JP2013195134A

JP2013195134A - 微小変位量計測方法及び微小変位量計測装置

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Publication number: JP2013195134A
Application number: JP2012060329A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiro Kaneko; 康宏金子
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2012-03-16
Filing date: 2012-03-16
Publication date: 2013-09-30
Anticipated expiration: 2032-03-16
Also published as: JP5754401B2

Abstract

【課題】撮像装置の撮影画像上に移動しない点が発生した場合でも、変位量の計測を高精度に行う微小変位量計測方法を提供する。
【解決手段】撮像装置により基準画像及び照合画像を撮影する撮影工程を実行する（Ｓ１、Ｓ２）。次に、基準画像及び照合画像の撮影画像信号を、画素が一列に並ぶライン単位に夫々分割し、それら基準画像及び照合画像の同一ラインに関して、位相限定相関法を用いて各ライン毎の変位量を演算するライン変位量演算工程を実行する（Ｓ３、Ｓ６）。次いで、各ライン毎のライン変位量を、大小の順位で配列した際の中間的な順位に位置される複数個のライン変位量を抽出する抽出工程を実行する。この後、抽出された複数個のライン変位量の平均値を算出し（Ｓ５、Ｓ８）、その結果を当該ラインの延びる方向に関する対象の変位量算出結果とする平均変位量算出工程を実行する（Ｓ９）。
【選択図】図３

Description

本発明は、撮像装置により、変位量を計測すべき対象の移動前の基準画像及び移動後の照合画像を撮影し、それら２つの画像信号から、位相限定相関法を用いて対象の微小変位量を計測する微小変位量計測方法及び微小変位量計測装置に関する。

自動車用の精密電子機器等においては、例えば出荷前の検査過程において、環境温度の変化に伴う部品の位置変動といった微小な変位量を計測（検査）することが行われる。特に、通常のカメラが入らない部位や高温度となる部位等における検査を行うために、光ファイバを束にしたイメージファイバを備え、そのイメージファイバを通してＣＣＤ撮像素子により画像の取込みを行う微小変位量計測装置が供されている。

このような微小変位量計測装置では、撮影した２つの画像信号をコンピュータで処理して、対象の移動量（微小変位量）を計測するのであるが、そのための手法として、位相限定相関法を用いる技術が知られている（例えば特許文献１参照）。この位相限定相関法では、移動前の基準画像信号をフーリエ変換して位相情報を取出し、移動後の照合画像信号をフーリエ変換した位相情報との相関（マッチング）をとってピークを検出することにより、微小変位量を求めるようにしている。また、非特許文献１にも、位相限定相関法を用いて微小変位量を計測する手法が開示されている。

特開２００１−１７５８６４号公報「位相限定相関法に基づく高精度マシンビジョン」（電気情報通信学会基礎・境界ソサイエティ Fundamentals Review 第１巻（2007年度）第１号（７月））

ところで、上記したイメージファイバを備えた微小変位量計測装置にあっては、使用途中で光ファイバに損傷（折れ）が発生し、その部分の画像データに欠陥（黒点欠陥）が生ずる事情がある。この場合、実使用上は、光ファイバの損傷は避けられないものとして、所定範囲（例えば全体の０．５％程度）までの欠陥は許容されている。

ところが、そのような光ファイバの欠陥は、撮像装置の撮影画像上において、対象の移動前後で移動しない点となるので、位相限定相関法を用いて変位量を求めた際に、実際の変位量よりも小さい結果となる等、計測精度の低下を招いてしまうことになる。尚、このような不都合（ノイズの発生）は、光ファイバの損傷以外にも、撮像素子における欠陥や、レンズ等の光学系におけるゴミの付着等の理由によっても起り得る。

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は、対象の移動前後の画像信号から位相限定相関法を用いて変位量を計測するものにあって、撮像装置の撮影画像上に移動しない点が発生した場合でも、変位量の計測を高精度に行うことができる微小変位量計測方法及び微小変位量計測装置を提供するにある。

上記目的を達成するために、本発明の請求項１の微小変位量計測方法は、撮像装置により、変位量を計測すべき対象の移動前の基準画像及び移動後の照合画像を撮影し、それら２つの画像信号から、位相限定相関法を用いて前記対象の微小変位量を計測するための方法であって、前記基準画像及び照合画像の撮影画像信号を、画素が一列に並ぶライン単位に夫々分割し、それら基準画像及び照合画像の同一ラインに関して、位相限定相関法を用いて各ライン毎の変位量を演算するライン変位量演算工程と、前記各ライン毎のライン変位量を、大小の順位で配列した際の中間的な順位に位置される複数個のライン変位量を抽出する抽出工程と、前記抽出された複数個のライン変位量の平均値を算出し、その結果を当該ラインの延びる方向に関する前記対象の変位量算出結果とする平均変位量算出工程とを含むところに特徴を有する。

また、本発明の請求項５の微小変位量計測装置は、変位量を計測すべき対象の移動前の基準画像及び移動後の照合画像を撮影する撮像装置を備え、前記撮像装置により撮影された基準画像及び照合画像の画像信号から、位相限定相関法を用いて前記対象の微小変位量を計測する微小変位量計測装置であって、前記基準画像及び照合画像の撮影画像信号を、画素が一列に並ぶライン単位に夫々分割し、それら基準画像及び照合画像の同一ラインに関して、位相限定相関法を用いて各ライン毎の変位量を演算するライン変位量演算手段と、前記各ライン毎のライン変位量を、大小の順位で配列した際の中間的な順位に位置される複数個のライン変位量を抽出する抽出手段と、前記抽出された複数個のライン変位量の平均値を算出し、その結果を当該ラインの延びる方向に関する前記対象の変位量算出結果とする平均変位量算出手段とを備えるところに特徴を有する。

本発明によれば、撮像装置により、対象の移動前の基準画像及び移動後の照合画像が撮影されると、ライン変位量演算工程（ライン変位量演算手段）において、基準画像及び照合画像の撮影画像信号が、画素が一列に並ぶライン単位に夫々分割され、それら基準画像及び照合画像の同一ラインに関して、位相限定相関法を用いて各ライン毎の変位量が演算される。そして、抽出工程（抽出手段）において、各ライン毎のライン変位量を、大小の順位で配列した際の中間的な順位に位置される複数個のライン変位量が抽出され、平均変位量算出工程（平均変位量算出手段）において、抽出された複数個のライン変位量の平均値が算出され、その結果が当該ラインの延びる方向に関する対象の変位量算出結果とされる。

ここで、撮像装置における欠陥等の理由により、撮像装置の撮影画像上に対象の移動前後で移動しない点が発生するケースがあり、この場合、ライン変位量演算工程（ライン変位量演算手段）で分割された複数のラインに、移動しない点を含むものと、含まないものとが生ずる。ライン毎に変位量が演算された際に、移動しない点を含むラインについては、変位量が小さく出てしまうことになる。従って、抽出工程（抽出手段）において、ライン変位量の大小の順位で配列した際の中間的な順位に部分を抽出し、平均変位量算出工程（平均変位量算出手段）において、それらを平均化すれば、移動しない点を除いた、画像のうち変位している部分のみの平均的な変位量を得ることが可能となる。

本発明の一実施例を示すもので、装置の全体構成を概略的に示す図イメージファイバの断面構成を模式的に示す図コンピュータが実行する変位量の計測の処理手順を示すフローチャートコンピュータが実行するライン単位の変位量演算の処理手順を示すフローチャート基準画像（ａ）及び照合画像（ｂ）の一例を示す図画像信号をラインに分割する際のラインを横方向に設定する場合（ａ）、及び縦方向に設定する場合（ｂ）の様子を示す図変位量検出結果の例を実施例（ａ）及び従来例（ｂ）について示す図

以下、本発明を具体化した一実施例について、図面を参照しながら説明する。尚、本実施例では、具体例として、図１に示すように、自動車用の部品、例えばケース（基板）Ｃに対してスナップフィット構造により取付けられるコネクタのハウジングＨを、変位量の計測の対象としている。このとき、ハウジングＨの外壁には、例えば黒丸からなるマークＭが設けられており、外部から力（例えば−２０℃〜＋１２０℃の熱サイクル）が加わった際の、マークＭの微小変位量を計測する場合を例とする。

まず、図１及び図２を参照して、本実施例に係る微小変位量計測装置１（以下単に「計測装置１」という）の概略構成について述べる。図１に示すように、計測装置１は、変位量を計測すべき対象の画像を撮影する撮像装置２と、この撮像装置２の動作を制御すると共に撮像装置２の撮影画像信号の処理等を行うコンピュータ３とを備えて構成される。そのうち、撮像装置２は、本体部４と、その本体部４の先端から長く延びて設けられるファイバースコープ部５とを備えている。

前記ファイバースコープ部５は、可撓性及び耐熱性を有する管６の中に、撮影（画像伝送）用のイメージファイバ７と、照明用のライトガイドファイバ８とを組み込んで構成される。前記ライトガイドファイバ８の基端側は、光源装置９に接続されている。これにて、光源装置９から出力された照明光が、ライトガイドファイバ８により先端側に導かれ、ファイバースコープ部５の先端から対象に向けて出射されるように構成されている。

前記イメージファイバ７は、図２に示すように、多数本（例えば数千本〜数万本）の光ファイバ１０を、縦横に規則的に並べて束にして構成されたイメージサークル１１の外周に、シリカジャケット１２及びプラスティックコート１３を有する周知構成を備えている。図１に示すように、イメージファイバ７の先端側には、対物レンズ１４が配設されており、イメージファイバ７の基端側（前記本体部４側）には、接眼レンズ１５が配設されている。そして、前記本体部４には、例えばＣＣＤイメージセンサからなる撮像素子１６が設けられている。

これにて、イメージファイバ７は、対物レンズ１４を介して、対象からの反射光を受光し、これを本体部４側に導いて、接眼レンズ１５を介して撮像素子１７に写し込むように構成されている。この場合、ファイバースコープ部５を備えた撮像装置２により、狭い所や、高温となる場所でも、ファイバースコープ部５を通して撮影することが可能となっている。尚、ここでは、図２に示すように、ファイバースコープ部５はケースＣの穴を通して内部に導かれ、ファイバースコープ部５の固定的な位置でハウジングＨの外壁のマークＭ部分を撮影することに基づき、熱膨張、熱収縮に伴う微小変位量が計測される。

さて、本実施例では、前記コンピュータ３は、そのソフトウエア的構成（計測プログラムの実行）により、前記撮像装置２を制御して、前記マークＭ部分の移動前の基準画像と、移動後の照合画像を撮影させる。そして、それら２つの画像信号から、位相限定相関法を用いて対象（マークＭ）の微小変位量を計測する。このとき、後の作用説明で詳述するように、コンピュータ３によって本実施例に係る計測方法が実施される。

具体的には、コンピュータ３により、次の工程が実行される。即ち、まず、撮像装置２により基準画像及び照合画像を撮影する撮影工程が実行される。次に、前記基準画像及び照合画像の撮影画像信号を、画素が一列に並ぶライン単位に夫々分割し、それら基準画像及び照合画像の同一ラインに関して、位相限定相関法を用いて各ライン毎の変位量を演算するライン変位量演算工程が実行される。

次いで、前記各ライン毎のライン変位量を、大小の順位で配列した際の中間的な順位に位置される複数個のライン変位量を抽出する抽出工程が実行される。この後、前記抽出された複数個のライン変位量の平均値を算出し、その結果を当該ラインの延びる方向に関する前記対象の変位量算出結果とする平均変位量算出工程が実行される。従って、コンピュータ３が、ライン変位量演算手段、抽出手段、平均変位量算出手段として機能する。

このとき、本実施例では、前記抽出工程において、ライン変位量を大小の順で配列した際に、中央値に近い全体の半数のラインについての変位量を抽出するようになっている。つまり、配列されたライン変位量のうち大きい側の１／４と、小さい側の１／４とを除去するようにして、残りの半数（１／２）のものを抽出する。更に、本実施例では、前記ラインは、横方向Ｌｈ及び縦方向Ｌｖの双方に設定され（図６参照）、夫々の方向のラインＬｈ、Ｌｖに関して、前記ライン変位量演算工程、抽出工程、平均変位量算出工程が実行されるようになっている。

次に、上記構成の計測装置１の作用について、図３〜図７も参照して述べる。図３のフローチャートは、上記コンピュータ３が実行する、対象この場合コネクタのハウジングＨの微小変位量の計測の処理手順を示している。まずステップＳ１では、移動前（例えば常温時）の基準画像が撮影され（取込まれ）、次のステップＳ２では、移動後（例えば１２０℃までの温度上昇時）の照合画像が撮影される（取込まれる）。

今、図５（ａ）は基準画像Ｖｂの例、図５（ｂ）は照合画像Ｖｒの例を夫々概略的に示しており、例えば、縦横各６４画素の画像信号が得られる。基準画像Ｖｂ（ａ）に対して照合画像Ｖｒ（ｂ）は、マークＭが画面内のやや右側に移動している。ここで、図２に示したように、多数本の光ファイバ１０を束ねて構成されるイメージファイバ７にあっては、使用途中で光ファイバ１０に損傷（折れ）Ｄが発生することがある。実使用上は、光ファイバ１０の損傷Ｄは避けられないものとして、所定範囲（例えば全体の０．５％程度）までの欠陥は許容されている。

ところが、そのような光ファイバ１０の欠陥は、図５、図６に示すように、撮像装置２の撮影画像Ｖｂ，Ｖｒ上において、対象の移動前後で移動しない点（黒点欠陥）Ｓとなり、位相限定相関法を用いて変位量を求める際に、計測精度の低下を招いてしまう虞がある。また、このような不都合（ノイズの発生）は、光ファイバ１０の損傷以外にも、前記撮像素子１６における欠陥や、各レンズ１４，１５等の光学系におけるゴミの付着等の理由によっても起り得る。

そこで、本実施例では、ステップＳ３以降の処理によって、高精度の微小変位量の計測を実現するようになっている。即ち、ステップＳ３では、図６（ａ）に基準画像Ｖｂにて例示するように、基準画像Ｖｂ及び照合画像Ｖｒの画像信号を、夫々、画素が横一列に並ぶようなラインＬｈ単位（行単位、つまり高さ１画素、幅６４画素のライン単位）に分割し、基準画像Ｖｂ及び照合画像Ｖｒの同一ライン（６４に分割された各ライン）に関して、位相限定相間法を用いて各ラインＬｈ毎の変位量を演算するライン変位量演算工程が実行される。

図４のフローチャートは、このステップＳ３における位相限定相関法を用いた変位量算出の処理の詳細を示している。ここで、基準画像Ｖｂ及び照合画像Ｖｒにおける、横方向に延びるラインＬｈは、例えば上から順に１番、２番、‥、ｋ番、‥と番号が付され、１番目のラインから順に次の処理が実行される。まず、基準画像Ｖｂの画像信号に関し、ステップＳ１１では、ｋ番目のラインが選択され、ステップＳ１２にて、その画像信号の両端の影響を抑えるためのハニング窓が乗算され、ステップＳ１３にて、離散フーリエ変換が行われる。この画像信号の離散フーリエ変換により、ステップＳ１４にて、周波数領域での位相信号と振幅信号とが得られる。

同様の処理を、照合画像Ｖｒの画像信号（同一のラインＬｈ）に関しても実行することにより（ステップＳ１６〜ステップＳ１９）、周波数領域での位相信号と振幅信号とが得られる。ステップＳ２１では、双方の位相信号を取出し、正規化相互パワースペクトルを求める処理が実行される。そして、ステップＳ２２にて、離散フーリエ逆変換を行い、ステップＳ２３にて、ピーク位置を求めることにより、ｋ番目のラインにおける変位量が演算される。以上の処理が全ラインＬｈ（６４本のライン）に関して繰返され（ステップＳ２４）、全ラインＬｈに関する処理が終了することにより（ステップＳ２４にてＹｅｓ）、ラインＬｈの本数分（この場合６４本）の変位量が得られる（ステップＳ２５）。

図３に戻って、次のステップＳ４では、得られたライン本数分の変位量を昇順（大小順）に並び替える（配列する）処理が行われる。そして、ステップＳ５では、昇順に配列した６４個の変位量のうち、大きい側の１６個及び小さい側の１６個を除去し、中間的な順位である中央値に近い３２個を抽出（選択）する処理（抽出工程）が行われ、それら３２個の変位量の平均値を求める処理（平均変位量算出工程）が行われる。

このとき、例えば上記した撮像装置２（光ファイバ１０）の損傷Ｄに起因して、撮影画像Ｖｂ、Ｖｒ上に移動前後で移動しない点（黒点欠陥）Ｓが発生するケースがあり、この場合、図６（ａ）にも示すように、分割された複数のラインＬｈに、移動しない点Ｓを含むものと、含まないものとが生ずる。移動しない点Ｓを含むラインＬｈでは、図４のステップＳ２３の処理にて演算された変位量は、本来の変位量よりも小さい値となる。

従って、抽出工程において、ライン変位量の大小の順位で配列した際の中間的な順位に部分を抽出し、平均変位量算出工程において、それらを平均化すれば、移動しない点Ｓを除いた、画像のうち変位している部分のみの平均的な変位量を得ることが可能となるのである。このようなステップＳ３〜ステップＳ５の処理によって、対象の横方向の微小変位量を求めることができるのである。

次いで、ステップＳ６〜ステップＳ８では、上記した基準画像Ｖｂ及び照合画像Ｖｒの画像信号に関し、今度は、図６（ｂ）に示すように、夫々、画素が縦一列に並ぶような縦方向に延びるラインＬｖ単位（列単位、つまり高さ６４画素、幅１画素のライン単位）に分割し、ライン変位量演算工程、抽出工程、平均変位量算出工程が実行される。ライン変位量演算工程は、ライン方向が角度９０度異なるだけで、図４のフローチャートと同様の処理により行なわれる。また、抽出工程、平均変位量算出工程も同様に行なわれる。

これにて、ステップＳ６〜Ｓ８の処理によって、縦方向に延びるラインＬｖ単位で、移動しない点Ｓを除いた、画像のうち変位している部分のみの平均的な変位量を得ることが可能となり、対象の縦方向の微小変位量を求めることができる。そして、ステップＳ９では、上記ステップＳ５で求められた横方向の平均変位量と、ステップＳ８で求められた縦方向の平均変位量とが合成され、対象の縦横の２次元的な変位量が計測結果として求められるのである。

以上のようにして、画像信号をライン単位に分割した上で位相限定相関法を用いて対象の微小変位量を求めることにより、変位量の計測の精度を高めることができる。ちなみに、図７は、光ファイバ１０における損傷Ｄ（画素の欠陥）の個数（０個〜６個）と、対象を１画素分だけ移動させた際の変位量計測結果との関係を調べた試験結果を示している。図７（ａ）が本実施例の方法によるもの、図７（ｂ）が従来の方法（一般的な位相限定相関法を用いたもの）によるものである。また、損傷Ｄ（欠陥）として黒点欠陥と白点欠陥との双方について調べている。

図７（ａ）から明らかなように、本実施例の計測方法では、損傷Ｄ（欠陥）の個数がいくつであっても、常に正確な変位量計測値（１．００）が得られている。図７（ａ）では黒点欠陥及び白点欠陥の結果が重なっている。これに対し、従来の方法では、図７（ｂ）に示すように、黒点欠陥、白点欠陥共に、損傷Ｄ（欠陥）の個数が多くなるに従って、変位量計測結果が次第に低下（９０％以下）していく傾向が見られた。これは、従来の方法では、本来の移動による相関関数と、ノイズ（移動しない点）による相関関数とが合成された相関関数が、変位量計測結果として現れるからであると考えられる。尚、図７（ｂ）の結果では、コントラストの差によって、黒点欠陥の方が大きな誤差が現れていた。

このように本実施例によれば、対象の移動前後の画像信号から位相限定相関法を用いて変位量を計測するものにあって、ライン変位量演算工程において、基準画像及び照合画像の撮影画像信号を画素が一列に並ぶライン単位に夫々分割し、同一ラインに関して位相限定相関法を用いて各ライン毎の変位量を演算し、抽出工程においてライン変位量の大小の順位で配列した際の中間的な順位に部分を抽出し、平均変位量算出工程においてそれらを平均化するようにしたので、撮像装置２の撮影画像上に移動しない点Ｓが発生した場合でも、画像のうち変位している部分のみの平均的な変位量を得ることが可能となり、変位量の計測を高精度に行うことができるという優れた効果を奏する。

尚、上記実施例では、基準画像Ｖｂ及び照合画像Ｖｒに対し、横方向のラインＬｈと縦方向のラインＬｖとの双方を設定して、ライン変位量演算工程、抽出工程、平均変位量算出工程を夫々について実行するようにしたが、予め、対象の画像が変位する方向が判明している（予測可能な）場合には、ラインをその変位方向に沿って平行に延びるように設定すれば、図３のステップＳ１〜ステップＳ５の処理を行うことにより、当該変位方向の変位量を求めることができる。撮像装置２の視野に対して、対象が斜め方向に変位するケースであれば、斜め方向にラインを設けるようにしても良い。

さらに、上記実施例では、変位計測対象（ハウジングＨ）にマークＭを設けるようにしたが、マーク等は特に設けなくても、対象の形状そのものや、或いは対象表面のツールマークと称される微細な傷（模様）によっても、位相限定相関法を用いて変位を計測することは可能である。その他、計測装置全体のハードウエア構成についても、ファイバースコープ部を備えていない撮像装置であっても良いなど、様々な変更が可能であり、また、本発明は、微小変位量を計測する様々な対象に対して適用することができる等、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施し得るものである。

図面中、１は微小変位量計測装置、２は撮像装置、３はコンピュータ（ライン変位量演算手段、抽出手段、平均変位量算出手段）、５はファイバースコープ部、７はイメージファイバ、１０は光ファイバ、１６は撮像素子を示す。

Claims

撮像装置（２）により、変位量を計測すべき対象（Ｈ）の移動前の基準画像及び移動後の照合画像を撮影し、それら２つの画像信号から、位相限定相関法を用いて前記対象（Ｈ）の微小変位量を計測するための方法であって、
前記基準画像及び照合画像の撮影画像信号を、画素が一列に並ぶライン単位に夫々分割し、それら基準画像及び照合画像の同一ラインに関して、位相限定相関法を用いて各ライン毎の変位量を演算するライン変位量演算工程と、
前記各ライン毎のライン変位量を、大小の順位で配列した際の中間的な順位に位置される複数個のライン変位量を抽出する抽出工程と、
前記抽出された複数個のライン変位量の平均値を算出し、その結果を当該ラインの延びる方向に関する前記対象（Ｈ）の変位量算出結果とする平均変位量算出工程とを含むことを特徴とする微小変位量計測方法。
前記撮像装置は、多数本の光ファイバ（１０）を規則的に並べて構成されるイメージファイバ（７）を含んでおり、
前記抽出工程は、前記光ファイバ（１０）の欠陥の個数を考慮した個数だけ、配列されたライン変位量のうち大きい側と小さい側とを除去するようにして、残りのものを抽出することにより行われることを特徴とする請求項１記載の微小変位量計測方法。
前記ラインは、横方向及び縦方向の双方に設定され、夫々の方向のラインに関して、前記ライン変位量演算工程、抽出工程、平均変位量算出工程が実行されることを特徴とする請求項１又は２記載の微小変位量計測方法。
前記ラインは、前記対象の画像が変位すると予測される方向に沿って平行に延びるように予め設定されることを特徴とする請求項１又は２記載の微小変位量計測方法。
変位量を計測すべき対象（Ｈ）の移動前の基準画像及び移動後の照合画像を撮影する撮像装置（２）を備え、前記撮像装置（２）により撮影された基準画像及び照合画像の画像信号から、位相限定相関法を用いて前記対象（Ｈ）の微小変位量を計測する微小変位量計測装置（１）であって、
前記基準画像及び照合画像の撮影画像信号を、画素が一列に並ぶライン単位に夫々分割し、それら基準画像及び照合画像の同一ラインに関して、位相限定相関法を用いて各ライン毎の変位量を演算するライン変位量演算手段（３）と、
前記各ライン毎のライン変位量を、大小の順位で配列した際の中間的な順位に位置される複数個のライン変位量を抽出する抽出手段（３）と、
前記抽出された複数個のライン変位量の平均値を算出し、その結果を当該ラインの延びる方向に関する前記対象の変位量算出結果とする平均変位量算出手段（３）とを備えることを特徴とする微小変位量計測装置。
前記撮像装置は、多数本の光ファイバ（１０）を規則的に並べて構成されるイメージファイバ（７）を含んでおり、
前記抽出手段は、前記光ファイバ（１０）の欠陥の個数を考慮した個数だけ、配列されたライン変位量のうち大きい側と小さい側とを除去するようにして、残りのものを抽出することを特徴とする請求項５記載の微小変位量計測装置。
前記ライン変位量演算手段は、前記ラインを、横方向及び縦方向の双方に設定し、夫々の方向のラインに関して、位相限定相関法を用いて各ライン毎の変位量を演算し、
前記抽出手段は、前記各方向のラインに関してライン変位量を抽出すると共に、前記平均変位量算出手段は、前記各方向のラインに関してライン変位量の平均値を算出することを特徴とする請求項５又は６記載の微小変位量計測装置。
前記ライン変位量演算手段は、前記ラインを、前記対象の画像が変位すると予測される方向に沿って延びるように予め設定することを特徴とする請求項５又は６記載の微小変位量計測装置。