JP5774488B2 - ルテニウムの無電解析出のためのメッキ溶液 - Google Patents
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Description
本発明は、たとえば、以下のような態様で実現することもできる。
適用例1
無電解ルテニウムメッキ溶液であって、
ルテニウム源と、
錯化剤としてポリアミノポリカルボン酸と、
還元剤と、
安定化剤として機能する硫酸ヒドロキシルアミン((NH 2 OH) 2 H 2 SO 4 )と、
pH調整物質と、を含む、無電解ルテニウムメッキ溶液。
適用例2
適用例1に記載の無電解ルテニウムメッキ溶液であって、
前記ルテニウム源は、(RuNO) 2 (SO 4 ) 3 である、無電解ルテニウムメッキ溶液。
適用例3
適用例1に記載の無電解ルテニウムメッキ溶液であって、
前記錯化剤は、ニトリロ三酢酸(NTA)、トランス−1,2−シクロヘキサンジアミン四酢酸(CDTA)、および、エチレンジアミン四酢酸(EDTA)からなる群より選択される、無電解ルテニウムメッキ溶液。
適用例4
適用例1に記載の無電解ルテニウムメッキ溶液であって、
前記還元剤は、NaBH 4 である、無電解ルテニウムメッキ溶液。
適用例5
適用例1に記載の無電解ルテニウムメッキ溶液であって、
前記pH調整物質は、水酸化ナトリウムである、無電解ルテニウムメッキ溶液。
適用例6
適用例1に記載の無電解ルテニウムメッキ溶液であって、
前記錯化剤は、EDTAおよびアンモニアの混合物である、無電解ルテニウムメッキ溶液。
適用例7
適用例1に記載の無電解ルテニウムメッキ溶液であって、
前記ルテニウム源は、ルテニウム塩である、無電解ルテニウムメッキ溶液。
適用例8
適用例1に記載の無電解ルテニウムメッキ溶液であって、
前記溶液中の前記ルテニウム源の濃度は、約5g/Lから約10g/Lの間である、無電解ルテニウムメッキ溶液。
適用例9
適用例1に記載の無電解ルテニウムメッキ溶液であって、
前記溶液中の前記還元剤の濃度は、約1g/Lから約2g/Lの間である、無電解ルテニウムメッキ溶液。
適用例10
適用例1に記載の無電解ルテニウムメッキ溶液であって、
前記ルテニウム源の濃度は、約5.5g/Lである、無電解ルテニウムメッキ溶液。
適用例11
適用例1に記載の無電解ルテニウムメッキ溶液であって、
前記ポリアミノポリカルボン酸錯化剤の濃度は、約10g/Lから約20g/Lの間である、無電解ルテニウムメッキ溶液。
適用例12
適用例1に記載の無電解ルテニウムメッキ溶液であって、
前記安定化剤の濃度は、約0.5から約2g/Lの間である、無電解ルテニウムメッキ溶液。
適用例13
適用例1に記載の無電解ルテニウムメッキ溶液であって、
前記pH調整物質の濃度は、約40g/Lである、無電解ルテニウムメッキ溶液。
適用例14
無電解ルテニウムメッキ溶液であって、
ルテニウム源と、
基本的にニトリロ三酢酸(NTA)またはトランス−1,2−シクロヘキサンジアミン四酢酸(CDTA)の一方からなるポリアミノポリカルボン酸の錯化剤と、
還元剤としてのNaBH 4 と、
安定化剤と、
pH調整物質と、を含む、溶液。
適用例15
適用例14に記載の溶液であって、
前記安定化剤は、硫酸ヒドロキシルアミン((NH 2 OH) 2 H 2 SO 4 )である、溶液。
適用例16
適用例14に記載の溶液であって、
前記ルテニウム源はルテニウム塩であり、
前記pH調整物質は塩基である、溶液。
適用例17
無電解ルテニウムメッキ溶液であって、
ルテニウム源としての(RuNO) 2 (SO 4 ) 3 と、
錯化剤としてポリアミノポリカルボン酸と、
還元剤と、
安定化剤と、
pH調整物質と、を含む、溶液。
適用例18
適用例17に記載の溶液であって、
前記安定化剤は硫酸ヒドロキシルアミン((NH 2 OH) 2 H 2 SO 4 )であり、
前記還元剤はNaBH 4 である、溶液。
Claims (11)
- 無電解ルテニウムメッキ溶液であって、
ルテニウム源と、
錯化剤としてトランス−1,2−シクロヘキサンジアミン四酢酸(CDTA)と、
還元剤と、
安定化剤として機能する硫酸ヒドロキシルアミン((NH2OH)2H2SO4)と、
pH調整物質と、を含み、
前記ルテニウム源は、(RuNO) 2 (SO 4 ) 3 である、無電解ルテニウムメッキ溶液。 - 請求項1に記載の無電解ルテニウムメッキ溶液であって、
前記還元剤は、NaBH4である、無電解ルテニウムメッキ溶液。 - 請求項1に記載の無電解ルテニウムメッキ溶液であって、
前記pH調整物質は、水酸化ナトリウムである、無電解ルテニウムメッキ溶液。 - 請求項1に記載の無電解ルテニウムメッキ溶液であって、
前記溶液中の前記ルテニウム源の濃度は、5g/Lから10g/Lの間である、無電解ルテニウムメッキ溶液。 - 請求項1に記載の無電解ルテニウムメッキ溶液であって、
前記溶液中の前記還元剤の濃度は、1g/Lから2g/Lの間である、無電解ルテニウムメッキ溶液。 - 請求項1に記載の無電解ルテニウムメッキ溶液であって、
前記ルテニウム源の濃度は、5.5g/Lである、無電解ルテニウムメッキ溶液。 - 請求項1に記載の無電解ルテニウムメッキ溶液であって、
前記トランス−1,2−シクロヘキサンジアミン四酢酸(CDTA)の濃度は、10g/Lから20g/Lの間である、無電解ルテニウムメッキ溶液。 - 請求項1に記載の無電解ルテニウムメッキ溶液であって、
前記安定化剤の濃度は、0.5から2g/Lの間である、無電解ルテニウムメッキ溶液。 - 請求項1に記載の無電解ルテニウムメッキ溶液であって、
前記pH調整物質の濃度は、40g/Lである、無電解ルテニウムメッキ溶液。 - 無電解ルテニウムメッキ溶液であって、
ルテニウム源としての(RuNO)2(SO4)3と、
錯化剤としてのトランス−1,2−シクロヘキサンジアミン四酢酸(CDTA)と、
還元剤と、
安定化剤と、
pH調整物質と、を含む、溶液。 - 請求項10に記載の溶液であって、
前記安定化剤は硫酸ヒドロキシルアミン((NH2OH)2H2SO4)であり、
前記還元剤はNaBH4である、溶液。
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