、
   水分離器により抽出された第１の成分は煮沸槽に供給されることを特徴とし、第１の成分が、ハイドロフルオロカーボン及びハイドロフルオロエーテルからなる群より選択される１種以上のフッ素系溶剤であり、第２の成分が、Ｃ _１２ 〜Ｃ _２０ 不飽和脂肪酸アルキルエステルである、洗浄システム。
2. 第１の成分と第２の成分とを含む第１の洗浄剤組成物を収容し、被洗浄物が浸漬され、かつ第１の成分の蒸気を発生させる煮沸槽と、
   第１の成分を含み、かつ第２の成分は含まないリンス液を収容し、被洗浄物が浸漬されてリンスされるリンス槽と、
   煮沸槽により発生した第１の成分の蒸気を液化して回収する回収部と、
   回収部により回収された回収液から水を分離して第１の成分を抽出する水分離器と、
   を備える洗浄システムであって、
   第１の成分は、沸点が３０〜１００℃でありかつ蒸気比重が空気よりも大きく、
   第２の成分は、第１の成分の沸点に対して、５０℃以上高い沸点を有し、
   第１の成分と第２の成分とは、相溶するが共沸せず、
   水分離器により抽出された第１の成分はリンス槽に供給されることを特徴とし、第１の成分が、ハイドロフルオロカーボン及びハイドロフルオロエーテルからなる群より選択される１種以上のフッ素系溶剤であり、第２の成分が、Ｃ _１２ 〜Ｃ _２０ 不飽和脂肪酸アルキルエステルである、洗浄システム。
3. 第１の成分と第２の成分とを含む第１の洗浄剤組成物を収容し、被洗浄物が浸漬され、かつ第１の成分の蒸気を発生させる煮沸槽と、
   第１の成分を含み、かつ第２の成分は含まないリンス液を収容し、被洗浄物が浸漬されてリンスされるリンス槽と、
   第１の成分を含む第２の洗浄剤組成物を収容し、被洗浄物に接触させる第１の成分の蒸気を発生させる仕上槽と、
   煮沸槽または仕上槽により発生した第１の成分の蒸気を液化して回収する回収部と、
   回収部により回収された回収液から水を分離して第１の成分を抽出する水分離器と、
   を備える洗浄システムであって、
   第１の成分は、沸点が３０〜１００℃でありかつ蒸気比重が空気よりも大きく、
   第２の成分は、第１の成分の沸点に対して、５０℃以上高い沸点を有し、
   第１の成分と第２の成分とは、相溶するが共沸せず、
   水分離器により抽出された第１の成分はリンス槽に供給されることを特徴とし、第１の成分が、ハイドロフルオロカーボン及びハイドロフルオロエーテルからなる群より選択される１種以上のフッ素系溶剤であり、第２の成分が、Ｃ _１２ 〜Ｃ _２０ 不飽和脂肪酸アルキルエステルである、洗浄システム。
4. さらに、煮沸槽から回収した汚れた洗浄剤組成物を加熱して第１の成分の蒸気を発生させる蒸留再生装置を備え、
   蒸留再生装置には、発生した第１の成分の蒸気を液化して回収する回収部が設けられ、回収部により回収された回収液が水分離器に供給されることを特徴とする、請求項３に記載の洗浄システム。
5. さらに、仕上槽には、仕上げ槽中の第２の洗浄剤組成物の量を検出するセンサが設けられ、センサにより第２の洗浄剤組成物の量が所定量以下になったときに、水分離器から仕上槽へと第１の成分が供給される、請求項４に記載の洗浄システム。
6. 水分離器は、比重分離により第１の成分を抽出することを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の洗浄システム。
7. 請求項１に記載の洗浄システムを用いた洗浄方法であって、
   （１Ａ）被洗浄物を煮沸槽に浸漬して、煮沸洗浄する工程と、
   （１Ｂ）被洗浄物を第１の成分の蒸気に接触させて、蒸気洗浄する工程と
   を含み、第１の成分が、ハイドロフルオロカーボン及びハイドロフルオロエーテルからなる群より選択される１種以上のフッ素系溶剤であり、第２の成分が、Ｃ _１２ 〜Ｃ _２０ 不飽和脂肪酸アルキルエステルである、洗浄方法。
8. 工程（１Ａ）の後で、（１Ａ’）第１の成分でシャワー洗浄する工程
   を含む、請求項７に記載の洗浄方法。
9. 請求項２に記載の洗浄システムを用いた洗浄方法であって、
   （２Ａ）被洗浄物を煮沸槽に浸漬して、煮沸洗浄する工程と、
   （２Ｂ）被洗浄物をリンス槽に浸漬して、リンスする工程と、
   （２Ｃ）被洗浄物を第１の成分の蒸気に接触させて、蒸気洗浄する工程と
   を含み、第１の成分が、ハイドロフルオロカーボン及びハイドロフルオロエーテルからなる群より選択される１種以上のフッ素系溶剤であり、第２の成分が、Ｃ _１２ 〜Ｃ _２０ 不飽和脂肪酸アルキルエステルである、洗浄方法。
10. 請求項３〜５のいずれか１項に記載の洗浄システムを用いた洗浄方法であって、
    （３Ａ）被洗浄物を煮沸槽に浸漬して、煮沸洗浄する工程と、
    （３Ｂ）被洗浄物をリンス槽に浸漬して、リンスする工程と、
    （３Ｃ）被洗浄物を仕上槽の上部に置いて、第１の成分の蒸気に接触させて、蒸気洗浄する工程と
    を含み、第１の成分が、ハイドロフルオロカーボン及びハイドロフルオロエーテルからなる群より選択される１種以上のフッ素系溶剤であり、第２の成分が、Ｃ _１２ 〜Ｃ _２０ 不飽和脂肪酸アルキルエステルである、洗浄方法。