JP2007279051A - シンチレータパネル及び放射線イメージセンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】放射線透過性の基板10の一方の表面上に、所定波長の光を反射する金属薄膜12が配置され、基板10および金属薄膜12は、これらを包み込むように設けられた保護膜14bによって封止されている。この保護膜14b上には放射線を金属薄膜12で反射し得る波長を含む光に変換するシンチレータ16が堆積されており、保護膜14およびシンチレータ16は、これらを包み込むように設けられた耐湿保護膜18によって封止されている。
【選択図】図4
Description
Claims (19)
- 放射線透過性の基板と、前記基板上に設けられた放射線透過性で所定波長の光を反射する金属薄膜と、前記金属薄膜上に設けられた保護膜と、前記保護膜上に堆積され、放射線を前記金属薄膜で反射し得る波長を含む光に変換する多数の柱状結晶からなるシンチレータと、前記基板とともに前記シンチレータを覆う耐湿保護膜と、を備え、前記保護膜は、前記金属薄膜と前記シンチレータとの接触を防止しているシンチレータパネルにおいて、
前記基板および前記金属薄膜は、これらを包み込むように設けられた前記保護膜によって封止され、
当該保護膜および前記シンチレータは、これらを包み込むように設けられた前記耐湿保護膜によって更に封止されていることを特徴とするシンチレータパネル。 - 前記基板と前記金属薄膜との間に前記基板および前記金属薄膜に密着している中間膜が配置されていることを特徴とする請求項1に記載のシンチレータパネル。
- 前記中間膜は、前記基板の全体を覆っていることを特徴とする請求項2に記載のシンチレータパネル。
- 前記保護膜は、前記中間膜で全体が覆われた前記基板および前記金属薄膜を包み込むように設けられていることを特徴とする請求項3に記載のシンチレータパネル。
- 前記保護膜は、キシリレン系の膜であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のシンチレータパネル。
- 前記耐湿保護膜は、キシリレン系の膜であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のシンチレータパネル。
- 前記中間膜は、有機膜であることを特徴とする請求項2〜6のいずれかに記載のシンチレータパネル。
- 前記中間膜は、キシリレン系の膜であることを特徴とする請求項2〜6のいずれかに記載のシンチレータパネル。
- 前記基板は、ガラス製基板、アルミ製基板あるいは炭素を主成分とする基板のいずれかであることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載のシンチレータパネル。
- 前記基板は、導電性基板であって、前記中間膜は、前記基板と前記金属薄膜との接触を防止していることを特徴とする請求項2〜9のいずれかに記載のシンチレータパネル。
- 前記導電性基板は、アルミ製基板または炭素を主成分とする基板のいずれかであることを特徴とする請求項10に記載のシンチレータパネル。
- 前記炭素を主成分とする基板は、アモルファスカーボンを含む基板であることを特徴とする請求項11に記載のシンチレータパネル。
- 前記金属薄膜は、Al、Ag、Cr、Cu、Ni、Ti、Mg、Rh、Pt及びAuからなる群の中の物質を含む材料からなる膜であることを特徴とする請求項1〜12のいずれかに記載のシンチレータパネル。
- 前記金属薄膜は、前記中間膜と前記保護膜とに密着して両者により封止されていることを特徴とする請求項2〜13のいずれかに記載のシンチレータパネル。
- 前記保護膜はCVD法で前記基板上および前記金属薄膜上に形成された膜であることを特徴とする請求項1〜14のいずれかに記載のシンチレータパネル。
- 前記耐湿保護膜はCVD法で前記シンチレータ上および前記保護膜上に形成された膜であることを特徴とする請求項1〜15のいずれかに記載のシンチレータパネル。
- 前記中間膜はCVD法で前記基板上に形成された膜であることを特徴とする請求項2〜16のいずれかに記載のシンチレータパネル。
- 請求項1〜17のいずれかに記載のシンチレータパネルと、
前記シンチレータパネルの前記基板とは反対の面から出力される放射線を変換した光画像を撮像する撮像素子と、
を備えていることを特徴とする放射線イメージセンサ。 - 前記撮像素子は、前記シンチレータパネルのシンチレータ側に対向して配置されていることを特徴とする請求項18に記載の放射線イメージセンサ。
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