JP5774806B2 - 放射線検出パネルの製造方法および放射線画像検出器の製造方法 - Google Patents
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Description
基台上に、一方の面に複数の光電変換素子が二次元状に配列されて形成された基板を載置する基板載置工程と、
前記基板上に、放射線を光に変換するシンチレータを支持する支持体を、当該シンチレータが前記光電変換素子に対向するように載置する支持体載置工程と、
前記基板と前記支持体との間隙部分であって前記シンチレータの周囲の部分に配置されるように、前記基板載置工程または前記支持体載置工程の前に、予め、前記基板または前記支持体の表面上に接着剤を配置する接着剤配置工程と、
前記支持体の前記シンチレータが設けられた面とは反対側の面側から前記支持体を被覆するようにフィルムを載置するフィルム載置工程と、
前記基板および前記支持体を含む、前記基台と前記フィルムとの間の空間を減圧して前記基板と前記支持体とを貼り合わせる減圧貼り合わせ工程と、
を有し、
前記接着剤配置工程においては、前記接着剤に、前記減圧貼り合わせ工程において前記基台と前記フィルムとの間の空間が減圧される際に、前記基板と前記支持体との間隔を確保するためのスペーサを配置し、
前記接着剤は、前記光電変換素子と前記シンチレータとが対向するように前記基板と前記支持体とが載置された際に、前記基板と前記支持体と前記接着剤とで区画されて形成される内部空間とその外側の空間とを連通する開口部が前記接着剤部分に単数または複数形成されるように配置され、
前記接着剤部分の開口部は、前記減圧貼り合わせ工程の際、互いに接近する前記基板および前記支持体により前記接着剤が押し広げられることにより減圧雰囲気下で封止されることを特徴とする。
基台上に、一方の面に放射線を光に変換するシンチレータが設けられた支持体を載置する支持体載置工程と、
前記支持体上に、一方の面に複数の光電変換素子が二次元状に配列されて形成された基板を、当該光電変換素子が前記シンチレータに対向するように載置する基板載置工程と、
前記基板と前記支持体との間隙部分であって前記シンチレータの周囲の部分に配置されるように、前記支持体載置工程または前記基板載置工程の前に、予め、前記支持体または前記基板の表面上に接着剤を配置する接着剤配置工程と、
前記基板の前記複数の光電変換素子が配列された面とは反対側の面側から前記基板を被覆するようにフィルムを載置するフィルム載置工程と、
前記基板および前記支持体を含む、前記基台と前記フィルムとの間の空間を減圧して前記基板と前記支持体とを貼り合わせる減圧貼り合わせ工程と、
を有し、
前記接着剤配置工程においては、前記接着剤に、前記減圧貼り合わせ工程において前記基台と前記フィルムとの間の空間が減圧される際に、前記基板と前記支持体との間隔を確保するためのスペーサを配置し、
前記接着剤は、前記光電変換素子と前記シンチレータとが対向するように前記基板と前記支持体とが載置された際に、前記基板と前記支持体と前記接着剤とで区画されて形成される内部空間とその外側の空間とを連通する開口部が前記接着剤部分に単数または複数形成されるように配置され、
前記接着剤部分の開口部は、前記減圧貼り合わせ工程の際、互いに接近する前記基板および前記支持体により前記接着剤が押し広げられることにより減圧雰囲気下で封止されるように構成してもよい。
基台上に、一方の面に複数の光電変換素子が二次元状に配列されて形成された基板を載置する基板載置工程と、
前記基板上に、放射線を光に変換するシンチレータを支持する支持体を、当該シンチレータが前記光電変換素子に対向するように載置する支持体載置工程と、
前記基板と前記支持体との間隙部分であって前記シンチレータの周囲の部分に配置されるように、前記基板載置工程または前記支持体載置工程の前に、予め、前記基板または前記支持体の表面上に接着剤を配置する接着剤配置工程と、
前記支持体の前記シンチレータが設けられた面とは反対側の面側から前記支持体を被覆するようにフィルムを載置するフィルム載置工程と、
前記基板および前記支持体を含む、前記基台と前記フィルムとの間の空間を減圧して前記基板と前記支持体とを貼り合わせる減圧貼り合わせ工程と、
を有し、
前記接着剤配置工程においては、前記接着剤に、前記減圧貼り合わせ工程において前記基台と前記フィルムとの間の空間が減圧される際に、前記基板と前記支持体との間隔を確保するためのスペーサを配置し、
前記接着剤は、前記光電変換素子と前記シンチレータとが対向するように前記基板と前記支持体とが載置された際に、前記基板と前記支持体と前記接着剤とで区画されて形成される内部空間とその外側の空間とを連通する開口部が前記接着剤部分に単数または複数形成されるように配置され、
前記接着剤部分の開口部は、前記減圧貼り合わせ工程の際、互いに接近する前記基板および前記支持体により前記接着剤が押し広げられることにより減圧雰囲気下で封止される放射線検出パネルの製造工程により製造された放射線検出パネルを用いて放射線画像検出器を製造することを特徴とする。
基台上に、一方の面に放射線を光に変換するシンチレータが設けられた支持体を載置する支持体載置工程と、
前記支持体上に、一方の面に複数の光電変換素子が二次元状に配列されて形成された基板を、当該光電変換素子が前記シンチレータに対向するように載置する基板載置工程と、
前記基板と前記支持体との間隙部分であって前記シンチレータの周囲の部分に配置されるように、前記支持体載置工程または前記基板載置工程の前に、予め、前記支持体または前記基板の表面上に接着剤を配置する接着剤配置工程と、
前記基板の前記複数の光電変換素子が配列された面とは反対側の面側から前記基板を被覆するようにフィルムを載置するフィルム載置工程と、
前記基板および前記支持体を含む、前記基台と前記フィルムとの間の空間を減圧して前記基板と前記支持体とを貼り合わせる減圧貼り合わせ工程と、
を有し、
前記接着剤配置工程においては、前記接着剤に、前記減圧貼り合わせ工程において前記基台と前記フィルムとの間の空間が減圧される際に、前記基板と前記支持体との間隔を確保するためのスペーサを配置し、
前記接着剤は、前記光電変換素子と前記シンチレータとが対向するように前記基板と前記支持体とが載置された際に、前記基板と前記支持体と前記接着剤とで区画されて形成される内部空間とその外側の空間とを連通する開口部が前記接着剤部分に単数または複数形成されるように配置され、
前記接着剤部分の開口部は、前記減圧貼り合わせ工程の際、互いに接近する前記基板および前記支持体により前記接着剤が押し広げられることにより減圧雰囲気下で封止される放射線検出パネルの製造工程により製造された放射線検出パネルを用いて放射線画像検出器を製造するように構成してもよい。
以下、まず、放射線検出パネルおよび放射線画像検出器の実施形態について説明する。
次に、本実施形態に係る放射線検出パネルの製造方法および放射線画像検出器の製造方法について説明する。上記の放射線検出パネル3や放射線画像検出器1は、図14〜図16に示すフローチャートに従って製造される。
3 放射線検出パネル
4 基板
4a 面
5 支持体
5a シンチレータが設けられた面
6 シンチレータ
6a 蛍光体
15 光電変換素子
22、25 接着剤
23 遮光層
24 開口部
31 基台
32 フィルム
C 内部空間
Pa 蛍光体の柱状結晶の鋭角状の先端
R1 基台とフィルムとの間の空間(下方空間)
S スペーサ
Claims (14)
- 基台上に、一方の面に複数の光電変換素子が二次元状に配列されて形成された基板を載置する基板載置工程と、
前記基板上に、放射線を光に変換するシンチレータを支持する支持体を、当該シンチレータが前記光電変換素子に対向するように載置する支持体載置工程と、
前記基板と前記支持体との間隙部分であって前記シンチレータの周囲の部分に配置されるように、前記基板載置工程または前記支持体載置工程の前に、予め、前記基板または前記支持体の表面上に接着剤を配置する接着剤配置工程と、
前記支持体の前記シンチレータが設けられた面とは反対側の面側から前記支持体を被覆するようにフィルムを載置するフィルム載置工程と、
前記基板および前記支持体を含む、前記基台と前記フィルムとの間の空間を減圧して前記基板と前記支持体とを貼り合わせる減圧貼り合わせ工程と、
を有し、
前記接着剤配置工程においては、前記接着剤に、前記減圧貼り合わせ工程において前記基台と前記フィルムとの間の空間が減圧される際に、前記基板と前記支持体との間隔を確保するためのスペーサを配置し、
前記接着剤は、前記光電変換素子と前記シンチレータとが対向するように前記基板と前記支持体とが載置された際に、前記基板と前記支持体と前記接着剤とで区画されて形成される内部空間とその外側の空間とを連通する開口部が前記接着剤部分に単数または複数形成されるように配置され、
前記接着剤部分の開口部は、前記減圧貼り合わせ工程の際、互いに接近する前記基板および前記支持体により前記接着剤が押し広げられることにより減圧雰囲気下で封止されることを特徴とする放射線検出パネルの製造方法。 - 前記接着剤として、光硬化型の接着剤が用いられ、
前記支持体として、光透過性の材料で形成された支持体が用いられ、
かつ、前記支持体と前記シンチレータとの間に、または前記支持体の前記シンチレータが設けられた面とは反対側の面側に、遮光層が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の放射線検出パネルの製造方法。 - 基台上に、一方の面に放射線を光に変換するシンチレータが設けられた支持体を載置する支持体載置工程と、
前記支持体上に、一方の面に複数の光電変換素子が二次元状に配列されて形成された基板を、当該光電変換素子が前記シンチレータに対向するように載置する基板載置工程と、
前記基板と前記支持体との間隙部分であって前記シンチレータの周囲の部分に配置されるように、前記支持体載置工程または前記基板載置工程の前に、予め、前記支持体または前記基板の表面上に接着剤を配置する接着剤配置工程と、
前記基板の前記複数の光電変換素子が配列された面とは反対側の面側から前記基板を被覆するようにフィルムを載置するフィルム載置工程と、
前記基板および前記支持体を含む、前記基台と前記フィルムとの間の空間を減圧して前記基板と前記支持体とを貼り合わせる減圧貼り合わせ工程と、
を有し、
前記接着剤配置工程においては、前記接着剤に、前記減圧貼り合わせ工程において前記基台と前記フィルムとの間の空間が減圧される際に、前記基板と前記支持体との間隔を確保するためのスペーサを配置し、
前記接着剤は、前記光電変換素子と前記シンチレータとが対向するように前記基板と前記支持体とが載置された際に、前記基板と前記支持体と前記接着剤とで区画されて形成される内部空間とその外側の空間とを連通する開口部が前記接着剤部分に単数または複数形成されるように配置され、
前記接着剤部分の開口部は、前記減圧貼り合わせ工程の際、互いに接近する前記基板および前記支持体により前記接着剤が押し広げられることにより減圧雰囲気下で封止されることを特徴とする放射線検出パネルの製造方法。 - 前記接着剤として、光硬化型の接着剤が用いられ、
前記基板として、光透過性の材料で形成された基板が用いられ、
かつ、前記基板と前記光電変換素子との間に、または前記基板の前記光電変換素子が設けられた面とは反対側の面側に、遮光層が形成されていることを特徴とする請求項3に記載の放射線検出パネルの製造方法。 - 前記接着剤として、熱硬化型の接着剤が用いられることを特徴とする請求項1または請求項3に記載の放射線検出パネルの製造方法。
- 前記減圧貼り合わせ工程の後、前記接着剤を硬化させる接着剤硬化工程を有することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の放射線検出パネルの製造方法。
- 前記接着剤配置工程では、前記支持体の前記表面の前記シンチレータの周囲に予め配置された前記接着剤が、前記光電変換素子と前記シンチレータとが対向するように前記基板と前記支持体とが載置されることにより、前記基板と前記支持体との間隙部分であって前記シンチレータの周囲の部分に配置されることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の放射線検出パネルの製造方法。
- 前記接着剤配置工程では、前記光電変換素子と前記シンチレータとが対向するように前記基板と前記支持体とが載置される際に、前記支持体の前記シンチレータの周囲に位置するように、前記接着剤が、前記基板の前記光電変換素子が設けられた前記表面上に予め配置されており、前記載置により、前記接着剤が、前記基板と前記支持体との間隙部分であって前記シンチレータの周囲の部分に配置されることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の放射線検出パネルの製造方法。
- 前記接着剤には、前記減圧貼り合わせ工程において前記基台と前記フィルムとの間の空間が減圧される際に、前記基板と前記支持体との間隔を確保するためのスペーサが含まれていることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の放射線検出パネルの製造方法。
- 前記スペーサは、前記シンチレータの厚さと略同一の直径を有する球形状、または前記シンチレータの厚さと略同一の直径を有する断面円形状の棒状に形成されていることを特徴とする請求項9に記載の放射線検出パネルの製造方法。
- 前記シンチレータは、蛍光体の柱状結晶で形成されていることを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか一項に記載の放射線検出パネルの製造方法。
- 前記シンチレータは、前記蛍光体の柱状結晶の鋭角状の先端が前記光電変換素子に対向するように配置されることを特徴とする請求項11に記載の放射線検出パネルの製造方法。
- 基台上に、一方の面に複数の光電変換素子が二次元状に配列されて形成された基板を載置する基板載置工程と、
前記基板上に、放射線を光に変換するシンチレータを支持する支持体を、当該シンチレータが前記光電変換素子に対向するように載置する支持体載置工程と、
前記基板と前記支持体との間隙部分であって前記シンチレータの周囲の部分に配置されるように、前記基板載置工程または前記支持体載置工程の前に、予め、前記基板または前記支持体の表面上に接着剤を配置する接着剤配置工程と、
前記支持体の前記シンチレータが設けられた面とは反対側の面側から前記支持体を被覆するようにフィルムを載置するフィルム載置工程と、
前記基板および前記支持体を含む、前記基台と前記フィルムとの間の空間を減圧して前記基板と前記支持体とを貼り合わせる減圧貼り合わせ工程と、
を有し、
前記接着剤配置工程においては、前記接着剤に、前記減圧貼り合わせ工程において前記基台と前記フィルムとの間の空間が減圧される際に、前記基板と前記支持体との間隔を確保するためのスペーサを配置し、
前記接着剤は、前記光電変換素子と前記シンチレータとが対向するように前記基板と前記支持体とが載置された際に、前記基板と前記支持体と前記接着剤とで区画されて形成される内部空間とその外側の空間とを連通する開口部が前記接着剤部分に単数または複数形成されるように配置され、
前記接着剤部分の開口部は、前記減圧貼り合わせ工程の際、互いに接近する前記基板および前記支持体により前記接着剤が押し広げられることにより減圧雰囲気下で封止される放射線検出パネルの製造工程により製造された放射線検出パネルを用いて放射線画像検出器を製造することを特徴とする放射線画像検出器の製造方法。 - 基台上に、一方の面に放射線を光に変換するシンチレータが設けられた支持体を載置する支持体載置工程と、
前記支持体上に、一方の面に複数の光電変換素子が二次元状に配列されて形成された基板を、当該光電変換素子が前記シンチレータに対向するように載置する基板載置工程と、
前記基板と前記支持体との間隙部分であって前記シンチレータの周囲の部分に配置されるように、前記支持体載置工程または前記基板載置工程の前に、予め、前記支持体または前記基板の表面上に接着剤を配置する接着剤配置工程と、
前記基板の前記複数の光電変換素子が配列された面とは反対側の面側から前記基板を被覆するようにフィルムを載置するフィルム載置工程と、
前記基板および前記支持体を含む、前記基台と前記フィルムとの間の空間を減圧して前記基板と前記支持体とを貼り合わせる減圧貼り合わせ工程と、
を有し、
前記接着剤配置工程においては、前記接着剤に、前記減圧貼り合わせ工程において前記基台と前記フィルムとの間の空間が減圧される際に、前記基板と前記支持体との間隔を確保するためのスペーサを配置し、
前記接着剤は、前記光電変換素子と前記シンチレータとが対向するように前記基板と前記支持体とが載置された際に、前記基板と前記支持体と前記接着剤とで区画されて形成される内部空間とその外側の空間とを連通する開口部が前記接着剤部分に単数または複数形成されるように配置され、
前記接着剤部分の開口部は、前記減圧貼り合わせ工程の際、互いに接近する前記基板および前記支持体により前記接着剤が押し広げられることにより減圧雰囲気下で封止される放射線検出パネルの製造工程により製造された放射線検出パネルを用いて放射線画像検出器を製造することを特徴とする放射線画像検出器の製造方法。
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