JP5730721B2 - パターン計測装置、およびパターン計測方法 - Google Patents
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Description
パターンのマスクエッジデータ、および前記回路パターンを撮像した画像データを記憶す
る記憶部と、前記画像データを入力として前記回路パターンのSEM輪郭線を抽出し、前
記マスクエッジデータと抽出した前記SEM輪郭線のデータ(SEM輪郭線データ)とに
基づいて、露光シミュレーション部に予測SEM輪郭線のデータ(予測SEM輪郭線デー
タ)を生成させるSEM輪郭線抽出部と、前記マスクエッジデータと、前記SEM輪郭線
データと、前記予測SEM輪郭線データとを入力として、前記SEM輪郭線データおよび前記予測SEM輪郭線データを、1次元形状の輪郭線と2次元形状の輪郭線とに分類する形状分類部と、前記SEM輪郭線データと前記予測SEM輪郭線データとを入力とし、前記1次元形状及び前記2次元形状の種類に応じて、前記SEM輪郭線データのサンプリングを行うSEM輪郭線サンプリング部と、を備えることを特徴とする。
(実施形態)
はじめに、CD−gapの明確な定義を与える。CD−SEMにより取得されたCD値(つまり、CDCD−SEM)と、SEM輪郭線から算出されたCD値(つまり、CDContour)の差異をCD−gapとし、CD−gap=|CDCD−SEM−CDContour|と定義する。
(主要処理)
ここでは、図4を用いて簡単に本特許のパターン計測装置の主要な動作を説明する。はじめに、演算ユニット801(SEM輪郭線抽出プログラム821)は、SEM画像から回路パターンのSEM輪郭線の抽出を行う(S401)。
(パターン計測装置の構成)
本特許の実施形態における処理を実行するパターン計測装置の構成について、図8を用いて説明する。
(輪郭線の分類)
はじめに、SEM輪郭線および予測SEM輪郭線を構成する曲線(直線を含む)について、1次元形状部(直線部:図5Bに示す符号502)と2次元形状部(コーナ部:図5Cに示す符号503とEOL:図5Dに示す符号504)に分類する処理について、具体的に説明する。
(SEM輪郭線サンプリング処理)
次に、図9A、9Bを用いて、SEM輪郭線サンプリングについて詳細に説明する。はじめに、1次元形状部(図5Bに示した符号502)のサンプリング処理から説明する。
(1次元形状部のSEM輪郭線サンプリング処理)
まず、S901では、サンプリングプログラム823は、基本サンプリング間隔d1 nmごとに、一律にSEM輪郭線をサンプリングする。なお、この処理を行わなくても構わないが、その場合には、あらかじめ指定された許容誤差の範囲内でサンプリングが実施される。
(2次元形状部のSEM輪郭線サンプリング処理)
次に、2次元形状部のサンプリング処理について説明する。S904では、基本サンプリング間隔d2 nmごとに、一律にSEM輪郭線をサンプリングする。なお、このステップを飛ばしても構わない。その場合には、1次元形状部のSEM輪郭線サンプリング処理の場合と同様に、許容誤差の範囲内でサンプリングが実施される。
801 演算ユニット
802 ネットワークアダプタ
803 補助記憶装置
804 入力装置
805 出力装置
810 主記憶装置
821 SEM輪郭線抽出プログラム
822 形状分類プログラム
823 サンプリングプログラム
830 CDデータ
831 画像データ
832 マスクエッジデータ
833 SEM輪郭線データ
834 予測SEM輪郭線データ
835 サンプリング済みSEM輪郭線データ
840 CD−SEM
841 露光シミュレータ
850 ネットワーク。
Claims (11)
- 半導体の回路パターンのマスクエッジデータ、および前記回路パターンを撮像した画像
データを記憶する記憶部と、
前記画像データを入力として前記回路パターンのSEM(Scanning Elec
tron Microscope)輪郭線を抽出し、前記マスクエッジデータと抽出した
前記SEM輪郭線のデータ(SEM輪郭線データ)とに基づいて、露光シミュレーション
部に予測SEM輪郭線のデータ(予測SEM輪郭線データ)を生成させるSEM輪郭線抽
出部と、
前記マスクエッジデータと、前記SEM輪郭線データと、前記予測SEM輪郭線データとを入力として、前記SEM輪郭線データおよび前記予測SEM輪郭線データを、1次元形状の輪郭線と2次元形状の輪郭線とに分類する形状分類部と、
前記SEM輪郭線データと前記予測SEM輪郭線データとを入力とし、前記1次元形状
及び前記2次元形状の種類に応じて、前記SEM輪郭線データのサンプリングを行うSE
M輪郭線サンプリング部と、
を備えることを特徴としたパターン計測装置。 - 前記SEM輪郭線抽出部は、前記SEM輪郭線とSEMの測定値により取得された輪郭
線との差であるCD(Critical dimension)ギャップが抑制された輪
郭線を、前記回路パターンから抽出する、
ことを特徴とする請求項1に記載のパターン計測装置。 - 前記SEM輪郭線サンプリング部は、前記予測SEM輪郭線上に位置する所定の点を基
準とし、前記マスクエッジデータの法線に対して平行な線と、前記SEM輪郭線とが交わ
る点を求め、その2点間のユークリッド距離を算出することにより前記SEM輪郭線デー
タのサンプリングをする、
ことを特徴とする請求項1または2に記載のパターン計測装置。 - 前記SEM輪郭線サンプリング部は、前記SEM輪郭線上に位置する所定の点を基準と
し、前記マスクエッジデータの法線方向に平行な線と、前記予測SEM輪郭線とが交わる
点を求め、その2点間のユークリッド距離を算出することにより前記SEM輪郭線データ
のサンプリングをする、
ことを特徴とする請求項1または2に記載のパターン計測装置。 - 前記SEM輪郭線サンプリング部は、前記予測SEM輪郭線上に位置する所定の点を基
準とし、前記所定の点における予測SEM輪郭線の法線と、前記SEM輪郭線とが交わる
点を求め、その2点間のユークリッド距離を算出することにより前記SEM輪郭線データ
のサンプリングをする、
ことを特徴とする請求項1または2に記載のパターン計測装置。 - 前記SEM輪郭線サンプリング部は、前記SEM輪郭線上に位置する所定の点を基準と
し、前記所定の点におけるSEM輪郭線の法線と、前記予測SEM輪郭線とが交わる点を
求め、その2点間のユークリッド距離を算出することにより前記SEM輪郭線データのサ
ンプリングをする、
ことを特徴とする請求項1または2に記載のパターン計測装置。 - 前記SEM輪郭線サンプリング部は、前記予測SEM輪郭線上に位置する所定の点を基
準とし、前記所定の点におけるSEM輪郭線までのユークリッド距離が最小となるSEM
輪郭線上の点を算出し、その2点間のユークリッド距離を算出することにより前記SEM
輪郭線データのサンプリングをする、
ことを特徴とする請求項1または2に記載のパターン計測装置。 - 前記SEM輪郭線サンプリング部は、前記SEM輪郭線上に位置する所定の点を基準と
し、前記所定の点における予測SEM輪郭線までのユークリッド距離が最小となる予測S
EM輪郭線の点を算出し、その2点間のユークリッド距離を算出することにより前記SE
M輪郭線データのサンプリングをする、
ことを特徴とする請求項1または2に記載のパターン計測装置。 - 前記1次元形状の輪郭線には少なくとも直線部を含み、前記2次元形状の輪郭線には少
なくともコーナ部およびEOL(End−of−Line)を含む、
ことを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載のパターン計測装置。 - 半導体の回路パターンを撮像した画像データを入力として前記回路パターンのSEM輪
郭線を抽出する抽出ステップと、
前記半導体の回路パターンのマスクエッジデータと抽出した前記SEM輪郭線のデータ
(SEM輪郭線データ)とに基づいて、露光シミュレーション部に予測SEM輪郭線のデ
ータ(予測SEM輪郭線データ)を生成させる生成ステップと、
前記マスクエッジデータと、前記SEM輪郭線データと、前記予測SEM輪郭線データとを入力として、前記SEM輪郭線データおよび前記予測SEM輪郭線データを、1次元形状の輪郭線と2次元形状の輪郭線とに分類する形状分類ステップと、
前記SEM輪郭線データと前記予測SEM輪郭線データとを入力とし、前記1次元形状
及び前記2次元形状の種類に応じて、前記SEM輪郭線データのサンプリングを行うSE
M輪郭線サンプリングステップと、
を含むことを特徴としたパターン計測方法。 - 前記抽出ステップにおいて、前記SEM輪郭線とSEMの測定値により取得された輪郭
線との差であるCDギャップが抑制された輪郭線を、前記回路パターンから抽出する、
ことを特徴とする請求項10に記載のパターン計測方法。
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