CN1064075C - 洗净及干燥用组合物和洗净及干燥方法 - Google Patents

Abstract

将工业用部件等被洗净物的洗净和干燥以没有残渣的状态和不侵蚀被洗净物的方式进行。使用高纯度的低分子硅氧烷将被洗净物洗净，然后进行干燥。此外将完成一般的水系洗净的被洗净物用IPA漂洗，然后用高纯度的低分子硅氧烷进行干燥。

Description

洗净及干燥用组合物和洗净及干燥方法

本发明涉及由玻璃或塑料制成的光学部件或模具部件、金属部件、陶瓷部件、电子部件等被洗净物的脱脂洗净、精密洗净或简易的擦拭洗争和／或在被洗净物上不生成污渍、残渣等情况下使之干燥的干燥用的洗净及干燥用组合物和洗净及干燥方法。

本发明特别涉及在氟里氟(フ口ン)用量削减的情况下。全世界所期望的不使用氟里昂的洗净及干燥用组合物和洗净及干燥方法。

在一般情况下，光学部件、模具部件、电子部件等工业用部件，为脱脂进行精密洗净后，再进行精加工干燥。此外光学部件、模具部件在制造后有必要除去指纹和雾斑，为此使用沾附溶剂的绵纸、布等擦拭进行简易洗净，这种通过擦拭的简易洗净也用于对金属模具进行维护。在上述这样的各种洗净和洗争后的干燥中，历来使用1，1，2-三氯-1，2，2-三氟乙烷(氟里昂-113)。该氟里昂-113因其不燃性，对生物体的毒性小，干燥速度快，而且因为对油脂等的溶解具有选择的溶解性，所以不浸蚀塑料、橡胶等高分子材料。

但是，因氟里昂等的全卤乙烷化学稳定且在对流圈内的寿命长，经扩散达到同温层，在该处因阳光而分解，引起所生成的卤素基团和臭氧连锁反应，由于破坏臭氧层，所以希望削减其使用量。为了以保护这样的臭氧层为目的而削减氟里昂113，开发了多种混合溶剂和共沸组合物用于洗净和干燥。例如在日本特开平1-318094号公报中记载了将氟里昂113和异丙醇及甲基乙基甲酮混合制得溶剂，同样在特开平2-289693号公报中则记载了二氯四氟丙烷(氟里昂234)和乙醇等脂肪族低级醇的共沸组合物。此外，在干燥时使用异丙醇(IPA)蒸气进行精加工干燥。

但是，因为特开平1-318094号公报记载的混合物必须含有氟里昂113，而氟里昂113的使用量又不能减少到大于某个数值。另一方面，特开平2-289693号公报记载的共沸组合物中使用了氟里昂234。该氟里昂234对臭氧层的破坏性虽然比氟里昂113较小，但不可能完全不破坏臭氧层。另一方面，使用IPA蒸气进行干燥，由于IPA具有高吸湿性，所以在重复洗净期间引起逐渐吸湿和水的混入，因水等的影响伴随有污渍产生，另外IPA具有引火性，将这种引火物以蒸汽状态使用有引火的危险，并且还有使塑料等劣化等问题，所以是不实用的。

本发明的目的是提供一种洗净及干燥用组合物和洗净及干燥方法，解决了上述问题，它不使用破坏臭氧层的氟里昂，不受水的影响，同时能在引火危险性少的状态下使用，不侵蚀塑料等被洗净物，并且不留污渍、残渣。

本发明用于由玻璃、塑料制成的光学部件或模具部件、金属部件、陶瓷部件、电子部件等被洗净物的洗净、擦拭或精加工干燥。

本发明的洗净及干燥用组合物含有作为有效成分的具有低分子硅氧烷基团的六甲基二硅氧烷、八甲基三硅氧烷、八甲基环四硅氧烷。一般情况下，硅氧烷的挥发性与其粘度或分子量成比例，有效成份的硅氧烷在粘度为5 CSt(25℃)程度时具有挥发性，而本发明的六甲基二硅氧烷、八甲基三硅氧烷、八甲基环四硅氧烷都具有5 CSt以下的粘度，所以有特别高的挥发性。此外，该低粘度(低分子部)的硅氧烷其自身具有溶剂的功能，由其本体进行指纹和皮脂等的脱脂。并且对生物体的毒性小，化学稳定，对塑料和橡胶、金属、玻璃等大致上不给予影响，并且因为不含氯等卤素，所以对臭氧层也没有坏的影响。具有这种物性的硅氧烷快速干燥性能良好，可用于玻璃透镜、塑料等光学部件和模具部件的精加工洗净、金属模的维护洗争等简单的擦拭洗净，并可用于糟加工干燥。低分子硅氧烷有直链状的和环状的，其通式如式1，式2所示。本发明选择式1的n=0的六甲基二硅氧烷、n=1的八甲基三硅氧烷，以及式2的m=4的八甲基环四硅氧烷。

本发明用途的擦拭用精加工液，精密洗净液，洗净后的干燥用溶液，将上述低分子硅氧烷两种以上加以混合为好，添加安定剂、溶剂等亦佳。作为安定剂，可将硝基甲烷、硝基乙烷、硝基丙烷等脂族硝基化合物，3-甲基-1-丁炔-3-醇、3-甲基-1-戊炔-3-醇等炔醇类，糖醇、甲基缩水甘油醚、烯丙基缩水甘油醚、苯基缩水甘油醚、1，2-二甲基环氧乙烷、环氧己烯、3-氯-1，2-环氧丙烷等环氧化物类，二甲氧基甲烷、1，2-二甲氧基乙烷、1，4-二噁烯、1，3，5-三噁烯等醚类，己烯、庚烷、辛烯、2，4，4-三甲基-1戊烯、戊二烯、辛二烯、环己烯、环戊烯等不饱和碳化氢类，烯丙醇、1-丁烯-3-醇、3-甲基-1-丁烯-3-醇等烯系醇类，丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯等丙烯酸酯类各自单独使用或两种以上并用。此外，将这些化合物和苯酚、三甲基苯酚、环己基苯酚、百里香酚、2，6-二-叔丁基-4-甲基苯酚、丁基羟基甲氧基苯、对丙烯基邻甲氧基苯酚等苯酚类，己胺、戊胺、二丙胺、二异丙胺、二异丁胺、三甲胺、三丁胺、吡啶、N-甲基吗啉、环己胺、2，2，6，6-四甲基哌啶、N，N’-二烯丙基-对苯二胺等胺类，苯并三唑、2-(2’-羟基-5’-甲苯基)苯并三唑、氯苯并三唑等三唑类等并用也佳。通过添加上述安定剂0．1～10wt％，可以在性能不劣化的情况下使品质稳定。

另一方面，作为溶剂，可由戊烷、异戊烷、己烷、异己烷、庚烷等碳化氢类，硝基甲烷、硝基乙烷、硝基丙烷等硝基链烷类，二乙胺、三乙胺、异丙胺、丁胺、异丁胺等胺类，甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇、正丁醇、异丁醇等醇类，甲基溶纤素、四氢呋喃、1，4-二噁烷等醚类。丙酮、甲基乙基甲酮、甲基丁基甲酮等酮类，乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯等酯类中选择1种或2种以上使用。通过添加这些溶剂1-80wt％，可使溶解力更加提高。

作为本发明的低分子硅氧烷，在使用六甲基二硅氧烷的场合，可混合乙醇、甲醇、2-丙醇使用。

在六甲基二硅氧烷和乙醇、甲醇或2-丙醇的混合物中，该混合物以其沸状态组成(共沸组合物)或以与共沸近似的状态组成是理想的。

六甲基二硅氧烷以化学式(CH₃)₃SiDSi(CH₃)₃构成，该硅氧烷的粘度为0．65 CSt(25℃)。作为本发明适宜状态的共沸组合物不能仅仅是将单独两个成份以上加以混合而得到，而应当成为具有共沸点的状态，即共沸状态的组成。这样的共沸状态组合物显示出与其各个成份的沸点不同的一定的沸点，它具有在沸点变低的场合挥发速度提高；作为蒸发的结果，组合物和馏出物的比例大致不变化等优良特性。具有这样共沸状态的组成在用乙醇的场合和常压下为：相对于六甲基二硅氧烷64．3～63．3wt％，乙醇是35．7～36．7wt％，在该范围内沸点为71．4℃。另一方面，在用甲醇的场合，相对于六甲基二硅氧烷58．9～59．3wt％甲醇为40．7～41．1wt％，通过作出这样的组成，其沸点比各成份的沸点降低成为58．7℃，同时挥发性提高，由于蒸发的组成和液相组成大致不变化，所以经蒸发大体没有组成变化，从而构成安定的液体组成。此外，在由2-丙醇和六甲基二硅氧烷构成的体系中，具有共沸状态的组成为：相对于六甲基二硅氧烷54．1～54．5wt％，2-丙醇是45．5～45．9wt％，其沸点低于各成份的沸点，为76．4℃，同时挥发性提高，由于蒸发组成和液体组成大致不变，所以经蒸发大致没有组成的变化，从而构成稳定的液态组成。

另一方面，即使是在六甲基二硅氧烷30～95wt％、甲醇5～70wt％的范围内，六甲基二硅氧烷35～99wt％、乙醇1～65wt％的范围内，六甲基二硅氧烷25～95wt％、2-丙醇5～75wt％的范围内，与各成份相比其外观沸点也同时降低(例如在六甲基二硅氧烷25wt％，2-丙醇75wt％时沸点为77．7℃)，经蒸发没有大的组成变化，作为擦拭精加工液、精密洗净液和干燥液可以实用。

在以上这样的混合物中，一方面构成要素的六甲基二硅氧烷对生物体的毒性小，且化学稳定，对塑料和橡胶、金属、玻璃等大体上没有影响。并且因不含氯等卤素，对臭氧层也没有影响。另一方面构成要素的乙醇、甲醇或2-丙醇有大的脱脂力，对油脂等污物进行迅速排除。特别是乙醇，众所周知对生物体的毒性小，还具有安全性高的特性。因此，由这样的构成要素组成的共沸或共沸类似物的组合物作为工业用部件擦拭用精加工液和精密洗净液，以及洗净后的干燥液均可以满意地适用，在作为溶剂、干燥液的场合使用时容易进行液体管理，且容易回收，可再使用，另外用于蒸汽洗净也成为可能。

在这样的六甲基二硅氧烷和乙醇、甲醇或2-丙醇的混合物中，按上述配合比添加已述的安定剂是可能的。在此场合下，使共沸组合物和共沸类似物组合物安定化的效果是大的，并且经蒸馏操作能同时馏出，或是说能形成共沸，这样性质的化合物是良好的。

本发明的洗净及干燥方法中的第1种方法是：使用十二甲基五硅氧烷含量小于0．01％(重量)，并且比十二甲基五硅氧烷挥发性差的化合物，其实质上被去除了低分子的硅氧烷。十二甲基五硅氧烷和比其挥发性差的化合物挥发性均极差，若微量含有这些化合物，则干燥后产生污渍、残渣，导致洗净、干燥质量的降低。

在此场合，洗净包括脱脂洗净、精密洗净、擦拭洗净等各种洗净。另一方面，干燥被列入洗净物洗净的最终工序中，在该最终工序之前，由使用表面活性剂等对被洗净物脱脂、使用纯水等进行水洗净、水洗净后的醇置换(水置换工序)等历来所进行的种种洗净处理组成，在这之后使用本发明的低分子硅氧烷作为精加工干燥液进行干燥。添加到这些当中的是，本发明还包括将上述低分子硅氧烷以蒸汽态在减压状态下供给被洗净物，以进行被洗争物的洗净和干燥。

此处所说的“实质上去除的状态”意味着即使使用GC(气相色谱法)、LC(液相色谱法)等一般的分离分析也检测不出其含量。此外，作为把握挥发性的尺度，将蒸气压规定为大致的标准，其它是由考虑蒸发潜热等进行把握。

在第1种方法中希望将六甲基二硅氧烷、八甲基三硅氧烷或八甲基环四硅氧烷作为希望的低分子硅氧烷，即使是这些低分子硅氧烷的混合体系也不可使用。使用低分子硅氧烷的理由是对生物体无毒性，化学稳定，对塑料和橡胶、金属、玻璃等大致无影响，并且因不含氯等卤素，所以对臭氧层也没有影响，安全性高。

第1种方法是在洗净工序，或水置换工序后，在上述糟加工干燥液中进行浸渍·提升，其后通过常温放置、送风或减压蒸汽干燥等进行干燥。这些干燥方法可以单独或合并使用。

在将低分子硅氧烷混合使用的场合，可能添加安定剂、溶剂，但是作为安定剂和溶剂所具备的性质，能使所用干燥液安定化的效果好是必要的，更好的是经蒸馏操作同时馏出或形成共沸为佳。

第一种方法中所用的低分子硅氧烷是通过蒸馏·糟馏和／或活性碳等吸附而除去十二甲基五硅氧烷等物的。该组合物由于十二甲基五硅氧烷小于0．01％(重量)，并且去除了比十二甲基五硅氧烷挥发性差的化合物，所以在进行送风、减压蒸汽干燥等的干燥之后，不生产污渍、残渣等。

表1示出了在以下试验中更加确认的含有微量挥性差成分对精加工状态影响的结果。该试验在使用理论段数30段以上的蒸馏装置所得到的气相色谱纯度99．999％以上的八甲基三硅氧烷和八甲基环四硅氧烷中每份加入0．001％(重量)的十二甲基五硅氧烷，在各自的液体中将清净的滑动玻璃浸渍提升进行送风干燥，然后进行呼气试验，即使用双筒实体显微镜并由加以呼气时变模糊的状态来判断污渍、残渣的状态。

此外同样每份加入0．001％(重量)的比十二甲基五硅氧烷分子量大，挥发性差的硅氧烷十四甲基六硅氧烷，进行相同的试验。作为其评价记于表1，其中用双筒实体显微镜观察，经呼气试验后不能辨认出污渍、残渣的位置记作“O”，观察中辨认出污渍、残渣的位置记作“X”。但是表1是由上述试验中选录的。由该结果可以理解：十二甲基五硅氧烷的含量多于0．01％(重量)时，或是比十二甲基五硅氧烷挥发性差的十四甲基六硅氧烷的含量即使是微量时，均产生污渍、残渣。

表1

(注)A成份…十二甲基五硅氧烷

    B成份…十四甲基六硅氧烷

发明的洗净和干燥方法中的第2种方法是：在被洗净物洗净的最终工序中，使用低分子硅氧烷作为漂洗液，当被洗净物在该漂洗液中浸渍、提升后，进行蒸汽洗净。

该第二种方法使用实质上不含十二甲基五硅氧烷和比十二甲基五硅氧烷高分子的直链状硅氧烷、十二甲基环六硅氧烷和比十二甲基环六硅氧烷高分子的环状硅氧烷，以及与它们同等以上分子置的有机化合物的低分子硅氧烷作为漂洗液。所渭“实质上不含它们的状态”与第1种方法相同，是指即使用GC、LC等一般的分离分析也检验不出其含量。特别是第2种方法表明规定它们的含量低于100 PPm(0．01％重量)。作为在第二种方法中的低分子硅氧烷，可使用直链状硅氧烷、环状硅氧烷的各种低分子硅氧烷单体或混合物，其中低分子二甲基硅氧烷为佳。在此，作为低分子二甲基硅氧烷要考虑挥发性、引火危险性的场合，六甲基二硅氧烷、八甲基三硅氧烷或八甲基环四硅氧烷则是理想和实用的。这些低分子二甲基硅氧烷也可以两种以上的混合体系使用。

在这样漂洗后进行的蒸汽洗净使用全氟化碳化合物作为蒸汽洗净液。全氟化碳化合物是无色透明，无臭、惰性的液体，具有对橡胶、塑料的浸蚀性小、不燃烧、安全性高、而且对臭氧层破坏系数为O等优良特性。该全氟化碳化合物考虑与前槽中所用漂洗液的相溶性、主要因沸点、蒸发热等引起的热特性、消耗量来进行选择。在考虑这些特性的场合，对于塑料等耐热性差材质的被洗净物，沸点在100℃以下为佳，对于金属、无机材料等的被洗净物，由后步工序作业性的观点出发沸点在150℃以下为佳。作为这样的具有150℃以下沸点的全氟化碳化合物，可使用作本化学结构式C₆F₁₄(沸点56℃)，C₇F₁₆(沸点80℃)，C₈F₁₈(沸点102℃)等当中的1种或两种以上的混合物。

在第2种方法中，也可对作为漂洗液所用的低分子硅氧烷添加安定剂、溶剂，但是与第一种方法同样，作为安定剂和溶剂以同时馏出的或形成共沸的为佳。

第2种方法中所用的低分子硅氧烷通过蒸馏·糟馏和／或活性碳等吸附的手段除去十二甲基五硅氧烷等。据此，在蒸汽洗净工序中，在与附着在被洗净物表面的漂洗液的界面处进行浸透置换作用时，漂洗液和蒸气的相溶作用产生置换作用。但是，在漂洗液内含有与全氟化碳蒸汽难相溶化合物的场合，与漂洗液相溶的置换变难，产生污渍等残渣。一般说来，全氟化碳和硅氧烷的相溶性在基本结构相同的情况下，与其分子量成反比例，越是高分子相溶性越降低。

第2种方法的漂洗工序所用的低分子硅氧烷如上述那样实质上去除了难相溶化合物，作为漂洗液的低分子硅氧烷和作为蒸气洗净液的全氟化碳的相溶性用下述试验确认。

向分别沸腾的基本化学结构式为C₇F₁₆(沸点80℃)，C₈F₁₈(沸点102℃)的全氟化碳100ml中，分别按体积比50％添加直链状硅氧烷：八甲基三硅氧烷、十甲基环四硅氧烷、十四甲基六硅氧烷和十二甲基五硅氧烷，另外分别添加环状硅氧烷：八甲基环四硅氧烷、十甲基环五硅氧烷和十二甲基环六硅氧烷，进行搅拌、加热。而后确认再沸腾时的状态。结果示于表2。表2中，“X”分别表示硅氧烷和全氟化碳呈分离状态，“△”分别表示硅氧烷和全氟化碳以白浊状态混合，“○”分别表示硅氧烷和全氟化碳以透明状态相溶。

表2

	八甲基三硅氧烷(n=1)	十甲基环四硅氧烷(n=2)	十二甲	十四甲基六硅氧烷(n=4)	八甲基环四硅氧烷(m=4)	十甲基	十二甲环六硅氧烷(m=6)
								基五硅氧烷(n=3)	环五硅氧烷(m=5)
			C7F16			○				○	△	×	○	△	×
C8F18	○	○		△	×		○	△	×

在上述漂洗液所用的低分子硅氧烷中，实质上不含十二甲基五硅氧烷和比十二甲基五硅氧烷高分子的直链状硅氧烷、十二甲基环六硅氧烷和比十二甲基环六硅氧烷高分子的环状硅氧烷以及与它们同等以上分子量的有机化合物为佳。此外，在该漂洗液中浸渍·提升后，进行使用全氟化碳化合物的蒸汽洗净，因此可进行良好的洗净和精加工干燥。

可是用IPA蒸汽干燥则构成的程序如下：首先将被洗净物用溶剂洗净，然后用水系表面活性剂洗净，用优质水洗净，再用纯水洗争，然后为脱水用IPA液体洗净，在最终的干燥工序中，通过将IPA蒸汽化并使之挥散而将被洗净物干燥。

但由于IPA蒸汽在具有引火性和爆炸性的同时，还对人体有害，所以不仅处理时要注意，回收设备的规模也大。

对此本发明的发明人发现：通过在脱水工序中，用低分子硅氧烷置换附着在被洗净物上IPA等的亲水性溶剂，完成其干燥，而不用IPA蒸气干燥。作为此场合下的低分子硅氧烷，有上述的六甲基二硅氧烷、八甲基环四硅氧烷、八甲基三硅氧烷等。

但是，这种将低分子硅氧烷用于最终工序干燥的洗净，伴随着重复洗净，在被洗净物上产生污渍和斑点。由于这样用低分子硅氧烷将IPA等的亲水性溶剂溶解并将该亲水性溶剂除去，所以与洗净次数增加的同时，低分子硅氧烷内亲水性溶剂的浓度增加，因所用亲水性溶剂含有的水份，使低分子硅氧烷内的含水率增加，等于是产生污渍、斑点。

在本发明中，通过使亲水性溶剂在水等分离液中与混入的低分子硅氧烷等非水系溶剂接触，将亲水性溶剂由非水系溶剂分离，附加了使非水系溶剂再生。因此在用于干燥的低分子硅氧烷等非水系溶剂中维持低含量的亲水性溶剂，使在保持干燥力状态下的循环使用成为可能。

作为使用本方法的非水系溶剂以在常温下具有挥发性，与亲水性溶剂有相溶性为佳，本发明的低分子硅氧烷能充分满足这样的条件。此外分离液由于不溶于非水系溶剂，而且与亲水性溶剂的相溶性也比非水系溶剂优良，所以非水系溶剂在使用本发明的低分子硅氧烷的场合可选择水或纯水。

亲水性溶剂为进行被洗净物的脱水而使用，常常使用IPA等醇类作为该亲水性溶剂，可是醇等的亲水性溶剂吸湿性高，由于吸湿状态，在进行被洗净物的液体浸渍的干燥时在被洗净物表面产生残渣。因此，在脱水后进行干燥。干燥通过在非水系溶剂中浸渍完成。在这种干燥中，醇等亲水性溶剂由玻璃透镜、电气基板等被洗净物带入非水系溶剂内，也就是说附着在被洗净物上的醇等亲水性溶剂溶进入非水系溶剂。在重复进行这样的洗净之外，非水系溶剂中的亲水性溶剂的浓度上升。

在此，若将与醇等亲水性溶剂的相溶性比非水系溶剂优良的、比重比非水系溶剂大并且与非水系溶剂没有相溶性的(不溶的)水等分离液混合，则溶于非水系中的醇等亲水性溶剂与非水系溶剂相比被拉近具有亲和性的分离液。结果分离成两层，在下部是比非水系溶剂比重大的分离液和被拉近的亲水性溶剂，而上部仅存在非水系溶剂。因此，将亲水性溶剂由非水系溶剂分离，可将非水系溶剂再生。

再有，作为本发明的非水系溶剂要求与醇等亲水性化合物的相溶性高，并且被洗净物的干燥性高，而六甲基二硅氧烷、八甲基三硅氧烷、八甲基环四硅氧烷满足这些特性。

与亲水性溶剂有高的相溶性是为将附着在被洗净物上的亲水性溶剂干净地洗去所必要的。

对非水系溶剂所要求的又一个特性的高干燥性可通过低分子量化达到。因此，硅化合物的分子量希望在1000以下。一般情况下硅化合物分子量与粘度有相关关系，如果是低分子量则为低粘度，高的干燥性可由低粘度的硅化合物得到。此场合下的粘度，在考虑干燥速度和与醇的相溶性的情况下，为5 CSt(20℃)以下为佳，并以六甲基二硅氧烷、八甲基三硅氧烷、八甲基环四硅氧烷为最佳。大于该值则干燥性显著变迟缓。

图1是本发明实施例14的洗净、干燥流程图，图2是实施例14所用再生装置的断面图，图3是其分离槽的斜视图，图4是实施例14所用另一再生装置的断面图，图5是实施例15所用装置的断面图。

实施例1

将市售的粘度为0．65 CSt(25℃)的六甲基二硅氧烷(信越化学工业(株)制)加以精制除去杂质。市售的六甲基二硅氧烷由气相色谱法分析纯度为97．5％水平，作为杂质含有比十二甲基五硅氧烷难以挥发的硅氧烷和有机化合物等。这些杂质有可能在需精加工洗净的对称物上成为残渣，这就是有必要进行处理以除去比十二甲基五硅氧烷难以挥发成份的原因。该杂质的去除通过蒸馏、精馏、吸附剂等适宜手段进行。由此使纯度变成98．0％。

表3是经这样制作的六甲基二硅氧烷、八甲基三硅氧烷、八甲基环四硅氧烷的试验结果，同表中的n、m表示上述式1和2中的n、m，另外粘度示出25℃时的。同表中使用氟里昂-乙醇共沸系液体、醚-乙醇的3∶1混合液作为比较例。

表3

			实  施  例  1			比  较  例
											六甲基二硅氧烷n=0	八甲基三硅氧烷n=1	八甲基环四硅氧烷m=4	醚·-乙醇	氟里昂·乙醇
粘度(25℃)			0.65	1	2.3
								评价	侵蚀性		○	○	○	×	○
干燥速度		○	○	○	○	○
							脱脂力		○	○	○	○	○
安全性	对环境	○	○	○	○	×
							对人体	○	○	○	×	△

以下说明在本实施例中的各个试验方法和评价基准。

(1)对各种材料的侵蚀性

将由铝、不锈钢(SUS304)、铜、玻璃、PP(聚丙烯)、PC(碳酸酯)、PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)、ABS(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物)原材料制成的板材分别浸在表3所示的各液中，48小时后进行重量变化和外观的检查。其中，外观检查使用倍率为50倍的双筒实体显微镜观察有无裂缝产生。表3的“侵蚀性”栏中记载着结果，因同栏中，“○”表示相应全部材料重置变化在0．1％以下并且没有外观变化，“×”表示相应全部材料重量变化在0．1％以上且任何材料上均有外观变化。此外在比较例的醚-乙醇混合混中，由PC、PMMA、ABS制成的板材上产生裂缝。

(2)干燥速度

将表3各液装入烧杯，将玻璃板在其中浸渍后垂直提升观察干燥状态。作为玻璃板是在显微镜的制备样品中使用的滑动玻璃，将其一表面磨成模糊状使用。结果示于表3的“干燥速度”栏，“○”表示在60秒内干燥终了的，“×”表示需要干燥61秒以上的。

(3)脱脂力

使在玻璃板上附着1cm²面积的指纹(皮脂)，将表3各3cc的液体浸沾在绵布(5cm×5cm)上，用一定力量擦拭玻璃板以试验脱脂力。此时，记录指纹污斑退去时的擦拭次数。将结果示于表3的“脱脂力”栏，“○”为到指纹退去的次数在5次以下的，“×”为到指纹退去的次数在6次以上的。

(4)安全性

在表3各液体的“对环境”栏中记载了有无环境破坏。“○”表示没有环境破坏的，“×”表示有环境破坏的。

在表3的“对人体”栏中记载了对人体的有害性。“○”表示没有生理学活性的，“△”表示生理学活性弱的，“×”表示生理学活性强的。

接着，在手工研磨时引入表3实施例栏的各液，对PMMA、加玻璃填料的PC、PP、ABS的塑料板进行擦拭精加工，但对任何塑料板也没有侵蚀性，结果良好。

再有，当用纯度为98％的六甲基二硅氧烷对附着在上述各塑料板上的指纹进行擦拭时，能够从全部塑料板上除去指纹。其它即使是八甲基三硅氧烷、八甲基环四硅氧烷也能获得同样的洗净效果。

实施例2

将市售的六甲基二硅氧烷通过蒸馏、精馏、吸附剂精制，除去作为杂质混入的比六甲基二硅氧烷难以挥发的碳化氢系化合物、粘度1CSt(25℃)以上的硅氧烷等。这是因为这些杂质有可能在被洗净物上生成残渣。经过糟制得到的六甲基二硅氧烷的纯度用气相色谱法分析为99．0％以上。另外，该六甲基二硅氧烷的粘度为0．65CSt(25℃)。

将由此精制的六甲基二硅氧烷和纯度99．5％以上的乙醇各100g分别加入蒸馏烧瓶中共200g，使用理论段数为30段的精馏塔在常压下精馏。通过该糟馏得到71．4℃下的共沸馏分。然后将该馏分用气相色谱法分析得到其组成为：六甲基二硅氧烷64．3～63．3％，乙醇35．7～36．7％

另外在本实施例中可添加安定剂。作为安定剂，例如可将硝基甲烷、硝基乙烷、硝基丁烷等脂族硝基化合物，3-甲基-1-丁炔-3-醇、3-甲基-1-戊炔-3-醇等炔醇类，糖醇、甲基缩水甘油醚、丙烯基缩水甘油醚、苯基缩水甘油醚、1，2-二甲基环氧乙烷、环氧己烯、3-氯-1，2-环氧丙烷等环氧化物类，二甲氧基甲烷、1，2-二甲氧基乙烷、1，4-二噁烯、1，3，5-三噁烯等醚类，己烯、庚烷、辛烯、2，4，4-三甲基-1-戊烯、戊二烯、辛二烯、环己烯、环戊烯等不饱和碳化氢类，烯丙醇、1-丁烯-3-醇、3-甲基-1-丁烯-3-醇等烯系醇类，丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯等丙烯酸酯类单独使用或2种以上并用。此外，将这些化合物和苯酚、三甲苯酚、环己基苯酚、百里香酚、2，6-二-叔丁基-4-甲基苯酚、丁基羟基甲氧基苯、对丙烯基邻甲氧基苯酚等苯酚类，己胺、戊胺、二丙胺、二异丙胺、二异丁胺、三甲胺、三丁胺、吡啶、N-甲基吗啉、环己基胺、2，2，6，6-四甲基哌啶、N，N’-二烯丙基-对苯二胺等胺类，苯并三唑、2-(2’-羟基-5’-甲苯基)苯并三唑、氯苯并三唑等三唑类等并用也佳。通过添加上述安定剂，可在性能等不劣化的情况下赋予更加安定的特性。

实施例3

实施例2中精制的六甲基二硅氧烷以99．0～10．0wt％的范围、并且乙醇以1．0～99．0wt％的范围，每隔1wt％变化其配合比，制成200g混合物，测定这些混合物的沸点。将结果示于表4的“蒸馏前”栏和“观测沸点”栏。在表4中，六甲基二硅氧烷的配合比在35．0wt％以上的混合物，相对于实施例2的共沸组合物的共沸点(71．4℃)，其沸点的增加不足1．0℃，构成了与实施例2的共沸组合物同样可实施的共沸类似物组合物，以下记为实施例3的制造物。

再有，在本实施例中也可添加实施例2所示的安定剂。

表4

蒸馏前	乙醇(％)	1	29	30	36	45	46	65	66
										六甲基二硅氧烷(％)	99	71	70	64	55	54	35	34
	观测沸点	℃	72.2	71.6	71.6	71.4	71.7	71.7	72.4										72.5
馏出物										乙醇(％)	33	34	36	36	37	37	42	42
	六甲基二硅氧烷(％)	67	66	64	64	63	63	58	58
										蒸馏残液	乙醇(％)	0	28	28	36	39	39	67	67
六甲基二硅氧烷(％)	100	72	72	64	61	61	33	33

实施例4

实施例2精制的六甲基二硅氧烷以99．0～10．0wt％的范围，并且乙醇以1．0～90．0wt％的范围，每隔1wt％变化其配合比制成200g混合物。然后将这些混合物分别倒入蒸馏烧瓶单一蒸馏此外在其蒸馏时用气相气谱法分析蒸馏前、馏出物、残留残液。将结果示于实施例3中的表4。再有，在表4中每隔wt％改变配合比的当中。仅将一部份抽出记载。

若将蒸馏前的组成与馏出物的组成相比较，六甲基二硅氧烧在70．0～55．0wt％，而乙醇在30．0～45．0wt％的范围内构成5wt％。以下的组成变化，在这5wt％组成变化的范围内的馏出物作为共沸类似物组合物，与实施例2同样可以实施，以下记为实施例4的制造物。再有，在本实施例4中与实施例1同样也添加安定剂。

实施例5

本实施例5对关于实施例3和4的制造物的检查做说明。首先，将实施例2的馏份和实施例3的制造物供入手工研磨作为擦拭用精加工液使用。作为擦拭的对象，使用分别由PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)、加玻璃填料的P(聚碳酸酯)、PP(聚丙烯)和ABS(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物)制成的塑料板，对这些塑料板的表面擦拭精加工。其结果对任何塑料板都没有侵蚀性等问题。

其次，将由上述塑料制成的5×50×2mm尺寸的试验片放入玻璃瓶内，将每隔1wt％变化配比的实施例2的混合液100g充填入内，在常温常湿下放置48小时取出，研究各试片的重量变化和外观变化。此外，同样使用醚与乙醇的混合液(醚∶乙醇=3∶1)和氟里昂113比作为较例。将结果示于表5。在此表中，“○”分别表示重量变化不足1％且没有裂缝和溶解发生的结果，“△”分别表示重量变化在1％以上且有裂缝和溶解发生的结果。再有，在表5中六甲基二硅氧烷和乙醇每隔1wt％的配合比内，仅抽出一部份记载。

表5

	PMMA	PC(加入玻璃)	PP	ABS
					六甲基二硅氧烷∶乙醇=90∶10	○	○	○	○
六甲基二硅氧烷∶乙醇=70∶30	○	○	○	○
					六甲基二硅氧烷∶乙醇=64∶36	○	○	○	○
六甲基二硅氧烷∶乙醇=50∶50	○	○	○	○
					醚∶乙醇=3∶1混合液	×	×	△	×
氟里昂113	○	○	△	○

再将玻璃透镜、由PMMC和PC制成的塑料透镜以及铝作为洗净物用下述方法洗净。即首先在碱皂化剂中边施加超声波边将洗净物脱脂，然后在表面活性剂中边施加超声波边再脱脂。然后在优质水中边施加超声波边进行水洗净以除去表面活性剂，再在纯水中边施加超声波边洗净，除去优质水的离子和污物以提高洗争度。然后作为纯粹的脱水，用IPA洗净。

这以后，使用实施例2所得的馏份和实施例4的制造物作为精加工用的干燥液，在该干燥液中浸渍洗净物，再提升干燥。在以上工序后，进行洗净物的精加工检查。在此场合，将在精加工干燥中使用IPA蒸汽的作为比较例。无论是在实施例2的馏份和实施例4的制造物哪一个当中，均没有洗净物的劣化和到洗净物上的残渣，得到了良好的结果。

实施例6

将市售的六甲基二硅氧烷通过蒸馏、糟馏、吸附剂精制，除去作为杂质混入的比十二烷基五硅氧烷难以挥发的硅氧烷等。经过该精制所得到的六甲基二硅氧烷的纯度用气相色谱法分析为99．0％以上。此外，该六甲基二硅氧烷的粘度为0．65 CSt(25℃)。

将经过这样精制的六甲基二硅氧烷和甲醇的重量比为1∶1的混合物200g加入蒸馏瓶，使用理论段数为30段的糟馏塔于常压下进行蒸馏。由此蒸馏于58．7℃得到共沸馏份。然后将该馏份通过气相色谱法分析得到的组成为：六甲基二硅氧烷58．9～59．3wt％甲醇40．7～41．1wt％。此外，制成六甲基二硅氧烷30～95wt％，甲醇5～70wt％的组合物作为共沸类似物组合物。

再有，在本实施例中可添加安定剂。作为安定剂，可使用由硝基甲烷、硝基乙烷、硝基丙烷等脂族硝基化合物，3-甲基-1-丁炔-3-醇、3-甲基-1-戊炔-3-醇等炔醇类、糖醇、甲基缩水甘油醚、烯丙基缩水甘油醚、苯基缩水甘油醚、1，2-二甲基环氧乙烷、环氧己烯、3-氯-1，2-环氧丙烷等环氧化物类，二甲氧基甲烷、1，2-二甲氧基乙烷、1，4-二噁烯、2，4，4-三甲基-1-戊烯、戊二烯、辛二烯、环己烯、环戊烯等不饱和碳化氢类，烯丙醇、1-丁烯-3-醇、3-甲基-1-丁烯-3-醇等烯系醇类，丙烯酸甲酯、丙烯酸丁酯等丙烯酸酯类，苯酚、三甲基苯酚、环己基苯酚、百里香酚、2，6-二-叔丁基-4-甲基苯酚、丁基羟基甲氧基苯、对丙烯基邻甲氧基苯酚等苯酚类，和己胺、戊胺、二丙胺、二异丙胺、二异丁胺、三甲胺、三丁胺、吡啶、N-甲基吗啉、环己胺、2，2，6，6-四甲基哌啶、N-N’-二烯丙基-对苯二胺等胺类，苯并三唑、2-(2’-羟基-5’-甲苯基)苯并三唑、氯苯并三唑等三唑类等中选择的至少1种。通过添加这样的安定剂，可在看不出性能等劣化的情况下，赋予更加安定化的特性。

实施例7

将实施例6精制的六甲基二硅氧烷和2-丙醇的重量比为1∶1的混合物200g加入蒸馏烧瓶，使用理论段数为30段的精馏于常压下进行蒸馏。往此蒸馏于76．4℃得到共沸馏份。然后将该馏份通过气相色谱法分析，其组成为：六甲基二硅氧烷54．1～54．5wt％，2-丙醇45．5～45．9wt％。此外，制得由六甲基二硅氧烷25～95wt％，2-丙醇5～75wt％的组合物作为共沸类似物组合物。

对它们也可添加实施例6所示的安定剂和／或溶剂，经过添加它们性能不劣化，可赋予更加安定的特性和使溶解力增大。

实施例8

本实施例对有关实施例6和实施例7的组合物的检查做说明。

首先，将实施例6和实施例7的馏份和同等组成的组合物加入手工研磨容器作为擦拭用精加工液使用。使用分别由PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)、加入玻璃填料的PC(聚碳酸酯)、PP(聚丙烯)和ABS(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物)制成的塑料板作为手拭的对象。结果对任何塑料板都没有侵蚀性等问题。

其次，将由上述塑料制成的5×50×2mm尺寸的试片装入玻璃瓶，充填表6所示组成的混合液100g，于常温常湿下放置48小时取出，研究各试片的重量变化和外观变化。此外作为比较例，同样使用醚和乙醇的混合液(醚∶乙醇=3∶1)的以及氟里昂113。将结果示于表6。在同表中，“○”分别表示重量变化不足1％且不发生裂缝、溶解的结果，“△”分别表表示重量变化在1％以上且不发生裂缝、溶解的结果，“×”分别表示重量变化在1％以上且有裂缝、溶解发生的结果。

表6

	PMMA	PC(加入玻璃)	PP	ABS
					六甲基二硅氧烷∶甲醇=59．1∶40．09(共沸物)	○	○	○	○
六甲基二硅氧烷∶甲醇=90∶10	○	○	○	○
					六甲基二硅氧烷∶甲醇=80∶20	○	○	○	○
六甲基二硅氧烷∶甲醇=50∶50	○	○	○	○
					六甲基二硅氧烷∶2-丙醇=54．3∶45．6(共沸物)	○	○	○	○
六甲基二硅氧烷∶2-丙醇=90∶10	○	○	○	○
					六甲基二硅氧烷∶2-丙醇=75∶25	○	○	○	○
六甲基二硅氧烷∶2-丙醇=60∶40	○	○	○	○
					醚∶乙醇=3∶1 混合液	×	×	△	×
氟里昂113	○	○	○	○

将实施例6和实施例7的组合物加入手工研磨容器，从手工研磨容器中适量沾入擦净纸，用该擦净纸手拭光学芯取加工后附着有芯取油的光学透镜。结果得到了在可将芯取油完全除去并可将光学途镜洗净的同时，也不在光学透镜上产生斑点的良好结果。此外，当用实施例6和实施例7的共沸类似物组合物进行同样试验时，得到良好的结果。

再将玻璃透镜、由PMMC和PC制成的透镜和铝作为被洗净物按下述程序洗净。即首先在碱皂化剂中边施加超声波边将洗净物脱脂，然后在表面活性剂中边施加超声波边再次脱脂。此后在商品水中边施加超声波边进行水洗净以除去表面活性剂，再在纯水中边施加超声波边洗净，除去商品水的离子和污物以提高洗净度。然后作为纯水的脱水，用IPA(2～丙醇)洗净。

此后，使用实施例6和实施例7所得的馏分和共沸类似物组合物作为精加工用的干燥液，在该干燥液中浸渍洗净物、提升并干燥。在以上工序后进行洗净物的精加工检查。在此场合，将在精加工干燥中使用IPA蒸汽作为比较例。在任何实施例6和实施例7的馏分和共沸类似物组合物中都没有洗净物的劣化和在洗净物上的残渣，达到了良好的结果。

实施例9

将玻璃透镜，由聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和聚碳酸酯(PC)构成的塑料、铝制金属部件按照以下程序洗净。首先，在碱皂化剂中边施加超声波边将洗净物脱脂，然后在表面活性剂中边加超声波边再次脱脂。此后在优质水中边施加超声波边进行水洗净以除去表面活性剂，再在纯水中边施加超声波边洗净，除去优质水的离子和污物以提高洗净度。然后作为纯水的脱水，用IPA洗净。最后使用将八甲基三硅氧烷用理论段数为30段以上的蒸馏器得到的馏出液作为精加工干燥液，在此干燥液中浸渍洗净物，将其提升，然后送风干燥。

将上述本实实例所用的精加工干燥液用气相色谱分析时，十二甲基五硅氧烷为0．009％，未分析出比十二甲基五硅氧烷挥发性差的化合物。气相色谱分析的条件如下：使用商品名为GC 14A(株式会社岛津制作所)的气相色谱仪，注入温度定为260℃，检出温度定为280℃，同时由50℃至250℃以10℃／分升温，使用FID检出器OV-1毛细管柱进行。

用双筒实体显微镜实施呼气试验作为精加工干燥状态的评价。结果未辨认出污渍、残渣等，表明可进行良好的精加工干燥。

再用十二甲基五硅氧烷为0．008wt％以下，实质上不含比十二甲基五硅氧烷挥发性差的化合物的八甲基环四硅氧烷进行同样的精加工干燥，也得到良好的结果。

实施例10

将玻璃透镜、由PMMC和PC制成的塑料透镜、铝制金属部件按照以下程序洗净。首先，在碱皂化剂中边施加超声波边将洗净物脱脂，然后在表面活性剂中边施加超声波边再次脱脂。此后在优质水中边施加超声波边进行水洗净以除去表面活性剂，再在纯水中边施加超声波边洗净，除去优质水中的离子和污物以提高洗争度。然后作为纯水的脱水，用IPA洗净。最后使用将八甲基环四硅氧烷用理论段数为30段以上的蒸馏器得到的馏出液作为干燥液，在此干燥液中浸渍洗净物，将其提升，然后送风干燥。

将本实施例所用精加工干燥液用气相色谱法进行分析时，十二甲基五硅氧烷为0．009％，未分析出比十二甲基五硅氧烷挥发性差的化合物。

本实施例中也与实施例9同样，通过双筒实体显微镜和呼气试验作为精加工干燥状态的评价。结果未辨认出污渍、残渣等，表明可进行良好的精加工干燥。

实施例11

将玻璃透镜、由PMMC(聚甲基丙烯酸甲酯)和PC(聚碳酸酯)制成的塑料透镜、铝制金属部件按照以下程序洗净。首先在碱皂化剂中边施加超声波边将被洗净物脱脂洗净，然后在表面活性剂中边施加超声波边再次脱脂。此后在优质水中边施加超声波边进行水洗净以除去表面活性剂，再在纯水中边施加超声波边洗净，以除去优质水中的离子和污物以提高洗净度。然后作为纯水的脱水，用IPA洗净。在此，作为碱皂化剂使用碱性水系洗净剂的商品名为“EE-1120”(奥林帕斯光学工业株式会社)，作为表面活性剂使用水系活性剂的商品名为“EE-1100”(奥林帕斯光学工业株式会社)，并分别将它们稀释8倍使用。此外，超声波发生装置使用28KHz，600W输出功率的。洗净通道按每个槽3分钟进行，槽的构成为：碱皂化剂2槽，表面活性剂2槽，纯水3槽，IPA2槽。

而且最后将八甲基三硅氧烷使用理论段数为30段以上的蒸馏器所得到的馏出液用作漂洗液，进行浸渍、提升，然后用基本化学结构式为C₇F₁₆的全氟化碳(沸点80℃)进行蒸汽洗净。

将本实施例所用漂洗液用GC进行分析时，十二甲基五硅氧烷含量为0．009％，未分析出比十二甲基五硅氧烷更高分子的直链状硅氧烷、十二甲基环六硅氧烷和比十二甲基环六硅氧烷高分子的环状硅氧烷，以及与它们同等以上分子量的有机化合物。再有，使用GC的分析用的是商品名“GC 14A”(株式会社岛津制作所)，注入温度定为260℃，检出器温度定为280℃，由50℃至250℃以10℃／分升温，使用FID检出器、OV-1毛细管柱进行。

作为精加工干燥状态的评价，使用双筒实体显微镜实施呼气试验。结果未辨认出污渍、残渣等，可确认是良好的精加工干燥状态。

实施例12

将玻璃透镜，铝制金属部件按照以下程序洗净。首先在碱皂化剂中边施加超声波边将被洗净物脱脂，然后在表面活性剂中边施加超声波边再次脱脂。此后在优质水中边施加超声波边进行水洗净以除去表面活性剂，再在纯水中边施加超声波边洗净，以除去优质水的离子和污物程高洗净度。然后作为纯水的脱水，用IPA洗净。这些处理按照与实施例11同样的条件进行。

然后将八甲基环四硅氧烷使用理论段数为30段以上的蒸馏器得到的馏出液用作漂洗液，进行浸渍、提升，然后用基本结构式为C₈F₁₈的全氟化碳(沸点102℃)进行蒸气洗净。

将本实施例所用的漂洗液用GC进行分析时，十二甲基五硅氧烷的含量为0．009％，比十二甲基硅氧烷高分子的直链状硅氧烷，十二甲基环六硅氧烷和比十二甲基环六硅氧烷高分子的环状硅氧烷，以及与它们同等以上分子量的化合物未被发现。再有，用GC的分析条件与实施例11相同。作为糟加工状态的评价与实施例11相同，使用双筒实体显微镜实施呼气试验。结果未辨认出污渍、残渣等，可确认是良好的精加工干燥状态。

实施例13

将玻璃透镜、由PMMC和PC制成的塑料透镜、铝制金属部件按照以下的程序洗净。首先在碱皂化剂中边施加超声波边脱脂，然后在表面活性剂中边施加超声波边脱脂。此后在优质水中边施加超声波边进行水洗净以除去表面活性剂，再在纯水中边施加超声波边洗净，以除去优质水中的离子和污物以提高洗净度。然后作为纯水的脱水，用IPA洗净。这些处理在与实施例11相同的条件下进行。

然后将十甲基四硅氧烷使用30段以上理论段数的蒸馏器所得到的馏出液用作漂洗液，进行浸渍、提升，然后用基本化学结构式为C₆F₁₄的全氟化碳(沸点56℃)进行蒸汽洗净。

将本实施例所用的漂洗液用GC进行分析时，十二甲基五硅氧烷的含有率为0．008wt％，未分析出比十二甲基五硅氧烷高分子的直链状硅氧烷、十二甲基环六硅氧烷和比十二甲基环六硅氧烷高分子的环状硅氧烷、以及与它们同等以上分子量的有机化合物。再有，使用GC的分析条件与实施例11相同。作为精加工干燥状态的评价，与实施例11同样使用双筒实体显微镜并实施呼气试验。结果未辨认出污渍、残渣等，可确认是良好的干燥状态。

再有，实施例11，12，13中所用的蒸汽洗净前的低分子硅氧烷，由于设定十二甲基五硅氧烷的含有率为小于0．001wt％，并且实质上除去了比十二甲五硅氧还高分子的直链状硅氧烷、十二甲基环六硅氧烷和比十二甲基六硅氧烷高分子的环状硅氧烷，所以在将被洗净物进行蒸汽干燥之际，附着的低分子硅氧烷和蒸汽洗净剂的全氟化碳的相溶性良好，进行良好的置换，使精加工干燥成为良好。

此外在以上实施例11、12、13中可使用六甲基二硅氧烷。由于该六甲基二硅氧烷挥发性良好，所以可单独使用，但可作为洗净和干燥系统一环列，入使用全氟化碳的蒸汽洗净中。

(侵蚀性评价)

以下评价以上实施例9-13所用低分子硅氧烷对被洗净物材质的塑料的影响。此项评价通过将分别用丙烯基树脂(PMMA)、加入玻璃填料的聚碳酸酯(PC)、聚丙烯树脂(PP)、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS)制成的试片(5×50×2mm)放入玻璃瓶内，用实施例9-13的低分子硅氧烷液充满，在常温常湿下放置48小时，取出后研究重量变化和外观变化来进行。作为比较例，使用氟里昂113(ダィキン工业株式会社)和IPA，并进行同样检查。将结果示于表7。在同表中，“○”表示重量变化不足1％，“△”表示重量变化在1％以上但没有外观变化，“×”表示重量变化在1％以上且有裂缝等外观变化。

表7

	PMMA	PC	PP	ABS
					实施例9	○	○	○	○
实施例10	○	○	○	○
					实施例11	○	○	○	○
实施例12	○	○	○	○
					实施例13	○	○	○	○
IPA	×	×	×	×
					氟里昂113	○	○	△	○

实施例14

图1示出不用IPA蒸汽干燥但仍进行干燥的实施例的流程图，在干燥中使用对低分子硅氧烷等非水系溶剂的浸渍。

在同图的洗净工序中，用洗剂除去附着在由透镜等光学部件上的切削油、指纹等有机物污物或氧化铈、尘土等无机物污物。在漂洗工序中，用优质水或纯水将洗剂洗去。在脱水工序中，用IPA置换附着在洗净物上的水。在干燥工作中，将被洗净物浸渍在非水系溶剂中用非水系溶剂置换IPA。提升后用清净的空气作温风干燥，或者进行使用减压状态下的蒸气的干燥以完成洗净。

温风干燥在将脱水工序中所用IPA于低分子硅氧烷等非水系溶剂中浸渍之后进行。也就是说，对于以在低分子硅氧烷中浸渍过的透镜、棱镜等光学部件为首的被洗净物，或是将通过纸滤器的清净空气(80℃)进行送风，或是使被洗净物在清净空气的气氛内通过，以将低分子硅氧烷气化。

减压状态下的蒸汽干燥是在减压的密闭气氛内将低分子硅氧烷以蒸汽形态导入进行干燥。这种减压状态下的蒸汽干燥如下述实施例15中所说明的那样，在封闭系统中进行。作为在减压状态下的蒸汽干燥中所用的低分子硅氧烷是八甲基三硅氧烷、六甲基二硅氧烷、八甲基环四硅氧烷等，通过将这些市售品蒸馏、精制，制成99．9％以上高纯度使用。这些低分子硅氧烷因为其自身具有脱脂力，所以不仅可在与干燥的同时高品位地洗净，而且仅进行减压状态下的蒸汽干燥就可除去轻微的污物和油的附着。

图2和图3示出了本实施例干燥工序所用低分子硅氧烷等非水系溶剂的再生装置。

图2中，11是洗净槽，由内槽和外槽组成，在外槽13的外侧底部中央设有超声波发生器14。外槽13由于接住了由内槽12溢出的低分子硅氧烷等非水性溶剂，所以在内槽12的外槽13间隙中的外槽13的底部，接续着非水系溶剂15的回收导管16。回收导管16接到分离槽17的下部，其前端构成非水系溶剂排出管18，延伸到分离槽17内。在分离槽17内，非水系溶剂15和由水构成的分离液19因其比重差呈上下分离的状态存留。非水系溶剂排出管18配置在分离槽17下方存留分离液19的收容部位，为使回收导管16回收的非水系溶剂15中所含的IPA在分离液19中有效溶解，开有多个放出孔20(参看图3)

在收纳非水系15的分离槽17上侧面处，接有再生循环管21，另一端由外槽13的底部接在内槽12的底部。再生液循环管21内的途中配置泵22和过滤器23，使非水系溶剂15沿洗净槽11→分离槽17→洗净槽11的路线循环。过滤器23是为除去液中的微粒子。分离槽17设有上盖24，在上盖24上，安装着作为非水系溶剂15液面测量用传感器的浮动开关25和与新的非水系统剂15的补给槽26连通的补给管道27。在补给管道27中设有阀28，通过浮动开关一旦测得非水系溶剂15的液面降低时，便开启阀28，通过浮动开关25一旦测得非水系溶剂15的液面降低时，便开启阀28，使非水系溶剂15的新液由补给槽26供给分离槽17。在分离槽给管29与图中未示出的纯水供给装置连接，分离液排出管30与图中未示出的排水贮藏罐连接。在分离液供给管29和分离液排出管30中分别设有阀31和阀32，分离液19可不受约束地共给和排出。并且在分离槽17内，通过分离液供给管道29由纯水供给装置供给的水存留二分之一程度作为分离液。

在以上构成的再生装置中，在前步工序的脱水工序中与水置换的附着在洗净物上的IPA，通过在洗净槽11的内槽12的非水系溶剂15中浸渍而溶解混入非水系溶剂15，从而由被洗净物上去除。由内槽12上部溢出流入外槽13内的混入IPA的非水系溶剂15，通过回收管路16由非水系溶剂排出管18的放出孔20放出到分离液19中。该分离液19由于与非水系溶剂15相比与IPA的相溶性高，所以在经过分配干衡非水系溶剂15通过分离液19之中到达上面的期间，非水系溶剂15中的IPA溶解到分离液19中，而再生的非水系溶剂15的液层则上浮到分离液19之上。

此外，因为放出孔20尺小，所以由放出孔20放出的非水系溶剂15成为小的粒子在分离液19中上浮。在此上浮过程中非水系溶剂和分离液的接触面积增大，非水系溶剂中的IPA以良好的效率被吸收到分离液中。

分离槽17上层的非水系溶剂15通过再生液循环管道21由洗净槽11的底部供入内槽12内。另一方面，混入IPA的分离液19通过分离液排出管道30定期排出排到贮藏罐内，与此同时将分离液19由纯水供给装置通入供给，从而将分离槽17的分离液19的液面高度维持一定，并将混入的IPA浓度维持在一定值以下。

使用这种再生装置，将再生的非水系溶剂15中的IPA浓度通过气相色谱法分析的结果可确认：将在不使用再生装置连续洗净场合下IPA浓度逐渐增大的非水系溶剂，通过用再生装置保持IPA浓度不足1％。

表8示出作为本实施例14的非水系溶剂选样六甲基二硅氧烷，与IPA蒸汽作比较的情况下的安全性。另外使用八甲基三硅氧烷、八甲基环四硅氧烷的场合，也全都可得到同样的效果。

表8

被洗净物	耐药品性		毒性
					六甲基二硅氧烷	IPA蒸气	六甲基二硅氧烷	IPA蒸气
	光学玻璃	无变化	无变化	无<不含有毒物>	有毒性<若连续吸入有危险>
塑料透镜<PMMA><PC>	无变化无变化	腐蚀腐蚀
铝	无变化	无变化

图4表示将非水系溶剂再生的另一再生装置。

在同图中，为干燥被洗净物所使用的非水系溶剂的填充干燥槽51设置了溢出槽60，分离槽52通过管道连接在该溢出槽60上。分离槽52通过隔离板73、74隔离构成由第1槽52a、第2槽52b和第3槽52c组成的三槽构造。这些槽按第1槽52a、第2槽52b，第3槽52c的顺序阶段地变低，成为低槽接纳由高槽溢出的非水系溶剂的样式。第1槽52a将非水系溶剂与混入该溶剂中的亲水性溶剂进行分离，在其内部充填作为分离液的纯水77。来自溢出槽60的非系溶剂由设在该第1槽52a下部部分的液体入口72供入第1槽52a内。在这样的第1槽52a的内部设有多个分离板71。该多个分离板相互对向，同时以倾斜的状态设于第1槽的内部，由液体入口72供入的非水系溶剂78因与纯水的比重差沿分离板71一边上升，存在第1槽52的上部，然后溢出流入第2槽52b。

在分离槽52中的第2槽52b和52c中，为使流入各槽的非水系溶剂和馏出的非水系溶剂不相混合而进行划分的划分板61，62分别以垂直状设置。该第2槽52b和第3槽52c是将非水系溶剂78和非水系溶剂内的水分按比重差进行分离的槽。在此场合下，在第3槽52c中设有测量该槽52c上限和下限液面高度的液面传感器76，可以测出非水系溶剂比规定量多或少。再有，在各槽52a，52b，52c中设有将各自槽内的液体排除以便进行换入的排泄阀53，同时在第1槽52a的下面设排水阀59。

80是与分离槽52的第3槽52c液体出口75相连接的管道，以进行装置内液体的循环。在该管道80通过过滤器79与干燥槽51相连。57是补给新非水系溶剂的补给槽，它通过阀58连接分离槽5 2的第3槽52C的液体出口75。此外，56是按照来自液面传感器76的信号控制是否供给新的非水系溶剂的控制器，以进行补给阀58的开闭。

83和84是配置在分离槽52的第1槽52a上下部的液量传感器。作为该液量传感器83、84，使用测定第1槽52a内液体导电度的静电容量传感器等。上部的液量传感器83检测非水系溶剂78和纯水77的界面。即在第1槽52a内的纯水77的量变多、达到液量传感器83高度的场合，液量传感器83将其测出。据此排出阀59自动开启，排出纯水77。因此第1槽52a中纯水77的液置不比液量传感器83增高，用它不使纯水77由第1槽52a内溢出流入到第2槽52b内。下部的液量传感器84在由于其排出使纯水77的量减少，与非水系溶剂78的界面达到液量传感器84的场合下，将其测出。据此排出阀59自动关闭，纯水的排出停止。因而第2槽52b内的纯水量不变为一定量以下，可保持使用纯水的分离作用。再有，在第1槽52上连按供给纯水77的阀(图中省略)，为维持一定量的纯水77的而进行这种补给。

以下说明在使用粘度为1 CSt(25℃)的八甲基三硅氧烷作为非水系的低分子硅氧烷、使用IPA(以下记作醇)作为亲水性溶剂的场合下的操作。此时，在补给槽75中贮存着纯度为99．9％的新的八甲基三硅氧烷。作为洗净物，使用通过芯取加工而附着芯取油(ュシ口ン化学公司制造)的双凸透镜，将此透镜用洗剂洗净→用水漂洗→用醇脱水之后，用干燥槽51内的八甲基三硅氧烷干燥，作精加工。

经此洗净由干燥槽51溢出的八甲基三硅氧烷中的IPA浓度成为1．0wt％，通过管道由液体入口72进入分离槽52的第1槽52a。混入该醇的八甲基三硅氧烷51在预先充填于第1槽52a内的纯水77中因比重差而分离上浮。该上浮的混入醇的八甲基三硅氧烷在第1槽52a内沿斜着安装的分离板71在纯水77中上升。在此上升过程中，混入醇的八甲基三硅氧烷51中的醇组分被纯水77吸收。

若重复进行此操作时，则混入醇的八甲基三硅氧烷51中的醇被除去，低醇浓度的八甲基三硅氧烷78浮上来，此时将八甲基三硅氧烷中的醇浓度和水分量用气相色谱和卡尔-费希尔水分计测定时，所含醇浓度和水分浓度为0．7％。若上浮的八甲基三硅氧烷存量过度时，则越过第1槽52a溢出，流入第2槽52b。此流入的八甲基三硅氧烷78在进行存留的过程中，其水分进一步因比重差而被分离，水存留在槽底。一般的生产过程到第1槽52a的醇、水携入量变多，仅用第1槽不能充分除去非水系溶剂中的醇。因此将非水系溶剂导入用比重差作分离的第2槽52b，第3槽52c。

在此分离上浮的八甲基三硅氧烷78若过度存留时，则越过第2槽52b流入第3槽52C。将由第2槽流出时的醇和水相加的浓度为0．5％。这样一来，第3槽中存留着醇与水相加浓度成为0．2％的八甲基三硅氧烷78。由此进行八甲基三硅氧烷78的再生，再生后的八甲基三硅氧烷由液体出口75用泵吸升送入干燥槽51。这样在洗净槽51中可常除去贮后的醇的八甲基三硅氧烷78。再有，在因蒸发八甲基三硅氧烷的量减少白场合，由液面传感器76测出，通过控制器66开启补给槽57的补给阀58，以补给纯度99．8％的新的八甲基三硅氧烷。此外，若进入干燥槽的亲水性溶剂携入增加使全体液量增加时，由液面传感器76测知，通过控制器56开启放泄阀59，水被排出以达到适当的液量。在此处所用的八甲基三硅氧烷之外，实施例9、10所用纯度规定的也可同样使用。此外，即使六甲基二硅氧烷、八甲基三硅氧烷烷也可得到同样的效果。

实施例15

图5示出将低分子硅氧烷等非水系溶剂以蒸汽形态在减压下供给，进行被洗净物的洗净和干燥的装置。

该装置如同用双点划线所区分的那样，大致由洗净干燥装置100、回收装置200和蒸汽发生装置300构成。洗净干燥装置100进行被洗净物400的脱脂洗净或精密洗净和干燥，此外洗净→干燥也是连续进行。该洗净干燥装置100装备有通过可开闭的盖111的闭锁使内部成为密闭状态的洗净干燥槽110，在该洗净干燥槽110内，以一段或多段状态设置载置被洗净物400的承载网、架等承受件112。此外在洗净干燥槽110的侧面和底面外侧部份配置为保持规定温度的保温加热器113。通过该保温加热器的加热作用防止洗净干燥槽110内的非水系溶剂的蒸汽结露。这样的洗净干燥槽110在减压状态下用非水系溶剂的蒸汽进行被洗净物的洗净和／或干燥，设置有为将洗净干燥槽110内由减压状态退回到常压状态的泄压阀114。

回收装置200装备有分离槽120和与分离槽120相连接的罐121。分离槽120用盖20a密闭，在其内部贮存着水w。在分离槽120中设有为使该水w向分离槽120循环的循环管路122。在该循环管路122中，配设有由将来自洗净干燥槽110的非水系溶剂的蒸汽和凝结液供入分离槽120上部的水封式泵构成的真空泵123。以下沿所经路线说明这样的循环管路122，124为排水用阀，125是为滤除异物的过滤器，126是将水供给真空泵123的泵，127是为将来自真空泵123的非水系溶剂和水的混合液冷却以促进液化的冷凝器。再有，在分离槽120内设有为进行冷却的线圈状冷却管128，同时设有将通过真空泵123、冷凝器127的混合液导入水槽w内部的装料器129。这样的分离槽120通过比重差将非水系溶剂和水分离，比重小的非水系溶剂上浮到水槽w的上层。通过这样的分离，洗净干燥槽110内的非水系溶剂不论是以蒸汽形态、液体形态的哪一种都被分离槽120回收。连接在分离槽120上的罐121不仅供给经这样被分离的非水系溶剂，还为再使用的目的进行暂时的贮存，构成密封构造。

蒸汽发生装置300具有蒸汽发生槽130和加热器131。蒸汽发生槽内部贮存非水系溶剂，同时设有供入来自加热器131的高温高压水蒸汽以加热非水系溶剂的加热圈132。133是检测蒸气发生槽130内非水系溶剂液面高度的液面计，按照该液面计133的测量值进行非水系溶剂的供入。加热器131装备有热源131a ，将在其内部所设的热媒体加热。作为该加热器131，可选择电锅炉，工厂蒸汽和其它的加热机构，在图示的例子中使用电锅炉。该加热器131和温水罐134连接，在该罐134内的温水通过泵135的驱动供入加热器131内加热。经此加热温水变成水蒸气，送出到蒸汽发生槽130的加热圈132中，将该槽130内的非水系溶剂加热成为蒸汽。加热后的水蒸汽用自动汽水阀凝结成为液态，回收到温水罐134中再使用。再有，温水罐34内的温水液面用液面计137测量，供其经常按规定量贮存。

以上这样的洗净干燥装置100，回收装置200和蒸汽发生装置300按以下说明的安装管路连接，构成非水系溶剂循环的封闭系统。首先洗净干燥装置100和回收装置200通过主配管和辅助配管两个系统连接。主配管由将洗净干燥槽110的底部与回收装置200的真空泵123相连并且将经洗净干燥槽110结露的液态非水系溶剂进行排出的管路151，和将洗净干燥槽的上部和真空泵123相连，并将非水系溶剂的蒸汽进行排出的管路152构成。在这些管路151，152中设有作开闭动作的排气阀153，154，同时在管路152中设有将蒸汽冷却进行液化的冷凝器155。

另一方面，辅助管路如同双点划线所示的那样，由将洗净干燥槽110的底部与主配管的管路152的排气阀154相连的管路156，和将洗净干燥槽110的底部和回收装置200的罐121直接连接的管路159构成，在管路156中设有排气阀157和冷凝器158。这样的主配管和辅助配管按照洗净干燥槽110内的非水系溶剂的排出情况，择一的使用或同时使用。

将回收装置200和蒸汽发生装置300相连接的配管路，由回收装置200的罐121和蒸汽发生装置300的蒸汽发生槽130之间的管路160构成。在该管路160中，设有送液泵161、经过滤除去异物的过滤器162、自动阀163和逆止阀164。送液泵161根据蒸汽发生槽130的液面计133测出的信号上动作，将罐121内的非水系溶剂供入蒸汽发生槽130内。该送液泵161是这样进行控制的：在蒸气发生槽130内的非水系溶剂达到规定的下限值时则动作，另一方面，达到规定的上限值时则停止。

将蒸汽发生装置300和洗净干燥装置100相连接的配管路由连接蒸汽发生槽130和洗净干燥槽110的管路170构成，在该管路170中设有送气阀171。此外，在该路170中，送气阀172和节流阀173与送气阀171成并列的方式配置。180是设在蒸汽发生槽130和加热器131中的温度控制器，181是测出蒸气发生槽130和加热器131的压力以进行控制的压力控制器。

作为使用该装置将被洗净物4洗净、干燥的非水系溶剂，可适当选择使用低分子的直链状或环状硅氧烷化合物，萜烯等碳化氢系化合物，IPA(异丙醇)或乙醇等醇类，及其它化合物，但特别是以六甲基二硅氧烷、八甲基三硅氧烷、八甲基四硅氧烷为好。虽然这些溶剂是可燃性的，但因为装置整体构成为封闭系统，所以不向外部挥散，可安全地进行洗净或干燥。首先，在用保温加热器113将洗净干燥槽110加温的状态下，将被洗净物400安置在同槽110的承受件112上，关闭盖111进行密闭。再有，被洗净物进行表面活性剂洗净、商品水漂洗、纯水漂洗之后可采用进行IPA的置换这样的通常洗净方式，或者采用该洗净构成不最后处理的方式。

在洗净干燥槽110的密闭状态下，排气阀153和154开启，真空泵123动作，由此将洗净干燥槽110内作为减压状态。因该减压达到规定的真空度时，将排气阀153，154关闭。另一方面，蒸气发生装置300通过加热器131使蒸气发生槽130内的非水系溶剂加热，由此产生非水系溶剂的蒸汽。在此状态下开启管路170的送气阀171，172将蒸汽导入洗净干燥槽110内。供给蒸汽直到洗净干燥槽内达到规定的浓度，由此将被洗净物400用非水系溶剂的蒸汽洗净。

按规定时间进行这样的蒸汽洗净之后，关闭送气阀171，172，同时开启排气阀153，154。此时因真空泵123的起动而将洗净干燥槽内的非水系溶剂蒸汽和结露液由管路152，153，156吸引除去。此时，蒸汽由管路152的冷凝器液化。被吸引的非水系溶剂用真空泵123与水混合、残余的蒸汽由冷凝器127液化后，导入分离槽120。通过这样将洗净干燥槽110内的非水系溶剂用冷凝器155、127液化，可使非水系溶剂的回收率提高。对洗净干燥槽110的内部进行吸引后，一边关闭排气阀153，154一边开启泄压阀114导入大气，由此结束了使用蒸汽的洗净和干燥，将被洗净物400取出。

导入分离槽120的非水系溶剂通过因比重差与水分离后被回收，溢出的非水系溶剂移至罐121内。另一方面，蒸汽发生槽130内部的液面高度用液面计133测出，该液面高度达到下限值时，送液泵161驱动将非水系溶剂由罐134供入蒸汽发生槽130，对其不足的量进行补充。再有，虽然分离槽120因与水的比重差将非水系溶剂分离，但在使用IPA等醇作为非水系溶剂的场合，则是通过使用水-醇分离装置代替分离槽120进行这种分离。

这样的洗净或干燥，由于通过封闭系统进行处理，所以非水系溶剂不向外部泄出或扩散。因此非水系溶剂不污染大气和环境，使有效防止公害成为可能。此外因为在减压下进行洗净干燥，所以氧被大体上阻断，即使是可燃性的非水系溶剂也提高了安全性，同时由于可进行低温洗净干燥，所以也可以减轻对被洗净物的热损伤。并且因为用回收装置200回收非水性溶剂循环使用，所以使得对其有效利用成为可能。而且回收的非水系溶剂在蒸汽发生槽130中进行蒸汽化的时候，因沸点不同而使其与油脂分离，所以可以纯度高的状态循环使用，能保持强力洗净力和干燥力。

本发明是使用98％以上纯度的低分子硅氧烷将被洗净物洗净和干燥，完成不侵蚀被洗净物、没有污渍、残渣的处理。此外，由于不使用氟里昂，所以也不被坏臭氧层。

Claims (9)

1．一种洗净及干燥方法，该方法其特征在于将由选自六甲基二硅氧烷，八甲基三硅氧烷和八甲基环四硅氧烷中的至少一种的，十二甲基五硅氧烷的含量不足0．01％重量，并且不含有比十二甲基五硅氧烷挥发性差的化合物的低分子硅氧烷单独组成的组合物，以蒸汽状态通入减压的密闭气氛中，洗净及干燥被洗净物。

2．一种洗净及干燥方法，其特征在于该方法包括以下步骤：

将含有六甲基二硅氧烷，八甲基三硅氧烷和八甲基环四硅氧烷中的至少一种，十二甲基五硅氧烷的含量不足0．01％重量，并且实质上不含有比十二甲基五硅氧烷挥发性差的化合物的低分子硅氧烷蓄积在洗净槽内，

然后将被洗净物浸渍在该洗净槽内，进行将从上述浸渍被洗净物的洗净槽导出的低分子硅氧烷与水或纯水相接触，提高低分子硅氧烷的纯度的再生操作，再将再生的低分子硅氧烷供入上述洗净槽中，

用含有再生的低分子硅氧烷的上述洗净槽内的低分子硅氧烷对被洗净物进行洗净和干燥。

3．一种洗净及干燥方法，其特征在于具有如下步骤：

用洗剂除去被洗净物上附着的污物的步骤；

用水冲洗上述被洗净物上附着的所说的洗剂的步骤；

用亲水性溶剂置换上述被洗净物上附着的水的步骤；

将上述被洗净物上附着的所说的亲水性溶剂浸渍到非水系溶剂中，用该非水系溶剂置换的步骤；

将被洗净物取出后，在清净的气氛中使上述非水系溶剂气化，进行干燥的步骤；

将上述浸渍附着有亲水性溶剂的被洗净物的非水系溶剂放入分离液中，用该分离液将非水系溶剂和亲水性溶剂分离后，将分离后的非水系溶剂作为浸渍上述被洗净物的非水系溶剂供入的步骤。

4．如权利要求3所述的洗净及干燥方法，其特征在于所说的亲水性溶剂为IPA，所说的非水系溶剂为六甲基二硅氧烷、八甲基三硅氧烷和八甲基环四硅氧烷中的至少一种。

5．一种洗净及干燥方法，其特征在于该方法具有以下步骤：

用洗剂除去附着在被洗净物上的污物的步骤；

用水冲洗附着在上述被洗净物上的所说洗剂的步骤；

用亲水性溶剂置换附着在上述被洗净物上的所说的水的步骤；

将除去所说的水之后的被洗净物放入洗净干燥槽内进行密闭，然后使其处于减压状态的步骤；

向处于减压状态下的上述洗净干燥槽内通入非水系溶剂的蒸汽，用该蒸汽洗净槽内被洗净物的步骤；

用蒸汽进行洗净后向上述洗净干燥槽内通入大气，然后从洗净干燥槽内取出被洗净物的步骤。

6．如权利要求5中所述的方法，其特征在于所说的亲水性溶剂为IPA，所说的非水系溶剂为六甲基二硅氧烷，八甲基三硅氧烷及八甲环四硅氧烷中的至少一种。

7．如权利要求5中所述的方法，该方法还具有在上述洗净干燥槽内用蒸汽洗净被洗净物之后，通过将洗净干燥槽内的蒸汽和结露液吸引除去，使其液化进行回收的步骤。

8．一种洗净及干燥方法，其特征在于在洗净干燥被洗净物的方法中，其特征在于具有如下步骤：

将被洗净物在洗净之前放入洗净干燥槽内密闭，然后使其处于减压状态的步骤；

向处于减压状态下的上述洗净干燥槽内通入非水系溶剂的蒸汽，用该蒸汽洗净其中的被洗净物的步骤；

蒸汽洗净进行一定时间后，吸引并除去上述洗净干燥槽内的非水系溶剂的蒸汽和结露液的步骤；

然后向上述洗净干燥槽内通入大气，从上述洗净干燥槽内取出被洗净物的步骤。

9．如权利要求8所述的洗净及干燥方法，其特征在于所说的非水系溶剂为八甲基三硅氧烷，六甲基二硅氧烷和八甲基环四硅氧烷中的至少一种的，纯度为99．9％或以上的低分子硅氧烷。

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