JP2012127698A - 放射線検出装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】放射線検出装置の製造方法であって、放射線を可視光に変換可能な柱状結晶131の集合体を基台200の上に形成する工程と、柱状結晶131の集合体を支持する支持層150を形成する工程と、支持層150によって支持された柱状結晶の集合体を基台200から剥離する工程と、光電変換部を有するセンサパネル110を準備する工程と、柱状結晶131の集合体が光電変換部を覆うように、柱状結晶131の集合体のうち基台200に接していた面をセンサパネル110に接着剤を用いて接着する工程とを有する。
【選択図】図2
Description
以下に上述の実施形態の複数の変形例を説明する。これらの変形例は互いに組み合わせて上述の実施形態に適用することも可能である。
Claims (6)
- 放射線検出装置の製造方法であって、
放射線を可視光に変換可能な柱状結晶の集合体を基台の上に形成する工程と、
前記柱状結晶の集合体を支持する支持層を形成する工程と、
前記支持層によって支持された前記柱状結晶の集合体を前記基台から剥離する工程と、
光電変換部を有するセンサパネルを準備する工程と、
前記柱状結晶の集合体が前記光電変換部を覆うように、前記柱状結晶の集合体のうち前記基台に接していた面を前記センサパネルに接着剤を用いて接着する工程と
を有することを特徴とする製造方法。 - 前記基台のうち前記柱状結晶の集合体が形成された領域を取り囲む領域に緩衝膜を形成する工程をさらに含み、
前記支持層を形成する工程において、前記柱状結晶の集合体と前記緩衝膜とを覆うように前記支持層が形成され、
前記支持層の前記緩衝膜に対する密着力は前記支持層の前記基台に対する密着力よりも弱い
ことを特徴とする請求項1に記載の製造方法。 - 前記基台は凸部を有し、前記柱状結晶は前記凸部の上に成長することを特徴とする請求項1又は2に記載の製造方法。
- 前記支持層は、前記柱状結晶の耐湿性を高めるための保護層を含むことを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の製造方法。
- 前記支持層は、前記柱状結晶からの光を反射するための反射層を含むことを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の製造方法。
- 光電変換部を有するセンサパネルと、
前記光電変換部を覆う位置に配置された柱状結晶の集合体と、
前記センサパネルと前記柱状結晶の集合体とを接着する接着層と
を備え、
前記接着層は前記柱状結晶の柱間に入り込んでいることを特徴とする放射線検出装置。
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