JP5717181B2 - プラスチックの基材にセラミック膜を形成する方法 - Google Patents
プラスチックの基材にセラミック膜を形成する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5717181B2 JP5717181B2 JP2011022986A JP2011022986A JP5717181B2 JP 5717181 B2 JP5717181 B2 JP 5717181B2 JP 2011022986 A JP2011022986 A JP 2011022986A JP 2011022986 A JP2011022986 A JP 2011022986A JP 5717181 B2 JP5717181 B2 JP 5717181B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- ceramic
- polyimide
- forming
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Description
気相法は気体を原料あるいは中間体とし、スパッター、化学気相蒸着法(CVD)、イオンプレーティング法などがこれに属し、通常は真空中で成膜が行われる。例えば、パルスレーザ蒸着によってプラスチック基材上にITOセラミック薄膜を室温で作製する方法(非特許文献1)、RFマグネトロンスパッタによってプラスチック基材上にITOセラミック薄膜を作製する方法(非特許文献2)などが知られている。
それ故、この発明の課題は、液相法による種々のセラミック膜をプラスチックの基材に形成する方法を提供することにある。
支持体上にポリイミド膜を形成する工程と、
その上に金属塩の溶液を塗布した後、500℃以上に加熱することにより、前記ポリイミド膜上にセラミック膜を形成する工程と、
前記セラミック膜をプラスチックの基材上に転写する工程と
前記セラミック膜から前記ポリイミド膜を除去する工程と
を備えることを特徴とする。
支持体と、
前記支持体上に形成されたポリイミド膜と、
前記ポリイミド膜上に形成されたセラミック膜と
を備えることを特徴とする。
この実施例は、アクリル板にITO膜を形成する実験例である。
平坦な主面を有するSi(100)基板にポリアミック酸溶液(宇部興産株式会社製U−ワニス−S)を回転速度8000rpmで60秒間スピンコーティングした後、段階的に昇温し、450℃で10分間保持することによって、Si基板上にポリイミド膜を形成した。
実施例1におけるポリアミック酸溶液に代えて、PVPをエタノールでモル比PVP:C2H5OH=4:60となるように希釈した溶液をSi基板上にスピンコーティングした後、300℃で10分間保持することによって、Si基板上にPVP膜を形成した。その他は、実施例1と同一条件でPVP膜上にITO膜を形成することを試みたところ、ITO膜形成過程における500℃の熱処理を繰り返す間にPVP膜が焼失した。
平坦な主面を有するSi(100)基板に代えて、主面上に120μmのピッチで幅70μmの溝が切削されたSi(100)基板を用いたこと以外は、実施例1と同一条件で複合体を作製した。そして、実施例1と同一条件でアクリル板にITO膜を転写した後、ITO膜に付着したポリイミドを粘着テープで除去した。
この実施例は、ポリカーボネート板にチタニア膜を形成する実験例である。
実施例1と同様にしてSi基板上にポリイミド膜を形成した。
別途、エタノールにチタンテトライソプロポキシドを溶解し、これにエタノール、水及び濃硝酸の混合溶液を滴下しながら撹拌することによって、モル比がTi(O−iC3H7)4:H2O:HNO3:C2H5OH=1:1:0.2:20となるように原料溶液を調製した。
実施例3におけるポリアミック酸溶液に代えて、PVPをエタノールでモル比PVP:C2H5OH=4:60となるように希釈した溶液をSi基板上にスピンコーティングした後、300℃で10分間保持することによって、Si基板上にPVP膜を形成した。その他は、実施例3と同一条件でPVP膜上にチタニア膜を形成することを試みたところ、チタニア膜形成過程において600℃で10分間保持している間にPVP膜が焼失した。
Claims (7)
- 支持体上にポリイミド膜を形成する工程と、
その上に金属塩の溶液を塗布した後、500℃以上に加熱することにより、前記ポリイミド膜上にセラミック膜を形成する工程と、
前記セラミック膜をプラスチックの基材上に転写する工程と
前記セラミック膜から前記ポリイミド膜を除去する工程と
を備えることを特徴とする、プラスチックの基材にセラミック膜を形成する方法。 - 前記金属塩が金属アルコキシドであって、前記溶液が加水分解溶液である請求項1に記載の方法。
- 前記金属アルコキシドが、チタンアルコキシドである請求項2に記載の方法。
- 前記金属塩が金属硝酸塩、金属塩化物塩又はそれらの組み合わせである請求項1に記載の方法。
- 前記金属塩が、硝酸インジウムと塩化スズとの組み合わせである請求項4に記載の方法。
- 前記セラミック膜がチタニア膜である請求項3に記載の方法。
- 前記チタニア膜がアナタース膜である請求項6に記載の方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011022986A JP5717181B2 (ja) | 2011-02-04 | 2011-02-04 | プラスチックの基材にセラミック膜を形成する方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011022986A JP5717181B2 (ja) | 2011-02-04 | 2011-02-04 | プラスチックの基材にセラミック膜を形成する方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012161957A JP2012161957A (ja) | 2012-08-30 |
JP5717181B2 true JP5717181B2 (ja) | 2015-05-13 |
Family
ID=46841868
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011022986A Active JP5717181B2 (ja) | 2011-02-04 | 2011-02-04 | プラスチックの基材にセラミック膜を形成する方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5717181B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6097647B2 (ja) * | 2013-06-26 | 2017-03-15 | 尾池工業株式会社 | 無機結晶膜積層体の製造方法 |
RU2678032C2 (ru) * | 2014-02-07 | 2019-01-22 | Керамтек-Этек Гмбх | Ламинат "подложка-керамика" |
US11581823B2 (en) | 2020-02-20 | 2023-02-14 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Actuator and actuator manufacturing method |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3101660B2 (ja) * | 1991-05-21 | 2000-10-23 | 藤森工業株式会社 | 非金属薄膜層を設けた樹脂フィルムの製造法 |
JPH1124081A (ja) * | 1997-06-27 | 1999-01-29 | Minnesota Mining & Mfg Co <3M> | 光学要素および積層体転写シート |
JP2001113742A (ja) * | 1999-08-11 | 2001-04-24 | Riso Kagaku Corp | 厚膜式サーマルヘッドおよびその製造方法 |
JP3621960B2 (ja) * | 2001-03-30 | 2005-02-23 | 学校法人 関西大学 | チタン酸ジルコン酸鉛系複合ペロブスカイト膜の形成方法 |
JP2004058049A (ja) * | 2002-06-07 | 2004-02-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | 膜形成方法 |
JP4320564B2 (ja) * | 2002-06-28 | 2009-08-26 | 日亜化学工業株式会社 | 透明導電膜形成用組成物、透明導電膜形成用溶液および透明導電膜の形成方法 |
KR20060019868A (ko) * | 2004-08-30 | 2006-03-06 | 삼성코닝 주식회사 | 이중 유기 실록산 전구체를 이용한 절연막의 제조방법 |
JP2007138144A (ja) * | 2005-10-18 | 2007-06-07 | Hitachi Chem Co Ltd | シリカ系被膜形成用組成物 |
-
2011
- 2011-02-04 JP JP2011022986A patent/JP5717181B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012161957A (ja) | 2012-08-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2567142C9 (ru) | Способ получения слоев, содержащих оксид индия, полученные этим способом слои, содержащие оксид индия, и их применение | |
JP5717181B2 (ja) | プラスチックの基材にセラミック膜を形成する方法 | |
Kozuka | Wet processing for the fabrication of ceramic thin films on plastics | |
Kozuka et al. | Ceramic thin films on plastics: a versatile transfer process for large area as well as patterned coating | |
JP2014157816A (ja) | 透明導電フィルムの製造方法 | |
JP6269990B2 (ja) | 積層体およびそれの製造方法 | |
JP4608682B2 (ja) | 機能性フィルムの製法及び製品 | |
JP2009046358A (ja) | 多孔質ZnO粒子結合自立膜及びその作製方法 | |
JP5535466B2 (ja) | 金属酸化物コーティング | |
JP2008288196A (ja) | 透明導電膜の製造方法 | |
JP2009040640A (ja) | 酸化亜鉛薄膜の製造方法 | |
US10190045B2 (en) | Nano-composite structure and processes making of | |
Chibane et al. | Development of Molybdenum trioxide (MoO3) by spin coating method for photovoltaic application | |
Kozuka et al. | Large area ceramic thin films on plastics: A versatile route via solution processing | |
TWI437004B (zh) | 金屬氧化物塗料 | |
JP5924615B2 (ja) | プラスチックの基材にセラミック膜を形成する方法 | |
JP2020164993A (ja) | 吸光遮熱膜、吸光遮熱部材、および物品、並びにそれらの製造方法 | |
Niinuma et al. | Highly crystalline metal oxide thin films on plastic substrates prepared via firing and transfer: key role of the “lost” organic underlayer | |
JP2007077433A (ja) | 成膜装置 | |
WO2020203761A1 (ja) | 吸光遮熱膜、吸光遮熱部材、および物品、並びにそれらの製造方法 | |
JP5167822B2 (ja) | 酸化インジウム膜積層体及びその製造方法 | |
Kozuka et al. | Highly crystalline yttria‐stabilized zirconia and titania thin films on plastic substrates via sol‐gel transfer process | |
JP2006088422A (ja) | 透明ガスバリア積層体 | |
JP2009135096A (ja) | 透明導電性基板およびその製造方法 | |
JP2010040517A (ja) | 透明導電性基板およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140121 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140925 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141028 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141126 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150303 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150312 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5717181 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |