JP5754401B2 - 微小変位量計測方法及び微小変位量計測装置 - Google Patents
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- 撮像装置(2)により、変位量を計測すべき対象(H)の移動前の基準画像及び移動後の照合画像を撮影し、それら2つの画像信号から、位相限定相関法を用いて前記対象(H)の微小変位量を計測するための方法であって、
前記撮像装置(2)は、多数本の光ファイバ(10)を規則的に並べて構成されるイメージファイバ(7)を含んでおり、
前記基準画像及び照合画像の撮影画像信号を、画素が一列に並ぶライン単位に夫々分割し、それら基準画像及び照合画像の同一ラインに関して、位相限定相関法を用いて各ライン毎の変位量を演算するライン変位量演算工程と、
前記各ライン毎のライン変位量を、大小の順位で配列した際の中間的な順位に位置される複数個のライン変位量を抽出する抽出工程と、
前記抽出された複数個のライン変位量の平均値を算出し、その結果を当該ラインの延びる方向に関する前記対象(H)の変位量算出結果とする平均変位量算出工程とを含むと共に、
前記抽出工程は、前記光ファイバ(10)の欠陥の個数を考慮した個数だけ、配列されたライン変位量のうち大きい側と小さい側とを除去するようにして、残りのものを抽出することにより行われることを特徴とする微小変位量計測方法。 - 前記ラインは、横方向及び縦方向の双方に設定され、夫々の方向のラインに関して、前記ライン変位量演算工程、抽出工程、平均変位量算出工程が実行されることを特徴とする請求項1記載の微小変位量計測方法。
- 前記ラインは、前記対象の画像が変位すると予測される方向に沿って平行に延びるように予め設定されることを特徴とする請求項1記載の微小変位量計測方法。
- 変位量を計測すべき対象(H)の移動前の基準画像及び移動後の照合画像を撮影する撮像装置(2)を備え、前記撮像装置(2)により撮影された基準画像及び照合画像の画像信号から、位相限定相関法を用いて前記対象(H)の微小変位量を計測する微小変位量計測装置(1)であって、
前記撮像装置(2)は、多数本の光ファイバ(10)を規則的に並べて構成されるイメージファイバ(7)を含んでおり、
前記基準画像及び照合画像の撮影画像信号を、画素が一列に並ぶライン単位に夫々分割し、それら基準画像及び照合画像の同一ラインに関して、位相限定相関法を用いて各ライン毎の変位量を演算するライン変位量演算手段(3)と、
前記各ライン毎のライン変位量を、大小の順位で配列した際の中間的な順位に位置される複数個のライン変位量を抽出する抽出手段(3)と、
前記抽出された複数個のライン変位量の平均値を算出し、その結果を当該ラインの延びる方向に関する前記対象の変位量算出結果とする平均変位量算出手段(3)とを備えると共に、
前記抽出手段は、前記光ファイバ(10)の欠陥の個数を考慮した個数だけ、配列されたライン変位量のうち大きい側と小さい側とを除去するようにして、残りのものを抽出することを特徴とする微小変位量計測装置。 - 前記ライン変位量演算手段は、前記ラインを、横方向及び縦方向の双方に設定し、夫々の方向のラインに関して、位相限定相関法を用いて各ライン毎の変位量を演算し、
前記抽出手段は、前記各方向のラインに関してライン変位量を抽出すると共に、前記平均変位量算出手段は、前記各方向のラインに関してライン変位量の平均値を算出することを特徴とする請求項4記載の微小変位量計測装置。 - 前記ライン変位量演算手段は、前記ラインを、前記対象の画像が変位すると予測される方向に沿って延びるように予め設定することを特徴とする請求項4記載の微小変位量計測装置。
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