JP5754651B2 - 気相成長装置の温度調整方法及びエピタキシャルウェーハの製造方法 - Google Patents
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前記ヒータは載置された前記ウェーハの面内温度差を調整できるように複数の領域に分かれており、
前記ウェーハ上にエピタキシャル層を気相成長させる際に、成長中の該エピタキシャル層の膜厚と、前記ウェーハの面内温度差の相関である第1相関、及び前記ヒータの前記領域間の出力比と、前記ウェーハの面内温度差の相関である第2相関をあらかじめ求めておき、前記第1相関及び前記第2相関を用い、前記エピタキシャル層の膜厚による前記ウェーハの面内温度差を、前記エピタキシャル層の膜厚に応じて前記ヒータ出力比により相殺するように補正することを特徴とする。
前記第1相関は、前記エピタキシャル層の膜厚と、前記ウェーハの外周部と中央部の温度差の相関であり、
前記第2相関は、前記2つの領域間の前記ヒータ出力比と、前記ウェーハの外周部と中央部の温度差の相関であり、
前記第1相関及び前記第2相関を用い、前記エピタキシャル層の膜厚による前記ウェーハの外周部と中央部の温度差を、前記エピタキシャル層の膜厚に応じて前記ヒータ出力比により相殺するように補正するのが好ましい。
12 チャンバー
17 サセプタ
25 ランプ制御部
31 上側ゾーン
32 下側ゾーン
41 上側Outerゾーン
42 上側Innerゾーン
51 下側Outerゾーン
52 下側Innerゾーン
60、61、62 ランプ(ヒータ)
71 近似直線(第2相関)
73 近似直線(第1相関)
100 ウェーハ
101 ウェーハ外周部
102 ウェーハ中央部
Claims (4)
- サセプタと該サセプタ上に載置されたウェーハを加熱するヒータとを有する気相成長装置を用いて前記ウェーハ上にエピタキシャル層を気相成長させるときの前記ウェーハの面内温度を調整する、気相成長装置の温度調整方法であって、
前記ヒータは載置された前記ウェーハの面内温度差を調整できるように複数の領域に分かれており、
前記ウェーハ上にエピタキシャル層を気相成長させる際に、成長中の該エピタキシャル層の膜厚と、前記ウェーハの面内温度差の相関である第1相関、及び前記ヒータの前記領域間の出力比と、前記ウェーハの面内温度差の相関である第2相関をあらかじめ求めておき、前記第1相関及び前記第2相関を用い、前記エピタキシャル層の膜厚による前記ウェーハの面内温度差を、前記エピタキシャル層の膜厚に応じて前記ヒータ出力比により相殺するように補正することを特徴とする気相成長装置の温度調整方法。 - 前記ヒータは前記ウェーハの外周部と中央部に該当する2つの領域に分かれており、
前記第1相関は、前記エピタキシャル層の膜厚と、前記ウェーハの外周部と中央部の温度差の相関であり、
前記第2相関は、前記2つの領域間の前記ヒータ出力比と、前記ウェーハの外周部と中央部の温度差の相関であり、
前記第1相関及び前記第2相関を用い、前記エピタキシャル層の膜厚による前記ウェーハの外周部と中央部の温度差を、前記エピタキシャル層の膜厚に応じて前記ヒータ出力比により相殺するように補正することを特徴とする請求項1に記載の気相成長装置の温度調整方法。 - 気相成長中における前記エピタキシャル層の膜厚において、随時前記ウェーハの外周部と中央部の温度差を前記第1相関に基づき推定し、その温度差を相殺する相殺温度差を与える前記ヒータ出力比を前記第2相関から求め、そのヒータ出力比となるように前記ヒータの出力を補正することを特徴とする請求項2に記載の気相成長装置の温度調整方法。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の気相成長装置の温度調整方法を適用してエピタキシャルウェーハを製造することを特徴するエピタキシャルウェーハの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012164744A JP5754651B2 (ja) | 2012-07-25 | 2012-07-25 | 気相成長装置の温度調整方法及びエピタキシャルウェーハの製造方法 |
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JP2014027049A JP2014027049A (ja) | 2014-02-06 |
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ID=50200452
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2012164744A Active JP5754651B2 (ja) | 2012-07-25 | 2012-07-25 | 気相成長装置の温度調整方法及びエピタキシャルウェーハの製造方法 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5754651B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7264038B2 (ja) * | 2019-12-19 | 2023-04-25 | 株式会社Sumco | 気相成長装置及び気相成長処理方法 |
JP7230877B2 (ja) * | 2020-04-20 | 2023-03-01 | 株式会社Sumco | エピタキシャルウェーハの製造システム及びエピタキシャルウェーハの製造方法 |
JP2023097005A (ja) * | 2021-12-27 | 2023-07-07 | 株式会社Sumco | エピタキシャルウェーハの製造方法およびエピタキシャルウェーハ製造装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07307301A (ja) * | 1994-03-17 | 1995-11-21 | Hitachi Ltd | 半導体製造装置及び半導体製造方法 |
JP4428175B2 (ja) * | 2004-09-14 | 2010-03-10 | 株式会社Sumco | 気相エピタキシャル成長装置および半導体ウェーハの製造方法 |
JP2006339242A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2008240003A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-09 | Tokyo Electron Ltd | 成膜方法、成膜装置及び記憶媒体 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014027049A (ja) | 2014-02-06 |
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