JP2010175324A - 二次元測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定物を照明する照明装置と、測定物を撮像する撮像部と、該撮像部からの映像信号の輝度変化から線の縁を検出して線幅を測定できる二次元測定装置において、照明装置の照明レベルを段階的に変化させる照明レベル変化手段(S6、S7、S8、S15)と、照明レベルの各段階毎に線幅を測定する線幅測定手段(S9〜S13)と、線幅、該線幅を測定したときの照明レベル、最大輝度及び最小輝度を記憶する測定値記憶手段(S14)と、記憶した測定値に基づいて線幅測定の安定領域を検出して映像信号の輝度範囲を設定する輝度設定手段(S16)と、映像信号の輝度を設定された範囲内に保持する自動調光手段とを備える。
【選択図】 図2
Description
2 顕微鏡
4 撮像部
14a 落射照明装置
14b 透過照明装置
25 ビームスプリッタ
27 反射鏡
100 二次元測定機
w 線幅
S 安定領域
La 安定開始照度(安定領域の下限照明レベル)
Lb 安定終了照度(安定領域の上限照明レベル)
Lc 安定推奨照度(安定推奨照明レベル)
TU 上側上限値
TL 上側下限値
BU 下側上限値
BL 下側下限値
Claims (5)
- 測定物を照明する照明装置と、測定物を撮像する撮像部と、該撮像部からの映像信号の輝度変化から線の縁を検出して線幅を測定できる二次元測定装置において、
前記照明装置の照明レベルを段階的に変化させる照明レベル変化手段と、
照明レベルの各段階毎に線幅を測定する線幅測定手段と、
前記線幅、前記線幅を測定したときの照明レベル、映像信号の最大輝度及び最小輝度を記憶する測定値記憶手段と、
記憶した前記線幅、前記線幅を測定したときの照明レベル、映像信号の最大輝度及び最小輝度に基づいて、各段階の照明レベルにおける映像信号の最小輝度に関して、線幅測定の安定領域の下限照明レベルと上限照明レベルとの間での最小値及び最大値をそれぞれ映像信号の輝度の下側下限値及び下側上限値として設定し、各段階の照明レベルにおける映像信号の最大輝度に関して、前記安定領域の下限照明レベルと上限照明レベルとの間での最小値及び最大値をそれぞれ映像信号の輝度の上側下限値及び上側上限値として設定する輝度設定手段と、
映像信号の最小輝度を前記下側上限値と前記下側下限値との間に保持し、映像信号の最大輝度を前記上側上限値と前記上側下限値との間に保持する自動調光手段とを備えたことを特徴とする二次元測定装置。 - 前記輝度設定手段は、照明レベルと線幅との関係、照明レベルと線幅の変化量との関係、前記安定領域の下限照明レベル、前記安定領域の上限照明レベル、前記下限照明レベルと前記上限照明レベルとの間に設定された安定推奨照明レベル、該安定推奨照明レベル時の映像信号の最大輝度及び最小輝度、前記下側上限値、前記下側下限値、前記上側上限値及び前記上側下限値を表示できることを特徴とする請求項1に記載の二次元測定装置。
- 前記輝度設定手段は、前記下限照明レベル、前記上限照明レベル又は安定推奨照明レベルが手動で変更可能であることを特徴とする請求項1又は2に記載の二次元測定装置。
- 前記輝度設定手段は、前記下側上限値、前記下側下限値、前記上側上限値又は前記上側下限値が手動で変更可能であることを特徴とする請求項1、2又は3に記載の二次元測定装置。
- 前記輝度設定手段は、前記下側上限値、前記下側下限値、前記上側上限値及び前記上側下限値を保存できることを特徴とする請求項1、2、3又は4に記載の二次元測定装置。
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