JP5728250B2 - 放射線検出装置、シンチレータパネル、それらの製造方法、および放射線検出システム - Google Patents

放射線検出装置、シンチレータパネル、それらの製造方法、および放射線検出システム Download PDF

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Families Citing this family (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012242355A (ja) 2011-05-24 2012-12-10 Fujifilm Corp 放射線検出装置
DE102012210487B3 (de) * 2012-06-21 2013-12-24 Siemens Aktiengesellschaft Szintillatorplatte und Verfahren zur Herstellung einer Szintillatorplatte
JP6092568B2 (ja) * 2012-10-11 2017-03-08 キヤノン株式会社 放射線検出装置及び放射線検出システム
KR101405536B1 (ko) 2012-10-19 2014-06-11 주식회사 아비즈알 직접 방식의 신틸레이터 패널 및 그 제조 방법
KR101405537B1 (ko) * 2012-10-19 2014-06-11 주식회사 아비즈알 간접방식 신틸레이터 패널 및 그 제조방법
JP6298264B2 (ja) * 2012-10-31 2018-03-20 キヤノン株式会社 シンチレータ、放射線検出装置、および、それらの製造方法
KR101368480B1 (ko) 2012-11-21 2014-03-03 주식회사 아비즈알 엑스선 검지 소자
JP6079284B2 (ja) * 2013-02-08 2017-02-15 株式会社島津製作所 放射線検出器および放射線検出器の製造方法
JP6241066B2 (ja) * 2013-05-15 2017-12-06 コニカミノルタ株式会社 放射線画像撮影装置
JP6114635B2 (ja) * 2013-06-06 2017-04-12 東芝電子管デバイス株式会社 放射線検出器およびその製造方法
JP6514206B2 (ja) * 2013-12-17 2019-05-15 アグファ・ナームローゼ・フェンノートシャップＡｇｆａ Ｎｖ 軽量ｘ−線シールドをもつ放射線透過撮影用フラットパネル検出器およびその製法
JP6005092B2 (ja) * 2014-03-25 2016-10-12 富士フイルム株式会社 放射線検出装置および放射線検出装置の製造方法
JP6301207B2 (ja) * 2014-06-10 2018-03-28 アンリツインフィビス株式会社 Ｘ線検査装置
US10712454B2 (en) * 2014-07-25 2020-07-14 General Electric Company X-ray detectors supported on a substrate having a metal barrier
US9513380B2 (en) 2014-07-25 2016-12-06 General Electric Company X-ray detectors supported on a substrate having a surrounding metal barrier
US9520437B2 (en) * 2014-08-14 2016-12-13 Cbrite Inc. Flexible APS X-ray imager with MOTFT pixel readout and a pin diode sensing element
JP6512830B2 (ja) * 2015-01-09 2019-05-15 キヤノン株式会社 放射線撮像装置、その製造方法及び放射線検査装置
CN109121430A (zh) 2015-03-20 2019-01-01 万睿视影像有限公司 闪烁体
JP6487263B2 (ja) * 2015-04-20 2019-03-20 浜松ホトニクス株式会社 放射線検出器及びその製造方法
JP6524811B2 (ja) * 2015-06-16 2019-06-05 コニカミノルタ株式会社 放射線画像検出器
JP6611511B2 (ja) 2015-08-06 2019-11-27 キヤノン株式会社 シンチレータの製造方法
CA3014565A1 (en) * 2016-02-19 2017-08-24 Karim S. Karim System and method for a x-ray detector
EP3226038B1 (en) 2016-03-28 2020-05-06 Canon Kabushiki Kaisha Radiation detection apparatus and radiation imaging system
JP6725288B2 (ja) 2016-03-30 2020-07-15 浜松ホトニクス株式会社 放射線検出器の製造方法
US10871581B2 (en) 2017-02-17 2020-12-22 Yasu Medical Imaging Technology Co., Ltd. Scintillator module, scintillator sensor unit, and scintillator module production method
JP6646002B2 (ja) * 2017-03-22 2020-02-14 富士フイルム株式会社 放射線検出器及び放射線画像撮影装置
KR102466811B1 (ko) * 2017-12-12 2022-11-11 엘지디스플레이 주식회사 플렉서블 디지털 엑스레이 검출기용 패널 및 그 제조 방법
EP3505969A1 (en) * 2018-01-02 2019-07-03 Koninklijke Philips N.V. Detector for x-ray imaging
CN110323235A (zh) * 2018-03-29 2019-10-11 夏普株式会社 摄像面板
JP2019174365A (ja) * 2018-03-29 2019-10-10 シャープ株式会社 撮像パネル
JP6701288B2 (ja) * 2018-09-06 2020-05-27 キヤノン株式会社 シンチレータプレート、放射線検出装置および放射線検出システム
JP7240998B2 (ja) * 2018-11-13 2023-03-16 キヤノン電子管デバイス株式会社 放射線検出モジュール、放射線検出器、及び放射線検出モジュールの製造方法
JP7199332B2 (ja) * 2019-10-07 2023-01-05 キヤノン電子管デバイス株式会社 放射線検出モジュールの製造方法
JP7325295B2 (ja) * 2019-10-24 2023-08-14 浜松ホトニクス株式会社 シンチレータパネル、放射線検出器、シンチレータパネルの製造方法、及び、放射線検出器の製造方法
CN111430391A (zh) * 2020-03-24 2020-07-17 上海奕瑞光电子科技股份有限公司 柔性x射线探测器及其制备方法
JP7564655B2 (ja) 2020-07-14 2024-10-09 キヤノン株式会社 放射線撮像パネル、放射線撮像装置、放射線撮像システム、および、シンチレータプレート
US11656370B2 (en) 2020-07-27 2023-05-23 Canon Kabushiki Kaisha Radiation imaging panel, radiation imaging apparatus, radiation imaging system, method of manufacturing radiation imaging panel, and scintillator plate

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0903590B1 (en) * 1997-02-14 2002-01-02 Hamamatsu Photonics K.K. Radiation detection device and method of producing the same
US7034306B2 (en) * 1998-06-18 2006-04-25 Hamamatsu Photonics K.K. Scintillator panel and radiation image sensor
WO1999066346A1 (en) * 1998-06-18 1999-12-23 Hamamatsu Photonics K.K. Scintillator plate, radiation image sensor, and method for manufacturing the same
DE69926769T2 (de) * 1998-06-18 2006-06-29 Hamamatsu Photonics K.K., Hamamatsu Szintillatorpanel, strahlungsbildsensor und verfahren zu deren herstellung
FR2782388B1 (fr) * 1998-08-11 2000-11-03 Trixell Sas Detecteur de rayonnement a l'etat solide a duree de vie accrue
US6847041B2 (en) 2001-02-09 2005-01-25 Canon Kabushiki Kaisha Scintillator panel, radiation detector and manufacture methods thereof
JP4587431B2 (ja) * 2001-08-30 2010-11-24 キヤノン株式会社 蛍光板の製造方法および放射線検出装置の製造方法
US7355184B2 (en) * 2003-04-07 2008-04-08 Canon Kabushiki Kaisha Radiation detecting apparatus and method for manufacturing the same
EP1779140B1 (en) * 2004-08-10 2018-06-20 Canon Kabushiki Kaisha Radiation detecting apparatus, scintillator panel, their manufacturing method and radiation detecting system
JP4612876B2 (ja) * 2004-08-10 2011-01-12 キヤノン株式会社 放射線検出装置、シンチレータパネル、これらの製造方法及び放射線検出システム
US7910892B2 (en) * 2005-12-22 2011-03-22 Kabushiki Kaisha Toshiba Method for manufacturing X-ray detector and X-ray detector
EP1860463A1 (en) * 2006-05-23 2007-11-28 Agfa HealthCare NV Radiation image phosphor or scintillator panel
WO2008029610A1 (fr) * 2006-09-05 2008-03-13 Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. Écran scintillateur
JP2008261651A (ja) * 2007-04-10 2008-10-30 Toshiba Corp シンチレータパネル、シンチレータパネルの製造方法および放射線検出器
WO2010029779A1 (ja) * 2008-09-12 2010-03-18 コニカミノルタエムジー株式会社 シンチレータパネルとその製造方法

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