CN1075988A - 多元溶剂清洗系统 - Google Patents

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Abstract

一种非水溶液清洗工艺，该工艺使用一种有机溶 剂来去除被污染物件(如印刷电路板)的污物或表面 污染，即将被污染物件，浸入一盛有有机清洗溶剂的 一种清洗容器的一个槽室中。有机溶剂最好是某种 烃溶剂。被清洗的物件，现已被有机清洗溶剂所覆 盖，然后被置于一漂洗槽内，其中盛有一种以氟代烃 为主的漂洗溶剂，漂洗溶剂对有机清洗溶剂具有某种 亲和力。从物件上除去有机溶剂，然后将物件干燥。 本工艺不会出现象传统的溶剂蒸汽除污溶剂工艺那 样产生的废水。

Description

本发明涉及一种清洗污染物件的方法及所用的装置。更具体地说，是涉及在某种非水溶液清洗系统中，利用某种清洗部件用有机溶剂和一种不燃性的氟代烃溶剂来清洗部件的油污或焊剂。
溶剂气相除焊和除油，是一种将污染了的基材（如印刷电路板，或已加工好的金属，玻璃、陶瓷、塑料或弹性部件或组合件）浸入某种沸腾的不燃性液体中，如某种氟代烃，或含氯氟烃的液体或混合物中，接着，在第二个槽里或清洗区中，用浸洗法或某种清洗剂的镏出液喷淋法漂洗净化部件，所用的清洗剂就是在第一清洗区所使用的同种含氯烃或氯氟烃。接着将冷却后的部件置于冷凝蒸汽之中待其温度达到平衡而干燥。
溶剂清洗各种类型部件，一般见于批料，吊助式批料，传送机批料或联机型传送机脱脂和除焊剂设备。这类联机型传送机脱脂和除焊剂设备已在1989年9月21日递交的待批美国专利申请07/410，216号中（题名为“冷空气锁气封”）加以披露，即美国专利5，007，179共同已被转让给本发明的受让人。部件也可在敞口的除焊剂或脱脂设备中加以清洗，这在1990年9月25日归档的美国专利申请号07/857，893中已经披露，通常也已授予。两种设备的入口端或出口端，一般都与周围环境及设备中的溶剂相通。为减少设备中的溶剂因对流或是扩散所造成的损失，在工艺上，通常是采用水或制冷剂来冷却盘管，在除油/除焊剂贮池（tank）中的热的或周围区域外部形成一个冷凝蒸汽层。如Rand的美国专利4，261，111号所披露的。
因此，在上述的溶剂汽相脱脂工艺中，众所周知是使用单一的有机含氯烃或氯氟烃（CFC）液来进行清洗，漂洗和干燥等等步骤。在以往，特别流行地是使用CFC-113和氟利昂类溶剂。然而近来科学研究证明扩散到环境中的溶剂蒸汽，是导致地球上空同温层臭氧消耗的原因之一，而且，当前对生产和使用这种含氯氟烃类已加限制，在美国则将在本十年末停止使用。根据环境保护要求，最近几年已开发了以氢氟烃（HCFC）为主体的溶剂，从而以CFC为主体的汽相除油和除焊剂工艺就提供了一个对环境产生较少危害的解决办法。然而，就在这些材料已经表明它们是用于各种清洗法的CFC的极佳替代物的同时，也认识到它们只能作为CFC类的暂时替代物，这是因为它们仍然具有较少，但却是十分确定的臭氧消耗能力，尽管这种能力比起它们所取代的CFC类要小得多。因此，这些HCFC类溶剂，在不久的将来也会提出在全球范围内停止使用。一般相信凡不含氯，溴或碘原子的有机溶剂不会引起同温层臭氧的消耗。但是，不含上述卤素原子的有机化学物质，诸如烃类、醇类、酯类、醚类、酮类等，通常都具有所不希望具有的可燃性或反应性的特点。全氟烃类与氢氟烃类具有许多理想的溶剂特点：对臭氧消耗影响为零，稳定，无活性，对塑料有良好的相容性，良好的水置换可能性;通常无毒并呈惰性，极适合用于汽相溶剂清洗设备。但是，业已发现，全氟烃对许多普通的有机与无机污物及焊剂则属不良溶剂。较之全氟烃类氢氟烃的清洗能力，因其分子中氟的含量减少而有所提高，然而提高的程度仍然十分有限，而且含氟量低的氢氟烃，与其同类烃相比，则会开始显示出不希望具有的可燃性的特点。
尚有其他类型的清洗方法，如水洗法。水洗法，通常将一种物体或一种部件在洗涤剂，或表面活性剂的水溶液中清洗，然后使用净化水进行多次漂洗。随后零部件在空气中通过长时间地蒸发或是通过大能量的热干燥机使之干燥。这种工艺并不总是理想的，因为干燥需要很高的能源费用，而且还得按国家或地方政府的要求，在废水排入地下水之前，须先将废水净化，这又需要额外的投资和操作费用。
另一种清洗的方法，即半水清洗法，是在诸如萜类，酯类以及对要从部件上清洗掉的油类，石蜡类和油脂类具有高亲合力的各种石油馏分等的烃类溶剂之中清洗某种基材，这种半水清洗法可以加或不加表面活性剂。清洗过的基材，用剧烈沸腾的烃溶剂漂洗，并用净化水进行多次漂洗。烃溶剂在通过相分离返回洗涤槽，而废水液则需净化后才能排入地下水之中。这样，用于干燥的能源，以及处理废水所需的高费用就是明显的而与前面所说的水溶液清洗工艺的费用类似。再一个缺点是，一般烃类溶剂都具有一定的闪燃点，这是必需谨慎对待的，或是使用氮一类不燃性气体加压包封以防爆炸。且在冷凝区中，比起浓稠的含氟烃蒸气来说氮气更易消散。再者，在许多应用中，要清洗的基材，可能是与烃溶剂相容，与此同时某些塑料或金属则可能与水溶液清洗溶剂不相容，而引起基材的吸水或生锈。
本发明的一个目的是，为部件除油或焊垢，提供一种对环境无害的非水溶液清洗系统。
本发明的另一目的是，提供一种不使用水来清洗的非水溶剂清洗系统，从而也就不存在废水净化的问题，而且使该非水溶剂清洗体系能够在材料与水不相容的情况下使用。
再有一个目的是，提供一种无需在空气中长时间地蒸发的清洗液。或是用耗能的强热干燥法的非水溶液清洗体系统。
还有一个目的是，提供一种非水溶剂清洗系统，它利用一种有机液体清洗剂清洗部件，及一种略溶于有机清洗剂的漂洗剂，用这种漂洗剂来漂除部件上的有机清洁剂。而且这种漂洗剂只需使用少量的能量即能使之从部件上干燥而去除。
一种从一部件上除去残存污物或其表面污染的非水溶液清洗方法，据本发明，它包括如下步骤：将部件与一种具有足够的溶解能力能有效地除去所述污物的有机清洗剂相接触，然后将部件从有机液中取出，在一种漂洗剂中漂洗，这种漂洗剂对有机清洗剂至少具有一定程度的溶解力，以清除基材上的清洗剂。将基材浸入漂洗剂中，用漂洗剂喷洒或是暴露于漂洗剂的蒸汽中，或兼用上述方法。在部件从蒸汽中取出时，基本上部件已被清洁且干燥了。
更可取的是，本发明非水溶液清洗体系采用了双池式清洗工艺，其中第一池中盛有机溶剂，第二池中盛漂洗剂。需要清洗的部件或基材可利用常用的输送机或提升机从清洗池中传送至漂洗池中。池子可以是常规的或联机式传送的除油或除焊剂设备的一部分，独立的敞口除焊剂池，或敞口除焊剂池经改进用以容纳清洗槽和漂洗池或各种贮槽。
根据本发明的另一特点是，一种用以去除部件残存污物或表面污染的非水溶液清洗工艺，其步骤包括，将基材或部件与其溶解力足能从部件上去除残留污物的一种有机液体接触，然后与第二种有机溶剂接触，进行漂洗。第二种有机溶剂对污物或表面污染的溶解能力，要弱于第一种有机液体溶剂，但它对第一种溶剂则具有优良的溶解性能。第二种溶剂（漂洗剂）最好从氟烃类溶剂之中挑选，这类溶剂的分子式中，至少有一个氟原子依附于一个包含2个或2个以上碳原子的有机主链上，该主链之上可能还会附有其它原子，诸如氧，硫，氮，磷，氢，或其它卤素原子;在不得已的情况之下，漂洗剂可从其它类溶剂中选取，诸如醇类，醚类，酯类，酮类，烃类及其它非水溶液介质。然后将部件置于一种惰性蒸汽层中进行干燥。该层能减少或缓和第一种有机清洗溶剂的可燃性，或者，如果第二种漂洗剂也可燃，则对其也有上述功能，这种屏蔽可燃性的蒸气层可由氮，二氧化碳，全氟烃，氢氟烃或是氢氯烃中的至少一种构成。
在一个具体实施例中，清洗能在某个系统中进行：即将某种烃溶剂与氟烃溶剂任选混合并加有表面活性剂的溶液作为脱脂机中使用的除油剂。氟烃很易挥发，这样就提供了一种抑制可燃性的保护层。同样的氟烃可以用于相邻的漂洗槽中，来用作首次浸没式或喷淋式漂洗，接着再在蒸汽中进行最终的漂洗。
在最简单的具体实施例中，清洗可以在单个贮槽系统中完成，用某种烃溶剂和低沸点的氟烃以任选比例相混合并加有表面活性剂的溶液作为增溶剂。由于氟烃很易挥发，这样就提供了一种抑制可燃性的保护层，且如果已将污染的部件在该清洗混合剂浸洗过，则将其置于冷凝的氟烃蒸气中，处理足够长的时间，则该部件可从清洗蒸汽中取出并进行干燥。
有机清洗溶剂，可从直链或支链烷基或链烷醇一元羧酸酯或二元羧酸酯中选取。上述酯类中在酯部分至少含有一个碳原子，且这种溶剂，最好其闪燃点高于200°F，稍次者，闪燃点要高于150°F。有机液体也可选自直链烃或烃内环或外环上至少含有一个烯键的环烃。烃类清洗剂可包括蒎烯，及（或）莰烯，或是可包括萜品烯，苎烯，萜品油烯，萜品醇，里哪醇以及萜烯族的其它有关化合物。
Figure 92114105X_IMG1
有机清洗溶剂也可由含有C10-C30类的直链，支链烃和环烃组成。
有机清洗液也可由其烯部分已被R1-R12基所取代的烃组成，其中1-2个氢原子，或包含着1-6个碳原子的烷基基团，或上述两者还可以包含取代基基团，即：
Figure 92114105X_IMG3
这种有机清洗液也可能由被下列直链结构（1）所限定的无环或环状的单醇或二醇组成：
R（CH2）nOH（1）
R＝H1羟基
其中n为1-20，或选自支链结构（2）
Figure 92114105X_IMG4
其中n可为1-20，或选自环链结构（3）：
Figure 92114105X_IMG5
其中R1-R2限定为烷基或氢基，或者两者的混合物，n为0-6。
有机液也可由直链，支链，或环状的单酮或聚酮组成，如
Figure 92114105X_IMG6
其中n限定为0-6，而R1-R10限定为烷基或氢基，或它们的混合物。
本专利采用的其它有机清洗液可包括：
（a）烷基或芳基腈，其分子式为：
R-CN
其中R可以是某一烷基基团（甲基、乙基……等）、苯基基团，或某种烷基取代的苯基基团
（b）下式结构的烷基苯：
Figure 92114105X_IMG7
（c）下式结构的烷基酯类，如酞酸二乙酯：
（d）具有下式结构的聚酯烷醇：
其中R1限定从H，烷基或羟基的化合物类中选取，而R2则限定从H、或烷基、或氟代烷基的化合物类中选取。
（e）下式结构的芳族化合物
其中R1-R6为选自氢、烷基、氟代烷基或卤基及它们的化合物，如三氟苯。
这种有机清洗溶剂还可以包含上述所有有机清洗溶剂与氟烃的混合物，如直链、支链、或环状的全氟烃或氢氟烃或含氯氢氟烃可任意带有附在一个碳原子上的取代的氧、硫、氮、磷或其它卤族原子，或任意带有作为增溶剂的表面活性剂。
氟代烃漂洗剂可选自氢氟烃，或含氯氢氟烃化合物，或由直链、支链或环状结构所组成的混合物，环状化合物的沸点至少在25℃～120℃之间，而且这类氟代烃化合物可以任选地由其它官能基所取代，这些官能基选自由其它卤族及氧，硫，氮和磷原子所组成的官能团。
氢氟烃优选的化合物或含氯氢氟烃化合物，至少在处于25℃至120℃的沸点范围时，相互有一定的混溶性能，以使得至少有百分之2摩尔比的氟代烃液可与烃清洗溶解相混合而不会发生两相分离。
化合物中，氢氟代烃中最好含有3至8个碳原子，氢和氟。沸点最好在25℃至125℃之间。化合物中至少含有60%的氟。化合物最好具有直链或支链。
要抑制可燃性，可以采用合适的蒸汽保护层类型，漂洗溶剂亦可选自下述化合物或混合物，它们包括由其它直链，支链，或环状烷基或芳基的醇类，酯类，硝基化合物，硝基环化合物，腈类化合物，醚类，酮类，烃类，和其它非水溶液介质。
通过下面的详细说明，对那些本领域的熟练工作者，本发明的其它目的和优点将会更明白了然。其中仅就本发明优选的实施例进行图解和说明，只要按照图解和说明仔细思考，就能以最佳的模式实施本发明。从下述即可明了：本发明可以使用其它不同的具体装置，而且只要不脱离本发明几个细节也可从不同方面予以改进。因此，图及说明应视为对本发明精髓的一种解释，却不是限制。
图1，是本发明的多溶剂非水溶液清洗体系可使用的除油或去焊剂设备的局部示意图。
图2，是本发明可以使用的设备的一个可供选用的具体装置示意图;
图3，是本发明所用设备的又一可供选用的具体装置示意图;
图4，是为实施本发明体系用的又一可供选用的具体设备局部示意图;
图5，是用于本发明之设备的另一具体装置;
图6，是用于本发明之设备的又一具体装置。
本发明的最基本的形式乃是一种新颖的非水溶液清洗工艺，本工艺利用了将半水溶液清洗工艺及溶剂蒸汽除油（溶剂）工艺结合在一起的最引人注目的特点。具体地说，一种需要清洗的某种基材或部件（如涂有松香一类焊剂的印刷电路板，或涂有石油，合成或半合成油或油脂的金属，或非金属部件）先是在一种温热，或是温度与周围环境相同的烃溶剂中洗涤，以获得比氟代烃一类溶剂具有更大的对基片上的污物或污染的亲和力。然后将部件接着使用喷淋或浸泡，在盛有一种不可燃氟代烃溶剂的第二个池子或清洗区中漂洗，此氟代烃溶剂的沸点最好低于烃溶剂。此氟代烃溶剂对于烃溶剂至少是稍有溶解力，故能从部件的表面漂除烃溶剂。而氟代烃溶剂则用已知的方法经蒸发而使部件表面干燥。这种工艺的优点在于降低了干燥的费用，而废水处理的费用及设备和投资实际上被省除，且操作的安全性也有所改善。进而，通过在漂洗及干燥工序中使用氢氟烃或全氟烃溶剂，环境方面的好处大大地优于含氯烃或是含氯氟烃溶剂体系统。
有机清洗剂，最好是烃，可以从直链、或支链烷基，或烷醇一元羧酸酯类中选取，上述酯类，在其脂肪部分至少有6个碳原子且在其酯部分至少有一个碳原子。
有机烃液也可从直链烃或环烃类中选取，上述烃类至少有一个烯链在内环或外环。
烃还可以是蒎烯和（或）莰烯。
优选的氢氟烃类是选自如下基团：
（1）具有以下经验式的化合物
此类化合物的代表例为：
CH2FCH2FCHF2
CH2FCH2CFH2
CF2HCF2CF2H
CF2HCFHCF2H
（2）具有下列经验式的直链或支链化合物
C4HnF10-n此处n≤5
此类化合物的代表例为：
CHF2（CF2）2CF2H
CH3CF（CHF2）CHF2
CH3CHFCF2CF3
CH2FCF2CF2CH2F2
CHF2CH（CF3）CF3
CHF（CF3）CF2CF3
（3）具有以下经验式的直链或支链化合物：
C5HnF12-n此处n≤5
这类化合物的代表例为：
CH3CHFCH2CF2CF3
CH3CHFCHFCF2CF3
CH3CHFCF2CF2CF3
CH3CF2CF2CF2CF3
CH2FCF2CF2CF2CF3
CHF2CF2CF2CF2CF3
CHF2CF2CF2CF2CF3
CH3CF（CF2H）CHFCHF2
CH3CF（CHFCHF2）CF3
CH3CH（CF2CF3）CF3
CHF2CH（CHF2）CF2CF3
CHF2CF（CHF2）CF2CF3
CHF2CF2CF（CF3）2
（4）具有以下经验式的直链或支链化合物
C6HnF14-n此处n≤7
此类化合物的代表例为：
CHF2（CF2）4CF2H
CH3CH2CH2CF2CF2CF3
CH3CH2CFHCFHCF2CF3
CH3CHFCF2CHFCHFCF3
CH2FCHFCH2CF2CHFCF3
CF2HCHFCF2CF2CHFCF2H
CH2FCF2CF2CF2CF2CF2H
CHF2CF2CF2CF2CF2CHF2
CHF2CF2CF2CF2CF2CF3
CH3CH（CHFCH2CF3）CF3
CH3CF（CF2H）CHFCHFCF3
CH3CF（CF3）CHFCHFCF3
CH3CF（CF3）CHFCHFCF3
CH3CF2CF（CF3）CF2CH3
CH3CF（CF3）CF2CF2CF3
CHF2CF2CH（CF3）CF2CF3
CHF2CF2CF（CF3）CF2CF3
（5）具有以下经验式的直链或支链化合物：
C7HnF16-n此处n≤8
此类化合物的代表例为：
CH3CH2CH2CHFCF2CF2CF3
CH3CHFCH2CF2CHFCF2CF3
CH3（CF2）5CH3
CH3CH2（CF2）4CF3
CF3CH2CH2（CF2）3CF3
CH2FCF2CHF（CF2）3CF3
CF3CF2CF2CHFCHFCF2CF3
CF3CF2CF2CHFCF2CF2CF3
CH3CH2CH2CHFCF（CF3）2
CH3CH（CF3）CF2CF2CF2CH3
CH3CF（CF3）CH2CFHCF2CF3
CH3CF（CF2CF3）CHFCF2CF3
CH3CH2CH（CF3）CF2CF2CF3
CHF2CF（CF3）（CF2）3CHF2
CHF2CF（CF3）（CF2）3CF3
（6）具有以下经验式的直链或支链化合物：
此处n≤9
此类化合物的代表例为：
CH3CH2CH2CH2CF2CF2CF2CF3
CH3（CF2）6CH3
CF3（CF2）6CF2H
CHF2CF（CF3）（CF2）4CF3
CHF2CF（CF3）（CF2）4CHF2
CH3CH2CH（CF3）CF2CF2CF2CF3
CH3CF（CF2CF3）CHFCF2CF2CF3
CH3CH2CH2CHFC（CF3）2CF3
CH3C（CF3）2CF2CF2CF2CH3
CH3CH2CH2CF（CF3）CF（CF3）2
CH2FCF2CF2CHF（CF2）3CF3
图1是本工艺可使用的一种装置的局部图解。其中，槽罐10分成三个槽;清洗槽15，冲洗槽20及漂洗槽25。清洗箱15由1-2层隔壁，即壁17，19与第二室即室20隔开，20室中装有某种氟代烃液体22，并由加热器34将液体加热到其沸点，从而构成复盖于全部三个槽15，20，25面上的一种不燃性冷凝蒸汽层30或能抑制可燃性的保护层，也即槽罐10的上表层。室20也是容纳从基材上清洗下来的块状污物和有机清洗剂的场所，清洗可将基材浸入室20中所盛的氟代烃化合液中，或者将基材置于纯氟代烃的冷凝液喷淋流18中，这样，含污物的液体便滴入下面的槽内。清洗室15用于装盛清洗专用的有机清洗剂24之主体，如上所述，该清洗剂如前面所指出的和在后面的实施例中用于重负荷清洗的可以是某种有机烃，可或者用某种有机烃与某种较温和的溶剂如某种氟代烃混合物来作为负荷较轻的清洗用，（这里清洗剂与基片的相容性需要更加着重考虑）。冲洗室20用来装盛漂洗剂22，该剂对清洗溶剂24至少要稍具溶解力。贯穿本说明书，所谓漂洗用氟代烃溶剂对烃清洗溶剂的“稍有溶解力”一语，其定义是≥2摩尔%。一种适当的漂洗剂22，即一种本发明优选使用的，是上文指出的一种氟代烃为主体的溶剂，这在下面的例子中还会提及。通常，第二漂洗室25，此室温度低于室20，可形成来自第一漂洗室20的水流，且也用于盛放氟代烃溶剂漂洗剂。室25的目的在于为基材提供最后的浸泡式漂洗，以去除残余的微量污物或清洗溶剂，同时也使基材冷却，以使部件在蒸汽区30用纯冷凝蒸汽漂洗。该蒸汽区在室15，20，25上方形成，一已知技术的冷却盘管32（如美国专利4，261，111，Rand所披露的）限制了蒸汽区32的最大范围，将蒸汽冷凝，并将冷凝液回收到室25。
应该指出的是，烃清洗溶剂24及氟代烃漂洗液22，可根据其相互之间的可溶性来选择，这样就可应用物理分离方法，如相分离来去除积聚的污物，同时使清洗有机溶剂再循环返回到其原来的槽中。为此，通过参考图1，应该指出的是，一U型管相分离器（图中未标出）或溢流堰或撇取，可用于和室20相连，以分离或去除冷凝的烃，此烃浮于氟代取的顶层，而这种分离装置（图中示标出）可设计成过剩的烃液可从漂洗池20流回清洗池15。
图1中的槽罐10为一敞口式除焊剂器或除油器。可是，应该知道：器具10，就其图的形状，也可以是一种联机式除焊剂器或除油污器，其中可用传送机（图中未标出）连续将部件从清洗槽15送往漂洗槽20及25。
在图2之中，清洗池15中的有机清洗液可随意与氟代烃型溶剂相混合。在这种情况下，应将该清洗液加热到足够的温度，沸腾除去氟代烃，此处氟代烃的沸点至少应比有机烃液的沸点低10℃。混合物经盘管33加热，以便立即在烃的上层形成蒸汽区30，它实际上是一种碳氟化合物为主的不可燃、或抑制可燃性的蒸汽带，以将爆炸的可能性减到最小。清洗液混合物可以需要（或不需要）一种表面活性剂添加剂，以确保有机烃和氟代烃溶剂之间的相均一性。经过沸腾去除后的氟代烃在室15中应保持恒定的浓度，做法是将蒸汽冷凝液回收到该室，及（或）将液体从漂洗室20，25抽回到该槽，通过容量或水平传感器（图中未标出）来控制。图1的这种变化，沸腾漂洗槽20可不要，或是纯粹当作一个第二漂洗槽使用，其温度介乎于室15和室25之间。若采用三槽式，槽20供给氟代烃蒸汽，为槽罐10形成一个不燃性的保护层，槽20可用加热盘管34加热，而加热盘管33则可能就不需要了。在若选用两槽式的情况下，槽15提供氟代烃蒸汽，为槽罐10形成不燃性层30，加热盘管33应是最佳选择，而加热盘管34则就不需要了。在选用两槽式的情况下，槽15提供氟代烃蒸汽来形成槽罐10的不燃性保护层30，坛20不复需要而槽25则应在将清洗过的基材送进蒸汽冷凝区30作最后纯冷凝液漂洗之前，提供冷液进行漂洗浸泡。
图3中，漂洗槽20可盛有以烃为主体的清洗液和氟代烃为主体的漂洗溶剂的饱和溶液。该液的选择，要使烃相能在处于较低的浓度下（如低于10摩尔%）从氟代烃中分离出来，并浮化密度较高的氟代烃的上面，产生一种梯流效应，从而回流到清洗槽15。漂洗槽25a或25b，可以轮番将纯漂洗溶剂梯流回至槽20之中，以维持其液面，并定向性提供一种撇流作用，将已分离出来的有机层，扫向沸腾槽15。
图4中，沸腾槽15同时盛有烃和以氟代烃为主体的溶剂一其不混溶性足以形成分层的清洗区15a和15b。这种安排的优点是，加热盘管33，为槽罐10提供不燃性蒸汽保护层，而今被浸于一富含氟代烃的相中，这样一来如果槽中的液体滴到它预定的水平以下，这种物相就能减少意外起火的可能性。而且，沸腾的氟代烃液体现在对顶部密度较低的有机烃相产生了一种搅拌作用，有利于清洗的进行。如图3所示，氟代烃漂洗溶剂与烃清洗溶剂可经梯流，或用泵送回其各自的槽内，以确保槽内应保持的液量。
图5中，烃清洗区15可以与漂洗区20及25经分离结构11和12而分开，这种构型不以改进传统的溶剂蒸汽除油、或除焊剂间歇型设备，这种设备以图5中的槽罐12为代表，用的是本发明的清洗工艺。将有机溶液从容器11转至容器12，可引用机械装置而简化，如空气闸刀37。氮或任何其他不可燃压缩气，可以通入蒸气区，覆盖于烃槽15之上以减少烃的可燃性，或减少爆炸的危险，如同典型的许多传统的半水溶液（有机清洗/水溶液漂洗）清洗工艺。在氟代烃沸腾槽20中，从清洗槽15带过来的残留烃，可用如图1所述的机械方式分离并再循环回到槽45（如图所示）-按两种清洗区物理分离的方法，这样可以避免前面具体设备中的梯流。
图6中，假设清洗槽15中的有机清洗溶剂和漂洗槽25中的以氟代烃为主体的漂洗溶剂是不混溶，或是混溶性很低的。为防止这些溶剂混在一起，进而有再次污染清洗过的基材，第一漂洗区配有一种偶合溶剂（如某种烷基醇，如丁醇，或另一种含氟化合物，如三氟苯，或任何其它类型的烃）其中，氟代烃溶剂与偶合溶剂是混溶的。最好氟代烃溶剂沸点或是低于有机清洗剂或者是低于偶合剂的。在这种情况之下，槽25中的氟代烃，主要作用是以其不燃性蒸汽用来屏蔽槽15与20中的可燃性液体，而漂洗槽20中的主要含有偶合溶剂的液体液面，是通过从槽25来补充氟代烃液体而维持的。已在偶合溶剂槽20中漂洗过的基材，或者在槽25a和（或）25b中作最后的浸泡漂洗，或者置于氟代烃冷凝蒸汽区42进行最后的漂洗，由于偶合溶剂与氟代烃溶剂是可混溶的，故此举切实可行。
下面的例子用以说明，当一个被污染的试样先浸入一种有机清洗溶剂之中，尔后用含氟化合物溶剂漂洗，观察到的清洗效果之好实属意想不到。在这类研究中，不锈钢试样被涂以不同的工业石油，半合成油及合成油。工业石油类属链烷，直链或支链的饱和烃类。所有这些油类在金属加工业中，均使用于冷却和润滑。合成油类含有含酯肪酸与胺类添加剂的合成聚合物。半合成油类则是石油与合成油类的混合物。用以说明本发明的试验的清洗工艺如下：将试样在有机清洗溶剂中浸30秒钟，然后在含氟化合物溶剂中浸30秒钟，并在冷却盘管区的液体上方，用含氟化合物溶剂的冷凝蒸汽漂洗30秒钟。清洗前后试样的污垢量，用一工业CO2库仑计测定，其对有机残留物的测量精度达微克，以表面上的碳单位表示。将试样上残留物的样品，经一样品舟皿，送入一燃烧炉，并在温度为650℃的氧气中将其燃烧。其产生的CO2与其它燃烧产物通过涤气器除去所有起干扰的卤素，硫，氮氧化物和水。然后将气体通入库仑计池，池内含有指示溶液。当气流通过溶液时，CO2被定量吸收，并与溶液中的一种化合物反应，产生一种可滴定的酸。一个电流随之开始自动调节，使溶液中性化，总电流是累积的，结果则显示为碳原子的微克数。本方法的精度达±0.01微克碳，是验证性分析一个表面上碳成分的最精确的方法之一。因为本发明要清洗的所有油类，实质上主要是有机的，所以监测碳含量，是以高复验性与敏感性测定一个基材上有机污垢量的极好的方法。
实施例1
用一种（C9～C11）甲酯来作为有机溶剂。光谱特性鉴定表明支链成分数量少。HFC52-13是支链的氢氟烃（C6H13H），被用作氟代烃漂洗剂。甲酯在室温下去除金属试样上以石油为主的油是有效的，但在清洗加工后则留下一层甲酯的薄膜。用HFC52-13不能将油从试样的表面清洗掉。然而，用甲酯清洗，用HFC52-13漂洗，然后用氟代烃冷凝蒸汽漂洗，这种清洗工艺是极其有效的，对金属试样上的高沸点酯薄膜的去除率大于99.9%，试样上也测不出残留的痕量的油污染物。清洗的效果已经由重量测定法确定。在下列的每一个例子中，测得空白试样表面含有约10微克碳。
实施例2
在实验室里，分别以10%/22%/68%之重量比例，分别合成已二酸，丁二酸和戊二酸的二甲酯，进而配制为一种二元酯清洗剂的混合物。将污染的试样浸入二元酯类与HFC-365（CF3CH2CF2CH3）的混合物中，在56℃浸30秒之后，再在与环境温度相同的HFC-365中浸30秒，并用HFC-365进行30秒钟的蒸汽漂洗。其结果如下：
实验    基材上    清洗方法    表面上的碳    (微克)
的油类    清洗前    清洗后
(a)    石油    本发明    819    11
(b)    石油    不用HFC漂洗    819    495
(c)    石油    不用酯漂洗    819    70
(d)    合成油    本发明    508    10
(e)    合成油    不用HFC漂洗    508    724
(f)    合成油    不用酯漂洗    508    499
在使用石油和合成油所做的实验中，使用一种有机清洗工序紧跟一种含氟化合物蒸汽漂洗工序，结果彻底清洗了试样的表面（碳去除率＞99.9%）。可是，在实验（b）和（e）中，当试样浸入二元酯中进行30秒清洗后，接着仅在空气中干燥30秒钟，而不使用HFC漂洗，结果表面留有相当数量的碳。在实验（e）和实验（f）中，当试样浸入HFC-365中进行30秒清洗后，便在空气中干燥30秒钟，而不使用酯清洗工序，结果表面有相当数量的碳残留。此例表明，要彻底洗净一遭污染的表面，在其已在一种二元酯，或是一种二元酯与含氟化合物的混合物中浸过之后，还需要一道含氟化合物蒸气的漂洗，而无论是单用酯还是单用含氟化合物溶剂都不足以彻底洗清表面。
实施例3
将已遭污染的试样浸入比例为50/50容积%的环己酮（一种环链酮）与HFC-365（一种氢氟烃）的混合物中，在57-49℃下浸30秒钟，然后在与环境温度相同的HFC-365中浸30秒钟，并用HFC-365进行30秒钟蒸汽漂洗。其结果记录如下：
实验    基材上    清洗方法    表面上的碳    (微克)
的油类    清洗前    清洗后
(a)    石油    本发明    819    8.7
(b)    石油    不用HFC漂洗    819    1064
(c)    石油    不用酮清洗    819    70
(d)    合成油    本发明    508    7.7
(e)    合成油    HFC漂洗    508    1475
(f)    合成油    酮清洗    508    499
(g)    矿物油    本发明    950    7.5
(h)    合成油    本发明    1033    14.9
在（a）至（f）的实验中，凡采用一道有机清洗工序后接着一道含氟化合物蒸气漂洗工序者，结果彻底洗清了试样的表面（碳去除率＞99.9%）但（b）和（e）实验中，试样仅在环己酮中浸了30秒钟，尔后便在空气中干燥30秒钟，而不进行HFC蒸气漂洗，结果表面留有相当数量的碳。在实验（c）和（f）中，将试样浸在HFC-365中清洗30秒钟之后，即在空气中干燥30秒钟，而未采用酮清洗工序，结果表面留有相当数量的碳。本例表明：要彻底洗净一个已污染的表面，在经一种带氟化合物的酮（环链或非环链）浸洗之后，必须经过一道含氟化合物蒸气漂洗的工序，而单用酮，或是单用含氟化合物溶剂，均不能彻底洗清表面。
实施例4
将已污染的试样浸入容积比为50∶50的液体环己醇（一种环链烷醇）及HFC-365（一种氢氟烃）的混合物中，在57-59℃的温度下浸30秒钟，接着在与周围环境同温的HFC-365中浸30秒钟，并用HFC-365进行30秒钟的蒸汽漂洗。其结果如下：
实验    在基材    清洗方法    在表面上的碳    (微克)
上的油类    清洗前    清洗后
(a)    石油    本发明    819    4
(b)    石油    不用HFC漂洗    819    2397
(c)    石油    不用链烷醇清洗    819    70
(d)    合成油    本发明    508    139.7
(e)    合成油    不用HFC漂洗    508    1148
(f)    合成油    不用链烷醇清洗    508    499
(g)    矿物油    本发明    950    12.7
(h)    合成油    本发明    1033    10.2
在使用石油所做的实验中，采用一道有机清洗工序接一道含氟化合物蒸气漂洗工序，结果彻底洗净了试样的表面（碳的去除率＞99.9%）。由于环己醇在清洗合成油时，为一种相当弱的溶剂，如实验（b）与（e）所示，因而，如实验（d）所示，用本发明的清洗工艺能除去大多数的油和有机溶剂膜。加之，在实验（b）和（e）中，当试样仅在环己醇中浸30秒钟，然后便在空气中干燥30秒钟，而不使用HFC蒸汽漂洗的情况下，则表面残留有相当数量的碳。在实验（c）与（f）中，将试样浸在HFC-365中清洗30秒，然后便在空气中干燥30秒钟，而未使用链烷醇清洗工序，结果表面残留有相当量的碳。本例表明：要彻底清净已经在一种链烷醇（环链或非环链）浸过的污染表面，需要一道含氟化合物蒸气漂洗的工序，而不论单用链烷醇，还是单用含氟化合物溶剂，均不能彻底洗净表面。
实施例5
将污染试样浸于容积比为50∶50的液体1，5-二甲基环辛二烯（一种环链烯）与HFC-365（一种氢氟烃）的混合物中，在57-59℃下浸30秒钟，然后在与周围环境温度相同的HFC-365中浸30秒钟，并用HFC-365进行30秒钟蒸汽漂洗。其结果如下：
实验    基材上    清洗方法    在表面上的碳    (微克)
的油类    清洗前    清洗后
(a)    石油    本发明    819    10.1
(b)    石油    不用HFC漂洗    819    2953
(c)    石油    不用链烯清洗    819    70
(d)    合成油    本发明    508    18.8
(e)    合成油    不用HFC漂洗    508    2831
(f)    合成油    不用链烯清洗    508    499
(g)    矿物油    本发明    950    10
(h)    合成油    本发明    1033    15.1
在以石油和合成油所做的实验中，采用一道有机清洗工序接一道含氟化合物蒸气漂洗工序，结果试样表面被彻底洗净（碳的去除率＞99.8%）。然而，在实验（b）和（e）中，试样在1，5-二甲基环辛二烯中浸30秒钟后，仅在空气中干燥30秒钟，而未使用HFC蒸气漂洗，结果表面留有相当数量的碳。在实验（e）和（f）中，试样在HFC-365中浸洗30秒钟之后，接首便在空气中干燥30秒钟，而不使用链烯溶剂清洗工序，结果表面有相当数量的碳残留。此例表明：要彻底洗净已经在一种链烯（环链或非环链）中浸过的污染表面，需要一道含氟化合物蒸气漂洗的工序，而无论单用链烯，还是单用含氟化合物溶剂，均不能彻底洗净表面。
实施例6
将污染试样浸于一种容积比为50∶50的液体三氟甲苯（一种氟化芳香化合物）与HFC-365（一种氢氟烃）在57-59℃下浸30秒钟，接着，在周围环境温度下，在HFC-365中浸30秒钟，并用HFC-365浸30秒钟蒸气漂洗。结果如下：
实验    基材上    清洗方法    在表面上的碳    (微克)
的油类    清洗前    清洗后
(a)    石油    本发明    819    13.3
(b)    石油    不用HFC漂洗    819    138
(c)    石油    不用氟化物清洗    819    70
(d)    合成油    本发明    508    16.1
(e)    合成油    不用HFC漂洗    508    1022
(f)    合成油    不用氟化物清洗    508    499
(g)    矿物油    本发明    950    13.7
(h)    合成油    本发明    1033    127.9
在以石油与合成油所做的实验中，采用一道有机清洗工序接一道氟化合物蒸汽漂洗工序，结果彻底洗净试样表面（碳去除率＞99.8%）。然而，在实验（b）和（e）中，试样与在三氟甲苯中浸洗30秒，尔后仅在空气中干燥30秒，而不用HFC蒸汽漂洗，结果表面留有相当数量的碳。在实验（c）和（f）中，将试样在HFC-365中浸洗30秒钟后，接着在空气中干燥30秒钟，而不使用氟代芳香化合物的清洗工序，表面残留有相当数量的碳。此例表明：要彻底洗净已经浸过氟化芳香溶剂的污染表面，则需一道含氟化合物蒸气的漂洗工序，而无论是单用氟化芳香清洗溶剂，还是单用含氟化合物溶剂，均不能彻底洗净表面。
实施例7
将污染试样浸于50容积%的聚乙二醇（μW200）（一种聚醚二醇），一种甲醇和50容积%的HFC-365（一种氟氟烃）的混合物中，在45-50℃下，浸洗30秒钟，然后在周围环境温度下，在HFC-365之中浸30秒钟，并以HFC-365进行30秒钟蒸汽漂洗，其结果如下：
实验    基材上    清洗方法    在表面上的碳    (微克)
的油类    清洗前    清洗后
(a)    石油    本发明    819    14
(b)    石油    无HFC漂洗    819    1917
(c)    石油    无聚乙烯    819    70
乙二/酯清洗
(d)    合成油    本发明    508    11
(e)    合成油    无HFC漂洗    508    1847
(f)    合成油    无聚乙烯乙    508    499
二醇/酯清洗
(g)    矿物油    本发明    950    12
(h)    合成油    本发明    1033    13
在以石油及合成油所做的实验之中，采用一种有机清洗的工序接一种含氟化合物蒸气漂洗工序，结果试样表面被彻底洗净（碳的去除率＞99.8%）。然后，在实验（b）和（e）中，试样在聚乙二醇/甲酯溶剂的混合物之中浸洗30秒钟，尔后仅在空气中干燥30秒钟而未加HFC蒸气漂洗，结果表面留有相当数量的碳。在实验（c）和（f）中，将试样浸在HFC-365中30秒钟之后，便在空气中干燥30秒钟，而未使用乙二醇/酯溶液清洗的工序，结果表面上残留有相当数量的碳。此例表明：要彻底洗净已经在乙二醇和一种酯的混合物中浸过的污染表面，需要一道含氟化合物蒸汽漂洗工序，而无论是单用混合的有机溶剂，还是单用含氟化合物溶剂，均不能彻底洗净表面。
实施例8
将污染试样浸于甲酯，或是浸于一种聚乙二醇（MW200）（聚醚二醇）和甲酯的混合物中，57-59℃下，浸30秒钟，然后，或是在HCFC-123（一种氢氯烃中），或是在HFC-52-13（一种高氟化度的烷烃）中，在周围环境的温度下，浸30秒，并继以用含氟化合物溶剂进行30秒钟蒸汽漂洗，结果如下：
（a）采用本发明的工艺使用PEG-200/甲酯清洗溶剂混合物，并以HCFC-123作为漂洗溶剂，合成油及凡呋啉（Valvoline）脂皆被从金属试样上除去，去除率高达99.9%以上。
实施例9
将污染试样浸于50∶50容积%的BIOACT    EC-7（一种工业品萜类混合物）与非离子表面活性剂，以及HFC-365（一种氢氟烃）的混合物中，在57-59℃下，浸30秒钟，然后，在周围环境的温度下，在HFC-365中浸30秒，并以HFC-365进行30秒钟的蒸汽漂洗，其结果如下：
实验    基材上    清洗方法    在表面上的碳    (微克)
的油类    清洗前    清洗后
(a)    石油    本发明    819    15.3
(b)    石油    不用HFC漂洗    819    2221
(c)    石油    不用酮清洗    819    36
(d)    合成油    本发明    508    13.6
(e)    合成油    不用HFC漂洗    508    2272
(f)    合成油    不用酮清洗    508    27.9
(g)    矿物油    本发明    950    12
(h)    矿物油    不用酮清洗    950    94
(i)    合成油    本发明    1033    13
(j)    合成油    不用酮清洗    1033    340
在以石油和合成油做的实验中，采用一种有机清洗工序接着用HCFC和HFC的含氟化合物混合物蒸汽漂洗工序，结果实际上试样表面被彻底洗净（碳的去除率＞99.8%）。然而，在实验（b）和（e）中，将试样浸在酮清洗溶剂中，30秒后，仅在空气中干燥30秒钟，而未用HCFC/HFC蒸汽漂洗，结果表面留有相当数量的碳。在实验（c），（f），（h）和（j）中，试样在HCFC-141b/HFC-365共沸化合物中浸30秒钟之后，在空气中干燥30秒钟，与使用萜烯溶剂清洗工序的本发明的双溶剂工艺相比，前者表面比后者表面残留有更多的碳。此例表明：即使是使用一种很强的含氟化合物漂洗溶剂，如含有HFCF-141b的混合物，将有机（酮）清洗工序后跟一种含氟化合物漂洗工序结合进行，对基材的清洗效果，总比单使用一种酮溶剂，或是单用一种含氟化合物溶剂来清洗基材所能得到的清洗效果大。
实施例10
将污染试样浸于50∶50容积%的液体环己酮（一种环链酮）和HFC-365（一种氢氟烃）的混合物中，在56-59℃下，浸30秒钟之后，在一种不燃性的含5%HCFC-141b的恒沸混合物（一种含氯氢氟烃）及90%的HFC-365（一种氢氟烃）的混合物中，浸30秒钟，并以HCFC-1416/HFC-365的冷凝共沸蒸汽进行30秒钟的蒸汽漂洗，其结果如下：
实验    基材上    清洗方法    留在表面上的碳    (微克)
的油类    清洗前    清洗后
(a)    石油    本发明    819    18
(b)    石油    不用HFC/HCFC    819    2221
混合物漂洗
(c)    石油    不用萜品清洗    819    70
(d)    合成油    本发明    508    29
(e)    合成油    不用HFC/HCFC    508    2272
混合物漂洗
(f)    合成油    不用萜烯清洗    508    499
(g)    矿物油    本发明    950    15
(h)    合成油    本发明    1033    25
在以石油与合成油做的实验中，采用一种有机清洗工序紧接一种含氟化合物蒸气漂洗工序，结果试样表面实际上被彻底洗净（碳的去除率＞799.6%）。然而，在实验（b）和实验（e）中，在试样在萜烯溶剂混合物中浸洗30秒钟之后，仅在空气中干燥30秒，而未使用HFC蒸汽漂洗，结果，表面留有相当数量的碳。在实验（c）和（f）中，将试样浸在HFC-365中清洗30秒钟，接着在空气中干燥30秒钟而未使用萜烯溶剂漂洗工序，结果表面留有相当数量的碳。此例表明：要彻底洗净已经在萜烯溶剂中浸洗过的污染表面，需要一种含氟化合物蒸汽漂洗的工序，而且无论是单用萜烯溶剂，还是单用含氟化合物溶剂，均不能彻底洗净表面。
实施例11
将污染试样浸于50∶50容积%的液体环己酮（一种环链酮）与HFC-365/FC-72（重量之比为95∶5）的混合物中，在56-59℃下，浸洗30秒钟之后，再在一种含5%FC-72的非分离混合物（一种全氟烃）及95%HFC-365（一种氢氟烃）之中，在周围环境的温度下浸30秒钟，并以FC-72/HFC-365的冷凝共沸蒸气进行30秒钟漂洗。其结果如下：
实验    基材上    清洗方法    留在表面上的碳    (微克)
的油类    清洗前    清洗后
(a)    石油    本发明    819    22
(b)    石油    不用酮清洗    819    44.3
(c)    合成油    本发明    508    20.1
(d)    合成油    不用酮清洗    508    453
(e)    矿物油    本发明    950    21.3
(f)    矿物油    无酮清洗    950    21.3
(g)    合成油    本发明    1033    20.4
(h)    合成油    无酮清洗    1033    426
在上述实验之中，使用一种有机清洗工序接一种含氟化合物蒸气漂洗工序，结果彻底洗净了试样表面（碳的去除率＞99.9%）而在试样在FC-72/HFC-365的混合物中浸洗30秒，然后在空气中干燥30秒钟，而不使用环己酮溶剂清洗工序，则表面会残留有较多的碳。此例表明：要彻底洗净已经浸过一种酮溶剂的污染表面，需要一种含氟化合物蒸汽漂洗工序，而无论是单用酮溶剂，还是单用含氟化合物溶剂，均不能彻底洗净表面。此外，人们已经熟知：诸如FC-72一类全氟化碳，对油类来说，是属于很差的溶剂，然而，在与氢氯烃，甚至与氢氯氟烃，在蒸气中混合，或本工艺的浸漂洗工序与一种有机清洗工序相结合，则此仅溶剂工艺，就能彻底洗净各个溶剂单独不能彻底洗净的试样。
实施例12
将污染试样浸于液体环己醇（一种环链醇）之中，在清洗之前不与HFC相混合（如前面所举之例）将试样在56-59℃下，浸30秒钟，然后再浸于HFC-365（一种氢氯烃）之中，在周围环境的温度下，浸30秒钟，并以HFC-365的冷凝共沸蒸汽进行30秒钟蒸气漂洗。其结果如下：
实验    基材上    清洗方法    留在表面上的碳    (微克)
的油类    清洗前    清洗后
(a)    石油    本发明    819    18.5
(b)    合成油    本发明    508    166
(c)    矿物油    本发明    950    20.9
(d)    合成油    本发明    1033    22.4
在本实验之中，与HFC分离的有机清洗剂的清洗能力得到了验证。结果没有超出例4的得结果的实验误差，在该例中对混合的有机/溶剂系统作了评价。有趣的是，在本例中，清洗槽里的HFC/有机混合物的清洗能力，要较清洗池仅盛装有机溶剂（环己醇）为大。
实施例13
将污染试样浸入液体环己酮（一种环链酮）中，该酮在清洗前不与HFC相混合（如前述之例）将试样在56-59℃下浸30秒钟，然后再在HFC-365（一种氢氟碳）中，在周围的环境温度下，浸30秒钟，并以HFC-365的冷凝共沸蒸汽，进行30秒钟蒸汽漂洗。其结果如下：
实验    基材上    清洗方法    留在表面上的碳    (微克)
的油类    清洗前    清洗后
(a)    石油    本发明    819    11.3
(b)    合成油    本发明    508    12.2
(c)    矿物油    本发明    950    11.7
(d)    合成油    本发明    1033    10.3
在本实验中，与HFC分离的有机清洗剂的清洗能力被验证。其结果没有超出与例12的实验误差范围，在该例中对混合有机/溶剂体系进行了评价。
一个对本领域具有普通技能的人，立即就能看出，本发明能达到上面提出的所有目的。读了上述说明之后，一个具有普通技能的人，便能够象本说明充分披露的那样，对本发明进行各种变化，改动，替代等。因而希望：下文所同意的保护仅受附加要求及其对应的文件所饮包含的定义所限制。

Claims (21)

1、一种去除零部件上残留污物或表面污染的非水溶液清洗方法，它包括下述工序：
(a)将零部件引入一种溶解力足能去除该零部件污染的有机清洗液之中；
(b)从所述的有机清洗液中将该零部件取出，并用一种对该污垢或表面污染溶解力较小，但至少对该有机清洗剂稍有溶解性的漂洗剂，漂洗该零部件，以去除该零部件上的所述有机清洗剂，该漂洗剂选自氢氟烃类化合物，或化合物中含有3至8个碳原子，并至少含60%氟的混合物，所述的化合物具有直链或支链，沸点在25°～约125℃；以及
(c)将该零部件干燥。
2、如权利要求1所述的方法，其特征在于将有机清洗液置于一清洗室中，而将氢氟烃漂洗液则置于一漂洗室中。
3、如权利要求2所述的方法，其特征在于它包括进一步将HFC漂洗液加热，使之在清洗室与漂洗室上方形成能抑制可燃性的保护层。
4、如权利要求3所述的方法，其特征在于它进一步包括在装盛有HFC漂洗液体的第二漂洗室对该零部件进行最后浸漂，以去除残留的微量污物或烃清洗剂，并冷却零部件，使之在纯冷凝蒸汽中漂洗。
5、如权利要求3所述的方法，其特征在于它进一步包括将所有的烃清洗液从氟代烃漂洗液中，通过相分离法分离出来，并将分离出来的洁净的烃清洗液重新循环送回到清洗槽。
6、一种去除零部件残留污垢或表面污染的非水溶液清洗方法，它包括下述步骤：
（a）将零部件引入清洗室，该室盛有由一种烃清洗溶剂与一种氢氟烃溶剂形成的混合物，此混合物大体上能去除该零部件的污染物，而且，将此中的混合物经加热到足够的温度，可使一些混点低于烃液的氢氟烃沸腾汽化，形成蒸汽区覆盖在清洗液体的上方，它基本上是一个以碳氟化合物为主体的抑制可燃性的蒸汽区;以及
（b）将该零部件干燥。
7、如权利要求1或6所述的方法，其特征在于所述的氢氟烃系从下列各类中选取：
（1）具有以下经验式的化合物：
C3HnF8-n（n≤4）
（2）具有如下经验式的直链或支链化合物：
C4HnF10-n（n≤5）
（3）具有如下经验式的直链或支链化合物：
C5HnF12-n（n≤6）
（4）具有如下经验式的直链或支链化合物：
C6HnF14-n（n≤7）
（5）具有如下经验式的直链或支链化合物：
C7HnF16-n（n≤8）
（6）具有如下经验式的直链或支链化合物：
C8HnF18-n（n≤9）
8、如权利要求7中所述的方法，其特征在于其中的烃为选自直链或支链烷基或链烯基一元羧酸酯类，且这些酯类的脂肪部分至少有6个碳原子，酯部分至少有1个碳原子。
9、如权利要求7中所述的方法，其特征在于它还包括将一种表面活性剂混入清洗液混合物，以保证烃与氢氟烃液之间相的一致性。
10、如权利要求8所述的方法，其特征在于它还包括将该零部件暴露于实际上仅含HFC溶剂的漂洗室中漂洗，以从另件上去除所述的混合物。
11、如权利要求10所述的方法，其特征在于它还包括保持HFC溶剂在混合物中的浓度，使之大体上保持恒定，方法是将混合物上方蒸气区的HFC溶剂的蒸汽冷凝液送回盛装混合物的清洗室，或是用泵得HFC溶剂从漂洗室抽回到清洗室。
12、如权利要求1所述的方法，其特征在于所述的含有烃清洗液的清洗室也含有与烃清洗液不相混溶的HFC溶剂，其不相混溶性使在清洗室内形成分层的清洗区，HFC富相形成下层，还包括用装于其中的加热盘管，对该下层加热，以在清洗室的上方产生一个抑制可燃蒸气的复盖层，并利用HFC溶剂的沸腾对密度较低的烃清洗液上层产生一种搅拌作用，以有助于清洗。
13、如权利要求1或2中所述的方法，其特征在于经过选择所述的HFC溶剂及烃清洗液，使得任何烃液出现在含HFC漂洗溶剂的漂洗室时，因其预先选定的对HFC的低浓度，即与HFC溶剂分离，并浮于HFC溶剂上面，产生一各梯流效应，使烃清洗液回归清洗室。
14、如权利要求13所述的方法，其特征在于包括提供了一个第二漂洗室，几乎完全只盛放HFC溶剂，造成一种梯流作用，使纯HFC漂洗溶剂流入第一漂洗室，以维持其预定的液面，并定向地提供一种撇流作用，将已分离出来的烃清洗液撇回清洗室。
15、如权利要求1所述的方法，其特征在于它还可通过结构安排将清洗区与漂洗区分开。
16、如权利要求15所述的方法，其特征在于它还通过装在上述两个构造中间的一个空气闸力，来防止烃清洗液从清洗构造中流到漂洗构造内。
17、如权利要求15所述的方法，其特征在于它还可向复盖烃清洗剂上方的蒸气区中，掺入一种不燃性气体，以降低烃的易燃性及爆炸的危险。
18、如权利要求15所述的方法，其特征在于它还包括以下的工序，用机械方法将从清洗室带到漂洗室的残留烃清洗液进行分离，并用泵将所述的烃抽回清洗室。
19、如权利要求1所述的方法，其特征在于其中的烃清洗液与HFC漂洗溶剂，一般是非互溶的，而且在烃清洗与HFC漂洗区之间，配备一个初漂区，其中含有与HFC溶剂可混溶的偶合溶剂。
20、一种去除零部件残留污物或表面污染的清洗组合物，所述的组合物包括一种烃化合物，和一种至少含有60%氟的氢氟烃化合物，且其直链或支链结构具有3-7个碳原子。
21、如权利要求20中所述的组合物，其特征在于该氢氟烃选自下列诸类：
（1）具有如下经验式的化合物：
C3HnF8-n（n≤4）
（2）具有如下经验式的直链或支链化合物：
C4HnF10-n（n≤5）
（3）具有如下经验式的直链或支链化合物：
C5HnF12-n（n≤6）
（4）具有如下经验式的直链或支链化合物：
C6HnF14-n（n≤7）
（5）具有如下经验式的直链或支链化合物：
C6HnF16-n（n≤8）
（6）具有如下经验式的直链或支链化合物：
C8HnF18-n（n≤9）
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