JP5748517B2 - クロマティック共焦点センサ光学ペン - Google Patents
クロマティック共焦点センサ光学ペン Download PDFInfo
- Publication number
- JP5748517B2 JP5748517B2 JP2011059623A JP2011059623A JP5748517B2 JP 5748517 B2 JP5748517 B2 JP 5748517B2 JP 2011059623 A JP2011059623 A JP 2011059623A JP 2011059623 A JP2011059623 A JP 2011059623A JP 5748517 B2 JP5748517 B2 JP 5748517B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- lens element
- optical pen
- thermal
- chromatic confocal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 108
- 230000008542 thermal sensitivity Effects 0.000 claims description 65
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 claims description 42
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 5
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 22
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- CNQCVBJFEGMYDW-UHFFFAOYSA-N lawrencium atom Chemical compound [Lr] CNQCVBJFEGMYDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 4
- ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N nobelium Chemical compound [No] ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000013041 optical simulation Methods 0.000 description 4
- 102100028029 SCL-interrupting locus protein Human genes 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012634 optical imaging Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/026—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring distance between sensor and object
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
- G02B13/14—Optical objectives specially designed for the purposes specified below for use with infrared or ultraviolet radiation
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/18—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical projection, e.g. combination of mirror and condenser and objective
- G02B27/20—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical projection, e.g. combination of mirror and condenser and objective for imaging minute objects, e.g. light-pointer
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/028—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2210/00—Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
- G01B2210/50—Using chromatic effects to achieve wavelength-dependent depth resolution
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Lenses (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Description
NAdet=sinθ1 (式1)
によって角度θ1に関係する。
NAobject=sinθ2 (式2)
によって焦点角(focal angle)θ2に関係する。
vd=(nd−1)/(nf−nc) (式3)
(式中、vdはアッベ数であり、nd、nf、およびncは、ヘリウムのd線、587.6nm、および水素のF線およびC線(それぞれ486.1nmおよび656.3nm)における材料の屈折率である)
に従って、波長による屈折率変化を定量化する。アッベ数が小さいほど、波長による焦点の変化が大きいことを暗示する。
ΔfFC=fd/vd (式4)
(式中、fdはヘリウムのd線(587.6nm)における焦点距離である)
によって与えられる。ここでも、アッベ数の小さなガラスを使用するレンズは、波長による焦点距離のシフトが大きくなる。
xe=xm(M−1)−Mx0 (式5)
(式中、x0は対物レンズの熱膨張係数であり、xeは接眼レンズの熱膨張係数であり、およびxmはメタルハウジングの熱膨張係数である)
による薄いレンズの関係で近似することによってメタルハウジングの熱膨張を補償する。
の関係で定義される。温度Tが変化することによってレンズが熱膨張または熱収縮し、およびその各レンズの屈折率niが温度によって変化すると、その各レンズの焦点距離が変わるので、各屈折力φiを変更させる。レンズ構成の全屈折力が変化すると、所与の照明波長の焦点が表面上に合わせられる、光軸に沿った位置が変わり、これにより、表面高さ測定に誤差がもたらされる。図1に示すように、表面90は光軸に沿った座標Z1に配置されている。温度Tが変化することにより、名目上Z1に最も焦点が合っている光の波長λ1が、座標Z1'に最も焦点が合うようになる。その結果、異なる光の波長λ2の焦点が、座標Z1に最も合わせられる。一般的に光軸に沿った座標Zは波長の関数、すなわち、Z=f(λ)である。異なる光の波長λ2が表面90に最も焦点が合わせられているため、光学ペンは、座標Z2=f(λ2)(式中、Z2=Z1+ΔZであり、およびΔZは、レンズ構成100を使用する光学ペンの熱感度から生じた測定誤差を表す)において表面90を測定する。レンズ構成100を使用する光学ペンの全体的な熱感度は、所与の光の波長またはいくつかの光の波長の平均に対して:
なお、上記説明した本実施形態におけるレンズ構成は、両凸レンズ、第1のメニスカスレンズおよび前記第2のメニスカスレンズの熱焦点ずれ係数をそれぞれχ3、χ4およびχ5とすると、熱焦点ずれ係数χ4が小さくても15ppm/℃であり、および熱焦点ずれ係数χ5が小さくても5ppm/℃とすることができる。より好ましくは、熱焦点ずれ係数χ3が小さくても−1ppm/℃、および大きくても0ppm/℃であり、熱焦点ずれ係数χ4が小さくても15ppm/℃、および大きくても17ppm/℃であり、熱焦点ずれ係数χ5が小さくても5ppm/℃および大きくても7ppm/℃であり、両凸レンズ、第1のメニスカスレンズおよび第2のメニスカスレンズ熱膨張係数をそれぞれαT3、αT4およびαT5とすると、熱膨張係数αT3が小さくても7.1ppm/℃、および大きくても7.5ppm/℃であり熱膨張係数αT4が小さくても9.9ppm/℃、および大きくても10.2ppm/℃であり、熱膨張係数αT5が小さくても8.6ppm/℃、および大きくても9.0ppm/℃であるとよい。
また、両凸レンズ素子のアッベ数が最小でも32、および最大でも38であり、第1のメニスカスレンズのアッベ数が最小でも57、および最大でも66であり、ならびに第2のメニスカスレンズのアッベ数が最小でも23、および最大でも29であるとすることができる。
また、両凸レンズ素子の屈折率が最小でも1.7、および最大でも1.8であり、第1のメニスカスレンズの屈折率が最小でも1.6、および最大でも1.7であり、ならびに第2のメニスカスレンズの屈折率が最小でも1.7、および最大でも1.8であるとすることができる。
また、複レンズ素子の第1の部分および第2の部分の熱焦点ずれ係数それぞれχ1およびχ2とすると、熱焦点ずれ係数χ1が小さくても6ppm/℃、および大きくても7ppm/℃であり、熱焦点ずれ係数χ2が小さくても1ppm/℃、および大きくても3ppm/℃であるとすることができる。
また、複レンズ素子の第1の部分および第2の部分の熱膨張係数をそれぞれαT1、およびαT2とすると、熱膨張係数αT1が小さくても8.7ppm/℃、および大きくても9.1ppm/℃であり、熱膨張係数αT2が小さくても8.0ppm/℃、および大きくても8.4ppm/℃であるとすることができる。
100 色分散レンズ構成
101 複レンズ素子
101A 第1のレンズ部分
101B 第2のレンズ部分
102 両凸レンズ素子
103、104 メニスカスレンズ素子
105 正の屈折力のレンズ部分
112 入出力光ファイバ
195 検出器アパーチャ
300 クロマティック共焦点センサ光学ペン
320、320' ハウジングアセンブリ
350、350' 光学素子部分
352 保持要素
352A 位置決め肩部
354 組立要素
354A〜354C 位置決め肩部
356 保持リング
358 端部要素
358A 位置決め肩部
400 クロマティック共焦点センサ光学ペン
405 入出力光ファイバサブアセンブリ
408 光ファイバコネクタ
410 取付用ねじ
412' 光ファイバケーブル
480 取付要素
495 アパーチャ
Claims (11)
- 表面までの距離を測定するのに有用な信号をもたらすように動作可能であり、かつ熱感度が補償されたクロマティック共焦点センサ光学ペンであって、
ハウジング;
光源光を出射し、かつ反射光を受光するアパーチャ;および
前記アパーチャからの前記光源光を受光し、前記光源光をフォーカスさせて、それを前記表面に向かって軸方向に色分散させて出射させ、前記表面からの反射光を受光して、前記アパーチャに近接して、軸方向に色分散させて前記反射光をフォーカスさせるように、前記クロマティック共焦点センサ光学ペンの光軸に沿って配置されたレンズ構成
を含み、前記レンズ構成が:
前記アパーチャの近くに配置された第1の部分と、前記アパーチャから離れて配置された第2の部分とを含む複レンズ素子;および
前記アパーチャから前記複レンズ素子よりも遠くに配置された正の屈折力のレンズ部分であって、少なくとも2つのレンズ素子を含む前記正の屈折力のレンズ部分
を含み、
各レンズ素子が、温度Tの範囲にわたって屈折力φ1、熱膨張係数αTi、屈折率niおよび熱焦点ずれ係数χiによって特徴づけられ、ここで
前記正の屈折力のレンズ部分の前記レンズ素子の少なくとも2つが、前記ハウジングの熱膨張から生じた熱感度を含めて、前記クロマティック共焦点センサ光学ペンを全体的な熱感度を少なくとも部分的に補償するように構成され;および
前記正の屈折力のレンズ部分の前記レンズ素子の少なくとも2つの前記熱焦点ずれ係数χiの平均が、10ppm/℃以上となる平均熱焦点ずれ係数である、クロマティック共焦点センサ光学ペン。 - 前記正の屈折力のレンズ部分の前記レンズ素子が多くても4つのレンズ素子からなる、請求項1に記載のクロマティック共焦点センサ光学ペン。
- 前記正の屈折力のレンズ部分の前記レンズ素子が:
前記複レンズ素子の前記第2の部分に近接して配置された両凸レンズ素子;
前記両凸レンズ素子に近接して配置された第1のメニスカスレンズ素子;および
前記第1のメニスカスレンズ素子に近接して配置された第2のメニスカスレンズ素子
を含む、請求項1に記載のクロマティック共焦点センサ光学ペン。 - 前記第1のメニスカスレンズおよび前記第2のメニスカスレンズの前記平均熱焦点ずれ係数が、10ppm/℃以上となる、請求項3に記載のクロマティック共焦点センサ光学ペン。
- 前記第1のメニスカスレンズ素子および前記第2のメニスカスレンズ素子のそれぞれが正の屈折力をもたらす、請求項3に記載のクロマティック共焦点センサ光学ペン。
- 前記両凸レンズ素子が正の屈折力をもたらす、請求項3に記載のクロマティック共焦点センサ光学ペン。
- さらに組立要素および端部要素を含み、前記全体的な熱感度が、前記組立要素および前記端部要素の熱膨張から生じた熱感度を含む、請求項1に記載のクロマティック共焦点センサ光学ペン。
- さらに入出力光ファイバサブアセンブリを含み、前記全体的な熱感度が、前記入出力光ファイバサブアセンブリの熱膨張から生じた熱感度を含む、請求項7に記載のクロマティック共焦点センサ光学ペン。
- 前記レンズ構成の各レンズ素子がガラス材料を含む、請求項1に記載のクロマティック共焦点センサ光学ペン。
- 前記レンズ構成の各レンズ素子が球面レンズ素子である、請求項1に記載のクロマティック共焦点センサ光学ペン。
- 前記レンズ構成の前記レンズ素子が:
前記アパーチャの近くに配置された第1の部分と、前記アパーチャから離れて配置された第2の部分とを有する複レンズ素子;
前記複レンズ素子の前記第2の部分に近接して配置された両凸レンズ素子;
前記両凸レンズ素子に近接して配置された第1のメニスカスレンズ素子;および
前記第1のメニスカスレンズ素子に近接して配置された第2のメニスカスレンズ素子
からなり、
前記両凸レンズ素子、前記第1のメニスカスレンズ素子および前記第2のメニスカスレンズ素子が前記正の屈折力のレンズ部分を形成し;および
前記第1のメニスカスレンズおよび前記第2のメニスカスレンズの前記平均熱焦点ずれ係数が、10ppm/℃以上となる、請求項1に記載のクロマティック共焦点センサ光学ペン。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/727,161 US8134691B2 (en) | 2010-03-18 | 2010-03-18 | Lens configuration for a thermally compensated chromatic confocal point sensor |
US12/727,161 | 2010-03-18 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011197005A JP2011197005A (ja) | 2011-10-06 |
JP5748517B2 true JP5748517B2 (ja) | 2015-07-15 |
Family
ID=44201953
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011059623A Active JP5748517B2 (ja) | 2010-03-18 | 2011-03-17 | クロマティック共焦点センサ光学ペン |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8134691B2 (ja) |
EP (1) | EP2369294B1 (ja) |
JP (1) | JP5748517B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI414817B (zh) * | 2010-07-23 | 2013-11-11 | Univ Nat Taipei Technology | 線型彩色共焦顯微系統 |
US8860931B2 (en) | 2012-02-24 | 2014-10-14 | Mitutoyo Corporation | Chromatic range sensor including measurement reliability characterization |
US8928874B2 (en) | 2012-02-24 | 2015-01-06 | Mitutoyo Corporation | Method for identifying abnormal spectral profiles measured by a chromatic confocal range sensor |
JP5652423B2 (ja) * | 2012-04-02 | 2015-01-14 | コニカミノルタ株式会社 | 画像形成装置 |
DE102013008582B4 (de) | 2013-05-08 | 2015-04-30 | Technische Universität Ilmenau | Verfahren und Vorrichtung zur chromatisch-konfokalen Mehrpunktmessung sowie deren Verwendung |
DE102017122689A1 (de) | 2017-09-29 | 2019-04-04 | Precitec Optronik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Messung eines Abstands zu einer Oberfläche oder eines Abstands zwischen zwei Oberflächen |
DE102020200214A1 (de) * | 2020-01-09 | 2021-07-15 | Hochschule für angewandte Wissenschaften Kempten Körperschaft des öffentlichen Rechts | Konfokale Messvorrichtung zur 3D-Vermessung einer Objektoberfläche |
CN113029032B (zh) * | 2021-03-26 | 2022-04-01 | 中南大学 | 基于光谱共焦的高精度面形测量方法及装置 |
CN114236761B (zh) * | 2021-12-20 | 2023-07-28 | 福建福光股份有限公司 | 一种用于高精度表面形貌检测的准线性色散物镜 |
Family Cites Families (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3807836A (en) * | 1973-01-02 | 1974-04-30 | Polaroid Corp | Compact four element objective lenses of plastic and glass |
US4505535A (en) * | 1982-02-06 | 1985-03-19 | Barr & Stroud Limited | Infrared objective lens systems |
JPS59211013A (ja) * | 1983-05-16 | 1984-11-29 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 温度補償を施したプラスチツク対物レンズ系 |
CH663466A5 (fr) * | 1983-09-12 | 1987-12-15 | Battelle Memorial Institute | Procede et dispositif pour determiner la position d'un objet par rapport a une reference. |
JPS63221313A (ja) * | 1987-03-11 | 1988-09-14 | Olympus Optical Co Ltd | ズ−ムフアインダ− |
US5412510A (en) * | 1989-05-15 | 1995-05-02 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Imaging optical system for compensating change of temperature |
JPH03163411A (ja) * | 1989-07-20 | 1991-07-15 | Ricoh Co Ltd | 走査光学系 |
FR2667695B1 (fr) * | 1990-10-09 | 1993-08-27 | Thomson Trt Defense | Systeme d'objectifs a athermalisation optique. |
US5260828A (en) * | 1992-03-27 | 1993-11-09 | Polaroid Corporation | Methods and means for reducing temperature-induced variations in lenses and lens devices |
US5210650A (en) * | 1992-03-31 | 1993-05-11 | Eastman Kodak Company | Compact, passively athermalized optical assembly |
US5386312A (en) * | 1992-08-03 | 1995-01-31 | Hughes Aircraft Company | Collimating lens having doublet element between positive-power elements |
US5785651A (en) * | 1995-06-07 | 1998-07-28 | Keravision, Inc. | Distance measuring confocal microscope |
JP3625923B2 (ja) * | 1995-09-28 | 2005-03-02 | フジノン株式会社 | レトロフォーカス型レンズ |
JPH10133102A (ja) * | 1996-10-30 | 1998-05-22 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 色補正と温度補償のなされたレンズ |
JPH1172727A (ja) * | 1997-09-01 | 1999-03-16 | Minolta Co Ltd | 走査光学系及び走査光学装置 |
US6108071A (en) * | 1997-12-12 | 2000-08-22 | Laser Atlanta | Speed and position measurement system |
US6731838B1 (en) * | 2000-06-02 | 2004-05-04 | Confluent Photonics Corporation | Athermalization and pressure desensitization of diffraction grating based WDM devices |
WO2002008685A2 (en) | 2000-07-26 | 2002-01-31 | Optinav, Inc. | Apparatus and method for determining the range of remote objects |
JP2003069127A (ja) * | 2001-08-28 | 2003-03-07 | Kyocera Corp | 光半導体素子収納用パッケージおよび光半導体装置 |
JP2003202468A (ja) * | 2002-01-08 | 2003-07-18 | Kuraray Co Ltd | 光ファイバー |
US6688783B2 (en) * | 2002-03-25 | 2004-02-10 | Princeton Lightwave, Inc. | Method of fabricating an optical module including a lens attached to a platform of the optical module |
DE10242374A1 (de) * | 2002-09-12 | 2004-04-01 | Siemens Ag | Konfokaler Abstandssensor |
EP1550028A1 (en) | 2002-10-10 | 2005-07-06 | Waawoo Technology Inc. | Pen-shaped optical mouse |
JP2006017830A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-19 | Sony Corp | 光学系及び光学ヘッド装置 |
US7477401B2 (en) * | 2004-11-24 | 2009-01-13 | Tamar Technology, Inc. | Trench measurement system employing a chromatic confocal height sensor and a microscope |
JP2006201604A (ja) * | 2005-01-21 | 2006-08-03 | Nikon Corp | テレフォト型屈折光学系 |
DE102005023351A1 (de) * | 2005-05-17 | 2006-11-30 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co Kg | Vorrichtung und Verfahren zum Vermessen von Oberflächen |
DE102006007170B4 (de) * | 2006-02-08 | 2009-06-10 | Sirona Dental Systems Gmbh | Verfahren und Anordnung zur schnellen und robusten chromatisch konfokalen 3D-Messtechnik |
JP2007271674A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Kyocera Corp | 光デバイス |
ITMI20070191A1 (it) * | 2007-02-05 | 2008-08-06 | Abb Service Srl | Trasmettitore di pressione per il rilevamento di una variabile relativa ad un fluido di processo. |
US7791712B2 (en) * | 2007-03-27 | 2010-09-07 | Mitutoyo Corporation | Chromatic confocal sensor fiber interface |
US7626705B2 (en) * | 2007-03-30 | 2009-12-01 | Mitutoyo Corporation | Chromatic sensor lens configuration |
DE102008024598A1 (de) | 2007-05-21 | 2008-12-18 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Kompensation von temperaturbedingten Messfehlern einer optischen Anordnung sowie optische Anordnung |
JP2009236653A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Nikon Corp | 変位検出装置、露光装置、およびデバイス製造方法 |
-
2010
- 2010-03-18 US US12/727,161 patent/US8134691B2/en active Active
-
2011
- 2011-03-17 JP JP2011059623A patent/JP5748517B2/ja active Active
- 2011-03-18 EP EP11158835.6A patent/EP2369294B1/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2369294A1 (en) | 2011-09-28 |
US8134691B2 (en) | 2012-03-13 |
US20110228250A1 (en) | 2011-09-22 |
EP2369294B1 (en) | 2014-07-30 |
JP2011197005A (ja) | 2011-10-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5748517B2 (ja) | クロマティック共焦点センサ光学ペン | |
JP5011166B2 (ja) | クロマティック共焦点センサ | |
AU2018229081B2 (en) | Optical Scanner and Scanned Lens Optical Probe | |
US8212997B1 (en) | Chromatic confocal point sensor optical pen with extended measuring range | |
JP6185825B2 (ja) | 液浸顕微鏡対物レンズ及びそれを用いた顕微鏡 | |
ITTO960119A1 (it) | Analizzatore ottico | |
US20080231961A1 (en) | Enhanced parfocality | |
JP2008032991A (ja) | 干渉計用基準レンズ | |
JP2008045891A (ja) | 放射温度計 | |
JP6238592B2 (ja) | 光学系の偏芯量算出方法及びそれを用いた光学系の調整方法 | |
JP6251982B2 (ja) | 光学系、および面形状測定装置 | |
JP2018537708A (ja) | 小さな中心遮蔽部を有する広帯域反射屈折顕微鏡対物レンズ | |
JP6392947B2 (ja) | 液浸顕微鏡対物レンズ及びそれを用いた顕微鏡 | |
US6762889B2 (en) | Compact telephoto lens for grating scale position measuring system | |
Mikš et al. | Theory of chromatic sensor for topography measurements | |
JP6135127B2 (ja) | 光学系、および面形状測定装置 | |
Peng et al. | Design, assembly, and metrology of an oil-immersion microscope objective with long working distance | |
JP4252810B2 (ja) | 干渉計用基準レンズ | |
JP6131596B2 (ja) | 光学系、および面形状測定装置 | |
CN114236761A (zh) | 一种用于高精度表面形貌检测的准线性色散物镜 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140204 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140904 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140911 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141106 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150424 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150512 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5748517 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |