JP5740648B2 - 画像測定装置、オートフォーカス制御方法及びオートフォーカス制御プログラム - Google Patents
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図1は、本発明の第1の実施形態に係る画像測定装置の全体構成を示す図である。図2及び図3は、この画像測定装置の一部の構成を示すブロック図である。画像測定装置は、非接触型の画像測定機1と、この画像測定機1を駆動制御すると共に必要なデータ処理を実行するコンピュータシステム(以下、「PC」と呼ぶ。)2とを備えて構成されている。なお、PC2は、例えば測定結果等をプリントアウトするプリンタ4を備えている。
Zi={Li+1・tdelay−Li・(tframe−tdelay)}/tframe
ただし、iは画像取得順の番号
図14及び図15は、本発明の第2の実施形態に係る画像測定装置のストロボ信号の出力タイミングを示すタイミングチャートである。図16は、この画像測定装置によるオートフォーカス制御処理手順を示すフローチャートである。図17及び図18は、この画像測定装置によるオートフォーカス制御処理手順を示すタイミングチャートである。なお、以降において、既に説明した部分と重複する箇所については同一の符号を附して説明を割愛し、本発明に特に関連のない部分については説明を省略することがあるとする。
図19は、本発明の第3の実施形態に係る画像測定装置の一部の構成を示すブロック図である。図20及び図21は、この画像測定装置のトリガ信号の入力タイミングを示すタイミングチャートである。図22は、この画像測定装置によるオートフォーカス制御処理手順を示すフローチャートである。図23及び図24は、この画像測定装置によるオートフォーカス制御処理手順を示すタイミングチャートである。
図25及び図26は、本発明の第4の実施形態に係る画像測定装置の一部の構成を示すブロック図である。図27は、同画像測定装置におけるオートフォーカスの方法を示す図である。図25は上述したカメラマスタ方式で垂直同期信号を用いた場合の構成を示し、図26は上述したカメラスレーブ方式で撮像開始指示信号を用いた場合の構成を示している。
Zt={Lt+1・tdelay−Lt・(tframe−tdelay)}/tframe
ただし、tはシリアル番号情報
2 コンピュータシステム(PC)
3 ワーク(被測定対象)
4 プリンタ
11 架台
12 試料台
13a,13b アーム支持体
13c X軸ガイド
14 撮像ユニット
14a 測定(検出)ヘッド
16 パワーユニット
21 コンピュータ本体
22 キーボード
23 ジョイスティックボックス(J/S)
24 マウス
25 CRT
141 カメラ
143 リニアエンコーダ
144 カメラ駆動機構
145 Z軸モータ
151 位置制御部
152 ラッチカウンタ
153 Z値ラッチバッファ
Claims (7)
- 被測定対象を撮像してその画像情報にシリアル番号情報を付加して転送する撮像手段と、
前記撮像手段の合焦位置を制御してこの合焦位置を合焦軸方向の位置情報として出力する位置制御手段と、
前記画像情報及び位置情報に基づいて前記被測定対象の画像測定を行う画像測定手段とを備え、
前記位置制御手段は、前記撮像手段による前記被測定対象の撮像期間における所定のタイミングで、前記撮像手段及び位置制御手段のいずれか一方から他方に出力されるトリガ信号に基づき前記位置情報を取得し、前記位置情報を前記シリアル番号情報と関連付けて保持し、
前記画像測定手段は、前記撮像手段から転送されたシリアル番号情報付きの画像情報及び前記位置制御手段から出力されたシリアル番号情報に関連付けられた位置情報に基づき前記画像情報の合焦軸方向の位置情報を算出し、算出された位置情報を用いてオートフォーカス制御を行う
ことを特徴とする画像測定装置。 - 前記撮像手段及び位置制御手段と前記画像測定手段とは、汎用シリアル通信線を介して接続され、
前記撮像手段と前記位置制御手段とは、専用デジタル通信線を介して接続されている
ことを特徴とする請求項1記載の画像測定装置。 - 前記トリガ信号は、垂直同期信号であり、
前記位置制御手段は、前記撮像手段から前記撮像期間の終点で出力された前記垂直同期信号に基づき前記位置情報を取得保持する
ことを特徴とする請求項1又は2記載の画像測定装置。 - 前記トリガ信号は、ストロボ信号であり、
前記位置制御手段は、前記撮像手段から前記撮像期間の中間点で出力された前記ストロボ信号に基づき前記位置情報を取得保持する
ことを特徴とする請求項1又は2記載の画像測定装置。 - 前記トリガ信号は、撮像開始指示信号であり、
前記撮像手段は、前記位置制御手段から出力された前記撮像開始指示信号に基づき前記被測定対象の撮像を開始し、
前記位置制御手段は、前記撮像開始指示信号の出力と同時に前記撮像期間の始点で前記位置情報を取得保持する
ことを特徴とする請求項1又は2記載の画像測定装置。 - 被測定対象を撮像してその画像情報にシリアル番号情報を付加して転送する撮像手段と、前記撮像手段の合焦位置を制御してこの合焦位置を合焦軸方向の位置情報として出力する位置制御手段と、前記画像情報及び位置情報に基づいて前記被測定対象の画像測定を行う画像測定手段とを備えた画像測定装置におけるオートフォーカス制御方法であって、
前記位置制御手段によって前記撮像手段による前記被測定対象の撮像期間における所定のタイミングで、前記撮像手段及び位置制御手段のいずれか一方から他方に出力されるトリガ信号に基づき前記位置情報を取得し、前記位置情報を前記シリアル番号情報と関連付けて保持する工程と、
前記画像測定手段によって前記撮像手段から転送されたシリアル番号情報付きの画像情報及び前記位置制御手段から出力されたシリアル番号情報に関連付けられた位置情報に基づき前記画像情報の合焦軸方向の位置情報を算出し、算出された位置情報を用いてオートフォーカス制御を行う工程とを備えた
ことを特徴とするオートフォーカス制御方法。 - 被測定対象を撮像してその画像情報にシリアル番号情報を付加して転送する撮像手段と、前記撮像手段の合焦位置を制御してこの合焦位置を合焦軸方向の位置情報として出力する位置制御手段と、前記画像情報及び位置情報に基づいて前記被測定対象の画像測定を行う画像測定手段とを備えた画像測定装置において実行されるオートフォーカス制御プログラムであって、
コンピュータに、
前記位置制御手段によって前記撮像手段による前記被測定対象の撮像期間における所定のタイミングで、前記撮像手段及び位置制御手段のいずれか一方から他方に出力されるトリガ信号に基づき前記位置情報を取得させ、前記位置情報を前記シリアル番号情報と関連付けて保持させる工程と、
前記画像測定手段によって前記撮像手段から転送されたシリアル番号情報付きの画像情報及び前記位置制御手段から出力されたシリアル番号情報に関連付けられた位置情報に基づき前記画像情報の合焦軸方向の位置情報を算出させ、算出された位置情報を用いてオートフォーカス制御を行わせる工程とを実行させる
ことを特徴とするオートフォーカス制御プログラム。
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