JP5747691B2 - 電子デバイス用パッケージの製造方法、電子デバイスおよび電子機器 - Google Patents

電子デバイス用パッケージの製造方法、電子デバイスおよび電子機器 Download PDF

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JP2693694B2 (ja) * 1992-11-10 1997-12-24 日本碍子株式会社 半導体素子収納用パッケージのキャップ封止方法
JPH07122670A (ja) * 1993-10-21 1995-05-12 Hitachi Ltd ガラス封止型半導体装置の製造方法
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