JP5790075B2 - 電界効果トランジスタの製造方法及びそれに用いる製造装置 - Google Patents
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Description
工程(1) 円筒形状の版保持機構を回転させ、事前にチルト角又は印加圧力のうち少なくともいずれかを調整したドクターブレードにより版の画線部に相当する溝構造部に前記薬液を充填する工程。
工程(2) 転写シリンダーと前記版を接触させ、前記溝構造部に充填された前記薬液を前記転写シリンダーへ転移させる工程。
工程(3) 光学式カメラにより前記基板に形成されたアライメントマークの位置を検出し、アライメント調整機構により前記転写シリンダーと前記基板の位置を調整する工程。
工程(4) 前記基板と前記転写シリンダーを接触させ、平板状の基板保持機構を前記版保持機構の延在方向と直角となる方向に対して往復移動させ、前記転写シリンダー上の薬液を前記基板の所定の位置へ転写し、機能性膜の形成を行う工程。
図1は本発明の実施の形態による半導体装置を示す側面図である。
画線部に相当する溝構造部を有する版の溝構造部へドクターブレードによって機能性材料が溶媒へ溶解もしくは分散した薬液を供給する[図2(a)]。
[工程2]
転写シリンダーと版を接触させ、版の溝構造部の薬液を転写シリンダーへ転移させる[図2(b)]。
[工程3]
転写シリンダー上の薬液を電界効果トランジスタ基板の所定の位置へ転写し、機能性膜の形成を行う[図2(c)]。
111 ゲート電極
112 キャパシタ電極
121 ゲート絶縁膜
122 層間絶縁膜
131 ソース電極
132 ドレイン電極
141 半導体層
200 エラストマー
300 転写シリンダー
400 版
401 ドクターブレード
402 ドクターブレード保持機構
500 版保持機構
600 薬液
601 薬液画像部
700 基板支持機構
800 光学式カメラ
900 アライメント調整機構
Claims (3)
- ゲート電極、ソース電極、ドレイン電極、バス配線、ゲート絶縁膜、層間絶縁膜、及び半導体層を構成する各機能性材料が溶媒へ溶解もしくは分散した薬液の全部もしくは一部を、グラビアオフセット印刷法により基板上に機能性膜として形成する電界効果トランジスタの製造装置であって、
溝構造部を有する版と、
前記版を保持する版保持機構と、
前記薬液を前記溝構造部に充填するドクターブレードと、
前記ドクターブレードの保持と、チルト角の調整もしくは印加圧力の調整の少なくともいずれかを行うドクターブレード保持機構と、
最表面がエラストマーで構成される転写シリンダーと、
前記基板を保持する基板保持機構と、
前記基板のアライメントマークを観察する光学式カメラと、
前記アライメントマークの位置情報を元に前記基板のアライメントを行うアライメント調整機構と、を有し、
前記版保持機構と前記基板保持機構の間に前記転写シリンダーを挟んだ構成であり、
前記版と前記版保持機構及び前記転写シリンダーが円筒形状、且つ、前記基板保持機構が平板状であり、
前記版保持機構は回転運動ができ、
前記基板保持機構は前記版保持機構の延在方向と直角となる方向に対して往復移動ができ、
前記ドクターブレード保持機構、前記版保持機構、前記転写シリンダーは上下方向に往復移動ができることを特徴とする電界効果トランジスタの製造装置。 - 前記エラストマーがシリコーンゴムもしくはフッ素ゴムで構成されていることを特徴とする請求項1に記載の電界効果トランジスタの製造装置。
- ゲート電極、ソース電極、ドレイン電極、バス配線、ゲート絶縁膜、層間絶縁膜、及び半導体層を構成する各機能性材料が溶媒へ溶解もしくは分散した薬液の全部もしくは一部を、グラビアオフセット印刷法により基板上に機能性膜として形成する電界効果トランジスタの製造方法であって、
以下の工程(1)から(4)よりなる印刷工程により前記基板上へ前記機能性膜の形成を行うことを特徴とする電界効果トランジスタの製造方法。
工程(1) 円筒形状の版保持機構を回転させ、事前にチルト角又は印加圧力のうち少なくともいずれかを調整したドクターブレードにより版の画線部に相当する溝構造部に前記薬液を充填する工程。
工程(2) 転写シリンダーと前記版を接触させ、前記溝構造部の薬液を前記転写シリンダーへ転移させる工程。
工程(3) 光学式カメラにより前記基板に形成されたアライメントマークの位置を検出し、アライメント調整機構により前記転写シリンダーと前記基板の位置を調整する工程。
工程(4) 前記基板と前記転写シリンダーを接触させ、平板状の基板保持機構を前記版保持機構の延在方向と直角となる方向に対して往復移動させ、前記転写シリンダー上の薬液を前記基板の所定の位置へ転写し、機能性膜の形成を行う工程。
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