JP5785999B2 - インプリントリソグラフィ装置および方法 - Google Patents
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Description
少なくとも部分的に解放可能に基板ホルダにクランプされている基板とインプリントテンプレートを接触させて、この基板をパターニングするステップと、
インプリントテンプレートを基板と非接触にするステップと、
基板内の機械的応力が緩和されるように、基板の第1の部分を基板ホルダの対応する部分からクランプ解除するステップと、
基板の次のパターニングを実施するステップとを含む。
解放可能に基板ホルダにクランプされている基板とインプリントテンプレートを接触させて基板をパターニングするステップと、
インプリントテンプレートと基板を分離するステップと、
基板内の機械的応力が緩和されるように、基板の第1の部分を基板ホルダの対応する部分からクランプ解除するステップと、
基板の次のパターニングを実施するステップとを含む。
Claims (2)
- インプリントリソグラフィによって基板をパターニングする方法であって、
少なくとも部分的に解放可能に基板ホルダにクランプされている基板とインプリントテ
ンプレートを接触させて前記基板をパターニングするステップと、
前記インプリントテンプレートを前記基板と非接触にするステップと、
前記基板内の応力が緩和されるように、基板の第1の部分を前記基板ホルダの対応する
部分からクランプ解除し、かつ、前記基板の第2の部分を前記基板ホルダの対応する部分
にクランプし続ける、ステップであって、前記基板の前記第1の部分は前記基板の周縁に
対応し、かつ前記基板の前記第2の部分は前記基板の中央付近に対応する、ステップと、
前記基板ホルダと前記基板との間に残り得る残留摩擦力を除去するように、前記基板の
前記第2の部分を前記基板ホルダの対応する部分にクランプした状態で、前記クランプ解
除された前記基板の前記第1の部分を前記基板ホルダの対応する部分から分離するステッ
プと、
前記基板の前記第1の部分を前記基板ホルダの対応する部分に再クランプした後、前記
基板の次のパターニングを実施するステップと
を含む、方法。 - 基板のインプリントリソグラフィ用の装置であって、
基板にインプリントするために配置されるインプリントテンプレートを保持するインプ
リントテンプレートホルダと、
基板ホルダであって、少なくとも部分的に解放可能に前記基板を前記基板ホルダにクラ
ンプする基板ホルダと、
前記基板ホルダによる前記基板のクランプを制御するコントロールシステムと
を備え、
前記コントロールシステムが、
前記基板内の応力が緩和されるように、前記基板の第1の部分を前記基板ホルダの対応
する部分からクランプ解除し、かつ、前記基板の第2の部分を前記基板ホルダの対応する
部分にクランプし続けるように構成され、
前記基板ホルダと前記基板との間に残り得る残留摩擦力を除去するように、前記基板の
前記第2の部分を前記基板ホルダの対応する部分にクランプした状態で、前記クランプ解
除された前記基板の前記第1の部分を前記基板ホルダの対応する部分から分離するように
構成され、かつ、
前記基板の前記第1の部分を前記基板ホルダの対応する部分に再クランプした後、前記
基板の次のパターニングを実施するように構成され、
前記基板の前記第1の部分は前記基板の周縁に対応し、かつ前記基板の前記第2の部分は前記基板の中央付近に対応する、装置。
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