JP5738814B2 - マイクロ波アニール装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 70
- 238000000137 annealing Methods 0.000 title claims description 49
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 71
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 32
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 8
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 25
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 25
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 6
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 2
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000005316 response function Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/26—Bombardment with radiation
- H01L21/263—Bombardment with radiation with high-energy radiation
- H01L21/268—Bombardment with radiation with high-energy radiation using electromagnetic radiation, e.g. laser radiation
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
- H01L21/67115—Apparatus for thermal treatment mainly by radiation
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/324—Thermal treatment for modifying the properties of semiconductor bodies, e.g. annealing, sintering
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67248—Temperature monitoring
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
- H05B6/64—Heating using microwaves
- H05B6/6447—Method of operation or details of the microwave heating apparatus related to the use of detectors or sensors
- H05B6/645—Method of operation or details of the microwave heating apparatus related to the use of detectors or sensors using temperature sensors
- H05B6/6455—Method of operation or details of the microwave heating apparatus related to the use of detectors or sensors using temperature sensors the sensors being infrared detectors
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
- H05B6/64—Heating using microwaves
- H05B6/66—Circuits
- H05B6/68—Circuits for monitoring or control
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
- H05B6/64—Heating using microwaves
- H05B6/80—Apparatus for specific applications
- H05B6/806—Apparatus for specific applications for laboratory use
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- Clinical Laboratory Science (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
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Description
図1は、第1の実施形態に係わるマイクロ波アニール装置を示す概略構成図である。
一方、電磁波Bのみを照射し、電磁波Aを用いない場合、電磁波Bの周波数は非単結晶シリコンのフォノン振動の周波数に近いため、非単結晶に吸収されたエネルギーはほぼ熱化する。このような熱は不純物の拡散を促進させるため、回路の性能の劣化につながる。しかし、電磁波Bよりも周波数の短い電磁波Aを用いると、非熱的な効果が得られるため、低温活性化によるアニールを実現できる。
図3は、第2の実施形態に係わるマイクロ波アニール装置を示す概略構成図である。なお、図1と同一部分には同一符号を付して、その詳しい説明は省略する。
図4は、第3の実施形態に係わるマイクロ波アニール装置を示す概略構成図である。なお、図1と同一部分には同一符号を付して、その詳しい説明は省略する。
図5は、第4の実施形態に係わるマイクロ波アニール装置を示す概略構成図である。なお、図1と同一部分には同一符号を付して、その詳しい説明は省略する。
なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではない。
11…半導体基板
12…サセプタ
13…温度センサ
21…第1の電磁波源(EW1)
22…第2の電磁波源(EW2)
31…制御部
32…処理部
40…ヒータ機能を有するサセプタ
50…モータ
51…軸体
Claims (12)
- 電磁波を遮蔽する筐体と、
前記筐体内にマイクロ波領域の第1の電磁波を供給する第1の電磁波源と、
前記筐体内に前記第1の電磁波よりも周波数の高い第2の電磁波を供給する第2の電磁波源と、
半導体基板の温度を測定するための温度計測器と、
前記温度計測器による測定温度を基に前記第1及び第2の電磁波源のパワーを制御する制御部と、
を具備し、
前記制御部は、前記測定温度が設定温度に達するまで前記第2の電磁波源をオンし、前記設定温度に達した後、前記第2の電磁波源をオフし、且つ前記第1の電磁波源をオンするマイクロ波アニール装置。 - 前記筐体内に設けられ、前記第1の電磁波に対して透明な材料で形成され、前記半導体基板を載置するためのサセプタをさらに具備し、
前記サセプタは、ガラスである請求項1に記載のマイクロ波アニール装置。 - 前記筐体内に設けられ、前記第1の電磁波に対して透明な材料で形成され、前記半導体基板を載置するためのサセプタをさらに具備し、
前記サセプタは、単結晶シリコンである請求項1に記載のマイクロ波アニール装置。 - 前記第1の電磁波は、周波数が1GHz〜45GHzまでのマイクロ波であり、前記第2の電磁波は、周波数が3THz〜17THzまでのテラヘルツ波である請求項1乃至3の何れかに記載のマイクロ波アニール装置。
- 前記第1の電磁波は、周波数が1GHz〜45GHzまでのマイクロ波であり、前記第2の電磁波は、周波数が300THz以上の光である請求項1乃至3の何れかに記載のマイクロ波アニール装置。
- 前記サセプタは、前記第1の電磁波に対して透明な部材で形成された回転機構に取り付けられ、回転可能に設けられている請求項2又は3に記載のマイクロ波アニール装置。
- 半導体基板を収納し且つ電磁波を遮蔽する筐体内に、第1及び第2の電磁波をそれぞれ供給する第1及び第2の電磁波源と、前記半導体基板の温度を測定するための温度計測器と、前記温度計測器による測定温度を基に前記第1及び第2の電磁波源を制御する制御部と、を備えたアニール装置を用い、
前記半導体基板の前記測定温度が設定温度に達するまで、前記第2の電磁波源をオンし、前記第1の電磁波よりも周波数の高い前記第2の電磁波を、前記筐体内に供給する工程と、
前記測定温度が前記設定温度に達した後、前記第2の電磁波源をオフし且つ前記第1の電磁波源をオンし、マイクロ波領域の前記第1の電磁波を、前記筐体内に供給する工程と、
を具備する半導体装置の製造方法。 - 前記筐体内に設けられ且つ前記第1の電磁波に対して透明な材料で形成されたサセプタ上に、前記半導体基板は載置され、
前記サセプタは、ガラスである請求項7に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記筐体内に設けられ且つ前記第1の電磁波に対して透明な材料で形成されたサセプタ上に、前記半導体基板は載置され、
前記サセプタは、単結晶シリコンである請求項7に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1の電磁波は、周波数が1GHz〜45GHzまでのマイクロ波であり、前記第2の電磁波は、周波数が3THz〜17THzまでのテラヘルツ波である半導体装置の製造方法。
- 前記第1の電磁波は、周波数が1GHz〜45GHzまでのマイクロ波であり、前記第2の電磁波は、周波数が300THz以上の光である半導体装置の製造方法。
- 前記サセプタは、前記第1の電磁波に対して透明な部材で形成された回転機構に取り付けられ、回転可能に設けられている請求項8又は9に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012200499A JP5738814B2 (ja) | 2012-09-12 | 2012-09-12 | マイクロ波アニール装置及び半導体装置の製造方法 |
KR1020130036679A KR101552386B1 (ko) | 2012-09-12 | 2013-04-04 | 마이크로파 어닐링 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 |
US13/859,153 US9466517B2 (en) | 2012-09-12 | 2013-04-09 | Microwave annealing apparatus and method of manufacturing a semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012200499A JP5738814B2 (ja) | 2012-09-12 | 2012-09-12 | マイクロ波アニール装置及び半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014056927A JP2014056927A (ja) | 2014-03-27 |
JP5738814B2 true JP5738814B2 (ja) | 2015-06-24 |
Family
ID=50233654
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012200499A Active JP5738814B2 (ja) | 2012-09-12 | 2012-09-12 | マイクロ波アニール装置及び半導体装置の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9466517B2 (ja) |
JP (1) | JP5738814B2 (ja) |
KR (1) | KR101552386B1 (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20140256082A1 (en) * | 2013-03-07 | 2014-09-11 | Jehad A. Abushama | Method and apparatus for the formation of copper-indiumgallium selenide thin films using three dimensional selective rf and microwave rapid thermal processing |
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KR20140030567A (ko) | 2012-09-03 | 2014-03-12 | 조형제 | 재활 기구 |
-
2012
- 2012-09-12 JP JP2012200499A patent/JP5738814B2/ja active Active
-
2013
- 2013-04-04 KR KR1020130036679A patent/KR101552386B1/ko active IP Right Grant
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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