JP5786214B2 - 単結晶cvd合成ダイヤモンド材料 - Google Patents
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- C23C16/27—Diamond only
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B21/00—Unidirectional solidification of eutectic materials
- C30B21/02—Unidirectional solidification of eutectic materials by normal casting or gradient freezing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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-
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- C30B25/02—Epitaxial-layer growth
-
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-
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-
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Description
窒素空孔欠陥の存在に加えて、中性の欠陥を或る特定の量子スピン欠陥用途に適した負に帯電した状態の欠陥に変換するには電子ドナー種が必要である。この点に関し、単置換型窒素欠陥は、通常、電子供与種として機能する。したがって、高濃度の単置換型窒素及び相当に高い濃度の窒素空孔欠陥を含むCVD合成ダイヤモンド材料の層は、単置換型窒素が電荷を窒素空孔欠陥に供与して量子検出及び処理用途に適したNV-欠陥を形成することができるという点で、有利であると言える。
5ppm以上の成長させたままの窒素の総濃度と、
欠陥の一様な分布状態とを有し、欠陥の一様な分布状態は、以下の特徴のうちの1つ又は2つ以上によって定められ、当該特徴は、次の通りであり、即ち、
(i)総窒素濃度は、10μm以下の分析領域を用いて50×50μm以上の面積にわたり二次イオン質量分析法(SIMS)によってマップされると、平均総窒素濃度値の30%未満のポイントツーポイントばらつきを有し、或いは、60μm以下の分析領域を用いて200×200μm以上の面積にわたりSIMSによってマップされると、平均総窒素濃度値の30%未満のポイントツーポイントばらつきを有すること、
(ii)成長させたままの窒素空孔欠陥(NV)濃度が77K・UV可視吸収率測定を用いて測定して50ppb以上であり、窒素空孔欠陥は、50mW連続波レーザを用いて室温で10μm以下のスポットサイズの514nmレーザ励起源を用いて励起され、そして10μm未満のデータ間隔で50×50μm以上の面積にわたってマップされると、低ポイントツーポイントばらつきが生じるよう合成単結晶CVDダイヤモンド材料中に一様に分布し、高フォトルミネッセンス強度の領域と低フォトルミネッセンス強度の領域との窒素空孔フォトルミネッセンスピークの強度面積比は、575nmフォトルミネッセンスピーク(NV0)か637nmフォトルミネッセンスピーク(NV-)かのいずれかについて2倍未満であること、
(iii)ラマン強度のばらつきが、50mW連続波レーザを用いて室温で10μm以下のスポットサイズの514nmレーザ励起源を用いて励起され(その結果、552.4nmでのラマンピークが生じ)、そして10μm未満のデータ間隔で50×50μm以上の面積にわたってマップされると、低ポイントツーポイントばらつきが生じるようなものであり、低ラマン強度の領域と高ラマン強度の領域とのラマンピーク面積の比が1.25倍未満であること、
(iv)成長させたままの窒素空孔欠陥(NV)濃度が77K・UV可視吸収率測定を用いて測定して50ppb以上であり、50mW連続波レーザを用いて77Kで10μm以下のスポットサイズの514nmレーザ励起源を用いて励起されると、552.4nmでのラマン強度の120倍超のNV0に対応した575nmでの強度及び/又は552.4nmでのラマン強度の200倍超のNV-に対応した637nmでの強度が与えられること、
(v)単置換型窒素欠陥(Ns)濃度が5ppm以上であり、単置換型窒素欠陥は、1344cm-1赤外吸収特徴を用いると共に0.5mm2の面積よりも大きな面積をサンプリングすることによって、平均値で標準偏差を除算することによって導き出されるばらつきが80%未満であるように合成単結晶CVDダイヤモンド材料中に一様に分布すること、
(vi)平均値で除算された標準偏差により求められる赤色ルミネッセンス強度のばらつきが15%未満であること、
(vii)中性単置換型窒素濃度の平均標準偏差が80%未満であること、
(viii)50を超える平均濃淡値を含む顕微鏡画像からのヒストグラムを用いて測定した色の強度が存在し、色強度は、濃淡値平均で除算した濃淡値標準偏差により特徴付けられる灰色のばらつきが40%未満であるように単結晶CVD合成ダイヤモンド材料中で一様であることであることを特徴とする単結晶CVD合成ダイヤモンド材料が提供される。
・総窒素濃度は、7ppm以上、10ppm以上、15ppm以上、20ppm以上、30ppm以上、50ppm以上、75ppm以上、100ppm以上、150ppm以上、200ppm以上又は300ppm以上である。
・単置換型窒素欠陥(Ns)濃度は、7ppm以上、10ppm以上、15ppm以上、20ppm以上、30ppm以上、50ppm以上、75ppm以上、100ppm以上、150ppm以上、200ppm以上又は300ppm以上である。
・成長させたままの窒素空孔欠陥(NV-)濃度は、120ppb以上、140ppb以上、160ppb以上、180ppb以上、200ppb以上、250ppb以上、300ppb以上、400ppb以上、500ppb以上、1000ppb以上又は5000ppb以上である。
・200μm以上、500μm以上、1mm以上、1.5mm以上、2.0mm以上、3.0mm以上又は5.0mm以上の最も長い寸法、
・上述の1つ又は2つ以上の特徴が当てはまる0.01mm3以上、0.05mm3以上、0.1mm3以上、0.5mm3以上、1.0mm3以上、3.0mm3以上、6.0mm3以上、9.0mm3以上又は15.0mm3以上の体積、及び
・200μm超、500μm超、1mm超、1.5mm超、2.0mm超、3.0mm超又は5.0mm超の総厚さのうちの1つ又は2つ以上を有するのが良い。
水素、炭素源ガス、窒素源ガス及びオプションとして酸素源ガスを含むCVD合成雰囲気を生じさせるステップを含み、CVD合成雰囲気は、全ガス組成に対し0.1%から3%まで、0.1%から2%まで、0.1%から1%まで又は0.2%から0.8%までの範囲の原子濃度の窒素を含み、
支持基板に取り付けられた単結晶ダイヤモンド基板上で単結晶CVDダイヤモンド材料を成長させるステップを含み、
支持基板の温度を制御して成長プロセス中、任意所与の時点における支持基板全体における温度のばらつきが標的温度値から50℃未満、40℃未満、30℃未満、20℃未満、10℃未満又は5℃未満の範囲にあり、成長プロセス全体における温度のばらつきは、標的温度値から50℃未満、40℃未満、30℃未満、20℃未満、10℃未満又は5℃未満の範囲にあり、標的温度値は、1000℃から1400℃までの範囲にあるようにするステップを含み、
CVD合成雰囲気は、
全ガス組成に対して0.1%から2.0%まで、0.3%から1.7%まで、0.5%から1.5%まで、0.7%から1.3%まで又は0.8%から1.2%までの範囲にある原子濃度の炭素、及び
全ガス組成に対して5%から40%まで、10%から30%まで、10%から25%まで又は15%から20%までの範囲にある原子濃度の酸素のうちの少なくとも一方を含むことを特徴とする方法が提供される。
水素、炭素源ガス、窒素源ガス及びオプションとして酸素源ガスを含むCVD合成雰囲気を生じさせるステップを含み、CVD合成雰囲気は、全ガス組成に対し0.1%から3%まで、0.1%から2%まで、0.1%から1%まで又は0.2%から0.8%までの範囲の原子濃度の窒素を含み、
支持基板に取り付けられた単結晶ダイヤモンド基板上で単結晶CVDダイヤモンド材料を成長させるステップを含むのが良く、
CVD合成雰囲気は、
全ガス組成に対して0.1%から2.0%まで、0.3%から1.7%まで、0.5%から1.5%まで、0.7%から1.3%まで又は0.8%から1.2%までの範囲にある原子濃度の炭素、及び
全ガス組成に対して5%から40%まで、10%から30%まで、10%から25%まで又は15%から20%までの範囲にある原子濃度の酸素のうちの少なくとも一方を含む。
1000℃以上、1100℃以上、1200℃以上、1300℃以上又は1400℃以上の融点、
金、タンタル、パラジウム及び/又はチタンのうちの1つ又は2つ以上を含む組成物、
少なくとも8%、少なくとも10%、少なくとも12%又は少なくとも14%のパラジウム、
70〜90%金、8〜20%パラジウム及び1〜15%のタンタル及び/又はチタンのうちの1つ又は2つ以上を有するのが良いことが理解されよう。
水素、炭素源ガス、窒素源ガス及びオプションとして酸素源ガスを含むCVD合成雰囲気を生じさせるステップを含み、CVD合成雰囲気は、全ガス組成に対し0.1%から3%まで、0.1%から2%まで、0.1%から1%まで又は0.2%から0.8%までの範囲の原子濃度の窒素を含み、
支持基板に取り付けられた単結晶ダイヤモンド基板上で単結晶CVDダイヤモンド材料を成長させるステップを含み、
支持基板の温度を制御して成長プロセス中、任意所与の時点における支持基板全体における温度のばらつきが標的温度値から50℃未満、40℃未満、30℃未満、20℃未満、10℃未満又は5℃未満の範囲にあり、成長プロセス全体における温度のばらつきは、標的温度値から50℃未満、40℃未満、30℃未満、20℃未満、10℃未満又は5℃未満の範囲にあり、標的温度値は、1000℃から1400℃までの範囲にあるようにするステップを含み、
CVD合成雰囲気は、
全ガス組成に対して0.1%から2.0%まで、0.3%から1.7%まで、0.5%から1.5%まで、0.7%から1.3%まで又は0.8%から1.2%までの範囲にある原子濃度の炭素、及び
全ガス組成に対して5%から40%まで、10%から30%まで、10%から25%まで又は15%から20%までの範囲にある原子濃度の酸素のうちの少なくとも一方を含む。
(i)例えば、単結晶ダイヤモンド基板を支持基板にくっつけるための耐熱ろうを用いた効果的な熱管理、良好に処理された高融点金属支持基板及び適当な温度モニタ・制御システム。この結果、各単結晶CVD合成ダイヤモンド全体にわたり且つ支持基板に取り付けられた複数個の単結晶CVD合成ダイヤモンド結晶全体にわたる一様な温度勾配が得られる。耐熱ろう取り付け方法は、成長中の単結晶CVD合成ダイヤモンド材料と支持基板との良好な熱的接触をもたらす効果的で単純であり且つ費用効果の良い方法を提供する。
(ii)(a)気相中への高濃度酸素の添加(例えば、O2、CO2又はCOとして導入される)か(b)炭素源ガス濃度を下げること(例えば、CH4として導入される)かのいずれかを用いた改造高窒素/高基板温度合成化学的性質。これらの改造の両方は、非一様なドーパント/不純物取り込みを阻止することができる。
(i) 高く且つ一様な全窒素欠陥分布
(ii) Nsの高く且つ一様な分布
(iii) NVの高く且つ一様な分布
(iv) ストリエーションなし
(v) 単一のCVD合成ダイヤモンド石、単一の成長、又成長ごとに成長させた複数個のCVD合成ダイヤモンド石に関する製品の一様性
5ppm以上、7ppm以上、10ppm以上、15ppm以上、20ppm以上、30ppm以上、50ppm以上、75ppm以上、100ppm以上、150ppm以上、200ppm以上又は300ppm以上の成長させたままの窒素の総濃度と、
欠陥の一様な分布状態とを有し、欠陥の一様な分布状態は、以下の特徴のうちの1つ又は2つ以上によって定められ、当該特徴は、次の通りであり、即ち、
(i)総窒素濃度は、10μm以下の分析領域を用いて50×50μm以上の面積にわたり二次イオン質量分析法(SIMS)によってマップされると、平均総窒素濃度値の30%未満、25%未満、20%未満、15%未満、10%未満、5%未満、3%未満又は1%未満のポイントツーポイントばらつきを有し、或いは、60μm以下の分析領域を用いて200×200μm以上の面積にわたりSIMSによってマップされると、平均総窒素濃度値の30%未満、25%未満、20%未満、15%未満、10%未満、5%未満、3%未満又は1%未満のポイントツーポイントばらつきを有すること、
(ii)成長させたままの窒素空孔欠陥(NV)濃度が77K・UV可視吸収率測定を用いて測定して50ppb以上であり、窒素空孔欠陥は、50mW連続波レーザを用いて室温で10μm以下のスポットサイズの514nmレーザ励起源を用いて励起され、そして10μm未満のデータ間隔で50×50μm以上の面積にわたってマップされると、低ポイントツーポイントばらつきが生じるよう合成単結晶CVDダイヤモンド材料中に一様に分布し、高フォトルミネッセンス強度の領域と低フォトルミネッセンス強度の領域との窒素空孔フォトルミネッセンスピークの強度面積比は、575nmフォトルミネッセンスピーク(NV0)か637nmフォトルミネッセンスピーク(NV-)かのいずれかについて2.0未満、1.8未満、1.6未満、1.4未満又は1.2未満であること、
(iii)成長させたままの窒素空孔欠陥(NV)濃度が77K・UV可視吸収率測定を用いて測定して50ppb以上であり、50mW連続波レーザを用いて77Kで10μm以下のスポットサイズの514nmレーザ励起源を用いて励起されると、552.4nmでのラマン強度の120倍超、140倍超、160倍超又は180倍超のNV0に対応した575nmでの強度及び/又は552.4nmでのラマン強度の200倍超、220倍超、240倍超又は260倍超のNV-に対応した637nmでの強度が与えられること、
(iv)単置換型窒素欠陥(Ns)濃度が5ppm以上であり、単置換型窒素欠陥は、1344cm-1赤外吸収特徴を用いると共に0.5mm2の面積よりも大きな面積をサンプリングすることによって、平均値で標準偏差を除算することによって導き出されるばらつきが80%未満、60%未満、40%未満、20%未満又は10%未満であるように合成単結晶CVDダイヤモンド材料中に一様に分布すること、
(v)平均値で除算された標準偏差により求められる赤色ルミネッセンス強度のばらつきが15%未満、10%未満、8%未満、6%未満又は4%未満、であること、
(vi)中性単置換型窒素濃度の平均標準偏差が80%未満、60%未満、40%未満、20%未満又は10%未満であること、
(vii)50を超える平均濃淡値を含む顕微鏡画像からのヒストグラムを用いて測定した色の強度が存在し、色強度は、濃淡値平均で除算した濃淡値標準偏差により特徴付けられる灰色のばらつきが40%未満、30%未満、20%未満、10%未満又は5%未満(例えば、指定したポイントツーポイントばらつきにより200×200×200μm以上の体積にわたり測定して)であるように単結晶CVD合成ダイヤモンド材料中で一様であることである。
上述の特徴のうちの1つ又は2つ以上が当てはまる200μm以上、500μm以上、1mm以上、1.5mm以上、2.0mm以上、3.0mm以上又は5.0mm以上の最も長い寸法、
上述の特徴のうちの1つ又は2つ以上が当てはまる0.01mm3以上、0.05mm3以上、0.1mm3以上、0.5mm3以上、1.0mm3以上、3.0mm3以上、6.0mm3以上、9.0mm3以上又は15.0mm3以上の体積、及び
上述の特徴のうちの1つ又は2つ以上が当てはまる200μm未満、500μm未満、1mm未満、1.5mm未満、2.0mm未満若しくは1.0mm未満又は200μm超、500μm超、1mm超、1.5mm超、2.0mm超、3.0mm超又は5.0mm超の総厚さである。
(i) 一様な量子検出及び処理能力を備えた材料
(ii) 光学フィルタリング用途のための一様な光吸収率を有する材料
(iii) 機械的用途のための一様な耐摩耗性を備えた材料
(iv) 高品質着色宝石を形成するための成長後照射及び/又はアニーリング処理に適した一様な色を有する材料
(v) 高い成長速度(例えば、30μm/時を超える)
上述のCVD反応器及び基板構成を利用して、種々の濃度の酸素含有源ガス及び種々の濃度の炭素源ガスをCVD合成雰囲気中に用いて高窒素/高基板温度条件下において単結晶CVDダイヤモンド材料を成長させた。
Channels)」指令を「イメージ・メニュー(Image menu)」の下で「カラー(Color)」サブメニューから選択することによって画像の赤色成分、緑色成分及び青色成分を分割した。ルミネッセンスの主要な色は、赤色だったので(NV中心がほとんどルミネッセンスに寄与し、これら中心が赤色/橙色に発光していることにより)、赤色画像成分を分析すると共に緑色及び青色成分を捨てることが最も賢明であると考えられた。次に、赤色成分から、選択した長方形を各CVD層から取り出し、測定に影響を及ぼす恐れのあるサンプル表面、基板及び対になった又は含まれた領域の採用を回避した。この長方形は、0.3mm2よりも広く又は好ましくは0.6mm2よりも広く或いはより好ましくは1.0mm2よりも広いことが必要であることに注目されたい。「分析(Analyse)」をクリックし、次に「ヒストグラム(Histogram)」をクリックすると、以下のヒストグラム及び統計学的パラメータが明らかになった。
Claims (21)
- 単結晶CVD合成ダイヤモンド材料であって、
成長中、直接形成された窒素空孔欠陥を有する前記単結晶CVD合成ダイヤモンド材料中の総窒素濃度が5ppm以上であり、
以下の特徴のうちの1つ又は2つ以上によって定められる欠陥の一様な分布状態を有し、当該特徴は、
(i)前記総窒素濃度は、10μm以下の分析領域を用いて50×50μm以上の面積にわたり二次イオン質量分析法(SIMS)によってマップされたとき、2点間のばらつきが平均総窒素濃度値の30%未満であり、或いは、60μm以下の分析領域を用いて200×200μm以上の面積にわたりSIMSによってマップされたとき、2点間のばらつきが平均総窒素濃度値の30%未満であること、
(ii)成長により形成された窒素空孔欠陥(NV)濃度が77K・UV可視吸収率測定を用いて測定して50ppb以上であって、前記窒素空孔欠陥は、50mW連続波レーザを用いて室温で10μm以下のスポットサイズの514nmレーザ励起源を用いて励起され、10μm未満のデータ間隔で50×50μm以上の面積にわたってマップされたとき、高フォトルミネッセンス強度の領域と低フォトルミネッセンス強度の領域との窒素空孔フォトルミネッセンスピークの強度面積比が、575nmフォトルミネッセンスピーク(NV0)又は637nmフォトルミネッセンスピーク(NV-)のいずれかについて2倍未満である低い2点間のばらつきが生じるよう合成単結晶CVDダイヤモンド材料中に一様に分布すること、
(iii)ラマン強度のばらつきが、50mW連続波レーザを用いて室温で10μm以下のスポットサイズの514nmレーザ励起源を用いて励起され(その結果、552.4nmでのラマンピークが生じ)、10μm未満のデータ間隔で50×50μm以上の面積にわたってマップされたとき、低ラマン強度の領域と高ラマン強度の領域とのラマンピーク面積の比が1.25倍未満である低い2点間のばらつきが生じること、
(iv)成長により形成された窒素空孔欠陥(NV)濃度が77K・UV可視吸収率測定を用いて測定して50ppb以上であり、50mW連続波レーザを用いて77Kで10μm以下のスポットサイズの514nmレーザ励起源を用いて励起されたとき、NV 0 に対応した575nmでの強度が552.4nmでのラマン強度の120倍超であること、及び/又はNV - に対応した637nmでの強度が552.4nmでのラマン強度の200倍超であること、
(v)単置換型窒素欠陥(Ns)濃度が5ppm以上であり、1344cm-1赤外吸収特徴を用い、0.5mm2 よりも大きな面積をサンプリングしたとき、前記平均値で標準偏差を除算することにより導き出されるばらつきが80%未満であるように、前記単置換型窒素欠陥が前記合成単結晶CVDダイヤモンド材料中に一様に分布すること、
(vi)平均値で除算された標準偏差により求められる赤色ルミネッセンス強度のばらつきが15%未満であること、
(vii)中性単置換型窒素濃度の平均標準偏差が80%未満であること、
(viii)50を超える平均濃淡値を含む顕微鏡画像からヒストグラムを用いて測定した色の強度が、前記濃淡値平均で除算した濃淡値標準偏差により特徴付けられる灰色のばらつきが40%未満であるように、前記単結晶CVD合成ダイヤモンド材料中で一様であることである、単結晶CVD合成ダイヤモンド材料。 - 前記単結晶CVD合成ダイヤモンド材料は、前記特徴のうちの2つ、3つ、4つ、5つ、6つ、7つ又は8つ全てを有する、請求項1記載の単結晶CVD合成ダイヤモンド材料。
- 前記総窒素濃度は、10μm以下として定義された分析領域を用いて50×50μm以上の面積にわたり二次イオン質量分析法(SIMS)によってマップされたとき、2点間のばらつきが平均窒素濃度値の15%未満である、請求項1又は2記載の単結晶CVD合成ダイヤモンド材料。
- 前記窒素空孔欠陥からのルミネッセンスは、10μm以下として定義された分析領域を用いて50×50μm以上の面積にわたりマップされたとき、高PL強度の領域と低PL強度の領域の強度比が1.6未満であるような2点間のばらつきを有する、請求項1〜3のうちいずれか一に記載の単結晶CVD合成ダイヤモンド材料。
- 575nmにおける前記NV0ルミネッセンスは、552.4nmでの前記ラマン強度の160倍を超えると共に/或いは637nmにおける前記NV-ルミネッセンスは、552.4nmにおける前記ラマン強度の240倍を超える、請求項1〜4のうちいずれか一に記載の単結晶CVD合成ダイヤモンド材料。
- 前記単置換型窒素欠陥は、前記単置換型窒素欠陥からの1344cm-1赤外吸収特徴を用いると共に0.5mm2の面積よりも大きな面積をサンプリングすることによって、前記平均値で標準偏差を除算することによって導き出されるばらつきが40%未満であるように前記合成単結晶CVDダイヤモンド材料中に一様に分布する、請求項1〜5のうちいずれか一に記載の単結晶CVD合成ダイヤモンド材料。
- 前記赤色ルミネッセンスのばらつきは、8%未満である、請求項1〜6のうちいずれか一に記載の単結晶CVD合成ダイヤモンド材料。
- 前記中性単置換型窒素濃度の平均標準偏差は、40%未満である、請求項1〜7のうちいずれか一に記載の単結晶CVD合成ダイヤモンド材料。
- 前記色強度は、200×200×200μm以上の体積にわたって画像化されたとき、前記平均濃淡値で除算した前記濃淡値標準偏差により定められる2点間のばらつきが、平均色強度の20%未満である、請求項1〜8のうちいずれか一に記載の単結晶CVD合成ダイヤモンド材料。
- 前記総窒素濃度は、10ppm以上である、請求項1〜9のうちいずれか一に記載の単結晶CVD合成ダイヤモンド材料。
- 前記単置換型窒素欠陥(Ns)濃度は、10ppm以上である、請求項1〜10のうちいずれか一に記載の単結晶CVD合成ダイヤモンド材料。
- 前記成長により形成された窒素空孔欠陥(NV-)濃度は、200ppb以上である、請求項1〜11のうちいずれか一に記載の単結晶CVD合成ダイヤモンド材料。
- 1×1015原子個数・cm-3以下の珪素の濃度を有する、請求項1〜12のうちいずれか一に記載の単結晶CVD合成ダイヤモンド材料。
- 前記単結晶CVD合成ダイヤモンド材料は、1mm以上の最も長い寸法を有する、請求項1〜13のうちいずれか一に記載の単結晶CVD合成ダイヤモンド材料。
- 前記1つ又は2つ以上の特徴が当てはまる0.5mm3以上の体積を有する、請求項1〜14のうちいずれか一に記載の単結晶CVD合成ダイヤモンド材料。
- 前記単結晶CVD合成ダイヤモンド材料は、厚さが50μm未満の層の形態をしている、請求項1〜15のうちいずれか一に記載の単結晶CVD合成ダイヤモンド材料。
- 前記単結晶CVD合成ダイヤモンド材料は、厚さが1mm超の層の形態をしている、請求項1〜16のうちいずれか一に記載の単結晶CVD合成ダイヤモンド材料。
- 3×103転位数・cm-2以下の転位束密度を有する、請求項1〜17のうちいずれか一に記載の単結晶CVD合成ダイヤモンド材料。
- 5×10-6以下の複屈折性を有する、請求項1〜18のうちいずれか一に記載の単結晶CVD合成ダイヤモンド材料。
- アニールされると共に/或いは照射されている、請求項1〜19のうちいずれか一に記載の単結晶CVD合成ダイヤモンド材料。
- 前記単結晶CVD合成ダイヤモンド材料は、次の色、即ち、桃色、黄色、緑色、橙色、赤色、紫色のうちの1つ又は2つ以上を有する、請求項1〜20のうちいずれか一に記載の単結晶CVD合成ダイヤモンド材料。
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