JP2008046509A - 走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法及びその制御システム - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明では、高さの異なる複数のパターン部が存在しても画像の取込範囲を適切に判断して、画像を取り込むことができる走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法を提供する。
【解決手段】試料が載置されたステージと対物レンズとの間の距離を光軸方向に相対的に変えながら、該試料にレーザ光を照射してその反射光を受光部により受光することにより該試料の表面形態の2次元画像を取り込む走査型共焦点レーザ顕微鏡を用いて、該試料の表面形態を計測する走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法は、前記光軸方向における前記表面形態に含まれる任意に選択された第1の位置に関する情報である光軸方向位置情報を複数登録し、前記光軸方向位置情報に基づいて、前記該試料の表面形態を前記2次元画像として取り込むための前記光軸方向の取込範囲を算出し、前記取込範囲に基づいて、前記2次元画像の取り込みを行うことにより、上記課題の解決を図る。
【選択図】 図1
【解決手段】試料が載置されたステージと対物レンズとの間の距離を光軸方向に相対的に変えながら、該試料にレーザ光を照射してその反射光を受光部により受光することにより該試料の表面形態の2次元画像を取り込む走査型共焦点レーザ顕微鏡を用いて、該試料の表面形態を計測する走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法は、前記光軸方向における前記表面形態に含まれる任意に選択された第1の位置に関する情報である光軸方向位置情報を複数登録し、前記光軸方向位置情報に基づいて、前記該試料の表面形態を前記2次元画像として取り込むための前記光軸方向の取込範囲を算出し、前記取込範囲に基づいて、前記2次元画像の取り込みを行うことにより、上記課題の解決を図る。
【選択図】 図1
Description
本発明は、レーザ顕微鏡の制御に関する。
図1の走査型共焦点レーザ顕微鏡によれば、レーザ光源9から出たレーザ光は、ミラー8を介して試料1を照明する。試料1で反射したレーザ光は、ハーフミラー6を介して集光する。
集光した位置にピンホールを設置し、そのピンホールを通過した光を光検出器7が検出する。測定領域を2次元に走査して、光検出器7でレーザ照明の反射光を検出することで、2次元画像を得ることができる。
このとき、試料1に対して焦点が合っていない位置の反射光はピンホールに集光しないため、焦点が合った位置のみの2次元画像(共焦点画像)を得ることができる。
光軸方向に移動する対物レンズ2をZ位置制御部5で駆動して、試料1との距離を相対的に変えていく。試料1と対物レンズ2の距離を相対的に変えていったときの2次元画像を順次取得していく。このように取得した複数の画像の各画素の最大輝度を合成することで、全測定領域で焦点の合った画像(以下、「エクステンド画像」という)を得ることができる。
光軸方向に移動する対物レンズ2をZ位置制御部5で駆動して、試料1との距離を相対的に変えていく。試料1と対物レンズ2の距離を相対的に変えていったときの2次元画像を順次取得していく。このように取得した複数の画像の各画素の最大輝度を合成することで、全測定領域で焦点の合った画像(以下、「エクステンド画像」という)を得ることができる。
なお、所望の試料の表面形状を測定するには、光軸方向の移動範囲を予めメモリに記憶させておく必要がある。
図13は、従来におけるエクステンド画像を取得するまでの流れを示す。同図は、図1の走査型共焦点レーザ顕微鏡を用いて、エクステンド画像を得る場合の一例を示す。まず、走査型共焦点レーザ顕微鏡により取り込まれたライブ画像(現在取得している画像)を画像表示部14にライブ画像を表示させる(ステップ101。以下、ステップを「S」と称する)。画像表示部14でそのライブ画像を見ながら、試料が載置されたステージと対物レンズとの間の距離を相対的に変えて(以下、「Z位置を移動させる」と称する)、ピントを調整する(S102)。
図13は、従来におけるエクステンド画像を取得するまでの流れを示す。同図は、図1の走査型共焦点レーザ顕微鏡を用いて、エクステンド画像を得る場合の一例を示す。まず、走査型共焦点レーザ顕微鏡により取り込まれたライブ画像(現在取得している画像)を画像表示部14にライブ画像を表示させる(ステップ101。以下、ステップを「S」と称する)。画像表示部14でそのライブ画像を見ながら、試料が載置されたステージと対物レンズとの間の距離を相対的に変えて(以下、「Z位置を移動させる」と称する)、ピントを調整する(S102)。
光軸方向において、試料表面の形態から計測したい範囲のうちの上限の位置を設定するため、Z位置を上方へ移動する(S103)。そのZ位置での2次元画像を取り込み(S104)、2次元画像の輝度がゼロ(画像が暗くなる)になったか否かを目視で確認する(S105)。ここでは、2次元画像の輝度がゼロの場合、その2次元画像中に計測したいパターンがないと判断する。
S105で輝度がゼロではない場合(S105で「NO」へ進む)、Z位置を更に上方へ移動する(S103)。Z位置を上方に移動しながら画像の輝度がゼロになるまで、S103〜S105を繰り返す。
2次元画像の輝度がゼロになった場合(S105で「YES」へ進む)、そこでのZ位置を2次元画像の取込範囲の上限値としてPC20のZ範囲メモリ17に記憶する(S106)。その後、最初のピントが合っていた位置に戻す(S107)。
次に、光軸方向において、試料表面の形態から計測したい範囲のうちの下限の位置を設定するため、Z位置を下方へ移動する(S108)。そのZ位置での2次元画像を取り込み(S109)、画像の輝度がゼロになったか否かを目視で確認する(S110)。ここでも、2次元画像の輝度がゼロの場合、その2次元画像中に計測したいパターンがないと判断する。
S110で輝度がゼロではない場合(S110で「NO」へ進む)、Z位置を更に下方へ移動する(S108)。Z位置を下方に移動しながら輝度がゼロになるまで、S108〜S110を繰り返す。
2次元画像の輝度がゼロ(画像が暗くなる)になった場合(S110で「YES」へ進む)、そこでのZ位置を2次元画像の取込範囲の下限値としてPC20のZ範囲メモリ17に記憶する(S111)。
更に、上記で登録した上限値〜下限値からなる取込範囲で2次元画像の輝度を確認してゲインを設定する。ここでは、上記で登録した上限及び下限からなる取込範囲内において、適切な明るさでその画像のパターンを取り込むことができるように注意して、ゲインを調整する(S112)。
S106及びS111で登録した上限位置及び下限位置を読み出し(S113)、その取込範囲でZ位置を移動させて、2次元画像を取り込む(S114)。この2次元画像の取り込みを連続して行うことにより(S114)、エクステンド画像を生成する(S115)。
また、2次元画像を連続的に取り込んだときの輝度を閾値と比較したり、前後の画像で輝度を比較したりすることで、画像の取込の終了を制御する方法がある。詳しくは特許文献1に開示している。
また、特許文献2には、感度を切り換えた画像の取り込み方法についての開示がされている。
特開平11−38324号公報
特開平8−292198号公報
図14は、高さの異なる試料表面のパターン部の一例を示す。図14(a)は上面図、図14(b)は、側面図である。同図では、高さの異なる複数のパターン101,102,103がある。この場合、それぞれのパターン部の形状や高さ関係が予め分かっていないと、それぞれのパターン部の輝度がゼロになる位置を探すのが難しい。このため、2次元画像の取込範囲の過不足が生じてしまうことがある。
また、2次元画像の取込範囲の上限または下限を設定する時に、画像全体の輝度がゼロになる位置を取込範囲とすると、計測対象ではないパターン部を取り込むことになるため、計測するのに時間がかかる。
また、それぞれのパターン部で反射率が異なる場合、1つのパターン部を最適な明るさにしても、他のパターン部が最適な明るさにならない。このため、明るさの調整をするのに、何度もZ位置を動かして、各パターン部について何度も明るさの調整をする必要がある。
また、特許文献1のような方法では、2次元画像の取込範囲について上限位置から明るさを比較することで取込終了を制御している。したがって、図14のように高さが異なる複数のパターン部がある場合、一番高い位置のパターンを取り込んだ位置で終了してしまう。そのため、全てのパターン部を取り込むことができない。
上記の課題に鑑み、本発明では、高さの異なる複数のパターン部が存在しても画像の取込範囲を適切に判断して、画像を取り込むことができる走査型共焦点レーザ顕微鏡の制御方法を提供する。
さらに、反射率が異なる複数のパターンを計測したい場合に、各反射率の異なるパターンで最適な明るさで画像の取り込むことができる走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法及びその制御システムを提供する。
本発明にかかる、試料が載置されたステージと対物レンズとの間の距離を光軸方向に相対的に変えながら、該試料にレーザ光を照射してその反射光を受光部により受光することにより該試料の表面形態の2次元画像を取り込む走査型共焦点レーザ顕微鏡を用いて、該試料の表面形態を計測する走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法は、前記光軸方向における前記表面形態に含まれる任意に選択された第1の位置に関する情報である光軸方向位置情報を複数登録し、前記光軸方向位置情報に基づいて、前記該試料の表面形態を前記2次元画像として取り込むための前記光軸方向の取込範囲を算出し、前記取込範囲に基づいて、前記2次元画像の取り込みを行うことを特徴とする。
前記走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法は、さらに、前記光軸方向位置情報から前記第1の位置の最大値と最小値とを判定し、前記第1の位置の最大値と最小値とに基づいて、前記取込範囲を算出することを特徴とする。
前記走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法において、前記取込範囲を算出する場合、前記第1の位置の最大値と最小値のそれぞれに、所定の許容誤差値を算入することを特徴とする。
前記走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法は、さらに、前記光軸方向における前記表面形態に含まれる任意に選択された第2の位置に応じて前記受光部の受光感度に関する情報である受光感度情報を登録し、前記光軸方向における前記表面形態に含まれる任意に選択された第3の位置に対応させて、前記受光感度情報に基づいて受光感度を切り替える該第3の位置に関する情報である受光感度切替位置情報を登録することを特徴とする。
前記走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法において、前記切替位置情報に基づいて、前記受光感度を切り替え、該切替の後、前記2次元画像を取り込むことを特徴とする。
前記走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法は、さらに、前記光軸方向における前記表面形態に含まれる任意に選択された第4の位置に応じて前記レーザの照射強度を登録し、前記登録した前記レーザの照射強度に基づいて、該レーザの照射強度を切り替え、該切替の後、前記2次元画像を取り込むことを特徴とする。
前記走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法は、さらに、前記光軸方向における前記表面形態に含まれる任意に選択された第4の位置に応じて前記レーザの照射強度を登録し、前記登録した前記レーザの照射強度に基づいて、該レーザの照射強度を切り替え、該切替の後、前記2次元画像を取り込むことを特徴とする。
前記走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法は、さらに、前記取り込んだ複数の2次元画像を合成して、前記取込範囲における全測定領域で焦点の合った画像を生成することを特徴とする。
本発明にかかる、試料が載置されたステージと対物レンズとの間の距離を光軸方向に相対的に変えながら、該試料にレーザ光を照射してその反射光を受光部により受光することにより該試料の表面形態の2次元画像を取り込み、該試料の表面形態を計測する走査型共焦点レーザ顕微鏡の制御システムは、前記光軸方向における前記表面形態に含まれる所定の位置に関する情報である光軸方向位置情報を複数登録する登録手段と、前記光軸方向位置情報に基づいて、前記該試料の表面形態を前記2次元画像として取り込むための前記光軸方向の取込範囲を算出する取込範囲算出手段と、前記取込範囲に基づいて、前記2次元画像の取り込みを行う2次元画像取込手段と、を備えることを特徴とする。
本発明を用いることにより、高さの異なる複数のパターン部が存在しても画像の取込範囲を適切に判断して、画像を取り込むことができる。さらに、反射率が異なる複数のパターンを計測したい場合に、各反射率の異なるパターンで最適な明るさで画像の取り込むことができる。
本発明は、試料が載置されたステージと対物レンズとの間の距離を光軸方向に相対的に変えながら、該試料にレーザ光を照射してその反射光を受光部により受光することにより該試料の表面形態の2次元画像を取り込む走査型共焦点レーザ顕微鏡を用いて、該試料の表面形態を計測する走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法を提供する。この走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法では、前記光軸方向における前記表面形態に含まれる任意に選択された第1の位置に関する情報である光軸方向位置情報を複数登録する(以下の実施形態で言えば、「取込範囲登録」ボタンを押下したときの処理に相当する)。そして、前記光軸方向位置情報に基づいて、該試料の表面形態を前記2次元画像として取り込むための前記光軸方向の取込範囲を算出する(以下の実施形態で言えば、Z範囲判定部による処理に相当する)。そして、前記取込範囲に基づいて、前記2次元画像の取り込みを行う。
このように構成することにより、高さの異なる複数のパターン部が存在しても画像の取込範囲を適切に判断して、画像を取り込むことができる。
また、この走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法では、さらに、前記光軸方向位置情報から前記位置の最大値と最小値とを判定し、前記第1の位置の最大値と最小値とに基づいて、前記取込範囲を算出する(以下の実施形態で言えば、Z範囲判定部による処理に相当する)。
また、この走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法では、さらに、前記光軸方向位置情報から前記位置の最大値と最小値とを判定し、前記第1の位置の最大値と最小値とに基づいて、前記取込範囲を算出する(以下の実施形態で言えば、Z範囲判定部による処理に相当する)。
このように構成することにより、複数のパターン部が登録されても、全てのパターン部が包含された画像の取り込み範囲が算出されるので、取込範囲の漏れがなくなる。
また、この走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法では、前記取込範囲を算出する場合、前記第1の位置の最大値と最小値のそれぞれに、所定の許容誤差値(以下の実施形態で言えば、マージン「+A」、「−B」に相当する)を算入する。
また、この走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法では、前記取込範囲を算出する場合、前記第1の位置の最大値と最小値のそれぞれに、所定の許容誤差値(以下の実施形態で言えば、マージン「+A」、「−B」に相当する)を算入する。
このように構成することにより、登録された取込範囲の上限及び下限にかかる画像も確実に取り込むことができる。
また、この走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法では、さらに、前記光軸方向における前記表面形態に含まれる任意に選択された第2の位置に応じて前記受光部の受光感度に関する情報である受光感度情報を登録する(以下の実施形態で言えば、「ゲイン登録」ボタンを押下したときの処理に相当する)。そして、前記光軸方向における前記表面形態に含まれる任意に選択された第3の位置に対応させて、前記受光感度情報に基づいて受光感度を切り替える該第3の位置に関する情報である受光感度切替位置情報を登録する(以下の実施形態で言えば、「切替位置登録」ボタンを押下したときの処理に相当する)。
また、この走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法では、さらに、前記光軸方向における前記表面形態に含まれる任意に選択された第2の位置に応じて前記受光部の受光感度に関する情報である受光感度情報を登録する(以下の実施形態で言えば、「ゲイン登録」ボタンを押下したときの処理に相当する)。そして、前記光軸方向における前記表面形態に含まれる任意に選択された第3の位置に対応させて、前記受光感度情報に基づいて受光感度を切り替える該第3の位置に関する情報である受光感度切替位置情報を登録する(以下の実施形態で言えば、「切替位置登録」ボタンを押下したときの処理に相当する)。
このように構成することにより、反射率が異なる複数のパターンを計測したい場合に、各反射率の異なるパターン毎に対応する画像を取り込むのに適した明るさを設定することができる。
また、この走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法では、前記切替位置情報に基づいて、前記受光感度を切り替え、該切替の後、前記2次元画像を取り込む。
このように構成することにより、反射率が異なる複数のパターンを計測したい場合に、各反射率の異なるパターンで最適な明るさで画像の取り込むことができる。
このように構成することにより、反射率が異なる複数のパターンを計測したい場合に、各反射率の異なるパターンで最適な明るさで画像の取り込むことができる。
また、この走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法では、さらに、前記光軸方向における前記表面形態に含まれる任意に選択された第4の位置に応じて前記レーザの照射強度を登録し、前記登録した前記レーザの照射強度に基づいて、該レーザの照射強度を切り替え、該切替の後、前記2次元画像を取り込む。
このように構成することにより、反射率が異なる複数のパターンを計測したい場合に、各反射率の異なるパターンで最適なレーザ照射強度で画像の取り込むことができる。
また、この走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法では、さらに、前記取り込んだ複数の2次元画像を合成して、前記取込範囲における全測定領域で焦点の合った画像を生成する。
また、この走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法では、さらに、前記取り込んだ複数の2次元画像を合成して、前記取込範囲における全測定領域で焦点の合った画像を生成する。
このように構成することにより、エクステンド画像を取得することができる。
それでは、以下に、本発明の実施形態の詳細を説明する。
<第1の実施形態>
本実施形態では、走査型共焦点レーザ顕微鏡を用いて異なる高さのパターン部が複数ある試料を観察する際に、それぞれのパターン部のZ位置を登録して、その登録したZ位置に基づいて画像取込範囲を算出し、その範囲で計測したいパターン部で2次元画像を取得して、エクステンド画像を取得する方法について説明する。
それでは、以下に、本発明の実施形態の詳細を説明する。
<第1の実施形態>
本実施形態では、走査型共焦点レーザ顕微鏡を用いて異なる高さのパターン部が複数ある試料を観察する際に、それぞれのパターン部のZ位置を登録して、その登録したZ位置に基づいて画像取込範囲を算出し、その範囲で計測したいパターン部で2次元画像を取得して、エクステンド画像を取得する方法について説明する。
図1は、本実施形態における走査型共焦点レーザ顕微鏡の基本的な構成を示す。同図において、走査型共焦点レーザ顕微鏡は、対物レンズ2、対物レンズ切替部3、Z位置検出部4、Z位置制御部5、ハーフミラー6、光検出器7、ミラー8、レーザ光源9、レーザ光源制御部10、顕微鏡制御部11を備える。
レーザ光源制御部10は、レーザ光源9のレーザ光の照射を制御する。レーザ光源9から出力されたレーザ光は、ミラー8を介して試料1を照明する。試料1で反射したレーザ光は、ハーフミラー6を介して集光する。
集光した位置にピンホール(不図示)を設置し、そのピンホールを通過した光を光検出器7が検出する。測定領域を2次元に走査して、光検出器7でレーザ光源9の反射光を検出することで、2次元画像(共焦点画像)を得ることができる。
このとき、試料1に対して焦点が合っていない位置の反射光はピンホールに集光しないため、焦点が合った位置のみの画像を得ることができる。
対物レンズ切替部3は、複数セットされている対物レンズ2のうち任意の対物レンズを光軸に挿入することができる。
対物レンズ切替部3は、複数セットされている対物レンズ2のうち任意の対物レンズを光軸に挿入することができる。
Z位置制御部5は、試料1が載置されているステージ又は対物レンズを光軸方向へ上下移動させることにより、光軸方向において、試料1が載置されたステージと対物レンズ2と間の距離を相対的に変更するように制御する。以下では、試料1が載置されたステージと対物レンズ2と間の相対的な距離をZ位置という。このZ位置は逐次Z位置検出器4により検出されている。
Z位置制御部5の制御により試料1と対物レンズ2の間の距離を相対的に変更させながら、2次元画像を順次取得する。このようにして取得した複数の画像の各画素の最大輝度を合成することで、全測定領域で焦点の合ったエクステンド画像を得ることができる。
Z位置制御部5とレーザ光源制御部10と光検出器7は、顕微鏡制御部11を介して、コンピュータ(PC)20と接続されている。
PC20は、CPU12、画像メモリ13、画像表示部14、Z移動操作部15、Z範囲登録部16、Z範囲メモリ17、Z範囲判定部18、ゲイン設定部19を備える。これらの構成要素は、バスにより接続され、CPU12により制御される。
PC20は、CPU12、画像メモリ13、画像表示部14、Z移動操作部15、Z範囲登録部16、Z範囲メモリ17、Z範囲判定部18、ゲイン設定部19を備える。これらの構成要素は、バスにより接続され、CPU12により制御される。
画像表示部14は、画像メモリ13に展開された画像を表示する。Z移動操作部15は、ユーザがZ移動指示を行うための操作部である。Z範囲登録部16は、後述する登録画面に相当するものである。Z範囲メモリは、Z位置に関するデータを格納するための記憶部である。
Z範囲判定部18は、後述するように、Z範囲登録部16により登録された複数のZ位置に関する情報から最適な画像の取込範囲を判定するものである。ゲイン設定部19は、後述するように、光検出器7のゲインを設定して、取り込む対象となる画像の明るさを調整する。
なお、Z範囲登録部16、Z範囲判定部18、及びゲイン設定部19は、本発明にかかるプログラムをCPU12によりROM等の記憶装置から読み出されて、実行される機能を示すものである。
図2は、本実施形態における登録画面の一例を示す。登録画面30は、画像表示部14に表示されるZ範囲登録部16に相当する。登録画面30には、取込範囲登録ボタン31が設けられている。取込範囲登録ボタン31は、当該ボタン押下時のZ位置をZ範囲メモリ17に登録するためのものである。
図3は、本実施形態における登録操作の一例を示す。同図では、3つの測定対象パターン101,102,103がある場合の登録例を示す。Z移動操作部15によりZ位置を移動させて、同図に示すように、パターン部101,102,103のそれぞれのZ位置Z101,Z102,Z103で、登録画面30の取込範囲登録ボタン31を押下する。そうすると、図4に示すような取込範囲が登録される。
図4は、本実施形態における登録された取込範囲の一例を示す。図3で取込範囲登録ボタン31を押下して、Z位置Z101,Z102,Z103を登録した。そうすると、この登録したZ位置のうちの最大値及び最小値が探索される。そうすると、Z位置の最大値としてZ101、Z位置の最小値としてZ103が取得される。これらのZ位置の最大値及び最小値にそれぞれ、所定のマージン(許容誤差)+A、−B(A,B:任意の値)を加えたZ位置の間からなる範囲が取込範囲として登録される。
次に、図3及び図4で説明した内容を実現するための処理について説明する。
図5は、本実施形態における取込範囲の設定フローを示す。Z移動操作部15によりZ位置を上方に移動して、計測パターンの画像の輝度がゼロになる位置に移動する(S1)。Z移動操作部15によりZ位置を下方向に移動しながら(S2)、ゲイン設定部19により明るさを調整する(S3)。
図5は、本実施形態における取込範囲の設定フローを示す。Z移動操作部15によりZ位置を上方に移動して、計測パターンの画像の輝度がゼロになる位置に移動する(S1)。Z移動操作部15によりZ位置を下方向に移動しながら(S2)、ゲイン設定部19により明るさを調整する(S3)。
画像表示部14に表示された画像を目視により確認し、計測したいパターンが表示されるまで、S2〜S3を繰り返す(S4)。
S4において、計測したいパターンが表示された場合(S4で「YES」へ進む)、登録画面30の取込範囲登録ボタン31を押すと(S5)、現在のZ位置がZ位置検出部4により検出されて、Z範囲メモリ17に格納されているZ位置登録リストに登録される(S6)。
S4において、計測したいパターンが表示された場合(S4で「YES」へ進む)、登録画面30の取込範囲登録ボタン31を押すと(S5)、現在のZ位置がZ位置検出部4により検出されて、Z範囲メモリ17に格納されているZ位置登録リストに登録される(S6)。
Z範囲判定部18は、Z位置登録リストをZ位置でソートして(S7)、登録されたZ位置のうちの最大値と最小値を探索する(S8)。Z範囲判定部18は、下記の式1、式2に示すように、Z位置の最大値と最小値のそれぞれに、所定のマージン+A、−B(A,B:任意の値)を加えることで、画像の取込範囲を算出する(S9)。
取込範囲の上限値=Z位置の最大値+A (式1)
取込範囲の下限値=Z位置の最小値−B (式2)
式1及び式2より算出された取込範囲の上限値及び下限値は、Z範囲メモリ17の所定の領域に格納される。
取込範囲の下限値=Z位置の最小値−B (式2)
式1及び式2より算出された取込範囲の上限値及び下限値は、Z範囲メモリ17の所定の領域に格納される。
計測したいパターン部の登録を終了するまで、Z移動と登録を繰り返す(S2〜S10)。そして、計測したいパターン部の登録を終了したら(S10で「YES」へ進む)、ユーザは画面表示部14に表示されている画像取込ボタンを押下する(S11)。
すると、PC20は、S9でZ範囲メモリ17に格納した取込範囲に基づいて、顕微鏡制御部11に所定のコマンドを送信する。そのコマンドを受信した顕微鏡制御部11の制御に基づいて、Z位置制御部5はその取込範囲に対応するようにZ位置を移動させる。さらに、顕微鏡制御部11は各Z位置での2次元画像を撮像するように走査型共焦点レーザ顕微鏡を制御する。顕微鏡制御部11の制御により撮像された2次元画像は、PC20に送信される。PC20では、それらの2次元画像からエクステンド画像を生成する(S12)。
本実施形態によれば、取込範囲としたい位置をZ位置登録リストに登録するだけで、計測したいパターン部の形状や高さ関係を意識することなく、取込範囲を自動判定して計測したいパターン部のエクステンド画像を取り込むことができる。
<第2の実施形態>
本実施形態では、第1の実施形態に加えて、さらに、走査型共焦点レーザ顕微鏡を用いて反射率が異なる複数のパターンを計測する場合に、各反射率の異なるパターンで最適な明るさの画像を取得する方法について説明する。
本実施形態では、第1の実施形態に加えて、さらに、走査型共焦点レーザ顕微鏡を用いて反射率が異なる複数のパターンを計測する場合に、各反射率の異なるパターンで最適な明るさの画像を取得する方法について説明する。
図6は、本実施形態における登録画面の一例を示す。登録画面40には、取込範囲登録ボタン41、ゲイン登録ボタン42、切替位置登録ボタン43が設けられている。
取込範囲登録ボタン41は、図2の取込範囲登録ボタン31と同様のボタンである。取込範囲登録ボタン41を押下すると、Z位置検出器4により検出された現在のZ位置がZ範囲メモリ17に登録される。
取込範囲登録ボタン41は、図2の取込範囲登録ボタン31と同様のボタンである。取込範囲登録ボタン41を押下すると、Z位置検出器4により検出された現在のZ位置がZ範囲メモリ17に登録される。
ゲイン登録ボタン42は、光検出器7のゲインを設定するためのボタンである。ゲイン登録ボタン42を押下すると、ゲイン値を入力する画面が表示され、その入力画面にて光検出器7のゲイン値を任意に設定することができる。
切替位置登録ボタン43は、ゲイン登録ボタン42により設定されたゲインを切り替えるためのボタンである。例えば、ゲイン登録ボタン42によりあるパターン部付近のZ位置でゲインが設定された場合、そのZ位置の前後でこの切替位置登録ボタン43が押下されていると、その切替位置登録ボタン43で設定された2箇所の切替位置間では、その設定されたゲインに変更される。
図7は、本実施形態における登録操作を説明するための図である。同図では、上方から下方に向かってZ位置が移動していく場合を示す。Z1及びZ7で取込範囲登録ボタン41を押下することにより、画像の取込範囲としてZ1〜Z7がZ範囲メモリ17に登録される。
Z2、Z4及びZ6の位置でゲイン登録ボタン42を押下することにより、その位置でのゲインを設定することができる。
また、Z3及びZ5で切替位置登録ボタン43を押下すると、Z3及びZ5の間にゲイン登録ボタン42によりZ4の位置でゲインG2が設定されているから、Z3〜Z5での画像の取得においては、その設定されたゲインG2に切り替えて画像の取得が行われる。
また、Z3及びZ5で切替位置登録ボタン43を押下すると、Z3及びZ5の間にゲイン登録ボタン42によりZ4の位置でゲインG2が設定されているから、Z3〜Z5での画像の取得においては、その設定されたゲインG2に切り替えて画像の取得が行われる。
また、取込範囲の上限Z1〜切替位置登録ボタン43が押下された位置Z3間に、ゲイン登録ボタン42によりZ2の位置でゲインG1が設定されているから、Z1〜Z3での画像の取得においては、その設定されたゲインG1に切り替えて画像の取得が行われる。
また、取込範囲の下限Z7〜切替位置登録ボタン43が押下された位置Z5間に、ゲイン登録ボタン42によりZ6の位置でゲインG3が設定されているから、Z5〜Z7での画像の取得においては、その設定されたゲインG3に切り替えて画像の取得が行われる。
図8は、本実施形態におけるゲイン切替リストの一例を示す。ゲイン切替リスト50は、Z範囲メモリ17に格納されている。ゲイン切替リスト50は、「Z位置」51、「ゲイン登録」52、「切替」53のデータ項目から構成される。
取込範囲登録ボタン41により、その押下したタイミング時のZ位置がZ位置検出器4により検出されて「Z位置」51に設定される。このとき、「ゲイン登録」52には空白が設定され、「切替」53には切替を行わない旨のフラグ「0」が設定される。
ゲイン登録ボタン42により、その押下したタイミング時のZ位置がZ位置検出器4により検出されて「Z位置」51に設定され、入力されたゲイン値が「ゲイン登録」52に設定される。このとき、「切替」53には切替を行わない旨のフラグ「0」が設定される。
切替位置登録ボタン43により、その押下したタイミング時のZ位置がZ位置検出器4により検出されて「Z位置」51に設定され、切替を行う旨のフラグ「1」が「切替」53に設定される。このとき、「ゲイン登録」52には空白が設定される。
図9は、本実施形態における反射率が異なる試料を計測する場合のフローを示す。Z移動操作部15によりZ位置を上方に移動して、計測パターンの画像の輝度がゼロ(画像が暗くなる)になる位置に移動する(S21)。Z移動操作部15によりZ位置を下方向に移動しながら(S22)、ゲイン設定部19により明るさを調整する(S23)。
画像表示部14に表示された画像を目視確認する。それから、取込範囲登録ボタン41、ゲイン登録ボタン42、及び切替位置登録ボタン43のうち、目的に応じていずれのボタンを押下する(S24)。
例えば、画像表示部14に表示された画像が計測したいパターンの場合、取込範囲登録ボタン41を押下する(S25)。そうすると、PC20で取込範囲登録処理が実行され(S30)、その押下したタイミング時のZ位置がZ位置検出部4により検出されて、ゲイン切替リスト50に登録される。この取込範囲登録処理の詳細を図10を用いて説明する。
図10は、図9のS30の詳細なフローを示す。まず、PC20は、Z位置検出部4により検出された現在のZ位置をゲイン切替リスト50に登録する(S301)。Z範囲判定部18は、ゲイン切替リスト50をソートして(S302)、Z位置の最大値と最小値を検索する(S303)。
第1の実施形態と同様に、Z範囲判定部18は、下記の式1、式2に示すように、Z位置の最大値と最小値のそれぞれに、所定のマージン+A、−B(A,B:任意の値)を加えることで、画像の取込範囲を算出する(S303)。それでは、図9の説明に戻る。
S24において、画像表示部14に表示された画像からそのパターン部の反射率が他のパターン部と異なる場合、ユーザはゲイン登録ボタン42を押下してゲイン値を入力する。そうすると、PC20でゲイン登録処理が実行され(S29)、その押下したタイミング時のZ位置及び入力されたゲイン値がゲイン切替リスト50に登録される。
図11は、図9のS29の詳細なフローを示す。まず、PC20は、Z位置検出部4により検出された現在のZ位置及び、ユーザにより入力されたゲイン値がゲイン切替リストに登録する(S291,S292)。Z範囲判定部18は、ゲイン切替リスト50をソートして(S293)、Z位置の最大値と最小値を検索する(S294)。
第1の実施形態と同様に、Z範囲判定部18は、下記の式1、式2に示すように、Z位置の最大値と最小値のそれぞれに、所定のマージン+A、−B(A,B:任意の値)を加えることで、画像の取込範囲を算出する(S295)。それでは、図9の説明に戻る。
S24において、切替位置を登録する場合は、切替位置登録ボタン43を押下する(S27)。そうすると、PC20で切替位置登録処理が実行され(S28)、その押下したタイミング時のZ位置及び切替フラグがゲイン切替リスト50に登録される。
図12は、図9のS28の詳細なフローを示す。まず、PC20は、Z位置検出部4により検出された現在のZ位置をゲイン切替リスト50に登録する(S281)。さらに、切替フラグに「1」を設定する(S282)。Z範囲判定部18は、ゲイン切替リスト50をソートして(S283)、Z位置の最大値と最小値を検索する(S284)。
第1の実施形態と同様に、Z範囲判定部18は、下記の式1、式2に示すように、Z位置の最大値と最小値のそれぞれに、所定のマージン+A、−B(A,B:任意の値)を加えることで、画像の取込範囲を算出する(S285)。それでは、図9の説明に戻る。
計測したいパターン部の登録を終了するまで、Z移動と登録処理を繰り返す(S22〜S31)。計測したいパターン部の登録を終了したら(S31で「YES」へ進む)、ユーザは画面表示部14に表示されている画像取込ボタンを押下する(S32)。
すると、PC20のCPU12は、S28、S29、S30において、Z範囲メモリ17に格納したゲイン切替リスト50に基づいて、顕微鏡制御部11に所定のコマンドを送信する。そうすると、顕微鏡制御部11の制御に基づいて、Z位置制御部5はその取込範囲に対応するようにZ位置を移動させる。それととともに、顕微鏡制御部11は、ゲイン切替リスト50に設定された切替位置に応じてゲインを切り替えるように光検出器7の検出感度を制御する。さらに、顕微鏡制御部11は各Z位置での2次元画像を撮像するように走査型共焦点レーザ顕微鏡を制御する。顕微鏡制御部11の制御により撮像された2次元画像は、PC20に送信される。PC20では、それらの2次元画像からエクステンド画像を生成する(S33)。
したがって、図9のフローにより図8のゲイン切替リスト50が作成され、Z7<Z6<Z5<Z4<Z3<Z2<Z1の順にZがソートされた場合、切替位置Z3と切替位置Z5の間はZ4で登録されたゲインG2に切り替えて画像を取り込む。
また、上述の通り、Z位置の最大値Z1と切替位置Z3の間はZ2で登録されたゲインG1に切り替えて画像を取り込む。また、上述の通り、Z位置の最小値Z7と切替位置Z5の間はZ6で登録されたゲインG3に切り替えて画像を取り込む。
これにより測定したいパターンを最適な明るさで計測することができる。なお、第2の実施形態では、光検出器のゲインを登録しているが、これに限定されず、例えば、光検出器のゲインを登録する代わりにレーザ光源9のレーザ強度を登録してもよい。
本実施形態によれば、取込範囲としたい位置をZ位置登録リストに登録するだけで、計測したいパターン部の形状や高さ関係を意識することなく、取込範囲を自動判定して計測したいパターン部のエクステンド画像を取り込むことができる。
さらに、走査型共焦点レーザ顕微鏡により、反射率が違う複数のパターンを計測したい場合に、各反射率の違うパターンで最適な明るさの画像を計測ができる。
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は、上述した各実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良・変更が可能である。
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は、上述した各実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良・変更が可能である。
1 試料
2 対物レンズ
3 対物レンズ切替部
4 Z位置検出部
5 Z位置制御部
6 ハーフミラー
7 光検出器
8 ミラー
9 レーザ光源
10 レーザ光源制御部
11 顕微鏡制御部
12 CPU
13 画像メモリ
14 画像表示部
15 Z移動操作部
16 Z範囲登録部
17 Z範囲メモリ
18 Z範囲判定部
19 ゲイン設定部
20 PC
2 対物レンズ
3 対物レンズ切替部
4 Z位置検出部
5 Z位置制御部
6 ハーフミラー
7 光検出器
8 ミラー
9 レーザ光源
10 レーザ光源制御部
11 顕微鏡制御部
12 CPU
13 画像メモリ
14 画像表示部
15 Z移動操作部
16 Z範囲登録部
17 Z範囲メモリ
18 Z範囲判定部
19 ゲイン設定部
20 PC
Claims (8)
- 試料が載置されたステージと対物レンズとの間の距離を光軸方向に相対的に変えながら、該試料にレーザ光を照射してその反射光を受光部により受光することにより該試料の表面形態の2次元画像を取り込む走査型共焦点レーザ顕微鏡を用いて、該試料の表面形態を計測する走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法であって、
前記光軸方向における前記表面形態に含まれる任意に選択された第1の位置に関する情報である光軸方向位置情報を複数登録し、
前記光軸方向位置情報に基づいて、前記該試料の表面形態を前記2次元画像として取り込むための前記光軸方向の取込範囲を算出し、
前記取込範囲に基づいて、前記2次元画像の取り込みを行う
ことを特徴とする走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法。 - さらに、前記光軸方向位置情報から前記第1の位置の最大値と最小値とを判定し、
前記第1の位置の最大値と最小値とに基づいて、前記取込範囲を算出する
ことを特徴とする請求項1に記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法。 - 前記取込範囲の算出において、
前記第1の位置の最大値と最小値のそれぞれに、所定の許容誤差値を算入する
ことを特徴とする請求項2に記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法。 - さらに、前記光軸方向における前記表面形態に含まれる任意に選択された第2の位置に応じて前記受光部の受光感度に関する情報である受光感度情報を登録し、
前記光軸方向における前記表面形態に含まれる任意に選択された第3の位置に対応させて、前記受光感度情報に基づいて受光感度を切り替える該第3の位置に関する情報である受光感度切替位置情報を登録する
ことを特徴とする請求項1に記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法。 - 前記切替位置情報に基づいて、前記受光感度を切り替え、
該切替の後、前記2次元画像を取り込む
ことを特徴とする請求項4に記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法。 - さらに、前記光軸方向における前記表面形態に含まれる任意に選択された第4の位置に応じて前記レーザの照射強度を登録し、
前記登録した前記レーザの照射強度に基づいて、該レーザの照射強度を切り替え、
該切替の後、前記2次元画像を取り込む
ことを特徴とする請求項1に記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法。 - さらに、前記取り込んだ複数の2次元画像を合成して、前記取込範囲における全測定領域で焦点の合った画像を生成する
ことを特徴とする請求項1〜6のうちいずれか1項に記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法。 - 試料が載置されたステージと対物レンズとの間の距離を光軸方向に相対的に変えながら、該試料にレーザ光を照射してその反射光を受光部により受光することにより該試料の表面形態の2次元画像を取り込み、該試料の表面形態を計測する走査型共焦点レーザ顕微鏡の制御システムであって、
前記光軸方向における前記表面形態に含まれる所定の位置に関する情報である光軸方向位置情報を複数登録する登録手段と、
前記光軸方向位置情報に基づいて、前記該試料の表面形態を前記2次元画像として取り込むための前記光軸方向の取込範囲を算出する取込範囲算出手段と、
前記取込範囲に基づいて、前記2次元画像の取り込みを行う2次元画像取込手段と、
を備えることを特徴とする走査型共焦点レーザ顕微鏡の制御システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006223640A JP2008046509A (ja) | 2006-08-18 | 2006-08-18 | 走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法及びその制御システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006223640A JP2008046509A (ja) | 2006-08-18 | 2006-08-18 | 走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法及びその制御システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008046509A true JP2008046509A (ja) | 2008-02-28 |
Family
ID=39180285
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006223640A Withdrawn JP2008046509A (ja) | 2006-08-18 | 2006-08-18 | 走査型共焦点レーザ顕微鏡による計測方法及びその制御システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008046509A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013105087A (ja) * | 2011-11-15 | 2013-05-30 | Sony Corp | 画像取得装置、画像取得方法及び画像取得プログラム |
JP2014206749A (ja) * | 2014-06-13 | 2014-10-30 | 株式会社キーエンス | 顕微鏡システム |
JP2016040626A (ja) * | 2015-11-20 | 2016-03-24 | 株式会社キーエンス | 共焦点顕微鏡システム |
-
2006
- 2006-08-18 JP JP2006223640A patent/JP2008046509A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2013105087A (ja) * | 2011-11-15 | 2013-05-30 | Sony Corp | 画像取得装置、画像取得方法及び画像取得プログラム |
JP2014206749A (ja) * | 2014-06-13 | 2014-10-30 | 株式会社キーエンス | 顕微鏡システム |
JP2016040626A (ja) * | 2015-11-20 | 2016-03-24 | 株式会社キーエンス | 共焦点顕微鏡システム |
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Legal Events
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