JP6512830B2 - 放射線撮像装置、その製造方法及び放射線検査装置 - Google Patents
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Description
図1〜3を参照しながら、第1実施形態に係る放射線撮像装置1(以下、単に「装置1」という。)を説明する。
図4を参照しながら第2実施形態を説明する。前述の第1実施形態では、保護膜230が、第1層231〜第3層233の3層で構成された構造を例示した。しかしながら、本発明はこの構造に限られるものではなく、保護膜230の層の数をさらに大きくしてもよい。
図5を参照しながら第3実施形態を説明する。本実施形態では、まず、フッ素系樹脂で実質的に構成された膜251を、シンチレータ220の柱状結晶の表面(側面および先端)を覆い且つ該柱状結晶間の隙間を埋めないように形成する。次に、該膜251で覆われた柱状結晶間の隙間を埋めるように、非フッ素系樹脂で実質的に構成された部材252を形成する。
以上、いくつかの好適な実施形態を例示したが、本発明はこれらに限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、その一部を変更してもよく、各実施形態の特徴を組み合わせてもよいし、他の公知の構造ないし態様と組み合わせてもよい。
図7に例示されるように、上記各実施形態で述べた放射線撮像装置は、放射線検査装置等に代表される撮像システムに適用されうる。放射線は、X線、α線、β線、γ線等を含む。ここでは、代表例としてX線を用いる場合を述べる。
Claims (12)
- 複数のセンサが配列されたセンサパネルと、
基材上に配され、ハロゲン化アルカリで構成されたシンチレータと、
前記シンチレータの潮解を抑制するための保護膜と、を備え、
前記保護膜は、前記シンチレータの側面と前記シンチレータの前記基材とは反対側の端とを覆う第1部分と、前記第1部分の表面の少なくとも一部を覆う第2部分と、を含み、
前記第2部分は、フッ素の含有量が前記第1部分のフッ素の含有量よりも小さく、接着部材を介して前記センサパネルと固定されている
ことを特徴とする放射線撮像装置。 - 前記シンチレータは、複数の柱状結晶で構成され、
前記第1部分は、前記シンチレータの各柱状結晶の側面および先端を覆い、
前記保護膜は、フッ素系樹脂である第1樹脂とフッ素系樹脂でない第2樹脂とで構成されており、
前記第2部分における前記第2樹脂に対する前記第1樹脂の割合は、前記第1部分における前記第2樹脂に対する前記第1樹脂の割合よりも小さい
ことを特徴とする請求項1に記載の放射線撮像装置。 - 前記シンチレータの各柱状結晶の側面および先端を覆うように前記第1樹脂で構成された膜が形成されており、該第1樹脂の膜で覆われた柱状結晶間の隙間を埋めながら前記シンチレータを覆うように少なくとも前記第2樹脂を含む部材が形成されている
ことを特徴とする請求項2に記載の放射線撮像装置。 - 前記第1樹脂は、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、四フッ化エチレン‐六フッ化プロピレン共重合体、ポリフッ化ビニリデン、フッ素化メタクリル酸エステル重合体、ポリフッ化ビニル、エチレン‐四フッ化エチレン共重合体、及び、エチレン‐クロロトリフルオロエチレン共重合体のうちの少なくとも1つを含む
ことを特徴とする請求項2または請求項3に記載の放射線撮像装置。 - 前記第2樹脂は、ポリ塩化ビニリデン、塩化ビニリデン‐塩化ビニル共重合体、塩化ビニリデン‐アクリロニトリル共重合体、ポリ塩化ビニル、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、シリコーン系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリイミド系樹脂、酢酸セルロース、ニトロセルロース、ポリメチルメタクリレート、ポリビニルブチラール、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、ナイロン、ポリアミド系樹脂、ポリエステル系樹脂、スチレンブタジエンゴム系樹脂、ポリパラキシリレンのうちの少なくとも1つを含む
ことを特徴とする請求項2から請求項4のいずれか1項に記載の放射線撮像装置。 - 前記第1樹脂と水滴との接触角は90°より大きく、
前記第2樹脂と水滴との接触角は90°以下である
ことを特徴とする請求項2から請求項5のいずれか1項に記載の放射線撮像装置。 - 複数のセンサが配列されたセンサパネルと、
前記センサパネルの上に配され且つハロゲン化アルカリで構成されたシンチレータと、
前記シンチレータの上に配された基材と、
前記シンチレータの潮解を抑制するための保護膜と、を備え、
前記保護膜は、前記シンチレータの側面と前記シンチレータの前記センサパネルとは反対側の端とを覆う第1部分と、前記第1部分の表面の少なくとも一部を覆う第2部分と、を含み、
前記第2部分は、フッ素の含有量が前記第1部分のフッ素の含有量よりも小さく、接着部材を介して前記基材と固定されている
ことを特徴とする放射線撮像装置。 - 前記シンチレータは、複数の柱状結晶で構成され、
前記第1部分は、前記シンチレータの各柱状結晶の側面および先端を覆い、
前記基材は光反射性の材料で構成されている
ことを特徴とする請求項7に記載の放射線撮像装置。 - 請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の放射線撮像装置と、
前記放射線撮像装置からの信号を処理するプロセッサと、を具備する
ことを特徴とする放射線検査装置。 - ハロゲン化アルカリで構成されて基材の上に配されたシンチレータの潮解を抑制するための保護膜を形成する第1工程と、
複数のセンサが配列されたセンサパネルを前記保護膜に接着部材を介して固定する第2工程と、
を含み、
前記保護膜は、前記シンチレータの側面と前記シンチレータの前記基材とは反対側の端とを覆う第1部分と、前記第1部分よりもフッ素の含有量が小さく且つ前記第1部分の表面の少なくとも一部を覆う第2部分と、を含み、
前記第2工程では、前記第2部分が前記接着部材を介して前記センサパネルに固定される
ことを特徴とする放射線撮像装置の製造方法。 - ハロゲン化アルカリで構成されて複数のセンサが配列されたセンサパネルの上に配されたシンチレータの潮解を抑制するための保護膜を形成する第1工程と、
基材を前記保護膜に接着部材を介して固定する第2工程と、
を含み、
前記保護膜は、前記シンチレータの側面と前記シンチレータの前記センサパネルとは反対側の端とを覆う第1部分と、前記第1部分よりもフッ素の含有量が小さく且つ前記第1部分の表面の少なくとも一部を覆う第2部分と、を含み、
前記第2工程では、前記第2部分が前記接着部材を介して前記基材に固定される
ことを特徴とする放射線撮像装置の製造方法。 - 前記第1工程では、フッ素系樹脂である第1樹脂とフッ素系樹脂でない第2樹脂とを塗布し、前記第1樹脂の塗布量と前記第2樹脂の塗布量とを調節しながら前記保護膜を形成する
ことを特徴とする請求項10または請求項11に記載の放射線撮像装置の製造方法。
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