KR101998254B1 - 스팟 크리너 시스템 - Google Patents

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KR101998254B1
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Abstract

본 발명에 따른 스팟 크리너 시스템은, 세정대상물을 세정하는 세정유닛, 상기 세정유닛의 세정과정에서 기화된 세정케미칼을 공급받아 액화하는 회수유닛, 상기 세정유닛의 세정과정에서 배출되는 세정케미칼 및 상기 회수유닛에서 액화된 세정케미칼을 공급받아 수분 및 불순물을 분리하는 분리유닛, 상기 분리유닛으로부터 세정케미칼을 공급받아 증류 및 액화하는 증류유닛 및 상기 증류유닛으로부터 세정케미칼을 공급받아 상기 세정유닛에 공급하는 저장유닛을 포함한다.

Description

스팟 크리너 시스템{Spot Cleaner System}
본 발명은 스팟 크리너 시스템 에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 세정대상물의 세정에 사용되는 세정케미칼의 회수율을 높여 세정케미칼의 낭비를 최소화할 수 있는 스팟 크리너 시스템에 관한 것이다.
카메라 등에 사용되는 렌즈의 표면에 먼지 등의 이물질이 부착되면 렌즈 모듈을 투과하는 광에 의해 촬영되는 화상은 이물질에 의해 투과하는 빛의 양이 줄어들어 촬영된 화상의 전체가 어두워지거나 이물질의 그림자가 나타날 수 있다.
따라서, 렌즈 제조공정에는 렌즈 표면에 부착된 렌즈의 세정작업이 필수적으로 포함되며, 이러한 세정작업은 통상적으로 에어 블로우 또는 세정케미칼을 이용하여 이루어진다.
세정작업에 사용되는 세정케미칼은 강한 휘발성을 가지고 있기 때문에 세정 작업 중에 많은 양의 세정케미칼이 기화되어 낭비되는 문제점이 있다.
또한, 기화로 인해 낭비되는 세정케미칼으로 인해 세정작업의 비용이 상승하며, 결국 렌즈 제조 비용이 상승하는 문제점이 있다.
따라서 이와 같은 문제점들을 해결하기 위한 방법이 요구된다.
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 발명으로서, 스팟 크리너 시스템을 세정유닛, 회수유닛, 분리유닛, 증류유닛 및 저장유닛으로 구성하여, 기화된 세정케미칼을 시스템 외부로 방출되지 않고 순환시킴으로써, 세정케미칼의 회수율을 극대화하고자 한다.
본 출원의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 스팟 크리너 시스템은 세정대상물을 세정하는 세정유닛, 상기 세정유닛의 세정과정에서 기화된 세정케미칼을 공급받아 액화하는 회수유닛, 상기 세정유닛의 세정과정에서 배출되는 세정케미칼 및 상기 회수유닛에서 액화된 세정케미칼을 공급받아 수분 및 불순물을 분리하는 분리유닛, 상기 분리유닛으로부터 세정케미칼을 공급받아 증류 및 액화하는 증류유닛 및 상기 증류유닛으로부터 세정케미칼을 공급받아 상기 세정유닛에 공급하는 저장유닛을 포함할 수 있다.
세정유닛으로부터 기화된 세정케미칼을 흡입하여 상기 회수유닛에 공급하고, 상기 회수유닛에서 액화되지 못하고 잔류하는 세정케미칼을 상기 세정유닛에 불어 넣는 링블로워를 포함할 수 있다.
증류유닛은 상기 분리유닛으로부터 세정케미칼을 공급받아 증류하는 증류부, 상기 증류부로부터 세정케미칼을 공급받아 액화하는 메인냉각부 및 상기 메인냉각부로부터 액화된 세정케미칼을 공급받아 상기 저장유닛에 공급하는 수용부를 포함할 수 있다.
증류유닛은 상기 증류부 내부에 잔류하는 기화된 세정케미칼을 공급받아 액화하여 상기 수용부에 공급하는 제1서브냉각부를 더 포함할 수 있다.
증류유닛은 상기 수용부 내부에 잔류하는 기화된 세정케미칼을 공급받아 액화하여 상기 수용부에 공급하는 제2서브냉각부를 더 포함할 수 있다.
회수유닛은 상기 세정유닛의 세정과정에서 기화된 세정케미칼이 포집되는 수용공간이 형성된 몸체부, 상기 몸체부에 구비되며, 상기 수용공간의 온도를 상기 기화된 세정케미칼의 액화점 이하의 온도로 유지시켜 상기 세정케미칼을 액화하는 응축튜브, 상기 수용공간에 알갱이 형태로 구비되어 상기 세정케미칼을 난류유동시켜 상기 세정케미칼의 체류시간을 증가시키는 복수개의 유동교란체 및 상기 액화된 세정케미칼을 상기 분리유닛으로 배출하는 드레인파이프를 포함할 수 있다.
유동교란체는 구형체로서, 복수개의 유동교란체 사이에 공극을 형성하는 것이 바람직하다.
유동교란체는 금속재질인 것이 바람직하다.
유동교란체는 상기 응축튜브에 접촉되는 것이 바람직하다.
세정유닛의 하부에는, 상기 세정유닛의 세정과정에서 기화된 세정케미칼을 배출하여 상기 회수유닛에 공급하는 배출파이프, 상기 회수유닛에서 액화되지 못하고 잔류하는 세정케미칼을 상기 세정유닛에 공급하는 공급파이프 및 상기 세정유닛의 세정과정에서 배출되는 세정케미칼을 상기 분리유닛에 배출하는 배수파이프를 포함하며, 상기 배출파이프 및 상기 공급파이프는 서로 대향되도록 설치되는 것이 바람직하다.
배출파이프는 상기 링블로어의 흡기 방향에 대하여 상기 세정유닛과 상기 회수유닛을 직렬로 연결하며, 상기 공급파이프는 상기 링블로어의 배기 방향에 대하여 상기 회수유닛과 상기 세정유닛을 직렬로 연결되는 것이 바람직하다.
상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 스팟 크리너 시스템은 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 회수유닛에서 기화된 세정케미칼을 난류 유동시켜 체류시간을 증가시킴으로써, 세정케미칼이 응축되는 효과를 높일 수 있다.
둘째, 링블로워로 액화되지 못하고 잔류하는 세정케미칼을 다시 세정유닛에 불어넣음으로써, 세정케미칼의 회수율을 높일 수 있다.
셋째, 기화된 세정케미칼을 시스템 외부로 방출되지 않고 순환시킴으로써, 세정케미칼의 회수율을 극대화할 수 있다.
넷째, 증류유닛을 이용하여 환원된 세정케미칼을 증류 및 액화함으로써, 순수한 세정케미칼을 재사용할 수 있는 효과가 있다.
다섯째, 세정케미칼의 회수율을 높임으로써, 세정 비용 및 세정 대상물의 제조단가를 감소시킬 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
아래에서 설명하는 본 출원의 실시예의 상세한 설명뿐만 아니라 위에서 설명한 요약은 첨부된 도면과 관련해서 읽을 때에 더 잘 이해될 수 있을 것이다. 본 출원을 예시하기 위한 목적으로 도면에는 실시예들이 도시되어 있다. 그러나, 본 출원은 도시된 정확한 배치와 수단에 한정되는 것이 아님을 이해해야 한다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 스팟크리너 시스템의 전체적인 모습을 개략적으로 나타낸 도면;
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 스팟크리너 시스템의 증류유닛의 모습을 개략적으로 나타낸 도면;
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 스팟크리너 시스템의 증류유닛의 모습을 나타낸 도면;
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 스팟크리너 시스템의 회수유닛의 모습을 나타낸 도면;
도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 스팟크리너 시스템의 세정유닛의 모습을 나타낸 도면이다.
이하 본 발명의 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다. 또한, 본 발명의 실시예를 설명함에 있어서 도면에 도시된 구성은 상세한 설명에 대한 이해를 돕기 위한 예시일 뿐, 그 형상에 대하여는 제한 없이 다양할 수 있으며 이로 인해 권리범위가 제한되지 않음을 명시한다.
도 1을 참조하면,
본 발명에 따른 스팟 크리너 시스템은 개략적으로 세정유닛(100), 회수유닛(200), 분리유닛(300), 증류유닛(500) 및 저장유닛(600)으로 구성된다.
세정유닛(100)은 세정대상물을 세정하는 기능을 한다.
상기 세정유닛(100)에는 복수개의 샤워노즐(미도시)이 구비되며, 이송장치에 부착된 카메라모듈 등의 세정대상물에 고압의 세정케미칼을 분사하여 상기 세정대상물을 세정한다. 여기서, 세정케미칼은 다양한 종류의 세정케미칼이 사용될 수 있으며, 특히, HFE(hydrofluoroether : 수소화불화에테르)가 사용되는 것이 바람직하다. 상기 세정유닛(100)에 대한 자세한 설명은 후술한다.
도 1 및 도 4를 참조하면,
회수유닛(200)은 세정유닛(100)의 세정과정에서 기화된 세정케미칼을 공급받아 액화하는 기능을 한다.
세정케미칼에 사용되는 HFE는 휘발성이 강하며, 고가이다. 따라서, 세정유닛(100)에서 액체상태의 HFE로 세정대상물을 세정하게 되면 상기 HFE가 빠른 속도로 기화되므로, 기화된 HFE를 응축 및 세척하여 재사용하는 것이 바람직하다.
링블로워(700)는 연결관을 통해 세정유닛(100)으로부터 기화된 세정케미칼을 흡입하여 회수유닛(200)에 공급하고, 상기 회수유닛(200)에서 액화되지 못하고 잔류하는 세정케미칼을 세정유닛(100)에 다시 불어 넣는다.
위와 같이, 링블로워(700)로 액화되지 못하고 잔류하는 세정케미칼을 다시 세정유닛(100)에 불어넣음으로써, 세정케미칼의 회수율을 높일 수 있게 된다.
회수유닛(200)은 링블로워(700)에 의해 공급받은 기화된 HFE를 응축하여 액화하는 기능을 하며, 상기 액화된 HFE는 후술할 분리유닛(300)으로 이송된다.
도 4를 참조하면,
회수유닛(200)은 몸체부(210), 응축튜브(230), 유동교란체(250) 및 드레인파이프(270)로 구성된다.
몸체부(210)에는 세정유닛(100)의 세정과정에서 기화된 세정케미칼이 포집되는 수용공간이 형성된다.
응축튜브(230)는 상기 몸체부(210)에 구비되며, 수용공간의 온도를 상기 기화된 세정케미칼의 액화점 이하의 온도로 유지시켜 상기 세정케미칼을 액화하는 기능을 한다.
응축튜브(230)의 내부에는 냉각수가 유동되어 몸체부(210) 수용공간의 온도를 세정케미칼의 액화점 이하의 온도로 유지시킴으로써, 수용공간에 포집된 기화된 세정케미칼을 응축한다.
응축튜브(230)는 칠러(chiller, 290)와 연결된다. 칠러(290)는 응축튜브(230)에서 유동되는 냉각수의 온도를 지속적으로 낮추어 주기 위한 장치로서, 위와 같이 온도를 지속적으로 낮출 수 있는 다양한 장치가 사용될 수 있음은 물론이다.
유동교란체(250)는 몸체부(210)의 수용공간에 복수개로 알갱이 형태로 구비되며, 열전도율이 높은 금속재질로 형성되는 것이 바람직하다.
유동교란체(250)는 세정케미칼의 액화점 이하의 온도가 유지되는 응축튜브(230)와 접촉되고, 금속재질이므로, 상기 유동교란체(250) 역시 세정케미칼의 액화점 이하의 온도가 유지된다.
유동교란체(250)는 수용공간에 포집된 기화된 세정케미칼을 난류 유동시켜 상기 세정케미칼의 체류시간을 증가시킨다. 따라서, 기화된 세정케미칼이 수용공간에서 체류하는 동안, 상기 세정케미칼은 응축튜브(230)에 의해 응축되고, 미처 응축되지 못한 기화된 세정케미칼이 유동교란체(250)에 의해 난류 유동되어 세정케미칼이 응축되는 효과가 더욱 높아지게 된다.
유동교란체(250)는 다양한 형상 및 크기로 형성될 수 있으며, 난류 유동을 위하여 공극을 형성할 수 있도록 구형체로 형성되는 것이 바람직하다.
몸체부(210)의 수용공간에는 하나 이상의 격벽(280)이 구비된다. 상기 격벽(280)에는 복수개의 홀이 형성되어 상기 홀을 통해 기체가 관통되고, 수용공간에 포집된 기화된 세정케미칼의 체류시간을 증가시키게 된다.
드레인파이프(270)는 응축튜브(230) 및 유동교란체(250)에 의해 액화된 세정케미칼을 후술할 분리유닛(300)으로 배출한다.
도 1을 참조하면,
분리유닛(300)은 세정유닛(100) 및 회수유닛(200)과 연결되며, 세정유닛(100)의 세정과정에서 배출되는 세정케미칼 및 회수유닛(200)에서 액화된 세정케미칼을 공급받아 수분 및 불순물을 비중 차이를 이용하여 분리하는 기능을 한다. 즉, 분리유닛(300)은 세정유닛(100)의 세정과정에서 흘러내리는 액체상태의 오염된 세정케미칼 및 회수유닛(200)에서 액화된 세정케미칼을 공급받아 수분 및 불순물을 분리하여 순수한 세정케미칼로 환원한다.
상기 분리유닛(300)은 오염된 세정케미칼에서 수분 및 불순물을 분리시킬 수 있는 여러 장치가 사용될 수 있다.
도 2 및 도 3을 참조하면,
증류유닛(500)은 분리유닛(300)으로부터 세정케미칼을 공급받아 증류 및 액화한다.
전술한 분리유닛(300)의 기능만으로도 오염된 세정케미칼을 순수한 세정케미칼로 환원할 수 있으나, HFE를 세정케미칼로 사용하는 경우, 상기 환원된 세정케미칼에는 에폭시, 플럭스 등의 불순물이 잔류할 수 있다. 따라서, 증류유닛(500)을 이용하여 상기 환원된 세정케미칼을 증류하면 순수한 상태의 세정케미칼만 기화가 되므로, 상기 세정케미칼을 액화함으로써 더욱 더 순수한 세정케미칼로 재사용할 수 있게 된다.
증류유닛(500)은 증류부(520), 메인냉각부(530) 및 수용부(570)로 구성된다.
증류부(520)는 분리유닛(300)으로부터 세정케미칼을 공급받아 증류하는 기능을 한다. 상기 증류부(520)에는 히터(525) 등 열을 발생하는 장치가 구비되며, 상기 히터(525)를 이용하여 세정케미칼을 증류하게 된다.
본 발명의 실시예에서 세정케미칼이 HFE인 경우, 상기 HFE는 54℃에서 기화되는 것이 바람직하다.
메인냉각부(530)는 증류부(520)로부터 순수한 상태로 기화된 세정케미칼을 공급받아 액화하는 기능을 한다. 상기 메인냉각부(530)는 전술한 응축튜브(230)와 같이, 세정케미칼을 액화점 이하의 온도로 유지시켜 기화된 세정케미칼을 액화할 수 있는 다양한 장치가 사용될 수 있다.
그리고, 메인냉각부(530)는 액화된 세정케미칼이 후술할 수용부(570)에 용이하게 공급되기 위하여 도면에 도시된 바와 같이, 하향경사진 방향으로 설치되는 것이 바람직하다.
수용부(570)는 메인냉각부(530)로부터 액화된 세정케미칼을 공급받아 저장유닛(600)에 공급한다.
도 1 및 도 2를 참조하면,
저장유닛(600)은 증류유닛(500)의 수용부(570)로부터 순수한 상태로 액화된 세정케미칼을 공급받아 상기 세정케미칼을 세정유닛(100)에 재공급한다. 세정유닛(100)에 재공급된 세정케미칼은 다시 세정대상물의 세정에 사용된다.
위와 같이, 세정유닛(100), 회수유닛(200), 분리유닛(300), 증류유닛(500) 및 저장유닛(600)에서 다시 세정유닛(100)으로 세정케미칼을 순환시킴으로써, 고가의 세정케미칼의 회수율을 높일 수 있게 된다.
도 2 및 도 3을 참조하면,
증류유닛(500)은 증류부(520) 내부에 잔류하는 기화된 세정케미칼을 공급받아 액화한 후 상기 액화된 세정케미칼을 수용부(570)에 공급하는 제1서브냉각부(540)를 더 포함한다.
증류부(520)에서 증류되는 세정케미칼은 메인냉각부(530)를 통하여 액화된 상태로 수용부(570)로 공급되나, 증류부(520) 내부에는 메인냉각부(530)에서 액화되지 못하고 기체상태로 잔류하는 세정케미칼이 있으므로, 위 기체상태의 세정케미칼을 제1서브냉각부(540)를 통하여 다시 냉각하여 수용부(570)에 재공급함으로써, 세정케미칼의 회수율을 높일 수 있게 된다.
도 2 및 도 3을 참조하면,
증류유닛(500)은 수용부(570) 내부에 잔류하는 기화된 세정케미칼을 공급받아 액화한 후 상기 액화된 세정케미칼을 수용부(570)에 공급하는 제2서브냉각부(550)를 더 포함한다.
수용부(570)에는 순수한 상태의 액화된 세정케미칼이 수용된다. 그러나, HFE와 같은 세정케미칼은 휘발성이 높아서 자연기화(BOG : Boiled off Gas)가 되므로, 상기 자연기화된 세정케미칼을 제2서브냉각부(550)를 이용하여 응축하여 다시 수용부(570) 내부로 재공급함으로써, 세정케미칼의 회수율을 더욱 높일 수 있다.
제1서브냉각부(540) 및 제2서브냉각부(550)는 전술한 메인냉각부(530)와 같이, 세정케미칼을 액화점 이하의 온도로 유지시켜 기화된 세정케미칼을 액화할 수 있는 다양한 장치가 사용될 수 있다.
그리고, 메인냉각부(530), 제1서브냉각부(540) 및 제2서브냉각부(550)에는 칠러(chiller, 590)가 별도로 연결된다.
도 1 및 도 5를 참조하면,
세정유닛(100)의 하부에는 배출파이프(120), 공급파이프(130) 및 배수파이프(150)가 구비된다.
배출파이프(120)는 세정유닛(100)의 세정과정에서 기화된 세정케미칼을 배출하여 회수유닛(200)에 공급하고, 공급파이프(130)는 상기 회수유닛(200)에서 액화되지 못하고 잔류하는 세정케미칼을 세정유닛(100)에 다시 공급한다.
배수파이프(150)는 상기 세정유닛(100)의 세정과정에서 배출되는 세정케미칼을 분리유닛(300)에 배출하는 기능을 한다.
기화된 HFE 분자는 대기 중의 기체분자보다 무거워서 세정유닛(100)의 하부에 가라앉게 되므로, 하부에 잔류하는 기화된 HFE를 링블로워(700)를 이용하여 효율적으로 배기 및 흡기하기 위하여 배출파이프(120) 및 공급파이프(130)는 세정유닛(100)의 하부에 설치되는 것이 바람직하다.
배출파이프(120) 및 공급파이프(130)는 서로 대향되도록 설치된다. 그리고, 배출파이프(120)는 링블로워(700)의 흡기 방향에 대하여 세정유닛(100)과 회수유닛(200)을 직렬로 연결하며, 공급파이프(130)는 상기 링블로워(700)의 배기 방향에 대하여 회수유닛(200)과 세정유닛(100)을 직렬로 연결한다.
링블로워(700)에 의해 기화된 HFE를 순환시키면, 코안다효과(유체가 만곡면을 따라 이동하는 성질)에 의해 기화된 HFE가 빠르게 순환될 수 있다.
결과적으로, 위와 같이, 링블로워(700)에 의해 기화된 HFE를 회수유닛(200)과 세정유닛(100)의 직렬 연결구조에 의해 효과적으로 순환시킴으로써, HFE의 회수율을 높일 수 있게 된다.
그리고, 세정유닛(100)의 하부에 칠러(290)와 연결되는 냉각수공급파이프(190)를 설치하여, 기화된 HFE가 배출파이프(120)로 배출되는 동안 상기 HFE를 액화하여 배수파이프(150)를 통해 분리유닛(300)으로 배출되도록 구성하는 것이 바람직하다.
이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.
100: 세정유닛 120: 배출파이프
130: 공급파이프 150: 배수파이프
200: 회수유닛 210: 몸체부
230: 응축튜브 250: 유동교란체
270: 드레인파이프 290, 590: 칠러
300: 분리유닛 500: 증류유닛
520: 증류부 530: 메인냉각부
540: 제1서브냉각부 550: 제2서브냉각부
570: 수용부 600: 저장유닛
700:링블로워

Claims (11)

  1. 세정대상물을 세정하는 세정유닛;
    상기 세정유닛의 세정과정에서 기화된 세정케미칼을 공급받아 액화하는 회수유닛;
    상기 세정유닛의 세정과정에서 배출되는 세정케미칼 및 상기 회수유닛에서 액화된 세정케미칼을 공급받아 수분 및 불순물을 분리하는 분리유닛;
    상기 분리유닛으로부터 세정케미칼을 공급받아 증류 및 액화하는 증류유닛; 및
    상기 증류유닛으로부터 세정케미칼을 공급받아 상기 세정유닛에 공급하는 저장유닛;을 포함하며,
    상기 회수유닛은, 상기 세정유닛의 세정과정에서 기화된 세정케미칼이 포집되는 수용공간이 형성된 몸체부, 상기 몸체부에 구비되며, 상기 수용공간의 온도를 상기 기화된 세정케미칼의 액화점 이하의 온도로 유지시켜 상기 세정케미칼을 액화하는 응축튜브, 상기 수용공간에 알갱이 형태로 구비되어 상기 세정케미칼을 난류유동시켜 상기 세정케미칼의 체류시간을 증가시키는 복수개의 유동교란체 및 상기 액화된 세정케미칼을 상기 분리유닛으로 배출하는 드레인파이프를 포함하고,
    상기 몸체부는 복수 개의 홀이 형성되며 상기 수용공간 내에 적어도 하나 이상이 배치되어, 상기 홀을 통해 상기 세정케미칼의 체류시간을 증가시키는 격벽을 포함하고,
    상기 증류유닛은 상기 분리유닛으로부터 세정케미칼을 공급받아 증류하는 증류부, 상기 증류부로부터 세정케미칼을 공급받아 액화하는 메인냉각부 및 상기 메인냉각부로부터 액화된 세정케미칼을 공급받아 상기 저장유닛에 공급하는 수용부, 상기 메인냉각부에서 액화되지 못하고 기체상태로 상기 증류부 내부에 잔류하는 상기 세정케미칼을 별도로 수집해 액화하여 상기 수용부에 공급하는 제1서브냉각부 및 상기 수용부 내부에서 자연기화(BOG: Boiled off Gas)된 상기 세정케미칼을 액화하여 상기 수용부에 공급하는 제2서브냉각부를 더 포함하며,
    상기 제1서브냉각부와 상기 제2서브냉각부는 각각 독립적으로 구성되어 자연기화된 상기 세정케미칼을 수집해 액화하는 스팟 크리너 시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 세정유닛으로부터 기화된 세정케미칼을 흡입하여 상기 회수유닛에 공급하고, 상기 회수유닛에서 액화되지 못하고 잔류하는 세정케미칼을 상기 세정유닛에 불어 넣는 링블로워를 포함하는 스팟 크리너 시스템.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 유동교란체는 구형체로서, 복수개의 유동교란체 사이에 공극을 형성하는 것을 특징으로 하는 스팟 크리너 시스템.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 유동교란체는 금속재질인 것을 특징으로 하는 스팟 크리너 시스템.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 유동교란체는 상기 응축튜브에 접촉되는 것을 특징으로 하는 스팟 크리너 시스템.
  10. 제 2항에 있어서,
    상기 세정유닛의 하부에는,
    상기 세정유닛의 세정과정에서 기화된 세정케미칼을 배출하여 상기 회수유닛에 공급하는 배출파이프;
    상기 회수유닛에서 액화되지 못하고 잔류하는 세정케미칼을 상기 세정유닛에 공급하는 공급파이프; 및
    상기 세정유닛의 세정과정에서 배출되는 세정케미칼을 상기 분리유닛에 배출하는 배수파이프;
    를 포함하며,
    상기 배출파이프 및 상기 공급파이프는 서로 대향되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 스팟 크리너 시스템.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 배출파이프는 상기 링블로워의 흡기 방향에 대하여 상기 세정유닛과 상기 회수유닛을 직렬로 연결하며,
    상기 공급파이프는 상기 링블로워의 배기 방향에 대하여 상기 회수유닛과 상기 세정유닛을 직렬로 연결하는 것을 특징으로 하는 스팟 크리너 시스템.
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