JP5757921B2 - 流延支持体の表面検査装置及び方法並びに溶液製膜方法 - Google Patents

Description

本発明は、流延支持体の表面検査装置及び方法並びに溶液製膜方法に関する。

光透過性を有する熱可塑性フィルムは、軽量であり、成形が容易であるため、光学フィルムとして多方面に利用されている。中でも、セルロースアシレートなどを用いたセルロースエステル系フィルムは、写真感光用フィルムをはじめとして、近年市場が拡大している液晶表示装置の構成部材である光学フィルム（例えば、位相差フィルムや偏光板保護フィルム等）に用いられている。

このようなフィルムは、溶液製膜方法によりつくられる。溶液製膜方法は、ポリマーと溶剤とを含むポリマー溶液（ドープ）を支持体上に流し、流延膜を形成する。次に、流延膜が搬送可能な程度に固くなった後、これを湿潤フィルムとして支持体から剥がす。そして、この湿潤フィルムを乾燥室へ送る。乾燥室では、湿潤フィルムをローラに巻きかけて搬送しながら、湿潤フィルムから溶剤を蒸発させてフィルムとする。また、流延膜を冷却により固化させる冷却流延方式の場合には、乾燥室の代わりにピンテンタに送り、ピンテンタで湿潤フィルムを乾燥させる。

ところで、近年の液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）の高精細化や、スマートフォン（多機能携帯電話）、タブレット型コンピュータなどのモバイル型端末装置の普及に伴って、これらの表示装置に用いられる光学フィルムには、今まで以上に表面に微細な突起や穴などが無いものが要求される。

これら光学フィルムの表面上の微細な突起や穴などの欠陥については、特許文献１に記載されているように、連続走行するフィルムにその幅方向に光ビームを走査し、フィルムを透過もしくは反射した検査光を光ビームの径以下のスリット幅をもち、光ビームの走行方向と平行に配置した受光窓を通して受光器に入射させ、この受光器からの光電変換出力により被検査体の表面欠陥を検査している。また、特許文献２では、検査光のビーム径に対してスリットの開口幅をその（１／１０）以上（２／３）以下の範囲に設定して、表面欠陥を精度良く検査している。

特開平６−２０７９１０号公報 特開平８−２６１９４９号公報 韓国特許公開公報第２００９−１１００８２号公報

しかしながら、上記特許文献１及び２のものでは、製品としてのフィルムの欠陥を検査するものである。そして、欠陥検査データに基づきフィルム上の欠陥部分を特定し、表示装置などにこの欠陥部分が使用されることがないように表示する。製品化に際しては、欠陥部分を除外して使用する。したがって、上記特許文献１及び２のものでは、欠陥部分の使用は避けられるものの、フィルム自体の欠陥部分を少なくするという根本的な解決は図られていない。

溶液製膜方法では、流延支持体に流延した流延膜を剥がして乾燥しフィルムとする関係上、フィルムの面状態は、流延支持体の面状態に依存する。したがって、流延支持体の製造段階において、その面状態を検査し、微細な凹凸が発見されると、凸の場合にはこの部分を研磨し、凹の場合にはスポット溶接した後に研磨して、製品としてのフィルムに微細な欠陥が発生することがないように、微細な凹凸を無くす表面仕上げを行う。

従来では、このような流延支持体の検査は、熟練した検査者が表面を目視により観察し、微細な凹凸欠陥を発見する。しかしながら、ＬＣＤの高精細化や、スマートフォン、タブレット型コンピュータなどのモバイル型端末装置の普及に伴って、これら装置に用いられる光学フィルムの品質要求レベルは年々向上している。したがって、これまで、熟練者が行ってきた面状態保証に求められる欠陥サイズが目視レベルを下回るものになってきている。このため、熟練者による検査に限界が出てきており、新たな流延支持体の検査方法が求められている。

また、近年のＬＣＤの大画面化の要請により、溶液製膜における流延支持体も広幅のものが求められている。しかしながら、流延支持体の材料である帯鋼はその幅が帯鋼の製造ラインの設備幅によって限界があり、広幅化には容易に対応することができない。このため、特許文献３に記載のように、従来の流延支持体の両側に新たな側板を縦溶接し、側板分だけ幅を広げた縦溶接バンドも提案されている。また、従来の流延バンドにあっても、エンドレスバンドを製造する際に帯鋼の両端部を幅方向に溶接（横溶接）し、環状に連結している。このため、従来の流延バンドでも、幅方向に延びた横溶接ラインが存在する。このような縦溶接ラインや横溶接ラインなどの溶接部を含む流延バンドでは、流延バンドの納入時に、熟練者による厳重なる表面の欠陥検査が行われている。そして、溶接部のピンホールやクラックは厳重な検査によって発見され、この発見された欠陥はスポット溶接やその後の研磨等の仕上げ処理によって、消滅する。したがって、溶液製膜設備に流延バンドとして導入直後には、フィルムの欠陥として面写りするサイズの欠陥は排除されており、得られるフィルムに微細な凹凸欠陥が現れることはない。

しかしながら、溶液製膜後の研磨補修などによって流延バンドが研磨されると、流延バンドの納入時には微小であり、欠陥と判定されなかった例えば壺状のピンホール等の場合には、研磨によってピンホールが大きく開口することになって欠陥に発展する場合もある。したがって、流延バンドの納入時における面欠陥の検査では、後の研磨補修も考慮して、研磨後に欠陥に発展する壺状の微細なピンホールも欠陥として判定する必要があり、熟練者による目視検査に代わる検出精度が高い検査方法や検査装置の開発が望まれている。

このため、上記特許文献１及び２のようなフィルムを対象とした欠陥検査方法を流延支持体の表面の欠陥検査に適用することも可能である。しかしながら、流延バンドや流延ドラムのような流延支持体は鏡面仕上げとなっており、フィルムに対するような欠陥検出方法をそのまま適用しても、表面の欠陥を精度よく検出することができないという問題がある。

本発明はこのような課題を解決するものであり、流延支持体の微細な凹凸による欠陥を精度良く検査することができる流延支持体の表面検査装置及び方法並びに溶液製膜方法を提供することを目的とする。

本発明の流延支持体の表面検査装置は、連続走行する流延支持体に対してその幅方向にレーザーを走査するスキャナと、流延支持体で反射したレーザーを光電変換するレシーバと、レシーバからの光電変換信号を二値化し、この二値化信号に基づき欠陥を検出し、検出した欠陥が予め設定されている値よりも大きい場合に欠陥と判定する欠陥判定部とを有する。流延支持体は、１対の支持ドラムに巻き掛けられたエンドレスな流延バンド及び流延ドラムのいずれか一方であり、レーザーによる走査ラインは支持ドラムに巻き掛けられた流延バンド部分及び流延ドラムの周面のいずれか一方に形成される。これにより、支持ドラムにより支持された流延バンドや流延ドラムに対してレーザーを照射するため、流延バンドが振動することが少なくなり、精度のよい欠陥検出が可能になる。
レシーバは、流延支持体で反射したレーザーの走査ラインに沿って配されるスリット開口を持つ遮光板を有する。走査ラインが形成される流延支持体の曲率半径は１００ｍｍ以上４０００ｍｍ以下であり、流延支持体から遮光板までの距離は４０ｍｍ以上１００ｍｍ以下であり、レーザーの流延支持体上のスポット径が２０μｍ以上５０μｍ以下であり、スリット開口のスリット幅はスポット径に対して３０倍以上２００倍以下である。

スキャナとレシーバとを流延支持体に対し位置決めする位置決めユニットを備える。位置決めユニットは、流延支持体に対面するように配されるフレームと、レーザーの流延支持体上における走査ラインと平行なＸ軸の回りにスキャナを回動し、任意回動位置でスキャナを固定するスキャナ保持部と、流延支持体から反射したレーザーをスリット開口で受けるように、レシーバをＸ軸回りに回動し、任意回動位置でレシーバを固定するレシーバ保持部とを有する。これにより、検査対象である流延支持体に対して、スキャナ及びレシーバを迅速に位置決めすることができる。

スキャナ及びレシーバをＸ軸に直交するＹ軸に沿って並べてスキャナ保持部及びレシーバ保持部を一体化し、この一体化したスキャナ保持部及びレシーバ保持部を、Ｘ軸及びＹ軸を含むＸＹ面に直交するＺ軸回りに回動し、任意回動位置でスキャナ保持部及びレシーバ保持部をフレームに固定するスキャナ及びレシーバの回動保持部を有する。これにより、スキャナ及びレシーバをＹ軸に対して傾斜して配置させることができ、流延支持体の走行方向に沿った縦スジからなる微細な凹凸を検出することができる。この縦スジからなる微細な凹凸はその形状からストリア（stria）と称している。このストリアは流延バンドの素材自体の結晶構造に起因して発生すると思われる。結晶構造によって硬度差の分布が発生し、研磨によって軟らかい部分が深く研磨され、固い部分が浅く研磨される。従来はこれを検査者の目視によって確認しているだけであり、基準となる指標が得られていない状態であった。スキャナ及びレシーバをＹ軸に対して傾斜して配置させることにより、微細な縦スジであるストリアを画像としてとらえることや、各画素の輝度レベルから各ストリアの深さの表示も可能となり、基準とする指標の作成も可能になる。

スキャナ保持部は流延支持体における設計時走査ラインを中心にスキャナを回動し、レシーバ保持部は設計時走査ラインを中心にレシーバを回動することが好ましい。なお、設計時走査ラインとは、スキャナからのレーザーが流延支持体の表面で反射し、この反射光がレシーバに到達する設計時走査ラインのことを言い、この設計時走査ラインを検査対象の流延支持体の表面に位置決めユニットにより合わせることで、スキャナ及びレシーバが正規検査位置に精度良く設定される。スキャナ及びレシーバの回動保持部をＹ軸方向でフレームに対し移動自在に保持するＹ軸スライド部と、フレームをＸ軸回りに回動し、任意回動位置でフレームを固定するフレームＸ軸回動保持部と、フレームＸ軸回動保持部をＺ軸方向に移動自在に保持するＺ軸スライド部とを有することが好ましい。これらスライド部や回動保持部を有することにより、流延支持体の湾曲度合いに応じて、その適宜位置での表面検査が可能になる。

さらに、Ｚ軸スライド部をＸ軸方向に移動自在に保持するＸ軸スライド部を有することが好ましい。この場合には、スキャナによる走査ライン長さが流延支持体の幅に対して短い場合に、流延支持体の幅方向であるＸ軸方向にスキャナ及びレシーバを移動することにより、流延支持体の全面について表面検査が可能になる。

流延支持体上で離間する二点にスポット光を照射して、レーザーの走査方向を決定するレーザーポインタを有することが好ましい。この場合には、このレーザーポインタで照射されたスポット光上にスキャナの走査光が位置するように、位置決めユニットの各部を微調整することにより、被検査面に触れる事なく精度よくスキャナやレシーバの位置合わせが可能になる。

本発明の流延支持体の表面検査方法は、連続走行する流延支持体に対してその幅方向にスキャナによりレーザーを走査し、流延支持体で反射したレーザーをレシーバにより光電変換し、この光電変換信号を二値化し、この二値化信号に基づき欠陥を検出し、検出した欠陥が予め設定されている値よりも大きい場合に欠陥と判定する流延支持体の表面検査方法であって、流延支持体は、１対の支持ドラムに巻き掛けられたエンドレスな流延バンド及び流延ドラムのいずれか一方であり、レーザーによる走査ラインは支持ドラムに巻き掛けられた流延バンド部分及び流延ドラムの周面のいずれか一方に形成され、レシーバは、流延支持体で反射したレーザーの走査ラインに沿って配されるスリット開口を持つ遮光板を有し、走査ラインが形成される流延支持体の曲率半径は１００ｍｍ以上４０００ｍｍ以下であり、流延支持体から遮光板までの距離は４０ｍｍ以上１００ｍｍ以下であり、スキャナとレシーバとは流延支持体に対し位置決めユニットにより位置決めされ、レーザーの流延支持体上における走査ラインと平行なＸ軸の回りにスキャナを回動し、任意回動位置でスキャナを固定するスキャナ保持ステップと、流延支持体から反射したレーザーをスリット開口で受けるように、レシーバをＸ軸回りに回動し、任意回動位置でレシーバを固定するレシーバ保持ステップと、スキャナ及びレシーバをＸ軸に直交するＹ軸に沿って並べてスキャナ及びレシーバを一体化し、これらスキャナ及びレシーバを、Ｘ軸及びＹ軸を含むＸＹ面に直交するＺ軸回りに回動し、スキャナとレシーバとを結ぶ中心線がＹ軸に対して任意の傾斜角度となるように、スキャナ及びレシーバを保持するスキャナ及びレシーバの回動保持ステップとを含むことを特徴とする。

スキャナ及びレシーバの回動保持ステップの後に、スキャナ及びレシーバをＹ軸方向に移動自在に保持するＹ軸スライドステップと、Ｙ軸スライドステップを経たスキャナ及びレシーバをＸ軸回りに回動した後に任意回動位置で固定するフレームＸ軸回動保持ステップと、フレームＸ軸回動保持ステップを経たスキャナ及びレシーバをＸＹ面に交差するＺ軸方向で移動自在に保持するＺ軸スライドステップとを含むことが好ましい。

本発明の溶液製膜方法は、上記流延支持体の表面検査方法により適正と評価された流延支持体を用い、この流延支持体上に流延ダイからポリマー及び溶剤を含むドープを流して流延膜を形成し、この流延膜から前記溶剤を蒸発させて湿潤フィルムとして剥ぎ取ることを特徴とする。

本発明によれば、従来は人手による目視検査に頼っていた流延支持体の欠陥検査を精度良く自動的に行うことができる。これにより、微細な凹凸による欠陥が少ない溶液製膜が可能になる。スキャナ及びレシーバをＹ軸に対して傾斜して配置させることにより、微細な縦スジであるストリアを画像としてとらえることや、各画素の輝度レベルから各ストリアの深さの表示も可能となる他に、基準とする指標の作成も可能になる。

本発明の表面検査装置の使用状態を示す側面図である。 検査原理を説明する側面図である。 図２ＡにおけるエリアＡ１の正面図である。 位置決めユニットの概略構成を示す側面図である。 同正面図である。 同背面図である。 同フローチャートである。 溶液製膜設備の概略構成を示す側面図である。

図１に示すように、流延支持体の表面検査装置１０は、流延支持体１１、例えば１対の支持ドラム１２間に巻き掛けたエンドレスの流延バンド１１ａの表面を検査し、微細なピンホールやストリアなどの欠陥を見つける。このため、表面検査装置１０は、スキャナ１５、レシーバ１６、欠陥判定部１７（図２Ａ参照）、位置決めユニット１８を備え、可搬タイプとして構成されている。したがって、測定する場所に移動して、適宜タイミングで欠陥検査を行うことができる。例えば、溶液製膜設備の流延室の他に、流延支持体メーカーの工場などの適宜場所にて測定が可能になる。

図２Ａに示すように、スキャナ１５は、連続走行する流延支持体１１に対してその幅方向にレーザー２０を走査する。レシーバ１６は、流延支持体１１で反射したレーザー２０を光電変換する。レシーバ１６からの光電変換信号はケーブル２２によって欠陥判定部１７に送られる。欠陥判定部１７は、光電変換信号を二値化し、この二値化信号に基づき欠陥候補を検出する。そして、検出した欠陥候補が予め設定されているしきい値（基準値）よりも大きい場合に欠陥と判定する。判定された欠陥は、その位置データとともに、メモリに記憶される。この欠陥位置データは、オペレータによって、メモリから読み出すことができる。この場合にはディスプレイ１７ａに、流延支持体の位置データとともに、欠陥画像やその欠陥画像部の輝度差信号をグラフ化したものが表示される。

本実施形態では、欠陥検査位置を、支持ドラム１２に巻き掛けられている部位の流延バンド１１ａとしている。これにより、支持ドラム１２に密着した状態で流延バンド１１ａが保持される。したがって、厚み方向（Ｚ軸方向）に流延支持体１１が振れることがなく、精度の良い欠陥検査が可能になる。なお、本実施形態では、欠陥検査位置でのレーザー２０による走査ラインＳＬに平行な水平軸をＸ軸とし、これに交差する鉛直軸をＹ軸とし、これらＸ軸及びＹ軸を含むＸＹ面に直交する軸をＺ軸として、位置決めユニット１８の構成を説明する。

本実施形態のスキャナ１５、レシーバ１６、欠陥判定部１７などの詳細な構成は、特許文献１、２などに記載の従来のものと基本的には同じである。ただし、欠陥検査対象物が鏡面仕上げされた金属（例えばＳＵＳ３１６製）バンド１１ａからなる流延支持体１１である点で、レシーバ１６の遮光板２１の構成が従来のものと異なり、本願独自の構成となっている。

スキャナ１５は、周知のように、レーザー発振器，レンズ群，ポリゴンミラー，光路折り曲げ用ミラーなどを有する。レーザー発振器から放射されたレーザーはレンズ群に入射し、そのスポット径が調節される。この後、ミラーを介して高速回転するポリゴンミラーに入射し、ここで反射する。この反射したレーザー２０は、流延バンド１１ａの走行方向と直交する方向（Ｘ軸）の検査光となって、流延バンド１１ａを幅方向に走査する。

図２Ｂに示すように、スキャナ１５から照射されたレーザー２０は流延バンド１１ａ上では一定のスポットとなる。レーザー２０は、走査ラインＳＬの幅方向中心から流延バンド１１ａに対し垂直に伸ばした法線に対し、傾斜角度θ１にて流延バンド１１ａの走行方向上流からレーザー２０を照射し、法線ＣＬ１に対して傾斜角度θ２にて流延バンド１１ａの走行方向下流にレーザー２０を反射させている。したがって、図２Ａにおけるスポット光が照射された流延バンド１１ａ上のエリアＡ１を拡大して正面から見ると、図２Ｂのような状態になり、Ｙ軸方向に長い楕円となる。本発明でいう流延バンド１１ａ上でのスポット径Ｄｓは、Ｘ方向には変化しない短軸径を言う。この流延バンド１１ａ上でのレーザー２０のスポット径Ｄｓは２０μｍ以上５０μｍ以下である。スポット径Ｄｓが２０μｍ未満であると、検査範囲が狭くなり、好ましくない。また、スポット径Ｄｓが５０μｍを超えると、欠陥検出の精度が低下し、好ましくない。

スキャナ１５及びレシーバ１６がＹ軸方向に一直線上に並べて配置されている関係で、走査ラインＳＬのレーザー２０によるスポットは、スポット径Ｄｓが大きい場合には、シリンドリカルな凸面鏡により、Ｙ軸方向に反射するときに、スポットが円弧面の曲率分に応じて細長く拡散し、レシーバ１６の受光面では略楕円状になる。しかし、スポット径Ｄｓが２０μｍ以上５０μｍ以下と微小なため、スポットが照射された流延バンド部分は略平面状であり、凸面鏡としての作用は微小であり、無視することができる。

流延バンド１１ａで反射したレーザーは、レシーバ１６に入る。レシーバ１６は遮光板２１を有する。遮光板２１にはスリット開口２１ａが形成されている。このスリット開口２１ａは、流延バンド１１ａで反射したレーザーの走査ラインと平行に配される。

スリット開口２１ａの幅Ｗｓは、支持ドラム１２の半径Ｒｄ、流延バンド１１ａからレシーバ１６の遮光板２１までの距離Ｌｒや、スポット径Ｄｓに応じて決定される。例えば、支持ドラム１２の半径Ｒｄが１００ｍｍ以上４０００ｍｍ以下の場合で、流延バンド１１ａからレシーバ１６の遮光板２１までの距離Ｌｒが４０ｍｍ以上１００ｍｍ以下である場合には、スポット径Ｄｓの３０倍以上２００倍以下であることが好ましい。特に好ましくは、支持ドラム１２の半径Ｒｄが８００ｍｍ以上３０００ｍｍ以下のときには、スポット径Ｄｓの５０倍以上１５０倍以下である。

スリット開口２１ａのスリット幅Ｗｓがスポット径Ｄｓに対し、３０倍未満であると流延支持体で反射したレーザーがスリット開口２１ａに入光しないことがあり、欠陥検出の精度が低下する。また、スリット幅Ｗｓがスポット径Ｄｓに対し２００倍を越えると、コントラストがの低下し、同じく欠陥検出の精度が低下するので好ましくない。

図１に示すように、位置決めユニット１８は、支持ドラム１２に巻き掛けられた部位の流延バンド１１ａや、流延ドラム（図示せず）などの任意の検査対象面に対し、スキャナ１５及びレシーバ１６を正確に位置決めすることができるように、構成されている。このため、図３に示すように、位置決めユニット１８は、フレーム３１と、このフレーム３１に取り付けられるスキャナ保持部３２、レシーバ保持部３３、Ｚ軸回動保持部（スキャナ及びレシーバの回動保持部）３４、Ｙ軸スライド部３５、Ｘ軸回動保持部３６、Ｚ軸スライド部３７、Ｘ軸スライド部３８、レーザーポインタ３９（図１参照）を有する。

図４，図５に示すように、フレーム３１は矩形枠に形成されており、図１に示すように流延バンド１１ａに対面するように配される。図３に示すように、フレーム３１には、スキャナ保持部３２，レシーバ保持部３３，Ｚ軸回動保持部３４，Ｙ軸スライド部３５が配される。そして、スキャナ１５は、スキャナ保持部３２，Ｚ軸回動保持部３４，Ｙ軸スライド部３５により、フレーム３１に取り付けられる。同様にして、レシーバ１６は、レシーバ保持部３３，Ｚ軸回動保持部３４，Ｙ軸スライド部３５により、フレーム３１に取り付けられる。

図４に示すように、スキャナ保持部３２は、１対の側板４０と１対の支持板４１とを有する。側板４０は、スキャナ１５を両側から挟持固定する。支持板４１は側板４０を両側から支持するもので、Ｚ軸方向に延びるように背板４２から突出して形成されている。

図１に示すように、支持板４１には、２個の円弧状長孔４３が形成してある。円弧状長孔４３は、欠陥検査位置にセットされた検査状態のときに、流延バンド１１ａ上の走査ラインＳＬ（以下、単に走査ラインＳＬという）を中心とする円上に形成されている。これら円弧状長孔４３は、円上で離間して形成されている。なお、図１において走査ラインＳＬは紙面に直交する方向であるため、点として描かれている。

側板４０には、取付ネジ４４が取り付けられる。取付ネジ４４は、各長孔４３に入り、この長孔４３内を移動する。そして、長孔４３内で取付ネジ４４の位置を変更することにより、スキャナ１５からのレーザー２０の流延支持体１１に対する入射角度θ１が変更可能になる。長孔４３は例えば１５°の角度分の長さで形成してある。これにより、スキャナ１５からのレーザーの入射角度θ１を、走査ラインＳＬを中心として１５°の角度範囲で変更することができる。取り付け角度の変更後は、取付ネジ４４を締める方向に回すことにより、側板４０を支持板４１に固定することができる。

同様にして、図３に示すように、フレーム３１には、レシーバ１６がレシーバ保持部３３，Ｚ軸回動保持部３４，Ｙ軸スライド部３５により、取り付けられる。図４に示すように、レシーバ保持部３３は、スキャナ保持部３２と同様な構成であり、レシーバ１６が固定される１対の側板４５と、この側板４５が取り付けられる１対の支持板４６とを有する。支持板４６はＺ軸方向に突出するように背板４２に取り付けられている。

図１に示すように、支持板４６には２個の円弧状長孔４７が形成してある。これら円弧状長孔４７は、検査位置にセットされた検査状態のときに、流延バンド１１ａ上の走査ラインＳＬを中心とした同心円上に形成されるもので、これらは離間して２個形成されている。

側板４５には、取付ネジ４８が取り付けられる。取付ネジ４８は、各長孔４７に入り、この長孔４７内を移動する。そして、長孔４７内で取付ネジ４８の位置を変更することにより、流延バンド１１ａで反射するレーザー２０の反射角度θ２が変更される。長孔４７は１５°の角度分の長さで形成してあり、走査ラインＳＬを中心としてレシーバ１６を１５°の角度範囲で取付角度を変更することができる。取り付け角度の変更後は、取付ネジ４８を締める方向に回すことにより、側板４５を支持板４６に固定することができる。

両側板４５の外側面には、レーザーポインタ３９が取り付けられている。レーザーポインタ３９は、走査ラインＳＬの両端部に向けてレーザーを照射する。このレーザーポインタ３９により流延バンド１１ａ上に投影されたポイントと、スキャナ１５の走査ラインとが重なるように、各部３２，３３，３４，３５の固定位置を調節して位置合わせする。両者が流延バンド１１ａ上で重なり合うことにより、スキャナ１５による走査ラインと、レシーバ１６による受光ラインとが流延バンド１１ａ上で同一位置となり、スキャナ１５及びレシーバ１６の位置決めが完了する。

図５に示すように、背板４２には２個の取付ネジ５２が取り付けられる。この取付ネジ５２により、背板４２はＹ軸スライド部３５の支持板５４に取り付けられる。支持板５４には２個の円弧状長孔５５が形成してある。２個の円弧状長孔５５は、走査ラインＳＬの幅方向中間位置を通るＺ軸に平行な走査中心線ＣＬ１を中心とする円に沿って形成されている。この円弧状長孔５５内に取付ネジ５２が入り、背板４２は、走査中心線ＣＬ１を中心として、長孔５５の長さ分である９０度の角度で回動可能になる。そして、取付ネジ５２を回して締めつけることにより、背板４２を走査中心線ＣＬ１の回りに９０°の角度範囲内で任意の取付角度で支持板５４に固定することができる。

これら背板４２、支持板５４、２個の円弧状長孔５５、取付ネジ５２によって、Ｚ軸回動保持部３４が構成される。

支持板５４の２個の円弧状長孔５５の両側にはＹ軸方向に長い長孔６０が形成してあり、これに取付ネジ６１が入れられる。フレーム３１の内側で両サイドには基板６２が取り付けられている。この基板６２には、支持板５４の長孔６０に対応する位置にネジ孔６３が形成してある。取付ネジ６１は長孔６０内に挿入された後に、ネジ孔６３に取り付けられる。このように長孔６０及び取付ネジ６１により支持板５４が、フレーム３１の基板６２に取り付けられるため、支持板５４をＹ軸方向で長孔５５の長さ分だけスライドさせることができる。したがって、スキャナ１５及びレシーバ１６を一体化した状態でＹ軸方向に移動させることができる。これら支持板５４、長孔６０、取付ネジ６１、基板６２、ネジ孔６３によってＹ軸スライド部３５（図３参照）が構成される。

図１に示すように、フレーム３１の下端部は基台６５の一端部でＸ軸方向の取付軸６６により、Ｘ軸回りに回動自在に取り付けられている。基台６５は、水平方向に長い矩形枠から構成されている。

基台６５とフレーム３１との間には、揺動規制レバー６７が斜めに取り付けられている。揺動規制レバー６７は、一端部が基台６５の一端近くに、取付軸６８により揺動可能に取り付けられている。また、揺動規制レバー６７の他端部には、長手方向に長孔６９が形成してある。この長孔６９内には、取付ネジ７０が入れられる。取付ネジ７０はフレーム３１にネジ止めされる。したがって、取付ネジ７０を弛めて取付軸６８を中心にフレーム３１を回動し、フレーム３１をＸ軸回りに任意の傾斜で取り付けることができる。これら取付軸６８及び揺動規制レバー６７、取付ネジ７０によって、Ｘ軸回動保持部３６（図３参照）が構成される。

基台６５の下面にＺ軸スライド部３７が設けられている。Ｚ軸スライド部３７は、基台６５を図示しないレールによりＺ軸方向に移動案内する。

Ｚ軸スライド部３７の底板には自在車輪７５が取り付けられている。また、Ｚ軸スライド部３７のＺ軸方向先端部には、ガイド部材７６が配される。このガイド部材７６は、Ｘ軸方向に延びており、支持ドラム１２の下方位置で、支持ドラム１２の軸に平行に取り付けられる。ガイド部材７６にはＺ軸スライド部３７の先端が係合する。したがって、Ｚ軸スライド部３７は、ガイド部材７６によってＸ軸方向に案内されて自在車輪７５により移動する。

Ｚ軸スライド部３７には支柱８０を介して、除塵装置８１が取り付けられている。除塵装置８１は、イオナイザを有する送風機を備え、流延バンド１１ａに付着した塵埃を吹き飛ばす。なお、除塵装置８１は、支柱８０を介してＺ軸スライド部３７に取り付けたが、この他に、フレーム３１の上下端部に取り付けてもよい。この場合には、流延バンド１１ａの走行方向が図１に示す反時計方向の場合には、フレーム３１の下端部近くに取り付け、時計方向の場合にはフレーム３１の上端部近くに取り付ける。

次に、図６に示すフローチャートを参照しながら、本実施形態の作用を説明する。使用に際しては、検査対象物である流延バンド１１ａが設置されている設備に、表面検査装置１０を搬入する。本実施形態では、新たな流延バンド１１ａのメーカーからの受け入れ前の最終検査に実施した場合で説明する。なお、この他に、溶液流延設備（図７参照）に流延バンド１１ａを取り付けて、溶液製膜を行い、定期的な修理時に、流延バンド１１ａの表面欠陥を検査する場合に、本発明装置を用いてもよい。

まず、検査対象部位の近くで、先ずＸ軸方向にガイド部材７６を取り付ける。このガイド部材７６にＺ軸スライド部３７を取り付けて、Ｘ軸方向にＺ軸スライド部３７を移動自在とする。

Ｚ軸スライド部３７やＹ軸スライド部３５をスライドさせて、スキャナ１５及びレシーバ１６を流延バンドの走査ラインに位置決めする。この時、レーザーポインタ３９で走査ラインＳＬ上の例えば両端部近くの二点にレーザーを照射し、スポットを形成する。次に、スキャナ１５をＯＮにして、レーザー２０による走査を行うと、流延バンド１１ａの表面上に、例えば赤色レーザーにより走査ラインＳＬが表示される。この走査ラインＳＬがレーザーポインタ３９による例えば赤色スポット光と重なるように、Ｙ軸スライド部３５、Ｚ軸スライド部３７、Ｘ軸回動保持部３６などを微調整する。

スキャナ保持部３２及びレシーバ保持部３３は、設計走査ラインに合わせて入射角θ１と出射角θ２とが流延バンド面に対する法線ＣＬ１に対して４５度振り分けとなるように設定されている。したがって、Ｘ軸回動保持部３６、Ｙ軸スライド部３５、Ｚ軸スライド部３７を微調整して、図１に示すような位置関係になると、レシーバ１６へ入射する信号レベルが検査可能レベルになっていることを自動判定し、位置決め完了をディスプレイ１７ａやアラームなどによりオペレータに知らせる。このため、欠陥判定部１７には、位置決めのための受光信号レベルが適正か否かを判定する位置決め判定モードが選択可能になっている。

また、除塵装置８１の向きや位置を変更し、流延バンド１１ａ上の塵埃などが走査ラインＳＬの位置に到達することがないように、吹き飛ばす。なお、この吹き飛ばした塵埃を吸入する吸入機を塵埃装置の近くに設けてもよい。

流延バンド１１ａを支持する支持ドラム１２の直径が変更になった場合や特殊な欠陥を検査する場合などで、入射角θ１や出射角θ２を変更する必要がある場合には、スキャナ保持部３２やレシーバ保持部３３の取り付け位置を変更して微調整を行う。この場合には、それぞれの取付ネジ４４，４８を弛めて、各保持部３２，３３の取付角度を変更する。

以上のようにして、レーザーポインタのスポット光により流延バンド上の所望の走査ラインに対して、設計走査ラインを合わせて、位置決めが完了すると、欠陥検査を行う。この欠陥検査では、流延バンドを０．５ｍ／ｍｉｎ以上５．０ｍ／ｍｉｎ以下の範囲内で一定速度、例えば１．０ｍ／ｍｉｎで走行させることができる。

スキャナ１５からは例えば赤色レーザー光が照射され、この赤色レーザー光は流延バンド１１ａの表面で反射し、レシーバ１６に入射する。このとき、遮光板２１のスリット開口２１ａが流延バンド１１ａ状のスポット径Ｄｓに対応させて３０倍以上２００倍以下に設定されているので、欠陥検査に必要十分な受光量を得られ、精度の良い検査が可能である。

受光信号からの欠陥検査は周知の方法を用いている。例えば、欠陥判定部１７では、レシーバ１６からの光電変換信号をＡＧＣ回路（オート・ゲイン・コントロール回路）、二値化回路を介して欠陥検出部２７に送り、欠陥の有無を判定する。そして、欠陥と判定されたときには、この欠陥信号とその位置データとがデータ処理部に送られる。この欠陥信号と位置データとはデータ処理部内のメモリに記憶されて、種々のデータ加工が行われる。また、必要に応じてディスプレイ１７ａに表示される他にプリンタ（図示せず）を用いてプリントが行われる。そして、この欠陥情報に基づき、欠陥を無くすような仕上げ処理が行われる。例えば、凸状欠陥の場合には研磨処理が、ピンホールやクラックなどの凹状欠陥の場合にはスポット溶接後の研磨処理などが行われて、欠陥を無くす処理が行われる。そして、このような仕上げ処理の後に、再度欠陥検査が行われることにより、欠陥の有無が判定される。このように、欠陥が無くなるまで、検査処理が行われる。

なお、流延バンド１１ａとしては、従来のように、横溶接ラインのみを有する通常幅サイズのものや、中央部材と側部材とを縦溶接により接合して、幅方向に広くした幅広サイズのものなどがあり、いずれのものであっても良い。特に、縦溶接バンドのように、溶接ラインがバンドの周長の２倍の長さを有するものである場合に、検査者の負担を軽減することができる。

上記実施形態では、長孔内での取付ネジの固定位置を変えることで、スキャナ及びレシーバの走査ラインに対する取付角度の変更や、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向でのスライド位置を変更するようにしたが、長孔や取付ネジによる位置決めの他に、取付軸による揺動角度の調整などにより行うようにしてもよい。また、微調整に際して、ネジの螺合により回転運動を直線運動に変換するアジャスト機構などを用いてもよい。また、これらアジャスト機構をモータにより回転させて自動的に位置決めしてもよい。

なお、図１に示すように、レシーバ保持部３３の側板４５の外周面にレーザーポインタ３９を設けたが、これは、表面検査装置１0とは別個に設けてもよい。

（溶液製膜設備）
以上のようにして欠陥検査に合格した流延バンド１１ａは溶液製膜設備１００に設置されて、溶液製膜が行われる。図７に示すように、溶液製膜設備１００は、流延装置１０１と、第１テンタ１０２と、ロール乾燥装置１０３と、第２テンタ１０４と、スリッタ１０５と、巻取装置１０６とを上流側から順に直列に接続して構成される。ポリマーの種類は特に限定されず、溶液製膜でフィルムにすることができる公知のポリマーを用いてよい。以下の実施形態では、ポリマーとしてセルロースアシレートを用いた場合を例にして説明する。

流延装置１０１は、ドラム１１１，１１２に掛け渡された流延バンド１１ａと、流延ダイ１１４と、ダクト（膜固化機）１１５と、減圧チャンバ１１６と、剥ぎ取りロール１１７とを備える。流延バンド１１ａは、環状に形成されたエンドレスの金属製流延支持体であり、第１ドラム１１１と第２ドラム１１２との周面に掛け渡される。この流延バンド１１ａは、上記表面検査装置１０により欠陥が無いものと評価されたものである。第１ドラム１１１はモータ（図示省略）により回転駆動され、これにより流延バンド１１ａが矢印Ａで示す第１方向に走行する。

第１ドラム１１１の上方には流延ダイ１１４が配置される。流延ダイ１１４は、走行している流延バンド１１ａに対し、ドープ１２０を連続的に流す。これにより、流延バンド１１ａ上には流延膜１２１が形成される。ドープ１２０は、例えばセルロースアシレートを溶剤に溶解したものであり、図示しないドープ製造ラインで製造され、流延ダイ１１４に供給される。

流延ダイ１１４からのビード１２４に対して、流延バンド１１ａの走行方向における上流には、減圧チャンバ１１６が設けられる。この減圧チャンバ１１６は、ビード１２４の上流側エリアの雰囲気を吸引して前記エリアを減圧し、ビード１２４の振動を減少させる。

製造速度を向上するために、剥ぎ取りロール１１７に向かう流延膜１２１は、第２ドラム１１２及び流延バンド１１ａにより加熱される。また、流延位置では、流延バンド１１ａが過度に昇温することがないように、第１ドラム１１１により流延バンド１１ａが冷却される。このため、各ドラム１１１，１１２は図示しない温度調節装置を有する。

ダクト１１５は流延バンド１１ａの走行路に沿って、複数が並べて設けられる。各ダクト１１５はそれぞれ送風機を有する温風コントローラ（共に図示無し）に接続され、流出口から乾燥風を吹き出す。温風コントローラは、乾燥風の温度、湿度、流量を独立して制御する。乾燥風の温度及び流量の制御と、ドラム１１１，１１２自体の温度調節装置による温度制御とにより、流延膜１２１の温度が調節され、流延膜１２１の乾燥が進行する。そして、第１テンタ１０２での搬送が可能な程度にまで流延膜１２１が固化されて自己支持性が付与される。なお、ダクト１１５に代えて又は加えて、他のヒータなどによって膜固化機を構成してもよい。

第１ドラム１１１の流延ダイ１１４の走行方向上流側には、剥ぎ取りロール１１７が設けられる。剥ぎ取りロール１１７は、溶剤を含む状態の乾燥が進行した流延膜１２１を流延バンド１１ａから剥がす際に、流延膜１２１を支持する。剥ぎ取られた流延膜１２１、すなわちフィルム１２２は、第１テンタ１０２に案内される。

第１テンタ１０２では、クリップ１２３によりフィルム１２２の両側縁部を把持して、フィルム１２２を搬送しながら、フィルム幅方向への張力を付与し、フィルム１２２の幅を拡げる。第１テンタ１０２には、上流側から順に、予熱エリア、延伸エリア、及び緩和エリアが形成される。なお、緩和エリアは必要に応じて設けられる。

第１テンタ１０２は、１対のレール及びチェーン（共に図示無し）を有する。レールはフィルム１２２の搬送路の両側に、所定の間隔で離間して配される。このレール間隔は、予熱エリアでは一定であり、延伸エリアでは下流に向かうに従って次第に広くなり、緩和エリアでは一定、または下流に向かうに従って次第に狭くなっている。チェーンには一定間隔でクリップ１２３が取り付けられる。

予熱エリア、延伸エリア、緩和エリアは、ダクト１１５からの乾燥風の送り出しによって空間として形成されるもので、これら各エリアの間に明確な境界はない。ダクト１１５のスリットからは、所定の温度や湿度に調整した乾燥風がフィルム１２２に向けて送られる。

ロール乾燥装置１０３では、多数のロール１２６にフィルム１２２が巻き掛けられて搬送される。ロール乾燥装置１０３の内部の雰囲気は、温度や湿度などが図示しない温調機により調節されており、フィルム１２２が搬送されている間に、フィルム１２２から溶剤が蒸発する。

第２テンタ１０４は、第１テンタ１０２と同様の構造であり、クリップ１２８及びダクト１２９を有する。第２テンタ１０４は、フィルム１２２をクリップ１２８により保持して延伸する。この延伸により、所望の光学特性を有するフィルム１２２となる。得られるフィルム１２２は、例えば液晶ディスプレイ用の位相差フィルムとして利用することができる。なお、フィルム１２２の光学特性によっては、第２テンタ１０４は用いなくてもよい。

スリッタ１０５は、第１テンタ１０２や第２テンタ１０４の各クリップ１２３，１２８による保持跡を含む側部を切除する。側部が切除されたフィルム１２２は、巻取装置１０６によりロール状に巻き取られる。本発明により得られるフィルムロール１２６は、特に、位相差フィルムや偏光板保護フィルムに用いることができる。

なお、流延バンド１１ａの幅は、例えば、ドープ１２０の流延幅の１．１倍以上２．０倍以下であることが好ましい。流延バンド１１ａの長さは、例えば、２０ｍ以上２００ｍ以下であることが好ましい。流延バンド１１ａの厚みは、例えば、０．５ｍｍ以上２．５ｍｍ以下であることが好ましい。流延バンド１１ａの厚みムラは、全体の厚みに対して０．５％以下のものを用いることが好ましい。また、流延膜１２１が形成される表面の表面粗さは０．０５μｍ以下であることが好ましい。

製品としてのフィルムの幅は、６００ｍｍ以上であることが好ましく、１４００ｍｍ以上２５００ｍｍ以下であることがより好ましい。また、本発明は、フィルムの幅が２５００ｍｍより大きい場合にも効果がある。またフィルムの膜厚は、１０μｍ以上８０μｍ以下であることが好ましい。

（ポリマー）
本発明に用いることのできるポリマーは、熱可塑性樹脂であれば特に限定されず、例えば、セルロースアシレート、ラクトン環含有重合体、環状オレフィン、ポリカーボネイト等が挙げられる。中でも好ましいのがセルロースアシレート、環状オレフィンであり、中でも好ましいのがアセテート基、プロピオネート基を含むセルロースアシレート、付加重合によって得られた環状オレフィンであある。

（セルロースアシレート）
本発明のセルロースアシレートに用いられるアシル基は１種類だけでも良いし、あるいは２種類以上のアシル基が使用されていても良い。２種類以上のアシル基を用いるときは、その１つがアセチル基であることが好ましい。セルロースの水酸基をカルボン酸でエステル化している割合、すなわち、アシル基の置換度が下記式（Ｉ）〜（ＩＩＩ）の全てを満足するものが好ましい。なお、以下の式（Ｉ）〜（ＩＩＩ）において、Ａ及びＢは、アシル基の置換度を表わし、Ａはアセチル基の置換度、またＢは炭素原子数３〜２２のアシル基の置換度である。なお、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）の９０質量％以上が０．１ｍｍ〜４ｍｍの粒子であることが好ましい。
（Ｉ） ２．０≦Ａ＋Ｂ≦３．０
（ＩＩ） １．０≦ Ａ ≦３．０
（ＩＩＩ） ０ ≦ Ｂ ≦２．９

アシル基の全置換度Ａ＋Ｂは、２．２０以上２．９０以下であることがより好ましく、２．４０以上２．８８以下であることが特に好ましい。また、炭素原子数３〜２２のアシル基の置換度Ｂは、０．３０以上であることがより好ましく、０．５以上であることが特に好ましい。

なお、セルロースアシレートの詳細については、特開２００５−１０４１４８号の［０１４０］段落から［０１９５］段落に記載されている。これらの記載も本発明にも適用できる。また、溶剤及び可塑剤，劣化防止剤，紫外線吸収剤（ＵＶ剤），光学異方性コントロール剤，レターデーション制御剤，染料，マット剤，剥離剤，剥離促進剤などの添加剤についても、同じく特開２００５−１０４１４８号の［０１９６］段落から［０５１６］段落に詳細に記載されている。また、セルロースアシレートの原料であるセルロースは、リンター、パルプのいずれかから得られたものでもよい。

上記実施形態では、流延支持体として、流延バンドについて説明したが、これに代えて、ドラムを流延支持体としてもよい。この場合には、ドラムに対して上記表面検査装置１０を用いて表面検査が行われる。また、支持ドラム１２に巻き掛けられた流延バンド１１ａや流延ドラムに対して表面検査したが、この他に、支持ドラム１２間の流延バンド１１ａに対して表面検査してもよい。

１０ 表面検査装置
１１ 流延支持体
１１ａ 流延バンド
１５ スキャナ
１６ レシーバ
１７ 欠陥判定部
２１ 遮光板
２１ａ スリット開口
３１ フレーム
３２ スキャナ保持部
３３ レシーバ保持部
３４ Ｚ軸回転保持部
３５ Ｙ軸スライド部
３６ Ｘ軸回動保持部
３７ Ｚ軸スライド部
３８ Ｘ軸スライド部
３９ レーザーポインタ
４１ 支持板
４２ 背板
４３，４７，５５，６０ 長孔
４４，４８，５２，６１ 取付ネジ
６２ 基板
６７ 揺動規制レバー
７５ 自在車輪
７６ ガイド部材
８１ 除塵装置
１００ 溶液製膜設備
１０１ 流延装置

Claims (8)

1. 連続走行する流延支持体に対してその幅方向にレーザーを走査するスキャナと、前記流延支持体で反射した前記レーザーを光電変換するレシーバと、前記レシーバからの光電変換信号を二値化し、この二値化信号に基づき欠陥を検出し、検出した欠陥が予め設定されている値よりも大きい場合に欠陥と判定する欠陥判定部とを有する流延支持体の表面検査装置であって、
   前記流延支持体は、１対の支持ドラムに巻き掛けられたエンドレスな流延バンド及び流延ドラムのいずれか一方であり、
   前記レーザーによる走査ラインは前記支持ドラムに巻き掛けられた流延バンド部分及び前記流延ドラムの周面のいずれか一方に形成され、
   前記レシーバは、前記流延支持体で反射した前記レーザーの走査ラインに沿って配されるスリット開口を持つ遮光板を有し、
   前記走査ラインが形成される前記流延支持体の曲率半径は１００ｍｍ以上４０００ｍｍ以下であり、前記流延支持体から前記遮光板までの距離は４０ｍｍ以上１００ｍｍ以下であり、
   前記レーザーの前記流延支持体上のスポット径が２０μｍ以上５０μｍ以下であり、
   前記スリット開口のスリット幅は前記スポット径に対して３０倍以上２００倍以下であり、
   前記スキャナと前記レシーバとを前記流延支持体に対し位置決めする位置決めユニットを備え、
   前記位置決めユニットは、前記流延支持体に対面するように配されるフレームと、
   前記レーザーの前記流延支持体上における走査ラインと平行なＸ軸の回りに前記スキャナを回動し、任意回動位置で前記スキャナを固定するスキャナ保持部と、
   前記流延支持体から反射した前記レーザーを前記スリット開口で受けるように、前記レシーバをＸ軸回りに回動し、任意回動位置で前記レシーバを固定するレシーバ保持部と、
   前記スキャナ及び前記レシーバをＸ軸に直交するＹ軸に沿って並べて前記スキャナ保持部及び前記レシーバ保持部を一体化し、この一体化した前記スキャナ保持部及び前記レシーバ保持部を、Ｘ軸及びＹ軸を含むＸＹ面に直交するＺ軸回りに回動し、前記スキャナと前記レシーバとを結ぶ中心線がＹ軸に対して任意の傾斜角度となるように、前記スキャナ保持部及び前記レシーバ保持部を前記フレームに固定するスキャナ及びレシーバの回動保持部とを有することを特徴とする流延支持体の表面検査装置。
2. 前記スキャナ保持部は前記流延支持体における設計時走査ラインを中心にスキャナを回動し、前記レシーバ保持部は前記設計時走査ラインを中心にレシーバを回動することを特徴とする請求項１記載の流延支持体の表面検査装置。
3. 前記スキャナ及びレシーバの回動保持部を前記Ｙ軸方向で前記フレームに対し移動自在に保持するＹ軸スライド部と、
   前記フレームをＸ軸回りに回動し、任意回動位置で前記フレームを固定するフレームＸ軸回動保持部と、
   前記フレームＸ軸回動保持部をＺ軸方向に移動自在に保持するＺ軸スライド部とを有することを特徴とする請求項１又は２記載の流延支持体の表面検査装置。
4. 前記Ｚ軸スライド部をＸ軸方向に移動自在に保持するＸ軸スライド部を有することを特徴とする請求項３記載の流延支持体の表面検査装置。
5. 前記流延支持体上で前記レーザーによる走査ライン上の両端部近くの二点にスポット光を照射して、前記レーザーの走査方向を決定するレーザーポインタを有することを特徴とする請求項１から４いずれか１項記載の流延支持体の表面検査装置。
6. 連続走行する流延支持体に対してその幅方向にスキャナによりレーザーを走査し、
   前記流延支持体で反射したレーザーをレシーバにより光電変換し、この光電変換信号を二値化し、この二値化信号に基づき欠陥を検出し、検出した欠陥が予め設定されている値よりも大きい場合に欠陥と判定する流延支持体の表面検査方法において、
   前記流延支持体は、１対の支持ドラムに巻き掛けられたエンドレスな流延バンド及び流延ドラムのいずれか一方であり、
   前記レーザーによる走査ラインは前記支持ドラムに巻き掛けられた流延バンド部分及び前記流延ドラムの周面のいずれか一方に形成され、
   前記レシーバは、前記流延支持体で反射した前記レーザーの走査ラインに沿って配されるスリット開口を持つ遮光板を有し、
   前記走査ラインが形成される流延支持体の曲率半径は１００ｍｍ以上４０００ｍｍ以下であり、前記流延支持体から前記遮光板までの距離は４０ｍｍ以上１００ｍｍ以下であり、
   前記レーザーの前記流延支持体上のスポット径が２０μｍ以上５０μｍ以下であり、
   前記スリット開口のスリット幅は前記スポット径に対して３０倍以上２００倍以下であり、
   前記スキャナと前記レシーバとは前記流延支持体に対し位置決めユニットにより位置決めされ、
   前記レーザーの前記流延支持体上における走査ラインと平行なＸ軸の回りに前記スキャナを回動し、任意回動位置で前記スキャナを固定するスキャナ保持ステップと、
   前記流延支持体から反射した前記レーザーを前記スリット開口で受けるように、前記レシーバをＸ軸回りに回動し、任意回動位置で前記レシーバを固定するレシーバ保持ステップと、
   前記スキャナ及び前記レシーバをＸ軸に直交するＹ軸に沿って並べて前記スキャナ及び前記レシーバを一体化し、これらスキャナ及びレシーバを、Ｘ軸及びＹ軸を含むＸＹ面に直交するＺ軸回りに回動し、前記スキャナと前記レシーバとを結ぶ中心線がＹ軸に対して任意の傾斜角度となるように、前記スキャナ及び前記レシーバを保持するスキャナ及びレシーバの回動保持ステップとを含むことを特徴とする流延支持体の表面検査方法。
7. 前記スキャナ及びレシーバの回動保持ステップの後に、前記スキャナ及びレシーバをＹ軸方向に移動自在に保持するＹ軸スライドステップと、
   前記Ｙ軸スライドステップを経た前記スキャナ及びレシーバをＸ軸回りに回動した後に任意回動位置で固定するフレームＸ軸回動保持ステップと、
   前記フレームＸ軸回動保持ステップを経た前記スキャナ及びレシーバをＸＹ面に交差するＺ軸方向で移動自在に保持するＺ軸スライドステップと
   を含むことを特徴とする請求項６記載の流延支持体の表面検査方法。
8. 請求項６又は７記載の流延支持体の表面検査方法により適正と評価された流延支持体を用い、この流延支持体上に流延ダイからポリマー及び溶剤を含むドープを流して流延膜を形成し、この流延膜から前記溶剤を蒸発させて湿潤フィルムとして剥ぎ取ることを特徴とする溶液製膜方法。

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