JP5740649B2 - 画像測定装置、オートフォーカス制御方法及びオートフォーカス制御プログラム - Google Patents
画像測定装置、オートフォーカス制御方法及びオートフォーカス制御プログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP5740649B2 JP5740649B2 JP2011031482A JP2011031482A JP5740649B2 JP 5740649 B2 JP5740649 B2 JP 5740649B2 JP 2011031482 A JP2011031482 A JP 2011031482A JP 2011031482 A JP2011031482 A JP 2011031482A JP 5740649 B2 JP5740649 B2 JP 5740649B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- autofocus
- focus
- information
- imaging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 52
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 68
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 49
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 26
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 25
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 20
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 11
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 10
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 10
- 241000699666 Mus <mouse, genus> Species 0.000 description 3
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 241000699670 Mus sp. Species 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係る画像測定装置の全体構成を示すブロック図である。図2及び図3は、この画像測定装置の一部の構成を示すブロック図である。画像測定装置は、非接触型の画像測定機1と、この画像測定機1を駆動制御すると共に必要なデータ処理を実行するコンピュータシステム(以下、「PC」と呼ぶ。)2とを備えた構成されている。なお、PC2は、例えば測定結果等をプリントアウトするプリンタ4を備えている。
FLtemp=−E/(−2V1)
=E/(2V1)
={(Zfocus2−Zfocus1)/V1}/2
図11は、本発明の第2の実施形態に係る画像処理装置によるオートフォーカス制御処理の一部の補正値算出処理手順を示すフローチャートである。図12は、算出処理工程の一部を示す説明図である。なお、以降において、既に説明した部分と重複する箇所には同一の符号を附して説明を割愛し、本発明に特に関連のない部分については説明を省略することがあるとする。
FLtemp=(E2−E1)/(V2−V1)
=E/(V2−V1)
=(Zfocus2−Zfocus1)/(V2−V1)
図13は、本発明の第3の実施形態に係る画像測定装置において、トリガ信号を用いたカメラスレーブ方式による画像測定装置の一部の構成を示すブロック図である。図14及び図15は、画像測定装置の画像取得タイミングとZ値取得タイミングとのずれを示すタイミングチャートである。
2 コンピュータシステム(PC)
3 ワーク(被測定対象)
4 プリンタ
11 架台
12 試料台(ステージ)
13a,13b アーム支持体
13c X軸ガイド
14 撮像ユニット
14a 測定(検出)ヘッド
16 パワーユニット
21 コンピュータ本体
22 キーボード
23 ジョイスティックボックス(J/S)
24 マウス
25 CRT
141 カメラ
143 リニアエンコーダ
144 カメラ駆動機構
145 Z軸モータ
151 位置制御部
152 ラッチカウンタ
153 Z値ラッチバッファ
Claims (10)
- 被測定対象を撮像してその画像情報を転送する撮像手段と、
前記撮像手段の合焦位置を制御してこの合焦位置を合焦軸方向の位置情報として出力する位置制御手段と、
前記画像情報及び位置情報に基づいて前記被測定対象の画像測定を行う画像測定手段とを備え、
前記位置制御手段は、前記撮像手段による前記被測定対象の撮像期間における所定のタイミングで前記位置情報を取得保持し、
前記画像測定手段は、前記合焦軸方向に沿って移動速度及び移動方向の少なくとも一つが異なるように複数回のオートフォーカスサーチを行い、各オートフォーカスサーチにおいて前記撮像手段から転送された画像情報と前記位置制御手段から出力された位置情報とに基づいて前記撮像期間の中心と前記位置情報の取得タイミングとのずれ量を求め、求められたずれ量に基づいてオートフォーカスサーチで求められた合焦位置を補正する
ことを特徴とする画像測定装置。 - 前記画像測定手段は、前記各オートフォーカスサーチにおいて、前記撮像手段から転送された画像情報と前記位置制御手段から出力された位置情報とに基づいて合焦位置の誤差分を求め、これら合焦位置の誤差分と前記撮像手段の移動速度とに基づいて前記ずれ量を求める
ことを特徴とする請求項1記載の画像測定装置。 - 前記画像測定手段は、前記ずれ量に所定の初期値を設定し、前記各オートフォーカスサーチにおいて前記ずれ量を用いて補正された合焦位置の差分から前記ずれ量を補正する補正値を求め、この補正値で前記ずれ量を補正する処理を、前記補正値が所定値よりも小さくなるまで繰り返す
ことを特徴とする請求項2記載の画像測定装置。 - 前記ずれ量は、前記撮像手段を第1の移動方向及びこの第1の移動方向とは反対の第2の移動方向に同一の移動速度でそれぞれ駆動することで求められる
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の画像測定装置。 - 前記ずれ量は、前記撮像手段を一の移動方向に第1の移動速度及びこの第1の移動速度とは異なる第2の移動速度でそれぞれ駆動することで求められる
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の画像測定装置。 - 前記ずれ量は、前記撮像手段を第1の移動方向に第1の移動速度で駆動すると共に、前記第1の移動方向とは反対の第2の移動方向に前記第1の移動速度とは異なる第2の移動速度で駆動することで求められる
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の画像測定装置。 - 前記ずれ量は、時間により表される前記撮像手段のフレームレイテンシーである
ことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項記載の画像測定装置。 - 前記ずれ量は、前記撮像手段の前記移動速度及び移動方向と予め前記移動速度に対応した移動距離と前記撮像手段のフレームレイテンシーとからテーブルを参照して求められる距離により表される
ことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項記載の画像測定装置。 - 被測定対象を撮像してその画像情報を転送する撮像手段と、前記撮像手段の合焦位置を制御してこの合焦位置を合焦軸方向の位置情報として出力する位置制御手段と、前記画像情報及び位置情報に基づいて前記被測定対象の画像測定を行う画像測定手段とを備えた画像測定装置におけるオートフォーカス制御方法であって、
前記位置制御手段によって前記撮像手段による前記被測定対象の撮像期間における所定のタイミングで前記位置情報を取得保持する工程と、
前記画像測定手段によって前記合焦軸方向に沿って移動速度及び移動方向の少なくとも一つが異なるように複数回のオートフォーカスサーチを行い、各オートフォーカスサーチにおいて前記撮像手段から転送された画像情報と前記位置制御手段から出力された位置情報とに基づいて前記撮像期間の中心と前記位置情報の取得タイミングとのずれ量を求め、求められたずれ量に基づいてオートフォーカスサーチで求められた合焦位置を補正する工程とを備えた
ことを特徴とするオートフォーカス制御方法。 - 被測定対象を撮像してその画像情報を転送する撮像手段と、前記撮像手段の合焦位置を制御してこの合焦位置を合焦軸方向の位置情報として出力する位置制御手段と、前記画像情報及び位置情報に基づいて前記被測定対象の画像測定を行う画像測定手段とを備えた画像測定装置において実行されるオートフォーカス制御プログラムであって、
コンピュータに、
前記位置制御手段によって前記撮像手段による前記被測定対象の撮像期間における所定のタイミングで前記位置情報を取得保持させる工程と、
前記画像測定手段によって前記合焦軸方向に沿って移動速度及び移動方向の少なくとも一つが異なるように複数回のオートフォーカスを行わせ、各オートフォーカスサーチにおいて前記撮像手段から転送された画像情報と前記位置制御手段から出力された位置情報とに基づいて前記撮像期間の中心と前記位置情報の取得タイミングとのずれ量を求めさせ、求められたずれ量に基づいてオートフォーカスサーチで求められた合焦位置を補正させる工程とを実行させる
ことを特徴とするオートフォーカス制御プログラム。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011031482A JP5740649B2 (ja) | 2011-02-17 | 2011-02-17 | 画像測定装置、オートフォーカス制御方法及びオートフォーカス制御プログラム |
US13/368,640 US8766153B2 (en) | 2011-02-17 | 2012-02-08 | Vision measuring device and auto-focusing control method |
EP12155814.2A EP2490438B1 (en) | 2011-02-17 | 2012-02-16 | Vision measuring device |
EP15198413.5A EP3029930B1 (en) | 2011-02-17 | 2012-02-16 | Vision measuring device with auto-focusing control |
CN201210037364.8A CN102647553B (zh) | 2011-02-17 | 2012-02-17 | 图像测量装置以及自动对焦控制方法 |
US14/259,480 US8809756B1 (en) | 2011-02-17 | 2014-04-23 | Vision measuring device and auto-focusing control method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011031482A JP5740649B2 (ja) | 2011-02-17 | 2011-02-17 | 画像測定装置、オートフォーカス制御方法及びオートフォーカス制御プログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012168136A JP2012168136A (ja) | 2012-09-06 |
JP5740649B2 true JP5740649B2 (ja) | 2015-06-24 |
Family
ID=46972426
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011031482A Active JP5740649B2 (ja) | 2011-02-17 | 2011-02-17 | 画像測定装置、オートフォーカス制御方法及びオートフォーカス制御プログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5740649B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10638021B2 (en) | 2017-03-09 | 2020-04-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Measurement device, processing device, and article manufacturing method |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6210722B2 (ja) * | 2013-05-08 | 2017-10-11 | 株式会社ミツトヨ | 画像測定装置及び画像測定プログラム |
JP5941209B1 (ja) * | 2015-10-15 | 2016-06-29 | 株式会社シーアイエス | 撮像装置 |
JP2020166127A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 株式会社ディスコ | 合焦位置の検出方法、及び撮像装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2511409B2 (ja) * | 1986-03-31 | 1996-06-26 | ミノルタ株式会社 | 自動焦点調節装置 |
JPH0642011B2 (ja) * | 1986-09-12 | 1994-06-01 | 富士写真フイルム株式会社 | オ−トフオ−カス方法 |
JP3678915B2 (ja) * | 1998-06-09 | 2005-08-03 | 株式会社ミツトヨ | 非接触三次元測定装置 |
JP2000098475A (ja) * | 1998-09-22 | 2000-04-07 | Olympus Optical Co Ltd | 交換レンズ |
JP2003110825A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | 合焦制御方法及び画像読取装置 |
JP2003140032A (ja) * | 2001-11-06 | 2003-05-14 | Konica Corp | 撮像装置 |
US7030351B2 (en) * | 2003-11-24 | 2006-04-18 | Mitutoyo Corporation | Systems and methods for rapidly automatically focusing a machine vision inspection system |
JP3982707B2 (ja) * | 2004-03-12 | 2007-09-26 | フジノン株式会社 | オートフォーカスシステム |
KR100691245B1 (ko) * | 2006-05-11 | 2007-03-12 | 삼성전자주식회사 | 휴대단말의 렌즈 위치오차 보정방법 |
JP4989977B2 (ja) * | 2007-01-05 | 2012-08-01 | 株式会社エルモ社 | 焦点調整装置、撮影装置および焦点調整方法 |
JP5290691B2 (ja) * | 2008-10-07 | 2013-09-18 | キヤノン株式会社 | オートフォーカス装置 |
-
2011
- 2011-02-17 JP JP2011031482A patent/JP5740649B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10638021B2 (en) | 2017-03-09 | 2020-04-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Measurement device, processing device, and article manufacturing method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012168136A (ja) | 2012-09-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8809756B1 (en) | Vision measuring device and auto-focusing control method | |
CN110154017B (zh) | 输送机跟踪系统以及校准方法 | |
KR102081743B1 (ko) | 로봇 시스템을 위한 자동 캘리브레이션 방법 | |
JP5589823B2 (ja) | ステレオカメラの校正装置および校正方法 | |
TWI404609B (zh) | 機械手臂系統參數的校正方法與校正裝置 | |
EP3988254A1 (en) | Robot hand-eye calibration method and apparatus, computing device, medium and product | |
WO2017146202A1 (ja) | 三次元形状データおよびテクスチャ情報生成システム、撮影制御プログラム、及び三次元形状データおよびテクスチャ情報生成方法 | |
JP2008021092A (ja) | ロボットシステムのシミュレーション装置 | |
JP6244104B2 (ja) | 画像測定装置の照明設定方法、装置及びブライトネスツール用コンピュータソフトウェア | |
JP5740649B2 (ja) | 画像測定装置、オートフォーカス制御方法及びオートフォーカス制御プログラム | |
JP2019119027A (ja) | ロボットシステムの制御方法、およびロボットシステム | |
JP5222430B1 (ja) | 寸法計測装置、寸法計測方法及び寸法計測装置用のプログラム | |
JP6210722B2 (ja) | 画像測定装置及び画像測定プログラム | |
JP5668227B2 (ja) | 画像測定装置 | |
JP2008045983A (ja) | ステレオカメラの調整装置 | |
JP7427370B2 (ja) | 撮像装置、画像処理装置、画像処理方法、撮像装置の校正方法、ロボット装置、ロボット装置を用いた物品の製造方法、制御プログラムおよび記録媒体 | |
JP5740648B2 (ja) | 画像測定装置、オートフォーカス制御方法及びオートフォーカス制御プログラム | |
KR101245529B1 (ko) | 카메라 캘리브레이션 방법 | |
KR20130075712A (ko) | 레이저비전 센서 및 그 보정방법 | |
JP2008089357A (ja) | タイヤの3次元形状測定システム、及び、タイヤの3次元形状測定方法 | |
US20170328706A1 (en) | Measuring apparatus, robot apparatus, robot system, measuring method, control method, and article manufacturing method | |
JP2017007026A (ja) | 位置補正システム | |
JP2009264898A (ja) | ワーク位置姿勢計測方法および計測装置 | |
JP5079779B2 (ja) | カメラ較正方法、カメラ較正装置 | |
JP2020064034A (ja) | 計測装置、その校正方法、およびプログラム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140120 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140820 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140902 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141030 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150331 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150401 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5740649 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |