JP4869196B2 - 回転式拡散装置および光電変換装置の製造方法 - Google Patents
回転式拡散装置および光電変換装置の製造方法 Download PDFInfo
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Description
12・・・拡散管
13・・・結晶シリコン粒子
14・・・チャッキング部
21・・・結晶シリコン粒子
22・・・導電性基板
23・・・接合層
24・・・絶縁物質
25・・・半導体層
26・・・透光性導体層
Claims (2)
- 内部に多数の第1の導電型の結晶シリコン粒子を収容するための空間を有するとともに前記空間に酸素を含む第2の導電型用の不純物ガスを導入するための入口を端部に有する筒状体が横置きされた拡散管と、前記入口を介して前記空間内に前記不純物ガスを導入するガス導入部と、前記拡散管に付加され、回転力が加わることによって前記拡散管を回転させるチャッキング部と、前記チャッキング部に前記回転力を加える駆動部とを有していることを特徴とする回転式拡散装置。
- 請求項1記載の回転式拡散装置によって第1の導電型の結晶シリコン粒子の表面に第2の導電型のシリコン層を有する結晶シリコン粒子を多数個製造する工程と、
導電性基板の一主面に、前記多数の結晶シリコン粒子を接合する工程と、
前記多数の結晶シリコン粒子の隣接するもの同士の間に絶縁物質を介在させる工程と
を具備することを特徴とする光電変換装置の製造方法。
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