JP2010098310A - インプリントリソグラフィ装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 インプリントリソグラフィ装置および製造方法では、インプリントパターンが付けられる基板内に機械的応力が形成されることになる可能性がある。こうなると基板内にひずみを生じることがあり、それによって、ひずんでいる基板の一部で以前のパターンと後続のパターンとのミスアライメントを招く。残留ひずみによるこのようなミスアライメントを低減させ、最小化し、または防止するために次のパターニングの前に基板内の応力緩和を可能にする装置および方法を開示する。これは、局部的なひずみを招く機械的応力が次のパターニングの前に緩和されうるように、基板の一部分(任意選択で基板全体を含む)を基板ホルダの対応する部分から局部的にクランプ解除することによって実現される。基板と基板ホルダの間の残留摩擦力を克服するために、基板と基板ホルダは、次のパターニングの前に物理的に分離することができる。
【選択図】図4
Description
少なくとも部分的に解放可能に基板ホルダにクランプされている基板とインプリントテンプレートを接触させて、この基板をパターニングするステップと、
インプリントテンプレートを基板と非接触にするステップと、
基板内の機械的応力が緩和されるように、基板の第1の部分を基板ホルダの対応する部分からクランプ解除するステップと、
基板の次のパターニングを実施するステップとを含む。
解放可能に基板ホルダにクランプされている基板とインプリントテンプレートを接触させて基板をパターニングするステップと、
インプリントテンプレートと基板を分離するステップと、
基板内の機械的応力が緩和されるように、基板の第1の部分を基板ホルダの対応する部分からクランプ解除するステップと、
基板の次のパターニングを実施するステップとを含む。
Claims (15)
- インプリントリソグラフィによって基板をパターニングする方法であって、少なくとも部分的に解放可能に基板ホルダにクランプされている基板とインプリントテンプレートを接触させて前記基板をパターニングするステップと、前記インプリントテンプレートを前記基板と非接触にするステップと、前記基板内の応力が緩和されるように、基板の第1の部分を前記基板ホルダの対応する部分からクランプ解除するステップと、前記基板の次のパターニングを実施するステップとを含む方法。
- 前記基板の第1の部分が、次のパターニングを実施する前に、前記基板ホルダに再クランプされる、請求項1に記載の方法。
- 基板の第2の部分が、次のパターニングを実施している間、前記基板ホルダにクランプされる、請求項1または請求項2に記載の方法。
- 前記基板ホルダが複数の領域を含み、各領域を前記基板の対応する部分に個別にクランプすることができる、あるいはその部分から個別に解放することができる、請求項1から3のいずれかに記載の方法。
- 各領域のクランプ解除およびクランプが連続して実施され、前記連続して実施されている間、少なくとも1つの領域は常に前記基板にクランプされている、請求項4に記載の方法。
- 前記基板の第1の部分が前記基板全体である、請求項1または請求項2に記載の方法。
- クランプは、前記基板ホルダと前記基板の間の静電気吸引または磁気吸引によるものである、請求項1から6のいずれかに記載の方法。
- クランプは、前記基板ホルダと前記基板の間の減圧力によるものである、請求項1から7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記基板の次のパターニングを実施する前に、前記基板のクランプ解除された第1の部分を前記基板ホルダの対応する部分から分離するステップをさらに含む、請求項1から8のいずれかに記載の方法。
- インプリントリソグラフィの際に基板内に誘起される機械的応力を緩和する方法であって、解放可能に基板ホルダにクランプされている基板とインプリントテンプレートを接触させて前記基板をパターニングするステップと、前記インプリントテンプレートと前記基板を分離するステップと、前記基板内の機械的応力が緩和されるように、前記基板の第1の部分を前記基板ホルダの対応する部分からクランプ解除するステップと、前記基板の次のパターニングを実施するステップとを含む方法。
- 基板のインプリントリソグラフィ用の装置であって、基板にインプリントするために配置されるインプリントテンプレートを保持するインプリントテンプレートホルダと、基板ホルダであって、少なくとも部分的に解放可能に前記基板を前記基板ホルダにクランプする基板ホルダと、前記基板ホルダによる前記基板のクランプを制御するコントロールシステムとを備え、前記コントロールシステムが、前記基板と前記インプリントテンプレートの間の接触に続いて前記基板の一部分を前記基板ホルダからクランプ解除する装置。
- 前記基板ホルダが複数の領域を備え、各領域が、前記基板の対応する部分に個別にクランプされ、あるいはその部分から個別に解放される、請求項17から20のいずれか一項に記載の装置。
- 前記基板ホルダは、前記基板ホルダと前記基板の間の静電気吸引によって、または磁気吸引によって前記基板を保持する、請求項17から21のいずれか一項に記載の装置。
- 前記基板ホルダは、前記基板ホルダと前記基板の間に減圧力を形成することによって前記基板を保持する、請求項17から22のいずれか一項に記載の装置。
- 基板をパターニングするインプリントリソグラフィ装置であって、複数の領域を含む基板ホルダを備え、各領域が、前記基板の対応する部分に個別にクランプされ、あるいはその部分から個別に解放される装置。
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