JPH06510821A - 多成分溶剤クリーニング系 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は汚れた物品および装置を洗浄する方法およびそのための装置、更に詳し くは、部品をクリーニングするための有機溶剤および不燃性フルオロカーボンを 使用する非水クリーニング系での部品（ｐａｒｔｓ）の脱脂（ｄｅｆｌｕｘｉｎ ｇ）または脱脂に関する。

発明の背景 溶剤蒸気相脱脂法および脱融法は、汚れた基体（ｓｕｂｓｔｒａｔｅ）（例えば 、プリント基板または加工金属板、ガラス、セラミックまたはエラストマ一部品 または複合材）をクロロカーボンまたはクロロフルオロカーボンまたはそれらの 混合物のような不燃性の溶剤の沸騰液中に浸漬し、次いでこの部品を第二タンク またはクリーニングゾーンで、第一クリーニングゾーンで使用したのと同じクロ ロカーボンまたはクロロフルオロカーボンなどの清浄な溶剤に浸漬するかまたは 蒸留した溶剤をスプレーする方法であり、次いでその冷却した部品を温度が平衡 に達するまで溶剤の凝縮蒸気中に保持することにより乾燥する。

種々のタイプの部品の溶剤クリーニングは、普通、檜、ホイストを備えた檀、コ ンベヤーを備えた槽またはインライン式コンベヤー脱脂装置および脱脂装置で行 われる。このようなインライン式コンベヤー脱脂装置および脱脂装置は１９８９ 年９月２１日に出願された出願中の米国特許出願第０７／４１０．２１６号〔標 題：冷却空気ロック蒸気シール（Ｃｏｌｄ　Ａｉｒ　Ｌｏｃｋ　ＶａｐｏｒＳｅ ａｌ）］であって、現在本発明の譲受人に帰属している米国特許第５，００７． １７９号明細書の中に開示されている。部品は、また、同じ（本発明の譲受人が 共有している１９９０年９月２５日に出願された米国特許出願第０７１５８７． ８９３号明細書中に開示されているような上部開放式脱脂または脱脂装置で洗浄 されることもある。両タイプの装置共、その入口と出口は普通開放され、周囲の 環境および装置内の溶剤と連通している。対流または拡散による装置からの溶剤 の消散を最少にするために、この技術分野では通常、米国特許第４．　２６１゜ １１１号明細書に説明されているように、脱脂／脱融タンク内の高温または室温 ゾーン領域を覆う凝縮蒸気層（ｂｌａｎｋｅｔ）を生成させるために水冷または 冷媒冷却コイルを利用している。

さて、前述の溶剤蒸気相脱脂法では、クリーニング、リンスおよび乾燥工程で普 通単一の有機クロロカーボンまたはクロロフルオロカーボン（ＣＦ　Ｃ）の液を 使用することが知られている。過去には、ＣＦＣ−１１３およびフレオン系溶剤 を使用することが特に普及していた。しかし、最近の科学的研究でその蒸気の環 境への拡散が成層圏オゾンの地球規模での望ましくない破壊の多くの可能な原因 の一つであるとしてその関連が指摘された。そして、現在は、そのようなりロロ フルオロカーボンの製造と使用が規制され、米国では今世紀の終りまでに無（な るであろう。環境的関心に応えて、ここ数年の間に、ＣＦＣ系気相脱脂および脱 融法に比べて環境的により受入れられ易い代替法を提供するために、ヒドロクロ ロフルオロカーボン（ＨＣＦＣ）系溶剤が開発された。この溶剤は種々のクリー ニング用途で素晴らしいＣＦＣ代替物であることが示されたが、これらはＣＦＣ の暫定的な代替物と考えられる。それらはＣＦＣよりは非常に低いとはいえ、小 さいが一定のオゾン破壊性能をまだ有しているからである。かくして、これらＨ ＣＦＣもまた、近い将来、地球的に無くすことが提案されている。一般に、塩素 、臭素、またはヨウ素原子を含まない有機溶剤は成層圏オゾンの破壊に関与しな いと信じられている。しかし、これらハロゲン原子を含まない、炭化水素類、ア ルコール類、エステル類、エーテル類、ケトン類などの有機化学製品は、通常、 望ましくない燃焼性または反応性を持っている。ペルフルオロ化炭化水素および ヒドロフルオロカーボン類は溶剤としての多（の望ましい性質を有している。即 ち、オゾン破壊性がなく：安定で、非反応性で、プラスチックとの相溶性が太き （；水置換性が良（ニ一般に無毒で不活性なので蒸気相溶剤クリーニング装置に 理想的に適している。しかし、ペルフルオロカーボンは多（の普通の有機および 無機性の汚れ、即ちフラックス（融剤）に対しては極めて貧溶媒である。ヒドロ フルオロカーボンはその分子のフッ素含有量が減るに従って、ペルフルオロカー ボンに比べて、限られてはいるが改善された洗浄性能を示す。しかし、フッ素含 有量の低いヒドロフルオロカーボンはその炭化水素類似物に似た望ましくない燃 焼性を呈し始める。

水系クリーニング法のような他のタイプの洗浄法がある。水系クリーニング法は 、一般に、洗浄剤または界面活性剤の水溶液中で基体または部品を洗浄し、次い で純水で何回も濯ぐ（リンス）工程を含んでいる。次いで、この部品は空気中て のゆっくりした蒸発、またはエネルギーの強い熱乾燥機で乾燥される。この方法 は乾燥のためのエネルギーコストが高いことと、追加の資本投下および国および 地方当局によって要求される水系廃水の下水への排出前の浄化のための操業コス トのため必ずしも望ましくない。

もう一つのクリーニング法である半一水系クリーニング法は、界面活性剤の助け を借りるかまたは借りないで部品から除去されるオイル、ワックスおよびグリー スに対する親和性の大きい、例えばテルペン類、エステル類または石油蒸留物か らなる炭化水素系溶剤の中で基体をクリーニングすることから成る。このクリー ニングされた基体から精製水を用いる多段リンス工程で高沸点の炭化水素系溶剤 を濯ぎ落とす。炭化水素溶剤は相分離され、クリーニング浴に戻されるが、排水 は下水に排出される前に処理されねばならない。従って、乾燥エネルギーおよび 廃水の処理に関連する高いコストは前述の水系クリーニング法と同じように明か である。更なる欠点は炭化水素系溶剤が通常引火点を持つことであり、爆発を避 けるために注意して取扱うか、または窒素のような不燃性の圧縮ガスで覆わなけ ればならない。窒素ガスは凝縮ゾーンに含まれているフルオロカーボンの密な蒸 気より遥かに逃げ易い。更に、幾つかの用途では、洗浄される基体が炭化水素溶 剤と親和性を持つこともあり、或種のプラスチックまたは金属は水系リンス溶剤 と親和住持たないことがあるので、水を吸収したり基体を錆びさせたりする。

発明の開示 本発明の目的の一つは、環境的に見て安全な方法で部品を脱脂または脱脂するた めの非水クリーニング系を提供することである。

本発明のもう一つの目的は、リンスのために水を使用せず、水系廃水を浄化する 必要がない非水クリーニング系を提供することである。そして、この非水クリー ニング系は素材が水と親和性を有しない場合に用いられる。

また、更なる目的は、リンス液を空気中でゆっくり蒸発させる方法または大きい エネルギーを必要とする熱的方法による乾燥の必要がない非水洗浄系を提供する ことである。

なお更なる目的は、部品のクリーニングのために有機液体クリーニング剤を用い 、そしてその有機クリーニング剤を部品から濯ぎ落とすためのリンス剤として有 機クリーニング剤に対し少（とも弱い溶解度を有し、少量のエネルギーで部品か ら乾燥できるリンス剤を利用する非水クリーニング系を提供することである。

本発明の方法による部品から残留汚れまたは表面の汚染を除去する非水クリーニ ング法は、その汚れを実質的に除去するのに十分な溶解力を有する有機クリーニ ング液に部品を接触させる工程、次いでリンスのためにその部品をその有機クリ ーニング液から、それを除去するための有機クリーニング液に対し少（ともある 程度の溶解度を持つリンス剤中に移す工程からなる。部品はリンス剤に浸漬され るか、リンス剤をスプレーされるか、リンス剤の蒸気に曝されるか、またはこれ ら方法を任意に組合わせた方法で処理される。蒸気から取出した時、部品は本質 的に清浄で、乾燥している。

望ましくは、本発明の非水クリーニング系は二つのタンクでのクリーニング法を 用い、第一のタンクは有機溶剤を含み、第二のタンクはリンス剤を含んでいる。

洗浄される部品または基体はコンベヤーでクリーニングタンクからリンスタンク に既知のコンベヤーまたはホイストで移送される。これらタンクは在来のまたは 既知のインラインコンベヤ一式脱脂／脱融装置の一部であってもよく、分離され た上部開放式脱脂タンク（複数）、またはクリーニングおよびリンスタンクまた は浴を含むように改良した上部開放式脱脂タンク（複数）であってもよい。

本発明のもう一つの態様では、部品から残留汚れまたは表面の汚染を除去する非 水クリーニング法は基体または部品をその部品から残留汚れを除去するのに十分 な溶解力の有機液体中に導入する工程を含んでなる。次いで、部品は第一液体溶 剤より汚れまたは表面汚れに対する溶解力は小さいが、第一溶剤に対する素晴ら しい溶解特性を有する第二有機溶剤と接触させてリンスされる。この第二溶剤（ リンス剤）は二つまたはそれ以上の炭素原子から成る有機骨格に付いている少く とも一個のフッ素原子含み、場合によっては酸素、窒素、リン、水素または他の ハロゲン原子のような他の原子もその骨格に付いているフルオロカーボン系の溶 剤から選ばれることが望ましい。またそれ程望ましくはないが、リンス剤はアル ロール類、エーテル類、エステル類、ケトン類、炭化水素類のような他の群の溶 剤およびその他の非水溶媒から選ばれてもよい。次いでこの部品は第一有機クリ ーニング溶剤の燃焼性を、また若し燃焼性なら第二リンス溶剤の燃焼性を減らす か和らげる不活性な蒸気による覆いの下に保持することにより乾燥される。この 場合、かかる燃焼性遮蔽蒸気被覆は窒素、二酸化炭素、ペルフルオロカーボン、 ヒドロフルオロカーボンまたはヒドロクロロフルオロカーボンの少くとも一種か ら成る。

一つの態様では、炭化水素系溶剤とフルオロカーボン系溶剤の溶液に場合によっ ては脱脂剤への可溶化剤である界面活性剤を一緒に混合した系中でクリーニング が行われる。より蒸発し易いフルオロカーボンが燃焼性抑制被覆を提供する。同 じフルオロカーボンは初期浸漬用の隣接リンス浴で、またはスプレーリンス液、 それに続く気相での最終リンス用によく用いられる。

最も簡単な実施態様では、クリーニングは炭化水素系溶剤とフルオロカーボン系 溶剤の溶液が場合によっては可溶化剤である界面活性剤と一緒に混合されている 一浴系中で行われる。より蒸発性であるフルオロカーボンが燃焼性抑制被覆を提 供する。そして、このクリーニング用混合液に浸漬された汚れた部品が十分長い 時間凝縮フルオロカーボン蒸気中に保持されるならば、その部品はその蒸気相か ら綺麗になって、乾燥されて取り出される。

有機クリーニング溶剤は、エステル部位に少くとも一個の炭素原子を有する、直 鎖または分岐アルキルまたはアルカノールのモノカルボン酸エステル類から選ば れ、そして最も望ましい溶剤は、引火点が２００Ｆ以上の物であり、またそれ程 望ましくはないが、引火点が１５０Ｆ以上のものである。また、この有機液体は 、線状または環状であって、その環に対し少くとも一個のエンド（ｅｎｄｏ）ま たはエキソ（ｅｘｏ）のオレフィン結合を含む炭化水素からも選ばれる。炭化水 素クリーニング剤は、ピネンおよび／またはカンフエンを含むか、またはテルピ ネン、リモネン、テルピノーレン、テルピネオール、リナレオールおよびその他 のテルペン族の関連化合物を含む。

ん二虚スーＪ−土、本ス α−ピネン　β−ピネン　カンフエン α−テルピネオール　リナレオール　メントールα−テルピネン　リモネン　テ ルビルンこの有機クリーニング溶剤は、また、ｃｌ。からｃ３゜の、直鎖、分岐 または環状炭化水素から成ることもある。

この有機クリーニング溶剤は、また、Ｒ１−’−Ｒ＋２グループで置換されたオ レフィン性部位を含む炭化水素から成ることもあり、Ｒ１−Ｒ１２は水素原子ま たは１〜６の炭素原子を含むアルキル基であるか、または共に置換された基、即 ちｔ２′Ｎンキｙ＝Ｐｍ？＋ｌ、ｊ＋１．＝ヒー’−１−ト”＋ロー°鵞ｌ＋ｌ −１＋嘗豐論１１ｐ１り奴０−ζｂのΦ０ この有機クリーニング液は、また、以下の直鎖構造（１）、分岐構造（２）また は環状構造（３）で規定される非環状または環状のモノオールまたはジオールか ら成ることもある： Ｒ（ＣＨ２）。ＯＩ（（１） （式中、ＲはＨ％ＯＨであり：ｎは１〜２０から選ばれる）Ｒ２−Ｃ（ＣＨ２） 、ＯＨ（２） （式中、ｎは１〜２０から選ばれる）。

（式中、Ｒ１〜Ｒ０はアルキルまたは水素またはそれらの混合であり、ｎはＯ〜 ６である）。

また、この有機液体は次のような直鎖、分岐または環状のモノまたはポリケトン から成ることもある： （式中、ｎはＯから６であり、Ｒ１〜ＲＩＧはアルキルまたは水素またはそれら の混合物である）。

本発明で用いられる他のクリーニング液は次の（ａ）、（ｂ）、（Ｃ）、（ｄ） および（ｅ）から成ることもあるニ −ＣＮ （式中、Ｒはアルキル基（メチル、エチル、など）、フェニル基、アルキル置換 フェニル基であることができる。） （ｂ）次式のアルキルベンゼン： （Ｃ）次式の、ジエチルフタレートのようなアルキルエステル類・（ｄ）次式の ポリエーテルアルカノール類。

Ｒ１（ＣＣＨ２０）−Ｈ （式中、Ｒ，は水素、アルキルまたはヒドロキシル基から選ばれ、Ｒ２は水素、 アルキルまたはフルオロアルキル基がら選ばれる。）（ｅ）次式で示されるトリ フルオロベンゼンのような置換芳香族化合物。

（式中、Ｒ１−Ｒ６は水素、アルキル基、フルオロアルキル基またはハロゲン基 およびそれらの組合せから選ばれる。）かかる有機クリーニング溶剤は、また、 全ての上記有機クリーニング溶剤と、直鎖、分岐または環状ペルフルオロカーボ ンまたはヒドロフルオロカーボンまたはヒドロクロロフルオロカーボンのような フルオロカーボン、あるいは所望によって炭素原子に酸素、硫黄、窒素、リンま たは他のハロゲン原子が付いているこれらフルオロカーボン類との混合物、また 、所望によって、可溶化剤としての界面活性剤をも含む混合物であってもよい。

フルオロカーボンリンス溶剤は、少くとも２５℃から１２０℃の沸点を有する、 直鎖、分岐または環状構造を含むヒドロフルオロカーボンまたはヒドロクロロフ ルオロカーボン系化合物または混合物から選ばれ、そしてかかるフルオロカーボ ンは他のハロゲン、酸素、硫黄、窒素およびリン原子から成る群から選ばれた他 の官能基で置換されている場合もある。

推奨されるヒドロフルオロカーボンまたはヒドロクロロフルオロカーボン混合物 は、少くとも２５℃から１２０℃の沸点範囲で有機クリーニング溶剤に対しであ る程度の混合性を有している。そのため、少くとも２モル％の炭化水素クリーニ ング溶剤が相分離を起こすことな（フルオロカーボン液と混ざる。

ヒドロフルオロカーボン類はその中に３から８個の炭素原子、水素およびフッ素 を含んでいることが望ましい。この化合物は直鎖または分岐分子鎖を持っている ことが望ましい。

燃焼性の抑制は適当な蒸気被覆剤の使用によって維持される。リンス溶剤は他の 直鎖、分岐または環状アルキルまたはアリールアルコール、エステル、ニトロ化 合物、ニトロ環状化合物またはニトリル化合物、エーテル、ケトン、炭化水素お よびその他の非水系溶媒から成る化合物または混合物から選ばれることもできる 。

本発明の更なる他の目的と利点は、以下の詳細な説明から、当該技術分野の熟練 者には容易に明かになるであろう。ここでは、本発明の望ましい実施態様だけを 、本発明の実施において予想される最良の様式を単に例示するという方法で示し 、説明される。容易に分るように、本発明は別のそして異なる実施態様が可能で あり、その幾つかの細部の点は本発明から逸脱することなく種々の明瞭な手段で 修正することができる。従って、図面および説明は例示的な性質のものであり、 限定を意図するものではないと考えるべきである。

図１は本発明の複数溶剤非水クリーニング系で用いられる脱脂または脱脂装置の 部分模式図であり。

図２は本発明で用いられる装置の別の実施態様を描写する模式図であり・図３は 本発明で用いられる装置の更に別の実施態様を描写する模式図であり；図４は本 発明のシステムを実施するための更に別の代替装置の部分模式図であり： 図５は本発明で用いられる装置のもう一つの実施態様であり；そして図６は本発 明で用いられる装置の更なる実施態様である。

本発明を実施するための最良の様式 本発明は、その最も基本的な形において、新規の非水クリーニング法であって、 半一水系クリーニング法と溶剤蒸気脱脂溶剤法の最も魅力的特徴を組合せた方法 である。具体的に説明すれば、洗浄される基体または部品（例えば、樹脂系フラ ックスで被覆されたプリント回路基板、または石油系、合成系または半合成系オ イルまたはグリースで被覆された金属または非金属製部品）は先ず基体上の汚れ または汚染物に対する親和性がフルオロカーボン系溶剤より大きい、暖かいまた は室温の炭化水素溶剤中で洗浄される。次いで、この部品は望ましくは炭化水素 溶剤より低い沸点を有する不燃性のフルオロカーボン溶剤を含む第二タンクまた はクリーニング領域でスプレー法または浸漬法でリンスされる。フルオロカーボ ン溶剤は炭化水素溶剤に対して少（ともある程度の溶解性を持ついるので、炭化 水素溶剤は部品の表面から濯ぎ落とされる。次いで、このフルオロカーボン溶剤 は既知の方法で蒸発により部品表面から乾燥される。この方法の利点は乾燥費用 が非常に少な（、廃水処理コストと資本投下が実質的に不要で、操業時の安全性 が向上することである。更に、リンスおよび乾燥工程でヒドロフルオロカーボン またはペルフルオロカーボンを使用することにより、クロロカーボンまたはクロ ロフルオロカーボン溶剤系に比べて環境的利点が非常に向上することである。

推奨される有機クリーニング剤は、脂肪族部位に少（とも６個の炭素原子を有し 、エステル部位に少くとも１個の炭素原子を有する直鎖または分岐アルキルまた はアルカノールのモノカルボン酸エステル類から選ばれる。

この有機液体は、線状または環状であって、その環に対し少くとも１個のエンド （ｅｎｄｏ）またはエキソ（ｅｘｏ）のオレフィン結合を含む炭化水素からも選 ばれる。

この炭化水素はピネンおよび／またはカンフエンであってもよい。

推奨されるヒドロフルオロカーボンは次の各グループから選ばれる・（１）次の 実験式を持つ化合物・ Ｃ３Ｈ，Ｆ、、式中　ｎ≦４ このクラスの代表例は。

ＣＨ２Ｆ　ＣＨ２Ｆ　ＣＨＦ　２、　ＣＨ２ＦＣＦ２ＣＦＨ２ＣＦ２ＨＣＨ２Ｃ Ｆ２　Ｈ，ＣＦ２ＨＣＦＨＣＦ２Ｈである。

（２）次の実験式の直鎖または分岐化合物・Ｃ，Ｈ，Ｆ、、、　式中　ｎ≦５ このクラスの代表例は： ＣＨＦ２　（ＣＦ２　）２ＣＦ２　Ｈ，ＣＦ３ＣＦ２ＣＨＩＣＨ２ＦＣＨ３ＣＦ 　（ＣＨＦｔ　）ＣＨＦｚ、ＣＦ　ｓ　ＣＨ２ＣＦ　２　ＣＨ２ＦＣＨ３ＣＨＦ ＣＦ２ＣＦ３、　ＣＦ　ｓ　ＣＨ２ＣＨ２ＣＦ　３ＣＨ２Ｆ　ＣＦ　２ＣＦ　２ ＣＨ２Ｆ、　ＣＨＦ　２ＣＨ（ＣＦ　ｓ　）　ＣＦ　５ＣＨＦ　（ＣＦ３　）Ｃ Ｆ、ＣＦ、である。

（３）次の実験式の直鎖または分岐化合物：Ｃｓ　Ｈ−Ｆ＋ｚ−１式中　ｎ≦に のクラスの代表例は： ＣＨ３ＣＨＦＣＨ２ＣＦ２ＣＦ！、　ＣＦ　ｓ　ＣＨ２ＣＦ　２　ＣＨ２ＣＦ　 ｓＣＨ３ＣＨＦ　ＣＨＦ　ＣＦ　２　ＣＦ　３、　ＣＦ３ＣＨ２ＣＨ２ＣＦ２Ｃ ＦＩＣＨ３ＣＨＦ　ＣＦ　２　ＣＦ　２　ＣＦ　３、　ＣＦｓＣＦｚＣＦ２ＣＨ ｚＣＨｓＣＨ３ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦｓ、　ＣＦ　ｓ　ＣＨ２ＣＨＦ　ＣＨ２ ＣＦ　５ＣＨ２ＦＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ！、　ＣＦ３ＣＨ２ＣＦ２ＣＨ２ＣＨ ２ＦＣＨＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ５ ＣＨｓ　ＣＦ　（ＣＦ　２　Ｈ）　ＣＨＦ　ＣＨＦ　２ＣＨ３ＣＦ　（ＣＨＦＣ ＨＦ２　）ＣＦｓＣＨｓＣＨ（ＣＦ２　ＣＦｓ　）ＣＦ２ＣＦ２ＣＨ（ＣＨＦ２ 　）ＣＦｚＣＦｓＣＨＦ２ＣＦ　（ＣＨＦ２　）ＣＦ２ＣＦｓＣＨＦ２ＣＦ２Ｃ Ｆ　（ＣＦ３　）ｔである。

（４）次の実験式の直鎖または分岐化合物：Ｃｍ　Ｈ−Ｆ＋ａ−−式中　ｎ≦７ このクラスの代表例は。

ＣＨＦ２　（ＣＦ２　）４ＣＦ２Ｈ，ＣＦＩＣＦ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＦ２ＣＦ３Ｃ Ｈ３ＣＨ２ＣＨ２ＣＦ２ＣＦＩＣＦ！、　（ＣＦｓＣＨｚ）２ＣＨＣＦ３ＣＨｓ 　ＣＨ２ＣＦ　ＨＣＦ　ＨＣＦ　２　ＣＦ　ｓＣＨｓ　ＣＨＦ　ＣＦ　ｚ　ＣＨ Ｆ　ＣＨＦ　ＣＦ　ｓ（：　Ｈｚ　Ｆ　（：　ＨＦ　ＣＨ！　ＣＦ　ｔ　ＣＨＦ 　ＣＦ　５ＣＦ２ＨＣＨＦＣＦ２ＣＦＩＣＨＦＣＦ２ＨＣＨ２ＦＣＦ２ＣＦ２Ｃ ＦＩＣＦ２ＣＦ２ＨＣＨＦ　２　ＣＦ　ｚ　ＣＦ　２　ＣＦ　２　ＣＦ　ｘ　Ｃ ＨＦ　２ＣＨＦ　２　ＣＦ　ｚ　ＣＦ　２　ＣＦ　２　ＣＦ　２　ＣＦ　５ＣＨ ｓＣＨ（ＣＨ２ＣＨｚＣＦ３）ＣＦｓＣＨｓ　ＣＦ　（ＣＦ　２　Ｈ）　ＣＨＦ 　ＣＨＦ　ＣＦ　５ＣＨ３ＣＦ　（ＣＦ３）ＣＨＦＣＨＦＣＦ。

ＣＨ２ＣＦｚＣＦ　（ＣＦｓ）ＣＦｔＣＨ３ＣＨｓＣＦ　（ＣＦｓ）ｚｃＦ＊ｃ ＦｚｃＦｓＣＨＦ２ＣＦ２ＣＨ（ＣＦ３）ＣＦｚＣＦｓＣＨＦｚＣＦｚＣＦ　（ ＣＦ３　）ＣＦ２ＣＦ３である。

（５）次の実験式の直鎖または分岐化合物：Ｃ７Ｈ−ＦＩ６−−　式中　ｎ≦８ このクラスの代表例は： ＣＨ３ＣＨ２ＣＨ２ＣＨＦＣＦ２ＣＦＩＣＦ３ＣＨ，ＣＨＦＣＨ２ＣＦＩＣＨＦ ＣＦ２ＣＦ３ＣＨ３（ＣＦ２）ｓＣＨｓ ＣＨ３ＣＨ２（ＣＦ２　）ａｃＦｓ ＣＦｓＣＨｚＣＨｉ　（ＣＦｚ）　３ＣＦＩＣＨ２ＦＣＦ２ＣＨＦ　（ＣＦ２） 　３ＣＦ３ＣＦ　ｓ　ＣＦ　！　ＣＦ　２　ＣＨＦ　ＣＨＦ　ＣＦ　２　ＣＦ　 ｓＣＦ　ｓ　ＣＦ　！　ＣＦ　ｔ　ＣＨＦ　ＣＦ　２　ＣＦ　ｔ　ＣＦ　ｓＣＨ ｓ　ＣＨｘ　ＣＨ２ＣＨＦ　ＣＦ　（ＣＦ　３　）　２ＣＨｓＣＨ（ＣＦｓ）　 ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＨ３ＣＨ３ＣＦ　（ＣＦ３）ＣＨ２ＣＦＨＣＦＺＣＦＩＣ Ｈ３ＣＦ　（ＣＦ２ＣＦり　ＣＨＦＣＦｚＣＦｓＣＨ３ＣＨ！　ＣＨ（ＣＦ　ｓ 　）　ＣＦ　２　ＣＦ　ｚ　ＣＦ　３ＣＨＦｚＣＦ　（ＣＦｓ）　（ＣＦ２）　 ３ＣＨＦ２ＣＨＦ２ＣＦ　（ＣＦ３）（ＣＦ、）ｓＣＦｓである。

（６）次の実験式の直鎖または分岐化合物：Ｃａ　Ｈ−Ｆ＋ａ−−式中　ｎ≦９ このクラスの代表例は・ ＣＨ３ＣＨＩＣＨ２ＣＨ２ＣＦ　２ＣＦ　ｔｃ　Ｆ　２ＣＦ　５ＣＨｓ　（ＣＦ ｚ）６ＣＨ３ ＣＦ３　（ＣＦ、）ｓｃＦｚＨ ＣＨＦ２ＣＦ　（ＣＦ３）（ＣＦ、）４ＣＦ３ＣＨＦＺＣＦ　（ＣＦり　（ＣＦ 、）　４ＣＨＦｚＣＨ３ＣＨ２ＣＨ（ＣＦ、）　ＣＦｚＣＦｚＣＦｚＣＦｓＣＨ ３ＣＦ　（ＣＦ２ＣＦ、）　ＣＨＦ２Ｆ２ＣＦ、ＣＦ３ＣＨＩＣＨ２ＣＨ２ＣＨ ＦＣ（ＣＦ３）　２ＣＦＩＣＨ３Ｃ（ＣＦ３）　２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＨ３Ｃ Ｈｓ　ＣＨ２ＣＨ２ＣＦ　（ＣＦ　３　）　ＣＦ　（ＣＦ　ｓ　）　ｔＣＨ２Ｆ ＣＦ２ＣＦ２ＣＨＦ　（ＣＦ、）３ＣＦ３である。

図１は本発明の方法で用いられる装置の一つのタイプの部分模式図である。ここ で、容器１０は三つの浴（ｓｕｍｐ）：即ちりＩＪ−ニング浴１５、洗浄浴２０ およびリンス浴２５に分けられている。り１ノ一ニング用区画１５（ま一つまた １′！それ以上の仕切り壁ビ、１９で第二区画２０力Ａら分離されており、２０ １こ（よ容器１０に共通で、浴１５．２０および２５の全部を覆う不燃性凝縮蒸 気の被覆３０または燃焼性抑制被覆を形成させるためにヒーター３４で沸点まで 加熱されているフルオロカーボン液２２が入っている。区画２０は、また、基体 を区画２０１；入っているフルオロカーボン液に浸漬するか、または純粋なフル オロカーボン凝縮液の噴流１８に当てるかして（その除汚れた液は下の浴に流れ 落ちる）、基体から塊の汚れと有機洗浄剤とを洗い流す場所でもある。クリーニ ング区画１５は所定のクリーニング用に処方された有機クリーニング溶剤の本体 を入れるのに適している。この溶剤は、上に説明したように、また、強いクリー ニングを必要とする場合には下記の実施例で示すように、有機炭化水素であり、 強くないクリーニング用には有機炭化水素とフルオロカーボンのようなより弱い 溶剤との混合物（この場合、基体との親和性を考慮することがより重要かも知れ ない）である。

洗浄区画２０はクリーニング溶剤２４に対し少（とも僅かな溶解度を有するリン ス剤２２を含むのに適するようになっている。本明細書を通じて用いられている 、炭化水素クリーニング溶剤に対するリンス用フルオロカーボン溶剤の“僅かな 溶解度”とは炭化水素クリーニング溶剤の少くとも２モル％がフルオロカーボン 溶剤に溶けること定義される。適したリンス剤２２および本発明で推奨されるリ ンス剤は、上に説明したような、また下記の実施例で示すようなフルオロカーボ ン系の溶剤である。また場合によっては、区画２０より低い温度になっている第 二のリンス用区画が第一リンス用区画の下流に用意されていることもあり、この 区画もフルオロカーボン系溶剤を含むようになっている。区画２５の目的は痕跡 量の残留汚れを除去するために基体を最後に浸漬してリンスすること、および蒸 気ゾーン３０中で純粋の凝縮蒸気で基体がリンスされるように基体を冷ますこと である。蒸気ゾーン３０は各区画１５．２０．２５の上部に形成されており、（ 発明者ランド（Ｒａ　ｎ　ｄ）の米国特許第４．２６１．１１１号明細書に開示 されているような）この技術分野でよ（知られているタイプの冷却コイル３２が 蒸気ゾーンの上限を画成し、その３２は蒸気を凝縮させてその凝縮液を区画２５ に戻す。

炭化水素クリーニング溶剤２４とフルオロカーボンリンス液２２はそれら個々の 相互溶解度で選択される。そのため相分離のような物理的分離法を用いて蓄積し てきた汚れを除去し、そして綺麗な有機溶剤を元の浴に戻すことができる。そこ で、図１に関連して、Ｕ字管型相分離機（示されていない）またはウェア（ｗ６ ｉｒ）またはスキマー（ｓｋｉｍｍｅｒ）が区画２０と連結され、フルオロカー ボンの上に浮いて来る凝縮炭化水素を分離して除去するために用いられ、またこ の分離装置（示されていない）は過剰の炭化水素液がリンスタンク２０からクリ ーニングタンク１５に逆流しないように配列されることに留意すべきである。

図１の容器１０は上部開放型の脱脂または脱脂装置として描かれている。しかし ながら、容器１０はその設計形式ではコンベヤー（示されていない）法で部品を クリーニング浴１５からリンス浴２０および２５へ順次搬送するインラインタイ プの脱脂または脱脂装置の性格も持っていると理解すべきである。

図２では、クリーニングタンクコ５中の有機クリーニング液はフルオロカーボン 系溶剤と混合されている場合がある。この場合のクリーニング液はフルオロカー ボンが沸騰して出て（るのに十分な温度に加熱される。この場合フルオロカーボ ンの沸点は有機クリーニング液の沸点より少（とも１０℃低（なければならない 。この混合液はコイル３３で加熱され、その結果生成する炭化水素液上に直接覆 いかぶさる蒸気ゾーンは基本的にフルオロカーボンを基体とする不燃性のまたは 燃焼抑制性の蒸気ゾーンであって、爆発の可能性を最少限に抑える。このクリー ニング液混合物は有機炭化水素とフルオロカーボン系溶剤の間の相の均一性を確 保するために界面活性剤添加物を必要とする場合も必要としない場合もある。

沸騰して出てくるフルオロカーボンの区画１５内の濃度は、蒸気凝縮物のこの区 画への還流および／または体積または液の水準に感じるトランスデユーサ−（示 されていない）を用いてリンス区画（複数）２０．２５からこの浴１５へ液をポ ンプで戻すことにより一定に保たれる。図１のこの変形法では、沸騰リンス浴２ ０は必要でないか、または区画１５と区画２５の間の任意の中間の温度の第二リ ンス浴としてだけ機能すると考えられる。浴２０が容器１０に不燃性被覆３０を 形成させるフルオロカーボンを供給する三浴式変形法では、浴２０は加熱コイル ３４で加熱され、加熱コイル３３は必要でない。浴１５が容器１０に不燃性被覆 ３０を形成させるフルオロカーボンを供給する二浴式変形法では、加熱コイル３ ３が優先され、加熱コイル３４は必要でない。浴１５が容器１０に不燃性被覆３ ０を形成させるフルオロカーボンを供給するこの二浴式変形法では、浴２０は必 要でなく、浴２５はクリーニングされた基体を最終の凝縮液リンスのために蒸気 凝縮ゾーンに持込む前の冷たいリンス浸漬浴となる。

図３では、浴２０には炭化水素系クリーニング液で飽和したフルオロカーボン系 リンス溶剤の溶液が入っている。この液は炭化水素が割合低い濃度で（例えば、 １０モル％以下）フルオロカーボン中で相分離し、より密度の高いフルオロカー ボンの上部に浮いて来て、カスケード効果によりクリーニング浴１５に戻る。一 方、リンス浴（複数）２５ａまたは２５ｂは純粋のリンス溶剤を浴２ｏに流し込 み、その液水準を維持すると同時に、更に直接的に、分離した有機相を沸騰浴１ ５の方に押流す上澄除去作用をする。

図４では、沸騰浴１５には層に分かれたクリーニングゾーン１５ａおよび１５ｂ を形成するのに十分な程度には混ざり合わない炭化水素とフルオロカーボンの両 方が入っている。この並べ方の利点は、容器１ｏに不燃性蒸気被覆を形成させる 加熱コイル３３がフルオロカーボンの多い相中に浸漬されているので、浴中の液 が意図していた水準以下に落ちても不慮の火災が起きる可能性が小さくなること である。更に、沸騰するフルオロカーボン液には密度の小さい有機炭化水素の上 層を掻き混ぜる作用があり、そのクリーニング性能を助ける。図３におけるよう に、フルオロカーボンリンス溶剤と炭化水素クリーニング溶剤は浴の液量を維持 するためにそれぞれの浴に流し落とすか、ポンプで戻される。

図５では、分離した構造物１１と１２の中に設置されることによって、炭化水素 クリーニングゾーン１５がリンスゾーン２０および２５から分離されている。

この構造は図５の容器１２で例示されているような在来のバッチ式溶剤蒸気脱脂 または脱脂装置を本発明のクリーニング法で構造的に変更する能力を与えること を意図している。容器１１から１２への有機溶剤のキャリオーバーはエヤーナイ フ３７のような機械的装置によって減らす事ができる。窒素またはその他の不燃 性圧縮ガスを炭化水素浴の上の蒸気ゾーンに送込み、多（のタイプの在来の半水 系（有機クリーニング／水リンス系）クリーニング法に典型的な炭化水素の燃焼 性または爆発の危険を減らす。二つのクリーニングゾーンを物理的に分離するこ とによって前の実施態様のようなカスヶーディング（流下）が止められているの で、フルオロカーボン沸騰浴２０内で、クリーニング浴１５からキャリオーバー して残った炭化水素２０は、図１で説明したように、機械的に分離され、ポンプ ４５で（模式的に示しているように）還流されるようになっている。

図６の場合、浴１５内の有機クリーニング溶剤はリンス浴２５中のフルオロカー ボン系リンス溶剤と混ざらないか、相溶性が小さいことを前提としている。これ ら溶剤が相互に混合して綺麗になった基体が再汚染される恐れがあるのを防ぐた めに、第一リンスゾーンにはカップリング溶剤（ブタノールのようなアルカノー ルまたはトリフルオロベンゼンのようなもう一つのフッ素系試薬、または任意の 他のタイプの炭化水素）が入れられており、フルオロカーボンはこのカップリン グ溶剤と相溶性である。フルオロカーボン溶剤は有機クリーニング溶剤またはカ ンプリ：／グ溶剤のどちらかより沸点が低いことが望ましい。この場合、浴２５ 内のフルオロカーボンは主として不燃性の蒸気で、浴１５および２０中の可燃性 液体を覆う目的を果たし、主としてカップリング溶剤から成るリンス浴２０内の 液の水準は浴２５からのフルオロカーボン液を補給することで維持される。カッ プリング溶剤浴２０中でリンスされた基体は浴（複数）２５ａおよび／または２ ５ｂ中で最終浸漬リンスされるか、最終リンスのためにフルオロカーボン凝縮蒸 気ゾーン４２中に保持されるが、これはカップリング溶剤がフルオロカーボン溶 剤と相溶性なのでうまく行える。

実施例 以下の実施例を用いて、汚れた試験片を先ず有機クリーニング溶剤に浸漬し、次 いでフッ素化学溶剤（フルオロケミカルス溶剤）でリンスした時に観測される予 想以上のクリーニング性能を証明する。これら実施例では、ステンレス鋼試験片 を種々の市販の石油、半合成および合成油で被覆した。市販の石油はパラフィン 系の直鎖または分岐鎖飽和炭化水素である。これら油は全て冷却および潤滑目的 で金属加工工業で用いられるものである。合成油は合成高分子と脂肪酸およびア ミンを含んでいる。半合酸油は石油と合成油との混合物である。本発明を証明す るための試験に用いるクリーニング法は、試験片を有機クリーニング溶剤に３０ 秒浸漬し、次いでフルオロケミカルス溶剤に３０秒浸漬し、そして冷却コイルゾ ーンの中の液体の上方でフルオロケミカルス溶剤の凝縮蒸気で３０秒リンスする ことからなる。クリーニング前後における試験片上の汚れの量を市販のＣＯ２電 量分析計で測定し、炭素単位で表された表面上の有機性残存物の量をマイクログ ラムの感度でめた。試験片上の残存物の試料を試料ボートに乗せて燃焼炉に入れ 、酸素雰囲気中、６５０℃で燃焼させた。生成したＣＯ２およびその他の燃焼生 成物をスクラバーを通し、何らかの阻害作用のあるハロゲン、硫黄、酸化窒素お よび水を除去した。次いでこの気体を、指示溶液を含む電量分析計のセルに通し た。このガス流がこの溶液中を通過すると、ＣＯ２は定量的に吸収され、溶液中 で試薬と反応して滴定できる酸を生成する。電流を自動的に調節して溶液を中性 にし、総電流を積分し、そして結果を炭素のマイクログラムで示した。この方法 は、感度が＋／−１０１マイクログラム炭素で、表面上の炭素成分を再現性よ（ 分析する最も感度のいい方法の−っである。この方法で洗浄される油は全て有機 性であるから、炭素含有量をモニターすることは基体上の有機性汚れの量を高い 再現性と高い感度で測定するための素晴らしい手段である。

実施例１ 有機溶剤として（Ｃ０〜Ｃ１，）のメチルエステルを用いた。分光学的方法での 特性化は小量の枝分かれ成分の存在を示す。フルオロカーボンリンス剤として分 岐ヒドロフルオロカーボン（ＣａＦ＋ｓＨ）であるＨＦＣ５２−１３が用いられ た。

このメチルエステルは金属試験片から石油系の油を室温で除去するのに有効であ るが、クリーニング処理後にメチルエステル溶剤の薄膜が残る。ＨＦＣ５２−１ ３では試験片の表面から油をクリーニングすることはできない。しかし、メチル エステルでクリーニングし、ＨＦＣ５２−１３でリンス、次いでフルオロカーボ ン凝縮蒸気でリンスする方法は非常に有効で、高沸点エステルの薄膜の９９％以 上を金属試験片から除去し、測定可能な痕跡量の油汚れも残らない。クリーニン グの有効性を重量測定で評価した。以下の各実施例での対照試験片の測定では表 面に約１０μｇの炭素が含まれていた。

実施例２ それぞれｌＱｗｔ％、２０ｗｔ％、６８ｗｔ％の割合のアジピン酸、コハク酸、 およびゲルタール酸のジメチルエステルを実験室で合成して二塩基酸エステル型 クリーニング溶剤混合物を調製した。汚れた試験片をこの二塩基酸エステルとＲ ＦＣ−３６５（ＣＦ３ＣＨ２ＣＦ２ＣＨ３）　のｆｉ合物中１：５６℃で３０秒 浸漬し、次いでＲＦＣ−３６５中に室温で３０ｔ）浸漬し、そしてＲＦＣ−３６ ５で３０秒間蒸気リンスした。つぎの結果が記録された試験例　基体上　クリー ニング法　表面上の炭素の　油　マイクログラム（ 洗浄前　洗浄後 （ａ）　石　油　本発明の方法　８１９　１１（ｂ）　石　油　ＨＦＣリンスな し　８１９　４９５（Ｃ）　石　油　エステルリンスなし　８１９　７０（ｄ） 　合成系　本発明の方法　５０８　１０（ｅ）　合成系　ＨＦＣリンスなし　５ ０８　７２４（ｆ）　合　２、エステルリンスなし　８　４９９石油および合成 油でのこの実験では、有機溶剤クリーニング工程とそれに続（フルオロケミカル ス蒸気でのリンス工程を用いると試験片の表面は完全にクリーニングされた（炭 素除去率〉９９．９％）。実験（ｂ）と（ｅ）で、試験片を二塩基酸エステル中 に３０秒浸漬し、次いでＲＦＣ蒸気リンスせずに空気中で３０秒乾燥しただけで あると、かなりの量の炭素が表面に残留した。実験（Ｃ）と（ｆ）で、試験片を 二塩基酸エステルクリーニングせずにＨＦＣ−３６５中に３０秒浸漬し、次いで 空気中で３０秒乾燥しただけであると、かなりの量の炭素が表面に残留した。本 実施例は、二塩基酸エステルまたは二塩基酸エステルとフルオロケミカルスとの 混合物のいずれかの中に浸漬した汚れた試験片を完全に綺麗にするには、フルオ ロケミカルス蒸気でのリンス工程が必要なこと、そしてエステル単独でもフルオ ロケミカルス胤独でも表面を完全に綺麗にするのには不十分なことを示すもので ある。

実施例３ 汚れた試験片を環状ケトンであるシクロヘキサノンとヒドロフルオロカーボン、 ＨＦＣ−３６５との５０１５０容量％混合液の中に５７〜５９℃で３０秒浸漬し 、次いでＨＦＣ−３６５に室温で３０秒浸漬し、ＨＦＣ−３６５で３０秒蒸気リ ンスした。次の結果が記録された・ 試験例　基体上　クリーニング法　表面上の炭素（ａ）　石　油　本発明の方法 　８１９　８．７（ｂ）　石　油　ＨＦＣリンスなし　８１９　１０６４（Ｃ） 　石　油　ケトン・クリーニング　８１９　７０なし くｄ）　合成系　本発明の方法　５０８　３．７（ｅ）　合成系　ＨＦＣリンス なし　５０８　１４７５（ｆ）　合成系　ケトン・クリーニング　５０８　４９ ９なし くｇ）　鉱物油　本発明の方法　９５０　７．５（ｈ）　合　、本発Ｂの　法　 １４゜ 有機溶剤クリーニング工程とそれに続（フルオロケミカルス蒸気でのリンス工程 を用いた（ａ）〜（ｆ）の試験では、試験片の表面は完全にクリーニングされた （炭素除去率＞９９．９％）。しかし、試験（ｂ）と（ｅ）で、試験片をシクロ ヘキサノン中に３０秒浸漬し、次いでＲＦＣ蒸気リンスせずに空気中で３０秒乾 燥しただけであると、かなりの量の炭素が表面に残留した。実験（Ｃ）と（ｆ） で、試験片をケトンクリーニング工程なしにＨＦＣ−３６５中に３０秒浸漬し、 次いで３０秒乾燥した場合、かなりの量の炭素が表面に残留した。本実施例は、 ケトン（環状または非環状）またはケトンとフルオロケミカルスとの混合物のい ずれかの中に浸漬した汚れた試験片を完全に綺麗にするには、フルオロケミカル ス蒸気でのリンス工程が必要なこと、モしてケトン単独でもフルオロケミカルス 溶剤単独でも表面を完全に綺麗にするのには不十分なことを示すものである。

実施例４ 汚れた試験片を環状アルカノールである液体シクロヘキサノールとヒドロフルオ ロカーボン、ＨＦＣ−３６５との５０１５０容量％混合液の中に５７〜５９℃７ ３０秒浸漬し、次いでＨＦＣ−３６５に室温で３０秒浸漬してからＨＦＣ−３６ ５で３０秒蒸気リンスした。次の結果が記録された：試験例　基体上　クリーニ ング法　表面上の炭素の　油　マイクログラム 洗浄前　洗浄後 （ａ）　石　油　本発明の方：　８１９　４（ｂ）　石　油　ＨＦＣリンスなし 　８１９　２３９７（ｃ）　石　油　アルカノール　８１９　７０クリーニング なし くｄ）　合成系　本発明の方法　５０８　１３９．７（ｅ）　合成系　ＨＦＣリ ンスなし　５０８　１１４８（ｆ）　合成系　アルカノール　５０８　４９９ク リーニングなし くｇ）　鉱物油　本発明の方法　９５０　１２．７ｈ　合　、本発註の　法　１ ０　１０．２石油での実験では、有機溶剤クリーニング工程とそれに続くフルオ ロケミカルス蒸気でのリンス工程を用いると、試験片の表面は完全にクリーニン グされた（炭素除去率＞９９．９％）。試験（ｂ）と（ｅ）で分るように、シク ロヘキサノールは合成油のクリーニングではかなり貧溶媒であるが、試験（ｄ） に示したように、本発明のクリーニング法を用いれば合成油と有機溶剤の薄膜の 大半を除去できた。また、試験（ｂ）と（ｅ）で、試験片をシクロヘキサノール 中に３０秒浸漬し、次いでＨＦＣ蒸気リンスせずに空気中で３０秒乾燥しただけ であると、かなりの量の炭素が表面に残留した。実験（Ｃ）と（ｆ）で、試験片 をアルカノールクリーニングエ穆なしにＲＦＣ−３６５中に３０秒浸漬し、次い で３０秒乾燥した場合、かなりの量の炭素残滓が表面に残留した。本実施例は、 アルカノール（環状または非環状）中に浸漬した汚れた試験片を完全に綺麗にす るには、フルオロケミカルス蒸気でのリンス工程が必要なこと、そしてアルカノ ール単独でもフルオロケミカルス溶剤単独でも表面を完全に綺麗にするのには不 十分なことを示すものである。

実施例５ 汚れた試験片を環状オレフィン、液体１，５−ジメチルシクロオクタジエンとヒ ドロフルオロカーボン、ＲＦＣ−３６５との５０１５０容量％混合液の中に５７ 〜５９℃で３０秒浸漬し、次いでＨＦＣ−３６５に室温で３０秒浸漬してからＲ ＦＣ−３６５で３０秒蒸気リンスした。次の結果が記録された・試験例　基体上 　クリーニング法　表面上の炭素の　油　マイクログラム（） 洗浄前　洗浄後 （ａ）　石　油　本発明の方法　８１９　１０．１（ｂ）　石　油　ＨＦＣリン スなし　８１９　２９５３（ｃ）　石　油　オレフィン　８１９　７０クリーニ ングなし くｄ）　合成系　本発明の方法　５０８　１８．８（ｅ）　合成系　ＨＦＣリン スなし　５０８　２８３１（ｆ）　合成系　オレフィン　５０８　４９９クリー ニングなし くｇ）　鉱物油　本発明の方法　９５０　１０（ｈ　合　、　発註の　法　１０ 　１．１石油および合成油でのこれらの実験では、有機溶剤クリーニング工程と それに続くフルオロケミカルス蒸気でのリンス工程を用いると、試験片の表面は 完全にクリーニングされた（炭素除去率＞９９．８％）。しかし、実験（ｂ）と （ｅ）で、試験片を１．５−ジメチルシクロオクタジエン中に３０秒浸漬し、次 いでＨＦＣ蒸気リンスせずに空気中で３０秒乾燥しただけであると、かなりの量 の炭素が表面に残留した。実験（Ｃ）と（ｆ）で、試験片をオレフィン溶剤でク リーニングせずにＨＦＣ−３６５中に３０秒浸漬し、次いで空気中で３０秒乾燥 しただけであると、かなりの量の炭素が表面に残留した。本実施例は、オレフィ ン（環状または非環状）の中に浸漬した汚れた試験片を完全に綺麗にするには、 フルオロケミカルス蒸気でのリンス工程が必要なこと、そしてオレフィン単独で もフルオロケミカルス溶剤単独でも表面を完全に綺麗にするのには不十分なこと を示す汚れた試験片をフン素化芳香族化合物である液体ペンゾトリフルオリドと ヒドロフルオロカーボン、ＨＦＣ−３６５との５０１５０容量％混合液の中に５ ７〜５９℃で３０秒浸漬し、次いでＨＦＣ−３６５に室温で３０秒浸漬してから ＲＦＣ−３６５で３０秒蒸気リンスした。次の結果が記録された。

試験例　基体上　クリーニング法　表面上の炭素の　油　マイクログラム（） 洗浄前　洗浄後 （ａ）　石　油　本発明の方法　８１９　１３．３（ｂ）　石　油　ＨＦＣリン スなし　８１９　１３８（ｃ）　石　油　フッ素化有機化合物−８１９７０クリ ーニングなし くｄ）　合成系　本発明の方法　５０８　１６．１（ｅ）　合成系　ＨＦＣリン スなし　５０８　１０２２（ｆ）　合成系　フッ素化有機化合物−５０８４９９ クリーニングなし くｇ）　鉱物油　本発明の方法　９５０　１３．７（ｈ）　合　、本発Ｂの　法 　１０３　１２７．９石油および合成油でのこれらの実験では、有機溶剤クリー ニング工程とそれに続くフルオロケミカルス蒸気でのリンス工程を用いると、試 験片の表面は完全にクリーニングされた（炭素除去率＞９９．８％）。しかし、 実験（ｂ）と（ｅ）で、試験片をペンゾトリフルオリド中に３０秒浸漬し、次い でＨＦＣ蒸気リンスせずに空気中で３０秒乾燥しただけであると、かなりの量の 炭素が表面に残留した。実験（Ｃ）と（ｆ）で、試験片をフン素化芳香族化合物 でクリーニングせずにＨＦＣ−３６５中に３０秒＆潰し、次いで空気中で３０秒 乾燥しただけであると、かなりの量の炭素が表面に残留した。本実施例は、フッ 素化芳香族系溶剤中に４１１１した汚れた試験片を完全に綺麗にするには、フル オロケミカルス蒸気でのリンス工程が必要なこと、そしてフッ素化芳香族系クリ ーニング溶剤単独でもフルオロケミカルス溶剤単独でも表面を完全に綺麗にする のには不十分なことを耐汚れた試験片をポリエーテルンオールであるポリエチレ ングリコール（分子量：２００）とメチルエステルの混合物５０容量％とヒドロ フルオロカーボン、ＨＦＣ−３６５の５０容量％の混合液の中に４５〜５０℃で ３０秒浸漬し、次いでＲＦＣ−３６５に室温で３０秒浸漬してからＨＦＣ−３６ ５で３０秒蒸気リンスした。次の結果が記録された・ 試験例　基体上　クリーニング法　表面上の炭素の　油　マイクログラム　） 洗浄前　洗浄後 （ａ）　石　油　本発明の方法　８１９　１４（ｂ）　石　油　ＨＦＣリンスな し　８１９　１９１７（ｃ）　石　油　ＰＥＧ／４ステル−８１９７０クリーニ ングなし くｄ）　合成系　本発明の方法　５０８　１１（ｅ）　合成系　ＨＦＣリンスな し　５０８　１８４７（ｆ）　合成系　ＰＥＧ／エステル−５０８４９９クリー ニングなし くｇ）　鉱物油　本発明の方法　９５０　１２（ｈ）　合　、本発Ｂの　法　０ ３　１石油および合成油でのこれらの実験では、有機溶剤クリーニング工程とそ れに続くフルオロケミカルス蒸気でのリンス工程を用いると、試験片の表面は完 全にクリーニングされた（炭素除去率＞９９．８％）。しかし、実験（ｂ）と（ ｅ）で、試験片をポリエチレングリコール／メチルエステル系溶剤混合物中に３ ０秒浸漬し、次いでＨＦＣ蒸気リンスせずに空気中で３０秒乾燥しただけである と、かなりの量の炭素が表面に残留した。実験（Ｃ）と（ｆ）で、試験片をポリ エチレングリコール／メチルエステル溶剤でクリーニングせずにＲＦＣ−３６５ 中に３０秒浸漬し、次いで空気中で３０秒乾燥しただけであると、かなりの量の 炭素が表面に残留した。本実施例は、グリコールとエステル中に浸漬した汚れた 試験片を完全に綺麗にするには、フルオロケミカルス蒸気でのリンス工程が必要 なこと、そしてこの混合有機溶剤単独でもフルオロケミカルス溶剤単独でも表面 を完全に綺麗にするのには不十分なことを示すものである。

寒寒一旦 汚れた試験片をメチルエステルまたはポリエーテルンオール、ポリエチレングリ コール（分子量・２００）とメチルエステルの混合物のいずれかの中に５７〜５ ９℃で３０秒浸漬し、次いでヒドロクロロフルオロカーボン、ＨＣＦＣ−１２３ または高フツ素化アルカン、ＲＦＣ−５２−１３のいずれかの中に室温で３０秒 浸漬してからいずれかのフルオロケミカルス溶剤で３０秒蒸気リンスした。次の 結果が得られた・ （ａ）合成油およびグリース・ヴアルヴオリン（Ｖａｌｖｏｌｉｎｅ）はどちら もＰＥＧ−２００／メチルエステル−クリーニング溶剤混合物と本発明の方法に よるリンス溶剤ＨＣＦＣ−１２３とで、９．９％以上金属試験片から除去された 。

（ｂ）合成油およびグリース・ヴアルヴオリンはどちらもＰＥＧ−２００／メチ ルエステル−クリーニング溶剤混合物と本発明の方法によるリンス溶剤ＨＦＣ− ５２−１３とで９９．９％以上金属試験片から除去された。

実施例９ 汚れた試験片を市販のテルペン類と非イオン界面活性剤との混合物、バイオアク ト（ＢＩＯＡＣＴ）ＥＣ−７とＨＦＣ−３６５との５０１５０容量％混合液の中 に５７〜５９℃で３０秒浸漬し、次いでＨＦＣ−３６５に室温で３０秒浸漬して からＨＦＣ−３６５で３０秒蒸気リンスした。次の結果が記録された：試験例　 基体上　クリーニング法　表面上の炭素の　油　マイクログラム 洗浄前　洗浄後 （ａ）　石　油　本発明の方法　８１９　１５．３（ｂ）　石　油　ＲＦＣリン スなし　８１９　２２２１（ｃ）　石　油　テルペン−８１９３６クリーニング なし くｄ）　合成系　本発明の方法　５０８　１３．６（ｅ）　合成系　ＲＦＣリン スなし　５０８　２２７２（ｆ）　合成系　テルペン−５０８２７，９クリーニ ングなし くｇ）　鉱物油　本発明の方法　９５０　１２（ｈ）　鉱物油　テルペン−９５ ０９４クリーニングなし くｉ）　合成系　本発明の方法　１０３３　１３（ｊ）　合成系　テルペン−１ ０３３３４０クリーニングなし 石油および合成油でのこれらの実験では、有機溶剤クリーニング工程とそれに続 （フルオロケミカルス蒸気でのリンス工程を用いると、試験片の表面は実質上完 全にクリーニングされた（炭素除去率＞９９．６％）。しかし、実験（ｂ）と（ ｅ）で、試験片をテルペン溶剤混合物中に３０秒浸漬し、次いでＲＦＣ蒸気リン スせずに空気中で３０秒乾燥しただけであると、かなりの量の炭素が表面に残留 した。実験（Ｃ）と（ｆ）で、試験片をテルペン溶剤でクリーニングせずにＨＦ Ｃ−３６５中に３０秒浸漬し、次いで空気中で３０秒乾燥すると、かなりの量の 炭素が表面に残留した。本実施例は、テルペン溶剤中に浸漬した汚れた試験片を 完全に綺麗にするには、フルオロケミカルス蒸気でのリンス工程が必要なこと、 そしてこのテルペン溶剤単独でもフルオロケミカルス溶剤単独でも表面を完全に 綺麗にするのには不十分なことを示すものである。

実施例１０ 汚れた試験片を環状ケトンである液体シクロヘキサノンとヒドロフルオロカーボ ン、ＨＦＣ−３６５との５０１５０容量％混合液の中に５６〜５９℃で３０秒浸 漬し、次いで５％のヒドロクロロフルオロカーボン、ＨＣＦＣ−１４１ｂと９０ ％のヒドロフルオロカーボン、ＨＦＣ−３６５とからの低沸点混合物に室温で３ ０秒浸漬した後、ＨＣＦＣ−１４１ｂ／ＨＦＣ−３６５の凝縮共沸蒸気中で３０ 秒蒸気リンスした。次の結果が記録された：試験例　基体上　クリーニング法　 表面上の炭素の　浦　マイクログラム（） 洗浄前　洗浄後 （ａ）　石　油　本発明の方法　８１９　１８（ｂ）　石油　ＨＦＣ／ＨＣＦＣ −８１９２２２１混合物リンスなし 代）　石油　ケトン−８１９７０ クリーニングなし くｄ）　合成系　本発明の方法　５０８　２９（ｅ）　合成系　ＲＦＣ／ＨＣＦ Ｃ−５０８２２７２混合物リンスなし くｆ）　合成系　ケトン−５０８４９９クリーニングなし くｇ）　鉱物油　本発明の方法　９５０　１！５ｈ）　合　、　発巨の　法　３ ３　２５石油および合成油でのこれらの試験では、有機溶剤クリーニング工程と それに続＜ＨＣＦＣとＨＦＣのフルオロケミカルス混合物蒸気でのリンス工程を 用いると、試験片の表面は実買上完全にクリーニングされた（炭素除去率＞９９ ．８％）。し、かし実験（ｂ）と（ｅ）で、試験片をケトンクリーニング溶剤に ３０秒浸漬し、次いでＨＣＦＣ／ＲＦＣ蒸気リンスせずに空気中で３０秒乾燥し ただけであると、かなりの量の炭素が表面に残留した。実験（Ｃ）、（ｆ）、（ ｈ）および（」）で、試験片をＨＣＦＣ−１４１ｂ／ＲＦＣ−３６５共沸混合物 中に３０秒浸漬し、次いで空気中で３０秒乾燥した場合、テルペン溶剤クリーニ ング工程を用いる本発明の二成分溶剤処理の場合より多くの量の炭素が表面に残 留した。本実施例は、ＨＣＦＣ−１４１ｂを含む混合物のような強力なフルオロ ケミカルス・リンス溶剤を用いた場合でさえ、有機溶剤（ケトン）クリーニング 工程とそれに続くフルオロケミカルス蒸気工程の組合せはケトン溶剤単独または フルオロケミカルス溶剤単独よりも基体を綺麗にするより大きいクリーニング効 果があることを示すものである。

実施例１１ 汚れた試験片を環状ケトンである液体シクロヘキサノンとＨＦＣ−３６５／ＦＣ −７２（９５：５重量比）との５０１５０容量％混合液の中に５６〜５９℃で３ ０秒浸漬し、次いで５％のペルフルオロカーボン、ＦＣ−７２と９５％のヒドロ フルオロカーボン、ＨＦＣ−３６５との非相分離混合物に室温で３０秒浸漬した 後ＦＣ−７２／ＨＦＣ−３５５の凝縮共沸蒸気中で３０秒蒸気リンスした。次の 結果が記録された： 試験例　基体上　クリーニング法　表面上の炭素の　油　マイクログラム（ 洗浄前　洗浄後 （ａ）　石　油　本発明の方法　８１９　２２（ｂ）　石油　ケトン−８１９４ ４，３クリーニングなし くｃ）　合成系　本発明の方法　５０８　２０．１（ｄ）　合成系　ケトン−５ ０８４５３クリーニングなし くｅ）　鉱物油　本発明の方法　９５０　２１．３（ｆ）　鉱物油　ケトン−９ ５０５５０クリーニングなし くｇ）　合成系　本発明の方法　１０３３　２０．４（ｈ）　合成系　ケトン− １０３３４２６クリーニングなし 上記のこれらの実験では、有機溶剤クリーニング工程とそれに続くフルオロケミ カルス蒸気でのリンス工程を用いると、試験片の表面は完全にクリーニングされ た（炭素除去率＞９９．９％）。試験片をＦＣ−７２／ＨＦＣ−３６５の混合物 中に３０秒浸漬し、次いでシクロヘキサノン溶剤クリーニング工程なしに空気中 で３０秒乾燥すると、より多い炭素が表面に残留した。本実施例は、ケトン溶剤 中に浸漬された汚れた試験片を完全に綺麗にするには、フルオロケミカルス蒸気 でのリンス工程が必要なこと、モしてケトン溶剤単独でもフルオロケミカルス溶 剤単独でも表面を完全に綺麗にするのには不十分なことを示す。また、ＦＣ−７ ２のようなペルフルオロカーボンは油に対しては非常に貧溶媒であることがよく 知られているが、有機溶剤クリーニング工程と組合わせる本発明の蒸気リンスま たは浸漬リンス工程でヒドロクロロカーボンとまたはヒドロクロロフルオロカー ボンとでも混合すると、この二成分溶剤法は個々の溶剤それ自身では完全に綺麗 にできない試験片でも完全にクリーニングできることを示すものである。

実施例１２ 汚れた試験片を（前の実施例中のようには）クリーニング処理前にＨＦＣと混合 されていない、環状アルコールである液体シクロヘキサノールに浸漬した。試験 片を５６〜５９℃で３０秒浸漬し、次いでヒドロフルオロカーボン、ＨＦＣ−３ ６５に室温で３０秒浸漬してからＨＦＣ−３６５の凝縮共沸蒸気で３０秒蒸気リ ンスした。次の結果が記録された。

試験例　基体上　クリーニング法　表面上の炭素の　油　マイクログラム 洗浄前　洗浄後 （ａ）　石　油　本発明の方法　８１９　１８．５（ｂ）　合成系　本発明の方 法　５０８　１６６（ｃ）　鉱物油　本発明の方法　９５０　２０．９ｄ　合　 ７、本発註の　法　２２．４ この試験では、ＨＦＣから相分離する有機クリーニング溶剤のクリーニング性能 が証明された。結果は混合された有機／溶剤系が評価された実施例４での結果の 実験誤差の範囲内にある。興味あることに、本実施例では、クリーニング浴中で のＲＦＣ／有機溶剤混合物はクリーニング浴が有機溶剤（シクロヘキサノール） だけを含む場合より良好な洗浄効果を示す。

実施例１３ 汚れた試験片を（前の実施例中のように）クリーニング処理前にＲＦＣと混合さ れていない、環状ケトンである液体シクロヘキサノンに浸漬した。試験片を５６ 〜５９℃で３０秒浸漬し、次いでヒドロフルオロカーボン、ＨＦＣ−３６５に室 温で３０秒浸漬してからＨＦＣ−３６５の凝縮共沸蒸気で３０秒蒸気リンスした 。次の結果が記録された。

試験例　基体上　クリーニング法　表面上の炭素の　油　マイクログラム 洗浄前　洗浄後 （ａ）　石　油　本発明の方法　８１９　１１．３（ｂ）　合成系　本発明の方 法　５０８　１２．２（ｃ）　鉱物油　本発明の方法　９５０　１１．７ｄ）　 合　、本発註の　法　１　１　。

この試験では、ＨＦＣから相分離する有機クリーニング溶剤のクリーニング性能 が証明された。結果は混合された有機／溶剤系が評価された実施例１２での結果 の実験誤差の範囲内にある。本発明が前記で説明した目的の全てを満たすことは 当該技術分野の熟練者には容易に分かるであろう。この明細書を読めば、普通の 熟練者は、本明細書に広（開示しているように、本発明の種々の変更、均等物で の置換およびその他の態様を行うことができるであろう。従って、本発明で認め られる保護は付記された請求の範囲およびそれと同意義の文に含まれる定義にに よってのみ限定されるものである。

ＦＩＧ、５ ＦＩＧ、６ 補正嘗の翻訳文提出帯 （特許法第１８４条の８）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．次の： （ａ）部品を、該部品から残留汚れまたは表面汚染物を実質的に除去するのに十 分な溶解力を有する有機性クリーニング液の中に導入する工程；（ｂ）該部品を 該有機性クリーニング液から取出し、そして該汚れまたは表面汚染物に対する溶 解力はより小さいが、該部品から該有機性クリーニング剤を除去するために該有 機性クリーニング剤に対して少くとも僅かな溶解力を有し、約２５℃から約１２ ５℃の間の沸点を有する、炭素原子数が３〜８で、少くとも６０％のフッ素を含 む直鎖または分岐鎖のヒドロフルオロカーボン化合物または混合物の群から選ば れるリンス剤で該部品をリンスする工程；および（ｃ）該部品を乾燥する工程 を含んで成る、部品から残留汚れまたは表面汚染物を除去するための非水系クリ ーニング方法。 ２．有機性クリーニング液がクリーニング区画に入れられ、そしてヒドロフルオ ロカーボンリンス液がリンス区画に入れられている、請求の範囲第１項に記載の 方法。 ３．クリーニング区画およびリンス区画の上方に燃焼性抑制被覆を形成させるた めに、ＨＦＣリンス液を加熱する更なる工程を含む、請求の範囲第２項に記載の 方法。 ４．痕跡量の残存汚れまたは炭化水素タリーニング液を除去するため、および純 粋の凝縮蒸気中で部品がリンスされるように部品を冷ますために、ＨＦＣリンス 液を含む第２リンス区画中で該部品の最終浸漬リンスを行う更なる工程を含む、 請求の範囲第３項に記載の方法。 ５．フルオロカーボンリンス液から全ての炭化水素クリーニング液を相分離し、 分離した綺麗な炭化水素クリーニング液をクリーニング浴に戻して再循環させる 工程を更に含む、請求の範囲第３項に記載の方法。 ６．次の： （ａ）部品を、ヒドロフルオロカーボン溶剤と混合された炭化水素クリーニング 溶剤をコンテイング（ｃｏｎｔａｉｎｇ）するクリーニング区画に導入し、その 混合物で該部品から汚染物を実質的に除去し、そしてその混合物をその炭化水素 液より低い沸点を有するヒドロフルオロカーボンの少くとも一部が沸騰して出て 来るのに十分な温度に加熱して、生成するクリーニング液を覆う蒸気ゾーンが、 本質的に、フルオロカーボンをベースとする燃焼性抑制蒸気ゾーンになるように する工程；および （ｂ）該部品を乾燥する工程 を含んで成る、部品から残留汚れまたは表面汚染物を除去するための非水系クリ ーニング方法。 ７．ヒドロフルオロカーボンが次の群から選ばれる、請求の範囲第１項または第 ６項に記載の方法： （１）次の実験式を持つ化合物： Ｃ３ＨａＦ６−ａ式中ｎ≦４ （２）次の実験式の直鎖または分岐化合物：Ｃ４ＨａＦ１０−ａ式中ｎ≦５ （３）次の実験式の直鎖または分岐化合物：Ｃ５ＨａＦ１２−ａ式中ｎ≦６ （４）次の実験式の直鎖または分岐化合物：Ｃ６ＨａＦ１４−ａ式中ｎ≦７ （５）次の実験式の直鎖または分岐化合物：Ｃ７ＨａＦ１６−ａ式中ｎ≦８、お よび（６）次の実験式の直鎖または分岐化合物：Ｃ８ＨａＦ１８−ａ式中ｎ≦９ 。 ８．炭化水素が、脂肪族部位に少くとも６個の炭素原子を有し、エステル部位に 少くとも１個の炭素原子を有する、直鎖または分岐アルキルまたはアルケニルモ ノカルボン酸エステル類から選ばれる、請求の範囲第７項に記載の方法。 ９．炭化水素溶剤とヒドロフルオロカーボン溶剤との間に相の均一性を保つため に、クリーニング液混合物に界面活性剤添加物を混合する更なる工程を含む、請 求の範囲第７項に記載の方法。 １０．混合物を除去するために、リンス区画中で実質的にＨＦＣだけの溶剤に部 品を曝してリンスする更なる工程を含む、請求の範囲第８項に記載の方法。 １１．混合物の上方の蒸気ゾーンからＨＦＣ溶剤蒸気の凝縮物を該混合物を含む クリーニング区画に戻すか、リンス区画からＨＦＣ溶剤をポンプでクリーニング 区画に送液するかの少くとも一つの方法で該混合物中のＨＦＣ溶剤の濃度を実質 的に一定に保つ更なる工程を含む、請求の範囲第１０項に記載の方法。 １２．炭化水素クリーニング液を含むクリーニング区画が該区画内に層に分かれ たクリーニングゾーンを形成するのに十分な程度には炭化水素クリーニング液と 混ざり合わないＨＦＣ溶剤も含み、その際ＨＦＣに富んだ相が下層を形成し、そ して該下層をクリーニング区画の上方に燃焼性抑制蒸気被覆を形成させるために 中に配置された加熱コイルで加熱し、その際沸騰するＨＦＣ溶剤が密度のより小 さい炭化水素クリーニング液の上層を掻き混ぜる作用をしてそのクリーニング性 能を助ける更なる工程を含む、請求の範囲第１項に記載の方法。 １３．ＨＦＣ溶剤と炭化水素クリーニング液が、ＨＦＣリンス溶剤を含むリンス 区画に存在する任意の炭化水素液が予め決められた低い濃度でＨＦＣ溶剤から分 離して液の表面に浮き、クリーニング区画へ炭化水素クリーニング液が戻る流れ 落ち効果を示すように選択される、請求の範囲第１項または第１２項に記載の方 法。 １４．実質的に完全にＨＦＣ溶剤だけを含む第二のリンス区画を設置し、第一リ ンス区画にその予め決められた液水準を維持するために純粋のＨＦＣリンス溶剤 が流れ落ちるようにし、分離した炭化水素クリーニング液を方向的にクリーニン グ区画の方に押し流す上澄除去作用を生じさせる更なる工程を含む、請求の範囲 第１３項に記載の方法。 １５．リンスゾーンを含む構造物から離れている構造物内に炭化水素クリーニン グゾーンを設置する更なる工程を含む、請求の範囲第１項に記載の方法。 １６．二つの構造物間にエアーナイフを設置することによりクリーニング構造物 からリンス構造物に炭化水素クリーニング液がキャリオーバーするのを防ぐ更な る工程を含む、請求の範囲第１５項に記載の方法。 １７．炭化水素の燃焼性と爆発の危険性を減らすために、炭化水素クリーニング 液の上方を覆う蒸気ゾーンに不燃性の気体を導入する更なる工程を含む、請求の 範囲第１５項に記載の方法。 １８．クリーニング区画からリンス区画に入って来た残留炭化水素クリーニング 液を機械的に分離し、この炭化水素をクリーニング区画にポンプで再循環する更 なる工程を含む、請求の範囲第１５項に記載の方法。 １９．炭化水素クリーニング液とＨＦＣリンス溶剤が一般に非混合性であり、そ して炭化水素クリーニングゾーンとＨＦＣリンスゾーンとの間にＨＦＣ溶剤と相 溶性であるカップリング溶剤を含む出発リンスゾーンを設ける更なる工程を含む 、請求の範囲第１項に記載の方法。 ２０．部品から残留汚れまたは表面汚染物を除去するための、炭化水素化合物と 、直鎖または分岐鎖構造の炭素原子数が３〜８で、少くとも６０％のフッ素を含 有するヒドロフルオロカーボン化合物とを含んで成るクリーニング用組成物。 ２１．ヒドロフルオロカーボンが次の群から選ばれる請求の範囲第２０項に記載 の組成物： （１）次の実験式を持つ化合物： Ｃ３ＨａＦ８−ａ式中ｎ≦４ （２）次の実験式の直鎖または分岐化合物：Ｃ４ＨａＦ１０−ａ式中ｎ≦５ （３）次の実験式の直鎖または分岐化合物：Ｃ５ＨａＦ１２−ａ式中ｎ≦６ （４）次の実験式の直鎖または分岐化合物：Ｃ６ＨａＦ１４−ａ式中ｎ≦７ （５）次の実験式の直鎖または分岐化合物：Ｃ７ＨａＦ１６−ａ式中ｎ≦８、お よび（６）次の実験式の直鎖または分岐化合物：Ｃ６ＨａＦ１６−ａ式中ｎ≦９ 。