JP5716279B2 - ポリマー処理装置および処理方法 - Google Patents
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Description
また、特許文献2には、石灰粒子を含むアルカリ性スラリーを用いてポリマーを加水分解することにより、シリカスラリーを回収する技術が記載されている。
また、特許文献3には、ポリマーを加水分解する反応容器の内面に流れを持つ液層を形成することにより、部材表面でのシリカの付着および成長を防止する技術が記載されている。
処理槽20の液槽部22は、排水口22a、オーバーフロー口22bおよび窒素ガス供給口22cが設けられ、処理水W1を攪拌する攪拌機60を備えている。なお、攪拌機60の回転グランド部は、後述するポリマーの加水分解時に発生する塩化水素による腐食を防止するため、窒素ガス等の不活性ガスでシールされている(図示略)。この処理槽30に保持される処理水W1には、多結晶シリコンの切断等を行う際の加工処理水などを用いてもよい。排水口22aおよびオーバーフロー口22bには、中和槽62に接続された排水管64a,64bがそれぞれ接続されている。各排水管64a,64bには、それぞれボールバルブ65a,65bが備えられている。オーバーフロー口22bに接続された排水管64bには、処理槽20内への空気の逆流を防ぐために、常時窒素ガスが供給される。窒素ガス供給口22cには、処理槽20に常時窒素ガスを供給する不活性ガス供給手段70が接続されている。
液槽部52には、オーバーフローにより水封水W2を排水する排水口52aが設けられている。気槽部54には、外部のスクラバ66に接続されて気槽部54の内部気体を排出する排気口54aが設けられている。水封槽50に気密に接続されたガス案内塔40の開口部40aは、排水口52aの開口位置(すなわち水封水W2の液面)よりも低い位置に配置されている。これにより、処理槽20の散水塔24およびガス案内塔40は水封されるとともに、開口部40aの水封水W2の液面からの深さに応じた水圧によって、散水塔24およびガス案内塔40を陽圧に維持することができる。排水口52aは、水封水W2を流出するとともに、気体が流通できるように形成されている。排水口52aから流出した水封水W2は、排水管64cを通じて中和槽62に送られる。
まず、ボールバルブ65aで排水管64aを閉鎖して処理槽20の液槽部22に処理水W1を保持させるとともに、排水管64cを通じて水封水W2を排水しながら水封槽50の液槽部52に水封水W2を保持させる。散水装置26でシリコンを切削加工した際の加工処理水を用いる場合は、処理水W1は、シリコン切粉を含む加工処理水である。一方、水封水W2は工業用水である。水封槽50の液面がガス案内塔40の開口部40aよりも上方になるまで水封水W2を満たすことにより、処理槽20およびガス案内塔40を水封することができる。このとき、ボールバルブ65bで排水管64bを開放することにより、処理槽20の液槽部22の液面を所定位置に維持できる。
なお、水素ガス濃度が高い混合気体に空気に接触すると爆発するおそれがある。水封槽50の気槽部54に保持される気体には水素ガスが含まれているので、この混合気体の水素ガス濃度を低下させるために、図に矢印で示すように排水口52aから外気を流入させながら、スクラバ66で気槽部54の気体を吸引することにより、気槽部54の気体の水素ガスを外気で希釈している。
なお、本発明は前記実施形態の構成のものに限定されるものではなく、細部構成においては、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
20 処理槽
22 液槽部
22a 排水口
22b オーバーフロー口
22c 窒素ガス供給口
24 散水塔
26,44 散水装置
30 ポリマー供給管
32 遮断弁
34 コントロール弁
40 ガス案内塔
40a 開口部
42 煙道
50 水封槽
52 液槽部
52a 排水口
54 気槽部
54a 排気口
60 攪拌機
62 中和槽
64a,64b,64c 排水管
65a,65b ボールバルブ
66 スクラバ
70 不活性ガス供給手段
W1 処理水
W2 水封水
Claims (3)
- 多結晶シリコン製造プロセスまたはトリクロロシラン製造プロセスにおいて発生する、クロロシラン類を含有するポリマーを処理するポリマー処理装置であって、
加水分解のための処理水を保持する液槽部およびこの液槽部の上部に接続された散水塔を有する処理槽と、
前記散水塔の上部に接続され、下方に向けた開口部を有するガス案内塔と、
前記処理槽に接続され、この処理槽の前記散水塔内に不活性ガスを供給して前記散水塔及び前記ガス案内塔を陽圧にする不活性ガス供給手段と、
前記ガス案内塔の前記開口部を水封水中に没することにより水封する水封槽とを有し、
前記処理槽の処理水を処理槽から排出する排水管にも不活性ガスが供給されることを特徴とするポリマー処理装置。 - 前記処理水を攪拌する攪拌装置を備えることを特徴とする請求項1に記載のポリマー処理装置。
- 多結晶シリコン製造プロセスまたはトリクロロシラン製造プロセスにおいて発生する、クロロシラン類を含有するポリマーを処理するポリマー処理方法であって、
加水分解のための処理水中で前記ポリマーを加水分解し、
この加水分解によって発生した気体を、不活性ガスを供給され陽圧に維持された水封空間に放出し、この水封空間を水封する水封水に吸収するとともに、前記水封水に吸収されない気体を前記水封水に通過させてから回収し、その処理の間、前記処理槽の処理水を処理槽から排出する排水管にも不活性ガスを供給することを特徴とするポリマー処理方法。
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