JP5756526B2 - アクチュエータ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
2 センサ
3 圧電要素
4 内部電極
5 長さの変化が可能な領域
6 外部電極
7 外部電極
8 積層体
9 軸方向
10 センサ層
11 センサ電極
12 抵抗回路
13 セラミック層
14 接触領域
Claims (10)
- 温度依存の抵抗変化を検出する抵抗回路(12)を含み、温度を検出可能なセンサ層(10)と、
複数の交互に層状に配置されている内部電極(4)及び圧電要素(3)を備え長さの変化が可能な領域(5)と、を備えた積層体(8)を有するアクチュエータ(1)であって、
前記抵抗回路(12)が2つのセラミック層(13)の間に配置されており、
前記セラミック層(13)が前記圧電要素(3)と同じ材料から製造され、又はそれとは異なるが、製造に関して、前記圧電要素(3)に使用されるセラミックに対して適合性がある材料から製造され、前記積層体(8)が一つの工程で焼結されて一体化され、
前記センサ層(10)と回路をつなぐためのセンサ電極(11)を前記アクチュエータ(1)がさらに含み、
前記センサ電極(11)が、前記内部電極(4)と電気的に接続されている外部電極(6,7)と電気的に絶縁してあるアクチュエータ(1)。 - 前記内部電極(4)と電気的に接続されている外部電極(6、7)を含む、請求項1に記載のアクチュエータ(1)。
- 複数の前記センサ層(10)を備えた、請求項1または2に記載のアクチュエータ(1)。
- 前記センサ層(10)は、前記長さの変化が可能な領域(5)の端に配置されている請求項1から3のいずれか一項に記載のアクチュエータ(1)。
- 温度依存の抵抗変化を検出する抵抗回路(12)を含み、温度を検出可能なセンサ層(10)と、
複数の交互に層状に配置されている内部電極(4)及び圧電要素(3)を備え長さの変化が可能な領域(5)と、を備えた積層体(8)を有するアクチュエータ(1)であって、
前記抵抗回路(12)が2つのセラミック層(13)の間に配置されており、
前記セラミック層(13)が前記圧電要素(3)と同じ材料から製造され、又はそれとは異なるが、製造に関して、前記圧電要素(3)に使用されるセラミックに対して適合性がある材料から製造され、前記積層体(8)が一つの工程で焼結されて一体化され、
複数の前記センサ層(10)が備えられ、これらセンサ層(10)は、前記長さの変化が可能な領域(5)の端と、前記積層体(8)の中心に、前記長さの変化が可能な領域(5)と互いに絶縁されて配置されているアクチュエータ(1)。 - 前記センサ層(10)は、前記積層体(8)の外部に案内された一対の接触領域(14)を有し、それぞれの前記接触領域(14)には、センサ電極(11)が接続され、
一対の前記接触領域(14)の間に、前記抵抗回路(12)が接続され、
前記抵抗回路(12)の長さは一対の前記接触領域14の間の直線的な距離を超える請求項1から5のいずれか一項に記載のアクチュエータ(1)。 - 前記抵抗回路(12)がパラジウム及び/又はプラチナを含む、請求項1から6のいずれか一項に記載のアクチュエータ(1)。
- 前記抵抗回路(12)が蛇行形状に形成されている、請求項1から7のいずれか一項に記載のアクチュエータ(1)。
- 請求項1から8のいずれか一項に記載のアクチュエータ(1)の製造方法であって、
センサ構造の印刷工程を含む製造方法。 - 積層体の形成及び前記積層体のプレスのために、前記センサ構造が印刷されたシートと、長さの変化が可能な領域(5)を形成するための他のシートとの積層工程を含む、請求項9に記載の製造方法。
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