JP2012218102A - 加工液供給ノズルの品質管理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被加工物に加工液を供給する加工液供給ノズルの品質管理方法であって、該加工液供給ノズルに加工液を供給して加工液噴出口から加工液を噴出させる噴出ステップと、該加工液噴出口から噴出した加工液を撮像手段で撮像して撮像画像を形成する撮像ステップと、該撮像ステップで形成した撮像画像を元に該加工液供給ノズルの良否を判定する判定ステップと、を具備したことを特徴とする。
【選択図】図10
Description
18 チャックテーブル
24 切削手段
26 スピンドル
28 切削ブレード
60 ホイールカバー(ブレードカバー)
80a,80b 冷却液供給ノズル
81 冷却液噴出口
83 冷却液
Claims (4)
- 被加工物に加工液を供給する加工液供給ノズルの品質管理方法であって、
該加工液供給ノズルに加工液を供給して加工液噴出口から加工液を噴出させる噴出ステップと、
該加工液噴出口から噴出した加工液を撮像手段で撮像して撮像画像を形成する撮像ステップと、
該撮像ステップで形成した撮像画像を元に該加工液供給ノズルの良否を判定する判定ステップと、
を具備したことを特徴とする加工液供給ノズルの品質管理方法。 - 前記加工液供給ノズルは固体を識別する個体識別マークを有しており、
前記撮像画像は、該加工液供給ノズルの固体を識別する個体識別表示を含んでいる請求項1記載の加工液供給ノズルの品質管理方法。 - 前記加工液供給ノズルは、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持された被加工物を切削する切削ブレードを含む切削手段とを備えた切削装置に配設され、
該チャックテーブルで保持された被加工物に加工液を供給する請求項1又は2記載の加工液供給ノズルの品質管理方法。 - 前記加工液供給ノズルは、加工液供給源から供給された加工液が流入する流入口と、該流入口に連通して前記切削ブレードの表裏両面側に配設された一対のパイプと、該切削ブレードに対面するように該各パイプに形成された前記加工液噴出口とを有しており、
前記撮像ステップでは、複数の方向から該加工液供給ノズルを撮像して複数の撮像画像を形成し、
前記判定ステップでは、該加工液噴出口から噴出した加工液の噴出角度及び噴出方向を検出して該加工液供給ノズルの良否を判定する請求項3記載の加工液供給ノズルの品質管理方法。
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