KR101056505B1 - 기판의 형상을 조절하기 위한 척킹 시스템 및 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (19)
- 기판을 보유하는 척킹 시스템에 있어서,그 사이로 연장하는 에지표면(50)을 갖는 대향하는 제1 및 제2 측면(46, 48)을 구비하는 척 본체(42; 142; 242)를 포함하고,상기 제1 측면(46)은 이격된 제1 및 제2 지지 구역(58, 60; 158, 160; 258, 260)을 구획하는 이격된 제1 및 제2 리세스(52, 54; 152, 154a, 154b; 252, 254)를 구비하고, 상기 제1 지지 구역(58; 158; 258)은 상기 제2 지지 구역(60; 160; 260)과 상기 제1 및 제2 리세스(52, 54; 152, 154a, 154b; 252, 254)를 둘러싸고, 상기 제2 지지 구역(60; 160; 260)은 상기 제2 리세스(54; 154a, 154b; 254)를 둘러싸고, 상기 제2 리세스(54; 154a, 154b; 254)와 중첩하는 상기 본체(42; 142; 242)의 부분(62)은 미리 결정된 파장을 갖는 방사선에 투명하고, 상기 부분(62)은 상기 제2 측면(48)으로부터 상기 제2 리세스(54; 154a, 154b; 254)에 근접하게 연장되고, 상기 제2 측면(48) 및 상기 에지표면(50)은 외부면을 정의하고,상기 본체(42; 142; 242)는 관통로(64); 부가의 관통로(66); 및 상기 관통로(64) 및 상기 부가의 관통로(66)와 유체 연통하는 압력 제어 시스템을 포함하고,상기 관통로(64)는 상기 본체를 통해 연장하고, 상기 제1 및 제2 리세스(52, 54; 152, 154a, 154b; 252, 254)중 하나를 상기 외부면(48, 50) 중 하나와 유체 연통하여 배치하고,상기 관통로(64) 및 상기 부가의 관통로(66)는 상기 제1 및 제2 리세스(52, 54; 152, 154a, 154b; 252, 254)의 각각을 상기 외부면(48, 50) 중 하나와 유체 연통하여 배치하고,상기 기판(26)은 상기 제1 및 제2 지지 구역(58, 60; 158, 160; 258, 260)에 지지되어 상기 제1 및 제2 리세스(52, 54; 152, 154a, 154b; 252, 254)를 덮고 상기 제1 리세스(52; 152; 252) 및 그와 중첩하는 상기 기판(26)의 부분(44a)은 제1 챔버(52a)를 구획하고, 상기 제2 리세스(54) 및 그와 중첩하는 상기 기판(26)의 부분(44b)은 제2 챔버(54a)를 구획하고, 상기 압력 제어 시스템은 상기 제1 및 제2 챔버(52a, 54a) 사이에 압력 차이를 생성하여 상기 기판(26)의 형상을 조절하도록 작동하는 척킹 시스템.
- 제1 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 지지 구역(58, 60; 158, 160; 258, 260)의 각각은 상기 기판의 표면으로부터 이격 지향하여 그와 관련된 지지면(58a, 60a; 258a, 260a)을 갖고, 상기 지지면은 상기 기판(26)의 프로파일에 대응하도록 적용된 재료로 형성되는 척킹 시스템.
- 제1 항에 있어서, 상기 제1 리세스(252)는 그로부터 연장하는 이격된 복수의 핀(242a)을 포함하는 척킹 시스템.
- 제1 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 지지 구역(58, 60; 158, 160; 258, 260)의 각각은 상기 기판의 표면으로부터 이격 지향하여 그와 관련된 지지면(58a, 60a; 258a, 260a)을 갖고,상기 지지면은 제1 방향에 횡단 방향에서의 이동에 저항하면서 상기 기판(26)의 프로파일에 대응하도록 상기 제1 방향에서 유연한 재료로 형성되며, 상기 제1 방향은 대향하는 상기 제1 및 제2 측면(46, 48) 사이로 연장하는 방향에 해당되는 척킹 시스템.
- 제1 항에 있어서, 상기 제1 리세스(152) 내에 배치되어 상기 제1 리세스(152)를 복수의 하위 챔버(152a, 152b, 152c, 152d)로 분할하도록 상기 제1 및 제2 지지 구역 사이로 연장하는 벽(142a, 142b, 142c, 142d)을 추가로 포함하는 척킹 시스템.
- 제1 항에 있어서, 상기 제1 지지 구역(58; 158; 258)은 상기 제2 지지 구역(60; 160; 260)에 대해 동심이고, 상기 제1 지지 구역(58; 158; 258)은 환형, 다각형 및 원형으로 이루어진 형상의 세트로부터 선택되는 형상을 갖는 척킹 시스템.
- 제1 항에 있어서, 대향하는 상기 제1 및 제2 측면의 형상을 만곡시키기 위해 상기 기판을 굽히도록 연결된 수단을 추가로 포함하는 척킹 시스템.
- 제1 및 제2 대향 표면(26a, 26b)을 갖는 기판의 형상을 조절하기 위한 방법에 있어서,상기 제2 대향 표면 내의 구조적 왜곡을 완화하기 위해 상기 제1 대향 표면의 상이한 구역 사이에 압력 차이를 생성하는 단계를 포함하고,상기 압력 차이를 생성하는 단계는,그 사이로 연장하는 에지표면(50)을 갖는 대향하는 제1 및 제2 측면(46, 48)을 구비하는 척 본체(42; 142; 242)를 제공하는 단계로서, 상기 제1 측면(46)은 이격된 제1 및 제2 지지 구역(58, 60; 158, 160; 258, 260)을 구획하는 이격된 제1 및 제2 리세스(52, 54; 152, 154a, 154b; 252, 254)를 구비하는, 제공 단계; 및상기 제1 및 제2 지지 구역(58, 60; 158, 160; 258, 260)에 상기 기판(26)을 지지시키고 상기 제1 및 제2 리세스(52, 54; 152, 154a, 154b; 252, 254)를 덮는 단계로서, 상기 제1 리세스(52; 152; 252) 및 그와 중첩하는 상기 기판(26)의 부분(44a)은 제1 챔버(52a)를 구획하고, 상기 제2 리세스(54) 및 그와 중첩하는 상기 기판(26)의 부분(44b)은 제2 챔버(54a)를 구획하는, 지지 및 커버 단계를 포함하고,상기 압력 차이는 상기 제1 및 제2 챔버(52a, 54a) 내의 상이한 압력 레벨을 설정함으로써 생성되는 것인 기판의 형상을 조절하기 위한 방법.
- 제8 항에 있어서, 상기 생성 단계는 소정의 미리 결정된 형상을 갖는 상기 제2 대향 표면의 하위 부분을 설정하도록 상기 구역의 제1 부분 집합에 견인력을 인가하고 상기 구역의 제2 부분 집합에 압박력을 인가하는 단계를 추가로 포함하는 방법.
- 제8 항에 있어서, 상기 상이한 구역의 잔여 구역과 관련된 견인력보다 큰 견인력을 상기 구역의 제1 부분 집합에 인가하는 단계를 추가로 포함하고, 상기 제1 부분 집합은 연속적이고 상기 기판(26)의 주연부에 근접하여 위치되는 방법.
- 제8 항에 있어서, 굽힘 작용을 유도하는 그의 치수를 변경시키도록 상기 기판(26)에 압축력을 인가하는 단계를 추가로 포함하고, 상기 생성 단계는 상기 굽힘 작용을 완화시키고 상기 제2 측면의 부분의 소정의 미리 결정된 형상을 유지하도록 견인력을 생성하는 단계를 추가로 포함하는 방법.
- 제8 항에 있어서, 상기 생성 단계는 상기 상이한 구역의 제2 부분을 둘러싸도록 상기 상이한 구역의 제1 부분을 설정하는 단계를 추가로 포함하고, 상기 제1 구역은 그에 인가된 견인력을 갖고 상기 제2 구역은 그 상부에 존재하는 압박력을 갖는 방법.
- 제8 항에 있어서, 상기 압력 차이를 생성하는 단계는 상기 제2 대향 표면에 지지된 외부 압력을 보상하기 위해 상기 압력 차이를 변경함으로써 상기 제2 대향 표면의 구조적 왜곡을 완화하는 단계를 추가로 포함하는 방법.
- 제8 항에 있어서, 상부에 패턴을 갖는 몰드(28)와 상기 패턴과 대면하여 상부에 배치된 각인층(34)을 갖는 웨이퍼(30)를 상기 제2 표면에 제공하고 상기 각인층(34)과 상기 몰드(28)를 접촉시키는 단계를 추가로 포함하고, 상기 압력 차이를 생성하는 단계는 상기 각인층(34)을 상기 몰드(28)와 접촉시킨 후에 상기 제2 챔버(54a) 내에 포지티브 압력을 설정하는 단계를 포함하는 방법.
- 제14 항에 있어서, 상기 각인층(34)으로부터 상기 몰드(28)를 분리하는 단계 및 상기 각인층으로부터 상기 몰드를 분리하기 전에 상기 제2 챔버를 진공 배기하는 단계를 추가로 포함하는 방법.
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