JP5762189B2 - 切削装置 - Google Patents
切削装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5762189B2 JP5762189B2 JP2011155535A JP2011155535A JP5762189B2 JP 5762189 B2 JP5762189 B2 JP 5762189B2 JP 2011155535 A JP2011155535 A JP 2011155535A JP 2011155535 A JP2011155535 A JP 2011155535A JP 5762189 B2 JP5762189 B2 JP 5762189B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting
- block
- pipe nozzle
- pipe
- nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims description 67
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 claims description 37
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 20
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 20
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 7
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 8
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 2
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Dicing (AREA)
Description
24 切削ユニット
26 スピンドル
28 切削ブレード
29 スピンドルハウジング
40 ホイールカバー
41 ノズルアセンブリ
42 ブロック
42a ブロック本体
43 パイプノズル
44 パイプノズル
43k 拡径部
44k 拡径部
46a 境界部
46b 境界部
Claims (1)
- 被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を切削するための切削ブレードを備えた切削手段とを具備し、
該切削手段は、該切削ブレードを前端に装着したスピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングの前端部に固定され該切削ブレードを挟んで両側に配設され該切削ブレードに両側から切削液を供給するためのノズルアセンブリを有するホイールカバーとを備えた切削装置において、
該ノズルアセンブリは、該スピンドルハウジングに装着されるブロックと、上端が該ブロックに固定され下端が該切削ブレードの刃先周辺部まで延材し且つ該切削ブレード側の側面に複数の噴射スリットを有する円筒形状のパイプノズルとからなり、
該ブロック及び該パイプノズルの内部には切削液供給路が形成され、該切削液は該ブロックの内部の切削液供給路を介して該パイプノズルの内部の切削液供給路へと供給され、
該ブロック内部の該切削液供給路は、上流側の縦孔部と、該縦孔部の内径よりも小さく、該パイプノズルの外径と略同等の内径のパイプノズル挿入孔とから形成され、
該パイプノズルの上端部には該上端部の開口を内側から外方向へ押し広げられて拡径された拡径部が形成されており、
該パイプノズル挿入孔に挿入された該パイプノズルは該拡径部が該パイプノズル挿入孔の上端部に掛止して該ブロックに固定されていることを特徴とする切削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011155535A JP5762189B2 (ja) | 2011-07-14 | 2011-07-14 | 切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011155535A JP5762189B2 (ja) | 2011-07-14 | 2011-07-14 | 切削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013021256A JP2013021256A (ja) | 2013-01-31 |
JP5762189B2 true JP5762189B2 (ja) | 2015-08-12 |
Family
ID=47692373
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011155535A Active JP5762189B2 (ja) | 2011-07-14 | 2011-07-14 | 切削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5762189B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101414690B1 (ko) * | 2013-04-22 | 2014-07-08 | 한미반도체 주식회사 | 반도체 스트립 절단장치 |
JP7105039B2 (ja) * | 2017-06-26 | 2022-07-22 | 株式会社ディスコ | ブレードカバー |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11311494A (ja) * | 1998-04-29 | 1999-11-09 | Toyo Radiator Co Ltd | 熱交換器用タンクのパイプ接合方法 |
JP2008091775A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2011254036A (ja) * | 2010-06-04 | 2011-12-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP5699565B2 (ja) * | 2010-11-29 | 2015-04-15 | 日本精工株式会社 | シャフトとヨークの結合方法及び結合構造 |
-
2011
- 2011-07-14 JP JP2011155535A patent/JP5762189B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013021256A (ja) | 2013-01-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102210285B1 (ko) | 절삭 장치 | |
TW201726299A (zh) | 加工裝置的搬運機構 | |
JP2010021542A (ja) | ダイシング装置、ダイシング装置ユニット、及びダイシング方法 | |
JP5415184B2 (ja) | 切削装置 | |
KR102478797B1 (ko) | 절삭 장치 | |
JP2011108979A (ja) | 被加工物の切削方法 | |
JP5762189B2 (ja) | 切削装置 | |
KR20160087350A (ko) | 반송 장치 | |
JP2015233065A (ja) | 搬送装置 | |
JP6230477B2 (ja) | 切削装置 | |
JP6271129B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2009285799A (ja) | 切削装置 | |
JP5389473B2 (ja) | スピンナ洗浄装置 | |
JP2009119569A (ja) | 切削装置 | |
JP5875331B2 (ja) | 切削装置 | |
JP6061691B2 (ja) | レーザー加工方法、及び、レーザー加工装置 | |
JP2012218102A (ja) | 加工液供給ノズルの品質管理方法 | |
KR101312364B1 (ko) | 기판 착탈 장치 및 방법, 및 이를 구비한 코팅 장치 및 방법 | |
JP6652938B2 (ja) | 吸着ノズル、実装装置及び部品離脱方法 | |
JP6300645B2 (ja) | 加工装置 | |
JP2015107442A (ja) | 二流体ノズル | |
JP6267977B2 (ja) | 切削方法 | |
JP2013033802A (ja) | 切削装置 | |
JPWO2017090201A1 (ja) | 作業装置 | |
JP2015109324A (ja) | スピンナー洗浄装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140620 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150609 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150610 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150609 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5762189 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |