JP5761061B2 - 撮像装置及び顕微鏡、並びに、これらに用いられるプログラム - Google Patents
撮像装置及び顕微鏡、並びに、これらに用いられるプログラム Download PDFInfo
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Description
ΔZ={D1(1−L2/L1)/2}×tan(π/2−θ/2)
ただし、L1は前記移動手段による移動量、L2は前記画像移動量取得手段により取得した移動量、θは前記撮像手段の視野角、D1は前記撮像手段の視野長である。対象物の厚みΔZは、上記式により算出されるような構成に限らず、上記式に基づいて得られる他の式により算出されるような構成であってもよい。
K=ΔZ×tan(π/2−δ)
ただし、ΔZは対象物の厚み、δは前記撮像手段の対象物に対する傾斜角である。前記ずれ量Kは、上記式により算出されるような構成に限らず、上記式に基づいて得られる他の式により算出されるような構成であってもよい。
Metal Oxide Semiconductor)カメラなどにより構成することができる。
ΔZ=ΔX×tan(π/2−θ/2)
={(D1−D2)/2}×tan(π/2−θ/2) ・・・(1)
ΔZ={D1(1−L2/L1)/2}×tan(π/2−θ/2) ・・・(2)
K=ΔZ×tan(π/2−δ) ・・・(3)
2 試料
3 検出部
4 ビームスプリッタ
5 第1撮像部
6 第2撮像部
7 操作部
8 表示部
9 記憶部
10 制御部
11 載置面
12 ステージ駆動部
21 試料表面
110 第1画像処理部
120 第2画像処理部
121 射影変換処理部
122 画像移動量取得部
123 厚み算出部
124 画像ずれ量算出部
125 画像位置補正部
130 移動処理部
140 分析処理部
Claims (6)
- 載置面に配置された対象物の表面を撮像可能な撮像手段と、
前記撮像手段に対する対象物の相対位置を、前記載置面に平行な方向に移動させる移動手段と、
前記移動手段による移動前及び移動後に前記撮像手段で撮像された画像に基づいて、当該画像の移動量を取得する画像移動量取得手段と、
前記移動手段による移動量、前記画像移動量取得手段により取得した移動量、及び、これらの移動量と対象物の厚みとの関係を特定可能な前記撮像手段の視野角及び視野長に基づいて、対象物の厚みを算出する厚み算出手段とを備えたことを特徴とする撮像装置。 - 前記撮像手段は、前記載置面に垂直な方向に対して傾斜した方向から対象物を撮像するものであり、
前記撮像手段により撮像された画像に対して射影変換処理を行う射影変換処理手段をさらに備え、
前記画像移動量取得手段は、前記射影変換処理が行われた画像に基づいて、当該画像の移動量を取得することを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。 - 前記厚み算出手段により算出した対象物の厚み、及び、前記撮像手段の対象物に対する傾斜角に基づいて、前記載置面に垂直な方向から対象物を撮像したときの画像に対する前記撮像手段で撮像された画像のずれ量を算出する画像ずれ量算出手段をさらに備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の撮像装置。
- 前記画像ずれ量算出手段により算出した前記ずれ量に基づいて、前記撮像手段により撮像される画像の位置を補正する画像位置補正手段をさらに備えたことを特徴とする請求項3に記載の撮像装置。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の撮像装置と、
前記載置面に配置された対象物に照射された光の反射光又は透過光を検出するための検出部とを備えたことを特徴とする顕微鏡。 - 載置面に配置された対象物の表面を撮像可能な撮像手段と、前記撮像手段に対する対象物の相対位置を、前記載置面に平行な方向に移動させる移動手段とを備えた撮像装置に用いられるプログラムであって、
前記移動手段による移動前及び移動後に前記撮像手段で撮像された画像に基づいて、当該画像の移動量を取得する画像移動量取得手段と、
前記移動手段による移動量、前記画像移動量取得手段により取得した移動量、及び、これらの移動量と対象物の厚みとの関係を特定可能な前記撮像手段の視野角及び視野長に基づいて、対象物の厚みを算出する厚み算出手段としてコンピュータを機能させることを特徴とするプログラム。
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