JP2005036285A - 無電解メッキ用前処理液及び無電解メッキ方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】インキュベーションタイムを短縮させることができるとともにコストの低減を図ることができる無電解メッキ用前処理液及び無電解メッキ方法を提供する。
【解決手段】無電解メッキを行う前にウェハW上に供給する前処理液7は、無電解メッキ液9の還元剤の酸化分解反応を促進させるための活性化促進剤と、配線部4aの表面に形成された酸化層を除去するための酸化層除去剤とを溶解させた水溶液である。活性化促進剤は、2以上の特性基を有するスルホン酸、その誘導体、及びその塩の少なくともいずれかから構成されている。
【選択図】図1
【解決手段】無電解メッキを行う前にウェハW上に供給する前処理液7は、無電解メッキ液9の還元剤の酸化分解反応を促進させるための活性化促進剤と、配線部4aの表面に形成された酸化層を除去するための酸化層除去剤とを溶解させた水溶液である。活性化促進剤は、2以上の特性基を有するスルホン酸、その誘導体、及びその塩の少なくともいずれかから構成されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、無電解メッキの前処理として使用される無電解メッキ用前処理液、及びこの無電解メッキ用前処理液を使用して行う無電解メッキ方法に関する。
近年、半導体デバイスの高集積化と高機能化を達成するためにデバイスの動作速度の向上が要求されている。それに伴い、各素子を繋ぐ配線の微細化及び多層化が進んでいる。この微細化及び多層化に対応すべく、現在、配線材料としてCuが用いられているとともに、配線溝を備えた層間絶縁膜の表面上に配線膜を形成し、その後配線溝内の部分のみが残るように配線膜を除去して配線を形成するダマシン法が用いられている。
微細配線化においては、層間絶縁膜の低誘電率化や、Cuのエレクトロマイグレーション(EM)耐性を向上させるための研究・技術開発が行われている。EM耐性を向上させる技術の一つとしては、Cu配線上に他の金属を無電解メッキ法により選択的に形成して、界面の密着性を向上させるキャップメタル技術が知られている。なお、キャップメタル膜にCuに対する拡散防止性を持たせた場合には、エッチストッパー膜の低誘電率化も可能となるため、実効誘電率を下げることが可能となる。
現在、キャップメタル膜の形成には、還元剤としてジメチルアミンボラン(DMAB)及び次亜燐酸塩等を使用した無電解メッキが利用されている(例えば、特許文献1参照)。ここで、還元剤としてジメチルアミンボランを使用する場合には、Cuがジメチルアミンボランの酸化分解反応に対して触媒活性を有しているので、Pd等の貴金属触媒を付与しなくともCu配線上にメッキを施すことができる。一方、還元剤として次亜燐酸塩を使用する場合には、Cuが次亜燐酸塩に対して触媒活性を有していないので、Pd等の貴金属触媒を付与して、Cu配線上にメッキを施している。
しかしながら、Cu配線の表面は化学的機械的研磨(Chemical Mechanical Polishing:CMP)・洗浄工程による酸化防止剤等の吸着及び表面酸化により活性が失われているため、洗浄や活性化処理が必要となる。特に、還元剤としてジメチルアミンボランを使用する場合には、無電解メッキ液を供給し始めてからメッキ反応が開始するまでの時間(以下、「インキュベーションタイム」という。)が遅く、不安定であるため、Cu配線上にキャップメタル膜を形成するのに時間管理が困難となり、時間を要する。また、還元剤として次亜燐酸塩を使用する場合には、Pd等の触媒力の強い貴金属により表面置換処理を行うため、インキュベーションタイムは短いがコストが上昇してしまう。
本発明は上記課題を解決するためになされたものである。即ち、インキュベーションタイムを短縮させることができるとともにコストの低減を図ることができる無電解メッキ用前処理液及び無電解メッキ方法を提供することを目的とする。
本発明の無電解メッキ用前処理液は、2以上の特性基を有するスルホン酸、その誘導体、及びその塩の少なくともいずれかを溶解させた水溶液からなることを特徴としている。本発明の無電解メッキ用前処理液によれば、インキュベーションタイムを短縮させることができるとともにコストの低減を図ることができる。即ち、2以上の特性基を有するスルホン酸、その誘導体、及びその塩は、無電解メッキにおける酸化分解反応の活性化エネルギーを下げる機能を有していると考えられる。それ故、酸化分解反応が促進され、インキュベーションタイムを短縮させることができると考えられる。また、2以上の特性基を有するスルホン酸、その誘導体、及びその塩の少なくともいずれかを使用した場合と、貴金属触媒を使用した場合とのコストを比べると、2以上の特性基を有するスルホン酸、その誘導体、及びその塩の少なくともいずれかを使用した場合は、貴金属触媒を使用した場合の約1/100〜1/300のコストで済む。それ故、コストの低減を図ることができる。
上記特性基の少なくとも一つは、アミノ基及びイミノ基の少なくとも一方であることが好ましい。このようなものを使用することにより、インキュベーションタイムをより短縮させることができる。即ち、アミノ基或いはイミノ基のNの非共有電子対に無電解メッキ液に溶解している金属イオンが配位する。なお、これと同様な作用はNのカチオン誘導体を有するスルホン酸、その誘導体、又はその塩でも得られる。これにより、被メッキ面付近における金属イオンの濃度を高めることができ、反応性を高めることができる。それ故、インキュベーションタイムをより短縮させることができる。
上記スルホン酸、その誘導体、及びその塩の少なくともいずれかは、3−[(アミノ−イミノメチル)−チオ]−1−プロパンスルホン酸、2−アミノエタンスルホン酸、ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィド、3−(2−ベンズチアゾイルチオ)−1−プロパンスルホン酸、及び3−メルカプトプロパンスルホン酸、これらの誘導体、及びこれらの塩の少なくともいずれかであることが好ましい。このようなものを使用することにより、インキュベーションタイムを確実に短縮させることができる。
上記水溶液には、無機酸、スルホン酸以外の有機酸、及びこれらの塩の少なくともいずれかがさらに溶解していることが好ましい。水溶液にこのようなものを溶解させることにより、被メッキ面に形成される酸化層及び表面吸着物を除去することができる。
上記無機酸は、塩酸、及び硫酸の少なくとも一方であることが好ましい。無機酸として、このようなものを使用することにより、無電解メッキ液に含まれる金属イオンの活性が低下し難くなり、インキュベーションタイムをより短縮させることができる。
本発明の無電解メッキ方法は、表面の少なくとも一部に金属部を備えた基板に、2以上の特性基を有するスルホン酸、その誘導体、及びその塩の少なくともいずれかを溶解させた水溶液からなる無電解メッキ用前処理液を供給する前処理液供給工程と、前記無電解メッキ用前処理液を供給した基板に無電解メッキ液を供給する無電解メッキ液供給工程とを具備することを特徴としている。本発明の無電解メッキ方法によれば、インキュベーションタイムを短縮させることができるとともにコストの低減を図ることができる。
上記特性基の少なくとも一つは、アミノ基及びイミノ基の少なくとも一方であることが好ましい。このようなものを使用することにより、インキュベーションタイムをより短縮させることができる。
上記スルホン酸、その誘導体、及びその塩の少なくともいずれかは、3−[(アミノ−イミノメチル)−チオ]−1−プロパンスルホン酸、2−アミノエタンスルホン酸、ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィド、3−(2−ベンズチアゾイルチオ)−1−プロパンスルホン酸、及び3−メルカプトプロパンスルホン酸、これらの誘導体、及びこれらの塩の少なくともいずれかであることが好ましい。このようなものを使用することにより、インキュベーションタイムを確実に短縮させることができる。
上記金属部は第1の金属から構成されており、無電解メッキ液には第1の金属とは異なる第2の金属の金属塩が溶解していることが好ましい。このような構成を採ることにより、金属部に第1の金属とは異なる第2の金属の膜を形成することができる。
上記第1の金属は、Cu、Co、Ni、Ru、Pd、Ag、及びIrの少なくともいずれかの純金属、或いはこれらの少なくともいずれかを含む合金であってもよい。また、上記第2の金属は、Co、Ni、Cu、Ru、及びAgの少なくともいずれかの純金属、或いはこれらの少なくともいずれかを含む合金であってもよい。
上記基板は凹部或いは開口部が形成された層間絶縁膜を備えており、金属部は凹部或いは開口部に埋め込まれていてもよい。本発明の無電解メッキ方法によれば、金属部のみにメッキを施すことができる。
本発明の無電解メッキ用前処理液及び無電解メッキ方法によれば、インキュベーションタイムを短縮させることができるとともにコストの低減を図ることができる。
図1は本実施の形態に係る一連の工程の流れを示したフローチャートであり、図2〜図4は本実施の形態に係る各工程の模式図である。図1及び図2(a)に示されるように、トランジスタ等のような半導体素子(図示せず)が形成された半導体ウェハW(以下、単に「ウェハ」という。)上に、例えば化学気相成長法(Chemical Vapor Deposition:CVD)により層間絶縁膜1を形成する(ステップ1)。層間絶縁膜1は、例えば低誘電率絶縁物から構成されている。このような低誘電率絶縁物としては、例えば、SiOF、SiOC、或いは多孔質シリカ等が挙げられる。
ウェハW上に層間絶縁膜1を形成した後、図2(b)に示されるように、フォトリソグラフィ技術により層間絶縁膜1に配線溝1aを形成する(ステップ2)。具体的には、まず、ウェハWを回転させながら層間絶縁膜1上に化学増幅型のフォトレジストを塗布する。フォトレジストを塗布した後、所定のパターンが形成されたマスクを使用して、i線のような紫外線或いはKrFのような遠紫外線で露光する。その後、現像液により現像して、層間絶縁膜1上にレジストパターンを形成する。層間絶縁膜1上にレジストパターンを形成した後、レジストパターンをマスクとして、CF4或いはCHF3のようなCF系のガスにより層間絶縁膜1をドライエッチングし、層間絶縁膜1に配線溝1aを形成する。最後に、層間絶縁膜1に配線溝1aを形成した後、アッシングによりレジストパターンを取り除く。なお、配線溝1aの代わりに、また配線溝1aとともに接続孔を形成してもよい。
層間絶縁膜1に配線溝1aを形成した後、図2(c)に示されるように、層間絶縁膜1上に、例えばスパッタリング或いはCVDにより層間絶縁膜1への金属の拡散を抑制するためのバリアメタル膜2を形成する(ステップ3)。バリアメタル膜2は、導電性材料から構成されている。このような導電性材料は、後述する配線部4aを構成している金属より拡散係数が小さい金属或いは金属窒化物等から構成されている。このような金属としては例えばTa等が挙げられ、また金属窒化物としては例えばTiN、TaN、或いはWN等が挙げられる。
層間絶縁膜1上にバリアメタル膜2を約30nm形成した後、図2(d)に示されるように、バリアメタル膜2上に、例えばスパッタリングにより電解メッキ時に電流を流すためのシード膜3を形成する(ステップ4)。シード膜3は、例えば、純金属、或いは合金から構成されている。このような純金属としては、例えば、Cu、Co、Ni、Ru、Pd、Ag、及びIrの少なくともいずれが挙げられ、合金としてはこれらの少なくともいずれかを含んでいるものが挙げられる。
バリアメタル膜2上にシード膜3を約100nm形成した後、図3(a)に示されるように、シード膜3上に、例えば電解メッキにより配線膜4を形成する(ステップ5)。ここで、シード膜3は配線溝1a内にも形成されているので、配線膜4は配線溝1a内にも形成される。配線膜4は、金属(第1の金属)から構成されている。金属としては、例えば、純金属、或いは合金が挙げられる。このような純金属としては、例えばCu、Co、Ni、Ru、Pd、Ag、及びIrの少なくともいずれかが挙げられ、また合金としてはこれらの少なくともいずれかを含んでいるものが挙げられる。
シード膜3上に配線膜4を約0.5〜1μm形成した後、図3(b)に示されるように、配線膜4上に、例えば純水のような洗浄液5を供給して、ウェハWを洗浄する(ステップ6)。
ウェハWを洗浄した後、図3(c)に示されるように、例えばCMPにより研磨して、配線溝1a内に存在する配線膜4の部分4a(以下、「配線部」という。)、シード膜3の部分3a、及びバリアメタル膜2の部分2aのみがそれぞれ残るように層間絶縁膜1上の配線膜4、シード膜3、及びバリアメタル膜2を除去する(ステップ7)。具体的には、ウェハWを研磨パッド(図示せず)に接触させた状態で、ウェハW及び研磨パッドを回転させるとともにウェハW上にスラリ(図示せず)を供給して、配線膜4、シード膜3、及びバリアメタル膜2を研磨する。なお、CMPで研磨する場合に限らず、その他の手法で研磨してもよい。その他の手法としては、例えば電解研磨が挙げられる。
CMPにより配線膜4、シード膜3、及びバリアメタル膜2を除去した後、図3(d)に示されるように、ウェハWに洗浄液6を供給して、ウェハWを洗浄する(ステップ8)。この洗浄により、ウェハWからCu及びCMPスラリ等の金属及びパーティクル等が除去される。
ウェハWを洗浄した後、図4(a)に示されるように、ウェハWに前処理液7を供給して、ウェハWに前処理を施す(ステップ9)。前処理液7は、後述する還元剤の酸化分解反応を促進させるための活性化促進剤と、配線部4aの表面に形成された酸化層及び配線部4aの表面に吸着された表面吸着物を除去するための酸化層除去剤とを溶解させた水溶液である。前処理液7は、常温で使用されることが好ましいが、加温してもよい。
活性化促進剤は、スルホン酸、スルホン酸誘導体、スルホン酸塩の少なくともいずれか(以下、「スルホン酸、スルホン酸誘導体、及びスルホン酸塩の少なくともいずれか」を「スルホン酸等」と省略することもある。)から構成されている。スルホン酸等は、特性基を2以上有している。「特性基」とは、C−C結合以外の結合で母体構造に直接結合している基(水素以外の原子又は原子団)、−C≡N、>C=X(X=O,S,Se,Te,NH,NR)等を総称したものである。スルホン酸としては、例えば、3−[(アミノ−イミノメチル)−チオ]−1−プロパンスルホン酸(UPS)、2−アミノエタンスルホン酸(タウリン)、ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィド、3−(2−ベンズチアゾイルチオ)−1−プロパンスルホン酸、及び3−メルカプトプロパンスルホン酸等が挙げられる。スルホン酸塩としては、例えば上記列記したスルホン酸の塩等が挙げられる。具体的には、例えば、ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィドナトリウム(SPS)、3−(2−ベンズチアゾイルチオ)−1−プロパンスルホン酸ナトリウム(ZPS)、及び3−メルカプトプロパンスルホン酸ナトリウム等が挙げられる。なお、使用可能なスルホン酸等の構造式を図5に例示する。
活性化促進剤がスルホン酸のみ、スルホン酸誘導体のみ、或いはスルホン酸塩のみで構成されている場合には、スルホン酸、スルホン酸誘導体、或いはスルホン酸塩の濃度は、約0.01〜30wt%が好ましく、約1.0〜3.0wt%がより好ましい。活性化促進剤がスルホン酸、スルホン酸誘導体、及びスルホン酸塩の少なくとも2以上を混合した場合には、スルホン酸、スルホン酸誘導体、及びスルホン酸塩の濃度は、合計で約0.01〜30wt%が好ましく、約1.0〜3.0wt%がより好ましい。
スルホン酸等の特性基には、アミノ基及びイミノ基の少なくとも一方が含まれていることが好ましい。また、アミノ基及びイミノ基の両方を備えたスルホン酸等、アミノ基を備えており、かつイミノ基を備えていないスルホン酸等であれば複数のアミノ基を備えたスルホン酸等、イミノ基を備えており、かつアミノ基を備えていないスルホン酸等であれば複数のイミノ基を備えたスルホン酸等がより好ましい。本実施の形態では、活性化促進剤として、アミノ基及びイミノ基の両方を備えたスルホン酸等を使用した場合について説明する。
酸化層除去剤としては、例えば、無機酸、スルホン酸以外の有機酸、及びこれらの塩等の少なくともいずれかを使用することができる。無機酸としては、例えば、ハロゲン化水素酸、硫酸等が挙げられ、ハロゲン化水素酸としては、例えば、フッ酸、塩酸等が挙げられる。酸化層除去剤としてフッ酸を用いる場合には、フッ酸の濃度は約3.0vol%以下(0は除く。)が好ましい。また、酸化層除去剤として塩酸を用いる場合には、塩酸の濃度は約10〜1000ppmが好ましく、約100〜400ppmがより好ましい。
有機酸としては、例えば、カルボン酸、アスコルビン酸等が挙げられ、カルボン酸としては、例えば、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、マレイン酸、DL−リンゴ酸、酒石酸、グリオキシル酸、クエン酸等が挙げられる。有機酸の濃度は、酸化層の除去性能から約0.1〜20vol%が好ましく、約0.5〜3.0vol%がより好ましい。本実施の形態では、酸化層除去剤として、無機酸を使用した場合について説明する。
前処理液7がウェハWに供給されると、前処理液7に溶解している無機酸により配線部4aの表面に形成された酸化層及び配線部4aの表面に吸着された表面吸着物が除去される。また、前処理液7に溶解しているスルホン酸等が、酸化層及び表面吸着物が除去された配線部4aの表面に吸着される。なお、スルホン酸等は層間絶縁膜1の表面にも吸着される。
ウェハWに前処理液7を供給した後、図4(b)に示されるように、ウェハWに純水8を供給して、ウェハWを洗浄する(ステップ10)。これにより、ウェハW上から余分なスルホン酸等が除去される。
ウェハWを洗浄した後、図4(c)に示されるように、ウェハWに無電解メッキ液9を供給し、無電解メッキにより配線部4aを構成している金属の層間絶縁膜への拡散を抑制するためのキャップメタル膜10を形成する(ステップ11)。なお、キャップメタル膜10は、配線部4aを構成している金属の酸化を抑制する機能をも有している。
無電解メッキ液9は、主に、金属塩、還元剤、錯化剤、及びpH調整剤等を溶解させた水溶液である。金属塩は、金属イオンを供給するものである。金属塩としては、例えば、金属硫酸化物及び金属塩化物等を使用することができる。また、金属塩を構成する金属(第2の金属)としては、Co、Ni、Cu、Ru、及びAg等の少なくともいずれかが挙げられる。
還元剤は、金属イオンを還元するものである。ここで、還元剤としては、配線部4aを構成する金属及び還元析出させる金属に対して触媒活性を有するようなものを使用する。具体的には、配線部4aを構成する金属がCuであり、かつ析出させる金属Co、Niを含む金属の場合には、還元剤としては、例えば、ホウ素化物を使用する。ホウ素化物としては、例えば、ジメチルアミンボラン(DMAB)、ジエチルアミンボラン、モルホリンボラン、ピリジンアミンボラン、ピペリジンボラン、エチレンジアミンボラン、エチレンジアミンビスボラン、t−ブチルアミンボラン、イミダゾールボラン、メトキシエチルアミンボラン、及びホウ水素化ナトリウム等が挙げられる。
錯化剤は、金属イオンが水酸化物として沈殿しないように金属イオンを錯体化して無電解メッキ液中での安定性を向上させるためのものである。錯化剤としては、例えば、アンモニア、エチレンジアミン、クエン酸、クエン酸三ナトリウム、酢酸、DL−リンゴ酸、グリシン、エチレンジアミン四酢酸(EDTA)等を使用することができる。
pH調整剤は、無電解メッキ液のpHを調整するためのものである。pH調整剤としては、例えば、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)、水酸化カリウム等を使用することができる。なお、無電解メッキ液9の具体的な組成等を表1に示す。
キャップメタル膜10は、配線部4aを構成している金属より拡散係数が小さい金属から構成されている。金属は、純金属、或いは合金であってもよい。純金属としては、例えば、Co、Ni、Cu、Ru、及びAgの少なくともいずれかが挙げられる、また合金としてはこられの金属の少なくともいずれかを含んでいるものが挙げられる。合金の具体的な例としては、例えば、Ni−B、Ni−W−B、Co−B、或いはCo−W−B等が挙げられる。ここで、還元剤としてジメチルアミンボラン(DMAB)を使用した場合には、Ni−B及びCo−Bは例えば以下のような化学反応により析出する。
(1)Ni−B
(i)3Ni2+‐Complex+(CH3)2HN・BH3+3H2O→
3Ni+H3BO3+(CH3)2H2N++5H+
(ii)4Ni2+‐Complex+2(CH3)2HN・BH3+3H2O→
Ni2B+2Ni+H3BO3+2(CH3)2H2N++6H++1/2H2
(2)Co−B
(i)3Co2+‐Complex+(CH3)2HN・BH3+3H2O→
3Co+H3BO3+(CH3)2H2N++5H+
(ii)4Co2+‐Complex+2(CH3)2HN・BH3+3H2O→
Co2B+2Co+H3BO3+2(CH3)2H2N++6H++1/2H2
(1)Ni−B
(i)3Ni2+‐Complex+(CH3)2HN・BH3+3H2O→
3Ni+H3BO3+(CH3)2H2N++5H+
(ii)4Ni2+‐Complex+2(CH3)2HN・BH3+3H2O→
Ni2B+2Ni+H3BO3+2(CH3)2H2N++6H++1/2H2
(2)Co−B
(i)3Co2+‐Complex+(CH3)2HN・BH3+3H2O→
3Co+H3BO3+(CH3)2H2N++5H+
(ii)4Co2+‐Complex+2(CH3)2HN・BH3+3H2O→
Co2B+2Co+H3BO3+2(CH3)2H2N++6H++1/2H2
配線部4a上にキャップメタル膜10を数十nm形成した後、図4(d)に示されるように、ウェハWに純水11を供給して、ウェハWを洗浄する(ステップ12)。これにより、本実施の形態での処理が完了する。
本実施の形態では、活性化促進剤としてスルホン酸等を使用しているので、インキュベーションタイムを短縮させることができる。即ち、スルホン酸等は還元剤の酸化分解反応における活性化エネルギーを下げる機能を有していると考えられる。これにより、酸化分解反応が促進される。それ故、インキュベーションタイムが短縮されると考えられる。
本実施の形態では、活性化促進剤としてスルホン酸等を使用しているので、コストの低減を図ることができる。即ち、スルホン酸等を使用した場合と、Pd等の貴金属触媒を使用した場合とのコストを比べると、スルホン酸等を使用した場合は、貴金属触媒を使用した場合の約1/100〜1/300のコストで済む。それ故、コストの低減が図られる。
本実施の形態では、活性化促進剤としてスルホン酸等を使用しているので、選択的にキャップメタル膜10を形成することができる。即ち、活性化促進剤として触媒を使用すると、配線部4aのみならず層間絶縁膜1上にもメッキが施されてしまうことがある。これは、触媒が還元剤に対して触媒活性を有しているからである。これに対し、スルホン酸等は、触媒と異なり、還元剤に対して触媒活性を有していない。このため、層間絶縁膜1上にスルホン酸等が吸着されている状態であっても、層間絶縁膜1上にはメッキは施されずに配線部4a上にのみメッキが施される。これにより、配線部4a上にのみキャップメタル膜10が形成される。それ故、選択的にキャップメタル膜10が形成される。
本実施の形態では、活性化促進剤としてスルホン酸等を使用しているので、配線抵抗の増加を抑制することができる。即ち、活性化促進剤としてPd等の金属触媒を使用すると、キャップメタル膜10に金属触媒が取り込まれてしまう。このため、配線抵抗が増加してしまう可能性がある。これに対し、本実施の形態では、活性化促進剤としてスルホン酸等を使用しているので、スルホン酸等がキャップメタル膜10内に取り込まれても、配線抵抗に影響を与えることがない。それ故、配線抵抗の増加を抑制することができる。
本実施の形態では、活性化促進剤として特性基としてアミノ基及びイミノ基の両方を備えたスルホン酸等を使用しているので、インキュベーションタイムをより短縮させることができる。即ち、特性基としてアミノ基及びイミノ基を備えたスルホン酸等が配線部4aの表面に吸着している状態で、無電解メッキ液が供給されると、アミノ基及びイミノ基のNの非共有電子対に錯体化した金属イオンが配位する。なお、これと同様な作用はNのカチオン誘導体を有するスルホン酸等でも得られる。これにより、配線部4aの表面付近における金属イオンの濃度が高まり、反応率が高まる。それ故、インキュベーションタイムをより短縮することができる。
本実施の形態では、酸化層除去剤として無機酸を使用しているので、スルホン酸以外の有機酸を溶解させた場合よりもインキュベーションタイムを短縮させることができる。即ち、酸化層除去剤として無機酸を使用すると、錯体化した金属イオンの活性が低下し難くなる。それ故、インキュベーションタイムがスルホン酸以外の有機酸を使用する場合よりも短縮させることができる。
(実施例1)
以下、本発明に係る実施例について説明する。本実施例では、複数の前処理液を用意し、それぞれの前処理液を使用した場合におけるインキュベーションタイムを測定した。
以下、本実施例で使用した試料について説明する。本実施例では、前処理液1〜18を用意した。また前処理液1〜18と比較するために比較例として前処理液19〜33を用意した。
以下、本発明に係る実施例について説明する。本実施例では、複数の前処理液を用意し、それぞれの前処理液を使用した場合におけるインキュベーションタイムを測定した。
以下、本実施例で使用した試料について説明する。本実施例では、前処理液1〜18を用意した。また前処理液1〜18と比較するために比較例として前処理液19〜33を用意した。
本実施例における活性化促進剤としては、前処理液1〜15では3−[(アミノ−イミノメチル)−チオ]−1−プロパンスルホン酸(UPS)を使用し、前処理液16では2−アミノエタンスルホン酸(タウリン)を使用し、前処理液17ではビス(3−スルホプロピル)ジスルフィドナトリウム(SPS)を使用し、前処理液18では3−(2−ベンズチアゾイルチオ)−1−プロパンスルホン酸ナトリウム(ZPS)を使用した。比較例における活性化促進剤としては、前処理液30ではチオ尿素を使用し、前処理液31では2−メルカプトベンゾチアゾール(2−MBT)を使用し、前処理液32,33では塩化パラジウムを使用した。また、前処理液19〜29では活性化促進剤は使用しなかった。なお、表2に前処理液1〜33の詳細な組成を示した。表2のCMP−M01、CMP−M02、及びNH4Fは関東化学社製のものを使用した。
本実施例及び比較例では、表1に示した無電解メッキ液1を使用した。このような前処理液及び無電解メッキ液を使用して、Cuから構成された配線部上に前処理液1〜33を供給した後、無電解メッキ液を供給し、Ni−Bのメッキを施した。
以下、測定結果について述べる。表2に示されるように前処理液として前処理液1〜18を使用した場合には、インキュベーションタイムは前処理液19〜31を使用した場合におけるインキュベーションタイムよりも短いことがほぼ確認された。また、前処理液6,7を使用した場合におけるインキュベーションタイムは、前処理液32,33を使用した場合におけるインキュベーションタイムとほぼ同程度であることが確認された。これらの結果より、スルホン酸等を溶解させた前処理液を使用するとインキュベーションタイムが短縮されることが確認された。また、スルホン酸等の他に塩酸、及び硫酸を溶解させた前処理液を使用するとよりインキュベーションタイムが短縮されることが確認された。
(実施例2)
以下、本発明に係る実施例について説明する。本実施例では、複数の前処理液を用意し、それぞれの前処理液を使用した場合におけるインキュベーションタイムを測定した。
以下、本発明に係る実施例について説明する。本実施例では、複数の前処理液を用意し、それぞれの前処理液を使用した場合におけるインキュベーションタイムを測定した。
以下、本実施例で使用した試料について説明する。実施例に係る前処理液1〜3を用意し、また前処理液1〜3と比較するために比較例に係る前処理液4〜7を用意した。本実施例における活性化促進剤としては、前処理液1〜3では3−[(アミノ−イミノメチル)−チオ]−1−プロパンスルホン酸(UPS)を使用した。比較例における活性化促進剤としては、前処理液7では塩化パラジウムを使用した。また、前処理液4〜6では活性化促進剤は使用しなかった。なお、表3に前処理液1〜7の詳細な組成を示した。
本実施例及び比較例では、表1に示した無電解メッキ液4を使用した。このような前処理液及び無電解メッキ液を使用して、Cuから構成された配線部上に前処理液を供給した後、無電解メッキ液を供給し、Co−Bのメッキを施した。
以下、測定結果について述べる。表3に示されるように前処理液として前処理液1〜3を使用した場合には、インキュベーションタイムは前処理液4〜6を使用した場合におけるインキュベーションタイムよりも短いことが確認された。また、前処理液1を使用した場合におけるインキュベーションタイムは、前処理液7を使用した場合におけるインキュベーションタイムとほぼ同程度であることが確認された。これらの結果より、スルホン酸等を溶解させた前処理液を使用するとインキュベーションタイムが短縮されることが確認された。また、スルホン酸等の他に塩酸、及び硫酸を溶解させた前処理液を使用するとよりインキュベーションタイムが短縮されることが確認された。
なお、本発明は上記実施の形態の記載内容に限定されるものではなく、構造や材質、各部材の配置等は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、上記実施の形態では、前処理液7に酸化層除去剤を含ませているが、酸化層除去剤を含ませなくてもよい。
上記実施の形態では、電解メッキにより配線膜4を形成しているが、その他の手法によって配線膜4を形成してもよい。その他の手法としては、例えば無電解メッキ、スパッタリング、或いはCVD等が挙げられる。ここで、無電解メッキにより配線膜4を形成する場合には、キャップメタル膜10を形成した場合とほぼ同様な手法で形成することができる。また、上記実施の形態では、ウェハWを使用して説明しているが、ガラス基板であってもよい。
本発明に係る無電解メッキ用前処理液及び無電解メッキ方法は、半導体装置の製造産業において利用することが可能である。
W…ウエハ、1…層間絶縁膜、1a…配線溝、4…配線膜、4a…配線部、7…前処理液、9…無電解メッキ液、10…キャップメタル膜。
Claims (12)
- 2以上の特性基を有するスルホン酸、その誘導体、及びその塩の少なくともいずれかを溶解させた水溶液からなることを特徴とする無電解メッキ用前処理液。
- 前記特性基の少なくとも一つは、アミノ基及びイミノ基の少なくとも一方であることを特徴とする請求項1記載の無電解メッキ用前処理液。
- 前記スルホン酸、その誘導体、及びその塩の少なくともいずれかは、3−[(アミノ−イミノメチル)−チオ]−1−プロパンスルホン酸、2−アミノエタンスルホン酸、ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィド、3−(2−ベンズチアゾイルチオ)−1−プロパンスルホン酸、及び3−メルカプトプロパンスルホン酸、これらの誘導体、及びこれらの塩の少なくともいずれかであることを特徴とする請求項1記載の無電解メッキ用前処理液。
- 前記水溶液には、無機酸、スルホン酸以外の有機酸、及びこれらの塩の少なくともいずれかがさらに溶解していることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の無電解メッキ用前処理液。
- 前記無機酸は、塩酸、及び硫酸の少なくとも一方であることを特徴とする請求項4記載の無電解メッキ用前処理液。
- 表面の少なくとも一部に金属部を備えた基板に、2以上の特性基を有するスルホン酸、その誘導体、及びその塩の少なくともいずれかを溶解させた水溶液からなる無電解メッキ用前処理液を供給する前処理液供給工程と、
前記無電解メッキ用前処理液を供給した基板に無電解メッキ液を供給する無電解メッキ液供給工程と、
を具備することを特徴とする無電解メッキ方法。 - 前記特性基の少なくとも一つは、アミノ基及びイミノ基の少なくとも一方であることを特徴とする請求項6記載の無電解メッキ方法。
- 前記スルホン酸、その誘導体、及びその塩の少なくともいずれかは、3−[(アミノ−イミノメチル)−チオ]−1−プロパンスルホン酸、2−アミノエタンスルホン酸、ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィド、3−(2−ベンズチアゾイルチオ)−1−プロパンスルホン酸、及び3−メルカプトプロパンスルホン酸、これらの誘導体、及びこれらの塩の少なくともいずれかであることを特徴とする請求項6記載の無電解メッキ方法。
- 前記金属部は第1の金属から構成されており、前記無電解メッキ液には第1の金属とは異なる第2の金属の金属塩が溶解していることを特徴とする請求項6乃至8のいずれか1項に記載の無電解メッキ方法。
- 前記第1の金属は、Cu、Co、Ni、Ru、Pd、Ag、及びIrの少なくともいずれかの純金属、或いはこれらの少なくともいずれかを含む合金であることを特徴とする請求項9記載の無電解メッキ方法。
- 前記第2の金属は、Co、Ni、Cu、Ru、及びAgの少なくともいずれかの純金属、或いはこれらの少なくともいずれかを含む合金であることを特徴とする請求項9又は10記載の無電解メッキ方法。
- 前記基板は凹部或いは開口部が形成された層間絶縁膜を備えており、前記金属部は前記凹部或いは開口部に埋め込まれていることを特徴とする請求項6乃至11のいずれか1項に記載の無電解メッキ方法。
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