JP5698257B2 - 被覆切削工具および被覆切削工具を作るための方法 - Google Patents
被覆切削工具および被覆切削工具を作るための方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5698257B2 JP5698257B2 JP2012541619A JP2012541619A JP5698257B2 JP 5698257 B2 JP5698257 B2 JP 5698257B2 JP 2012541619 A JP2012541619 A JP 2012541619A JP 2012541619 A JP2012541619 A JP 2012541619A JP 5698257 B2 JP5698257 B2 JP 5698257B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- coating
- group
- plastic
- auxiliary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 16
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 145
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 62
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 53
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 43
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 34
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 25
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 24
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 24
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 24
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 23
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 18
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 16
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 claims description 14
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 11
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 claims description 11
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 10
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims description 7
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 14
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 10
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 6
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 2
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000851 Alloy steel Inorganic materials 0.000 description 1
- QYEXBYZXHDUPRC-UHFFFAOYSA-N B#[Ti]#B Chemical compound B#[Ti]#B QYEXBYZXHDUPRC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000975 Carbon steel Inorganic materials 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000822 Cold-work tool steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000997 High-speed steel Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010037 TiAlN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910033181 TiB2 Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001315 Tool steel Inorganic materials 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N [Co].[Ni] Chemical compound [Co].[Ni] QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 and N Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000963 austenitic stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010962 carbon steel Substances 0.000 description 1
- 238000000541 cathodic arc deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011195 cermet Substances 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 229910001105 martensitic stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 229910000601 superalloy Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23B—TURNING; BORING
- B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
- B23B27/14—Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
- Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
- Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
- Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Description
本発明は、硬質層と可塑性微小層とを有する厚いＰＶＤコーティングにて少なくとも一部が被覆され、かつ金属を機械加工するための切削工具に関する。
コーティングが切削工具または摩耗部品の使用寿命を増大させることは知られている。ＰＶＤコーティングは、ＣＶＤコーティングと比較していくつかの魅力的な特性、例えばよりきめの細かいコーティングおよび堆積状態と同じ圧縮応力を有する。しかしながら、より厚いＰＶＤコーティングは落剥，粉砕，刃先が破砕および剥離する傾向にあり、そのすべてが工具寿命を制限するので、ＰＶＤコーティングは相対的に肉薄である。
基材の表面に直接堆積させた金属層を有するコーティングが知られている。これは、基材に対するＰＶＤコーティングの接合力を高めることで知られている。
特許文献１は、少なくとも２つの非金属機能層または層構造の間に位置する金属中間層を有し、この金属中間層がＴi，Ｍo，Ａl，Ｃr，Ｖ，Ｙ，Ｎb，Ｗ，ＴaおよびＺrまたはこれらの混合の１つ以上から選択される金属元素を少なくとも６０原子％具えた切削工具のためのコーティングを記述する。非金属機能層または層構造は、窒化物，酸化物，ホウ化物，炭化物またはこれらの組み合わせの１つ以上である。
本発明の１つの形態によると、少なくとも一部が被覆され、基材とコーティングとを具えた切削工具が提供される。コーティングは、相互に接合した可塑性微小層と硬質層との交互に重なる層を有し、２つの硬質層の間に位置する可塑性微小層を具えた３つの層の少なくとも１つの連続体がある。
可塑性微小層の少なくとも７０原子％が金属元素である。この可塑性微小層がＴi x Ａg y ，Ｔi u Ａl v Ｃu t およびＣr u Ａl v Ｃu t （ただしｘ＋ｙ＝１かつｘ≦０.９かつｕ＋ｖ＋ｔ＝１かつｔ≧０.０２）からなるグループから選択される合金層か、Ｆe，Ｃo，Ｎi，Ｃu，Ｈf，Ａg，ＡuおよびＲuからなるグループから選択される１つ以上の金属元素と、Ｎ，Ｏ，Ｃ，Ｂおよびこれらの組み合わせからなるグループから選択される非金属元素とを具えた亜化学量論的セラミック層の何れかである。可塑性微小層の厚さは１０ｎｍから５０ｎｍまでである。
硬質層は、（Ｍｅ a Ｘ 1-a ）と（Ｎ w Ｃ x Ｂ y Ｏ z ）とで構成され、ＭｅはＴi，Ａl，ＣrおよびＺrからなるグループから選択される１つ以上の金属であり、ＸはＳi，Ｔa，Ｖ，ＹおよびＮbからなるグループから選択される１つ以上の元素であり、０.７５＜ａ≦１.０ かつｗ＋ｘ＋ｙ＋ｚ＝１である。この硬質層の厚さは０.１５μｍから２μｍまでである。
いくつかの実施形態によると、可塑性微小層は、Ｆe，Ｃo，Ｎi，Ｃu，Ｈf，Ａg，ＡuおよびＲuからなるグループから選択される１つ以上の金属からなる純金属層である。
いくつかの実施形態において、可塑性微小層は、Ｆe，Ｃo，Ｎi，Ｃu，Ｈf，Ａg，ＡuおよびＲuからなるグループから選択される１つ以上の金属を０.５原子％から９９.５原子％まで具えた純金属層であり、残りがＡl，Ｙおよび耐熱金属からなるグループから選択される１つ以上の金属を具えている。
本発明のいくつかの実施形態において、可塑性微小層がＮ，Ｏ，Ｃ，Ｂおよびこれらの組み合わせからなるグループから選択される非金属元素をさらに具えた亜化学量論的セラミックである。
いくつかの実施形態によると、コーティングは可塑性微小層を硬質層と交互に重ねることによって作り出されるこのような連続体を３つから３０まで具えている。
いくつかの実施形態において、コーティングは相互に異なる組成を持った少なくとも２つの可塑性微小層を有している。
いくつかの実施形態によると、コーティングは１層以上の補助層をさらに具える。補助層を基材に隣接させることができ、この場合にはこれが基材と第１の硬質層との間の接合層として機能する。代わりに、またはこれに加え、補助層を最も上の硬質層に隣接させることができ、この場合にはこれがコーティングの最も外側の表面層として機能する。補助層は、存在するすべての場合において、Ｈf，Ａl，Ｙ，Ｆe，Ｃo，Ｎi，Ｃu，Ｓi，Ａg，Ａu，Ｒu，耐熱金属およびこれらの混合物からなるグループから選択される元素を少なくとも６０％具える。この補助層の厚さは２ｎｍから１００ｎｍまでである。
典型的には、コーティングの全体の厚さが０.５μｍから２０μｍまでである。
本発明の別な形態において、基材とコーティングとを具えた被覆切削工具を作成する方法が提供される。この方法は
ａ）基材を覆う少なくとも１層の硬質層を堆積させるステップであって、この少なくとも１層の硬質層が（ＭｅａＸ１−ａ）と（ＮｗＣｘＢｙＯｚ）とで構成され、ＭｅがＴi，Ａl，ＣrおよびＺrからなるグループから選択される１つ以上の金属であり、ＸがＳi，Ｔa，Ｖ，Ｙ，Ｎbからなるグループから選択される１つ以上の元素であり、０.７５＜ａ≦１.０かつｗ＋ｘ＋ｙ＋ｚ＝１であるステップと、
ｂ）少なくとも１層の可塑性微小層を少なくとも１層の硬質層に堆積させるステップであって、この少なくとも１層の可塑性微小層が少なくとも７０原子％の金属元素を具え、かつ可塑性微小層がＴiｘＡgｙ，ＴiｕＡlｖＣuｔおよびＣrｕＡlｖＣuｔ（ただしｘ＋ｙ＝１かつｘ≦０.９かつｕ＋ｖ＋ｔ＝１かつｔ≧０.０２）からなるグループから選択される合金層か、Ｆe，Ｃo，Ｎi，Ｃu，Ｈf，Ａg，ＡuおよびＲuからなるグループから選択される少なくとも１つの金属元素と、Ｎ，Ｏ，Ｃ，Ｂおよびその組み合わせからなるグループから選択される非金属元素とを具えた亜化学量論的セラミック層との何れかであるステップと、
ｃ）前記ａ）のステップにおける硬質層と同じ構成を持つ少なくとも１層の他の硬質層を可塑性微小層に堆積させるステップとを具えている。
ａ）基材を覆う少なくとも１層の硬質層を堆積させるステップであって、この少なくとも１層の硬質層が（ＭｅａＸ１−ａ）と（ＮｗＣｘＢｙＯｚ）とで構成され、ＭｅがＴi，Ａl，ＣrおよびＺrからなるグループから選択される１つ以上の金属であり、ＸがＳi，Ｔa，Ｖ，Ｙ，Ｎbからなるグループから選択される１つ以上の元素であり、０.７５＜ａ≦１.０かつｗ＋ｘ＋ｙ＋ｚ＝１であるステップと、
ｂ）少なくとも１層の可塑性微小層を少なくとも１層の硬質層に堆積させるステップであって、この少なくとも１層の可塑性微小層が少なくとも７０原子％の金属元素を具え、かつ可塑性微小層がＴiｘＡgｙ，ＴiｕＡlｖＣuｔおよびＣrｕＡlｖＣuｔ（ただしｘ＋ｙ＝１かつｘ≦０.９かつｕ＋ｖ＋ｔ＝１かつｔ≧０.０２）からなるグループから選択される合金層か、Ｆe，Ｃo，Ｎi，Ｃu，Ｈf，Ａg，ＡuおよびＲuからなるグループから選択される少なくとも１つの金属元素と、Ｎ，Ｏ，Ｃ，Ｂおよびその組み合わせからなるグループから選択される非金属元素とを具えた亜化学量論的セラミック層との何れかであるステップと、
ｃ）前記ａ）のステップにおける硬質層と同じ構成を持つ少なくとも１層の他の硬質層を可塑性微小層に堆積させるステップとを具えている。
典型的には、硬質層のそれぞれの厚さは０.１５μｍから２μｍまでであり、可塑性微小層の厚さは１０ｎｍから５０ｎｍまでである。
典型的には、コーティングがＰＶＤ法にて堆積させられる。
本発明のいくつかの実施形態において、ステップｂ)およびステップｃ)が交互に３回から３０回の間行われる。
いくつかの実施形態によると、この被覆方法は、
ステップａ）の実行前に第１の補助層を前記基材に堆積させるステップと、
このステップに代え、またはこれに加え、
第２の補助層を最も外側の硬質層に堆積させ、これによって第２の補助層をこのコーティングの最外層として機能させるステップと
をさらに具え、前記第１および第２の補助層がＨf，Ａl，Ｙ，Ｆe，Ｃo，Ｎi，Ｃu，Ｓi，Ａg，Ａu，Ｒu，耐熱金属およびこれらの混合物からなるグループから選択される元素をそれぞれ少なくとも６０％具え、
補助層の厚さが２ｎｍから１００ｎｍまでである。
ステップａ）の実行前に第１の補助層を前記基材に堆積させるステップと、
このステップに代え、またはこれに加え、
第２の補助層を最も外側の硬質層に堆積させ、これによって第２の補助層をこのコーティングの最外層として機能させるステップと
をさらに具え、前記第１および第２の補助層がＨf，Ａl，Ｙ，Ｆe，Ｃo，Ｎi，Ｃu，Ｓi，Ａg，Ａu，Ｒu，耐熱金属およびこれらの混合物からなるグループから選択される元素をそれぞれ少なくとも６０％具え、
補助層の厚さが２ｎｍから１００ｎｍまでである。
図１に関し、本発明は基材１１０とコーティング２００とを含む切削工具１００に関し、基材の少なくとも一部が相互に接合される可塑性微小層１３０ａ，１３０ｂと硬質層１２０，１４０ａとを交互に重ねた層を持つコーティングで覆われている。このコーティングは、３つの層、すわなち金属質可塑性微小層１３０ａが２つの硬質層１２０，１４０ａの間に位置する少なくとも１つの連続体１８０を有する。この「連続体」という用語は、上述した意味でこの明細書全体を通して用いられよう。金属質可塑性微小層の少なくとも７０原子％は１つ以上の金属元素である。この金属元素は任意の金属であってよく、好ましくはＡl，Ｆe，Ｃo，Ｎi，Ｃu，Ｈf，Ａg，Ａu，Ｒu，耐熱金属またはこれらの混合物である。可塑性微小層の少なくとも０.５原子％がＦe，Ｃo，Ｎi，Ｃu，Ｈf，Ａg，ＡuおよびＲuからなるグループの１つ以上の金属から選択される。Ｆe，Ｃr，ＮiまたはＨfを含む合金の金属質微小層は耐酸化性を改善する。Ｎiを含む合金は接合性を改善するのに対し、Ｈfを含む合金は耐熱性を改善する。Ｃu，ＡgおよびＡuを含む合金は、可塑性層の延性および濡れ性を増大させて硬質層に対するその接合力を改善する。
可塑性微小層の厚さは５ｎｍから１００ｎｍまでであってよく、好ましくは１０から５０ｎｍまでである。コーティングは、２つの硬質層の間に位置する可塑性微小層を具えた少なくとも１つの連続体を有し、可塑性微小層を硬質層と交互に重ねることによって作り出される追加の連続体（図１の１５０として概ね示される）を有することができ、隣接する連続体が共通する１層の硬質層を有するということが理解される。コーティング２００は、３つから３０の間のこのような連続体、より好ましくは５つから２０の連続体を有することができる。
「硬質層」という用語は、これが単一のセラミック層および多層のセラミック層の両方をその意味の中に含むように、この明細書を通して用いられよう。１層のセラミック層は、窒化物，酸化膜，ホウ化物，炭化物またはこれらの組み合わせであってよい。多層のセラミック層は、以下では間の可塑性微小層なしで連続的に堆積させた少なくとも２つのセラミック層を意味するようになっている。
「耐熱金属」という用語は、以下の金属、すなわちチタン，ジルコニウム，バナジウム，ニオブ，タンタル，クロム，モリブデン，タングステンまたはこれらの混合物であるように、この詳細な説明および特許請求の範囲を通して用いられよう。
硬質層は、切削工具に適当な窒化物，酸化物，ホウ化物，炭化物またはこれらの組み合わせの如き任意の組成を有することができる。この硬質層は、構造および組成に関して相互に同じか、または異なることが可能である。随意的に、硬質層を（ＭｅaＸ1-a）（ＮwＣxＢyＯz）で構成することができ、ここでＭｅはＴi，Ａl，ＣrおよびＺrから選択される１つ以上の金属であり、ＸはＳi，Ｔa，Ｖ，ＹおよびＮbから選択される１つ以上の元素である（０.７５＜ａ≦１.０ かつｗ＋ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）。例として、この硬質層は(Ａl，Ｔi)Ｎ，ＴiＮ，(Ａl，Ｃr)Ｎ，ＣrＮ，ＺrＮ，Ｔi(Ｂ，Ｎ)，ＴiＢ2または(Ｚr，Ａl)Ｎの何れか１つであってよい。
本発明による硬質層は、任意のコーティング構造を有することができる。このコーティングの任意の連続体の硬質層は、構造および組成に関して相互に同様であってよく、または相違することができる。異なる連続体の硬質層が構造および組成に関して相互に相違していてもよい。
硬質層の平均の厚さが０.０５〜５μｍであってよく、好ましくは０.１５〜２μｍである。この硬質層は可塑性微小層よりも充分厚い。コーティングの厚さは０.６から２０μｍであってよく、好ましくは１から１５μｍまで、最も好ましくは２から９μｍまでである。
被覆切削工具は、むくの一体型切削工具か、インサートホルダーとこれに固定される切削インサートとからなる切削工具か、インサートホルダーか、あるいは切削インサートであってよい。
切削工具の基材は、超硬合金と、サーメットと、高速度鋼と、酸化物，炭化物，窒化物またはホウ化物セラミックと、超研磨材（ＰｃＢＮまたはＰＣＤ）と、炭素鋼と、低合金鋼と、オーステナイト系，フェライト系またはマルテンサイト系ステンレス鋼と、熱間加工工具鋼と、冷間加工工具鋼と、５１０００鋼と、ニッケル・コバルト超合金とから作ることができる。
本発明のコーティングは、少なくとも１層の補助層を任意に有することができる。この補助層を基材に隣接して位置させることができ、その場合、これは接合層１６０として機能し、あるいは補助層を最も外側の硬質層に隣接して位置させることができ、 その場合、これはコーティング２００の最も外側の表面層１７０として機能する。いくつかの実施形態において、第１の補助層が基材１１０と第１の硬質層１２０との間の接合層１６０として機能するのに対し、第２の補助層はコーティング２００の最も外側の表面層１７０として機能する。補助層は、Ｈf，Ａl，Ｙ，Ｆe，Ｃo，Ｎi，Ｃu，Ｓi，Ａg，Ａu，Ｒu，耐熱金属およびこれらの混合物から選択される元素を少なくとも６０％具え、この補助層の厚さは２ｎｍから１００ｎｍまでである。
本発明の一実施形態において、可塑性微小層が純金属微小層であり、この金属はＦe，Ｃo，Ｎi，Ｃu，Ｈf，Ａg，Ａu，Ｒuおよびこれらの混合物から選択される。
本発明の別な実施形態において、可塑性微小層が純金属微小層であり、その金属の少なくとも０.５原子％がＦe，Ｃo，Ｎi，Ｃu，Ｈf，Ａg，ＡuおよびＲuおよびこれらの混合物から選択される。
本発明の別な実施形態において、可塑性微小層は、Ｆe，Ｃo，Ｎi，Ｃu，Ｈf，Ａg，Ａu，Ｒuから選択される１つ以上の金属を少なくとも０.５原子％具え、残りがＡl，Ｙおよび耐熱金属から選択される１つ以上の金属を具えた純金属微小層である。
本発明の別な実施形態において、可塑性微小層が亜化学量論的セラミックであり、その非金属元素の１つ以上がＮ，Ｏ，ＣまたはＢであり、その金属はＦe，Ｃo，Ｎi，Ｃu，Ｈf，Ａg，Ａu，Ｒuおよびこれらの混合物からなるグループから選択される。随意的に、可塑性微小層は窒化物である。この亜化学量論的セラミック中の金属元素の量は、亜化学量論的セラミックの少なくとも７０原子％、好ましくは８０原子％、より好ましくは少なくとも９０原子％である。
本発明の別な実施形態において、可塑性微小層が亜化学量論的セラミックであり、その非金属元素の１つ以上がＮ，Ｏ，ＣまたはＢであって、その金属の少なくとも０.５原子％がＦe，Ｃo，Ｎi，Ｃu，Ｈf，Ａg，Ａu，Ｒuおよびこれらの混合物からなるグループから選択される。随意的に、可塑性微小層は窒化物である。この亜化学量論的セラミック中の金属元素の量は、亜化学量論的セラミックの少なくとも７０原子％、好ましくは８０原子％、より好ましくは少なくとも９０原子％である。
本発明の他の実施形態において、コーティングは、硬質層と、前の実施形態にて記述した１層以上の可塑性微小層から選択される可塑性微小層とを交互に重ねた１つ以上の連続体を有する。随意的に、このコーティングは、異なる組成を持った少なくとも２層の可塑性微小層を有する。例えば、コーティングは異なる純金属組成の可塑性微小層を有することができ、あるいはこのコーティングは少なくとも１層の純金属微小層と、少なくとも１層の亜化学量論的微小層、または異なった組成を有する少なくとも２層の亜化学量論的微小層とを有することができる。
本発明の別な実施形態において、少なくとも２層の硬質層は、０.５から２μｍまでの間の厚さを有するＴiＡlＮおよびＡlＴiＮから選択され、可塑性微小層は２０から５０ｎｍの間の厚さを好ましくは有するＴixＣuyまたはＴixＡgy（ｘ＋ｙ＝１ かつｘ≦０.９）である。
本発明の別な実施形態において、可塑性微小層は本質的にＣu，ＴiおよびＡlからなる合金であって、Ｃuが少なくとも２原子％である。
本発明のまた別な実施形態において、可塑性微小層は本質的にＣu，ＡlおよびＣrからなる合金であって、Ｃuが少なくとも２原子％である。
本発明はまた、上のすべての実施形態にて記述した被覆切削工具を製造する方法にも関する。この方法は、
ａ）基材を覆う少なくとも１層の硬質層を堆積させるステップと、
ｂ）可塑性微小層を少なくとも１層の前記硬質層に堆積させるステップと、
ｃ）少なくとも１層の他の硬質層を前記可塑性微小層に堆積させるステップと
を具える。
ａ）基材を覆う少なくとも１層の硬質層を堆積させるステップと、
ｂ）可塑性微小層を少なくとも１層の前記硬質層に堆積させるステップと、
ｃ）少なくとも１層の他の硬質層を前記可塑性微小層に堆積させるステップと
を具える。
上述したように、ステップｂ)およびステップｃ）は、望ましいコーティングの合計の厚さが達成されるまで、好ましくは３から３０回の間、より好ましくは５から２０回の間行われる。
可塑性微小層は、同じコーティングチャンバー内で同じコーティング順にて好ましくは堆積させられ、雰囲気を反応ガスから不活性ガス、例えばＨｅ，Ａｒ，Ｋｒ，Ｘｅまたはこれらのガスの組み合わせへと変更することにより、硬質層も同様である。
本発明の他の実施形態において、この被覆方法は
ステップａ）を実行する前に第１の補助層を基材に堆積させるステップと
これに代えて、またはこれに加え、
第２の補助表面層を最も外側の硬質層に堆積させるステップと
をさらに具える。
ステップａ）を実行する前に第１の補助層を基材に堆積させるステップと
これに代えて、またはこれに加え、
第２の補助表面層を最も外側の硬質層に堆積させるステップと
をさらに具える。
第１の補助層は、基材と第１の硬質層との間の接合層として機能する。第２の補助層は、コーティングの最も外側の表面層として機能する。補助層は、存在するすべての場合において、その少なくとも６０原子％がＨf，Ａl，Ｙ，Ｆe，Ｃo，Ｎi，Ｃu，Ｓi，Ａg，Ａu，Ｒuおよび耐熱金属からなるグループから選択される１つ以上の元素である。この補助層の厚さは、２ｎｍから１００ｎｍまでである。
切削工具をコーティングする場合に一般的に用いられる任意のＰＶＤ法を本発明の方法にて用いることができる。好ましくは、陰極アーク蒸着またはマグネトロンスパッターリングが用いられるけれども、ＨＩＰＩＭＳ（高出力衝撃マグネトロンスパッターリング）の如き新参技術もまた利用することができる。本発明によるコーティングが「ＰＶＤコーティング」として呼称されるとしても、このコーティングはまた、例えば従来のＣＶＤコーティングよりもＰＶＤコーティングのそれにより近い特性を持ったコーティングを作り出すＰＥＣＶＤ法（プラズマ促進化学気相蒸着）にて堆積させることも可能である。
Claims (14)
- 少なくとも部分的に被覆され、基材とコーティングとを具えた切削工具であって、
前記コーティングは、相互に接合する硬質層と可塑性微小層とが交互に重なる層を具え、２つの硬質層の間に位置する可塑性微小層を具えた３つの層の少なくとも１つの連続体があり、
前記可塑性微小層は少なくとも７０原子％の金属元素を具え、この可塑性微小層は、
i．ＴixＡgy，ＴiuＡlvＣutおよびＣruＡlvＣut（ただしｘ＋ｙ＝１かつｘ≦０.９かつｕ＋ｖ＋ｔ＝１かつｔ≧０.０２）からなるグループから選択される合金層か、
ii．Ｆe，Ｃo，Ｎi，Ｃu，Ｈf，Ａg，ＡuおよびＲuからなるグループから選択される少なくとも１つの金属元素と、Ｎ，Ｏ，Ｃ，Ｂおよびこれらの組み合わせからなるグループから選択される非金属元素とを具えた亜化学量論的セラミック層
の何れかであり、
前記硬質層が（ＭｅaＸ1-a）と（ＮwＣxＢyＯz）とで構成され、
ＭｅはＴi，Ａl，ＣrおよびＺrからなるグループから選択される１つ以上の金属であり、
ＸはＳi，Ｔa，Ｖ，ＹおよびＮbからなるグループから選択される１つ以上の元素であ り、
０.７５＜ａ≦１.０ かつ
ｗ＋ｘ＋ｙ＋ｚ＝１であり、
前記硬質層の厚さが０.１５μｍから２μｍまでであり、
前記可塑性微小層の厚さが１０ｎｍから５０ｎｍまでであることを特徴とする被覆工具。 - 前記コーティングは、このような連続体を３つから３０まで具えたことを特徴とする請求項１に記載の被覆工具。
- 相互に異なる組成を持つ少なくとも２つの可塑性微小層を具えたことを特徴とする請求項２に記載の被覆工具。
- 前記コーティングは、前記基材に隣接し、かつ前記基材と前記硬質層との間の接合層として機能する補助層をさらに具え、
この補助層は、Ｈf，Ａl，Ｙ，Ｆe，Ｃo，Ｎi，Ｃu，Ｓi，Ａg，Ａu，Ｒu，耐熱金属およびこれらの混合物からなるグループから選択される元素を少なくとも６０原子％具え、 当該補助層の厚さが２ｎｍから１００ｎｍまでであることを特徴とする請求項１に記載の被覆工具。 - 前記コーティングは、最も外側の硬質層に隣接し、かつこのコーティングの最も外側の表面層として機能する補助層をさらに具え、
この補助層は、Ｈf，Ａl，Ｙ，Ｆe，Ｃo，Ｎi，Ｃu，Ｓi，Ａg，Ａu，Ｒu，耐熱金属およびこれらの混合物からなるグループから選択される元素を少なくとも６０原子％具え、 当該補助層の厚さが２ｎｍから１００ｎｍまでであることを特徴とする請求項１に記載の被覆工具。 - 前記コーティングは、
前記基材に隣接し、かつ前記基材と前記硬質層との間の接合層として機能する第１の補助層と、
最も外側の硬質層に隣接し、かつこのコーティングの最も外側の表面層として機能する第２の補助層と
をさらに具え、
これら第１および第２の補助層は、Ｈf，Ａl，Ｙ，Ｆe，Ｃo，Ｎi，Ｃu，Ｓi，Ａg，Ａu，Ｒu，耐熱金属およびこれらの混合物からなるグループから選択される元素をそれぞれ少なくとも６０原子％具え、
当該補助層のそれぞれの厚さが２ｎｍから１００ｎｍまでであることを特徴とする請求項１に記載の被覆工具。 - 前記コーティングの厚さが０.５μｍから２０μｍまでであることを特徴とする請求項 １に記載の被覆工具。
- 基材とコーティングとを具えた被覆切削工具を製造する方法であって、
ａ）前記基材を覆う少なくとも１層の硬質層を堆積させるステップであって、前記少なくとも１層の硬質層が（ＭｅaＸ1-a）と（ＮwＣxＢyＯz）とで構成され、
ＭｅがＴi，Ａl，ＣrおよびＺrからなるグループから選択される１つ以上の金属であり、
ＸがＳi，Ｔa，Ｖ，Ｙ，Ｎbからなるグループから選択される１つ以上の元素であり、 ０.７５＜ａ≦１.０ かつ
ｗ＋ｘ＋ｙ＋ｚ＝１
であるステップと、
ｂ）少なくとも１層の可塑性微小層を前記少なくとも１層の硬質層に堆積させるステップであって、この少なくとも１層の可塑性微小層が少なくとも７０原子％の金属元素を具え、かつ当該可塑性微小層が
ｉ．ＴixＡgy，ＴiuＡlvＣutおよびＣruＡlvＣut（ただしｘ＋ｙ＝１かつｘ≦０.９かつｕ＋ｖ＋ｔ＝１かつｔ≧０.０２）からなるグループから選択される合金層か、
ii．Ｆe，Ｃo，Ｎi，Ｃu，Ｈf，Ａg，ＡuおよびＲuからなるグループから選択される少なくとも１つの金属元素と、Ｎ，Ｏ，Ｃ，Ｂおよびこれらの組み合わせからなるグループから選択される非金属元素とを具えた亜化学量論的セラミック層
の何れかであるステップと、
ｃ）前記ａ）のステップにおける硬質層と同じ構成を持つ少なくとも１層の他の硬質層を前記可塑性微小層に堆積させるステップと
を具え、前記硬質層のそれぞれの厚さが０.１５μｍから２μｍまでであり、
前記少なくとも１層の可塑性微小層の厚さが１０ｎｍから５０ｎｍまでであることを特徴とする方法。 - 前記コーティングをＰＶＤ法にて堆積させることを特徴とする請求項８に記載の方法。
- ステップｂ)およびステップｃ）が交互に３回から３０回の間行われることを特徴とす る請求項８に記載の方法。
- ステップａ）を実行する前に前記基材に補助層を堆積させるステップをさらに具え、
この補助層がＨf，Ａl，Ｙ，Ｆe，Ｃo，Ｎi，Ｃu，Ｓi，Ａg，Ａu，Ｒu，耐熱金属およびこれらの混合物からなるグループから選択される元素を少なくとも６０原子％具え、
当該補助層の厚さが２ｎｍから１００ｎｍまでであることを特徴とする請求項８に記載の方法。 - 最も外側の硬質層に補助層を堆積させ、それによってこの補助層をコーティングの表面層として機能させるステップをさらに具え、
当該補助層はＨf，Ａl，Ｙ，Ｆe，Ｃo，Ｎi，Ｃu，Ｓi，Ａg，Ａu，Ｒu，耐熱金属およびこれらの混合物からなるグループから選択される元素を少なくとも６０原子％具え、
該補助層の厚さが２ｎｍから１００ｎｍまでであることを特徴とする請求項８に記載の方法。 - ステップａ）を実行する前に前記基材に第１の補助層を堆積させるステップと、
最外硬質層に第２の補助層を堆積させ、それによってこの第２の補助層をコーティングの最外層として機能させるステップと
をさらに具え、これら第１および第２の補助層がＨf，Ａl，Ｙ，Ｆe，Ｃo，Ｎi，Ｃu，Ｓi，Ａg，Ａu，Ｒu，耐熱金属およびこれらの混合物からなるグループから選択される元素をそれぞれ少なくとも６０原子％具え、
これら補助層の厚さがそれぞれ２ｎｍから１００ｎｍまでであることを特徴とする請求項８に記載の方法。 - ステップｂ）およびステップｃ)が物理的気相蒸着を用いて同じコーティングチャンバ ー内で交互に３回から３０回の間行われることを特徴とする請求項８に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| IL202549 | 2009-12-06 | ||
| IL202549A IL202549A (en) | 2009-12-06 | 2009-12-06 | Coated product and method of making coated product |
| PCT/IL2010/000973 WO2011067751A1 (en) | 2009-12-06 | 2010-11-21 | Coated article and method for making a coated article |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2013513027A JP2013513027A (ja) | 2013-04-18 |
| JP2013513027A5 JP2013513027A5 (ja) | 2014-08-28 |
| JP5698257B2 true JP5698257B2 (ja) | 2015-04-08 |
Family
ID=42335607
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012541619A Active JP5698257B2 (ja) | 2009-12-06 | 2010-11-21 | 被覆切削工具および被覆切削工具を作るための方法 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20110135897A1 (ja) |
| EP (1) | EP2507409B1 (ja) |
| JP (1) | JP5698257B2 (ja) |
| KR (1) | KR20120101435A (ja) |
| CN (1) | CN102648305A (ja) |
| IL (1) | IL202549A (ja) |
| WO (1) | WO2011067751A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103042753B (zh) * | 2012-12-26 | 2015-06-24 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种纳米多层结构的VC/Co增韧涂层及其制备方法 |
| CN103895283B (zh) * | 2012-12-26 | 2016-08-10 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种纳米多层结构的VC/Ni增韧涂层及其制备方法 |
| US20140356575A1 (en) * | 2013-06-03 | 2014-12-04 | The Government Of The U.S.A., As Represented By The Secretary Of The Navy | Structural Micro to Nano Layered Composite |
| CN107815644A (zh) * | 2017-10-13 | 2018-03-20 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种基体表面复合涂层的制备方法 |
| CN115210020A (zh) * | 2020-03-27 | 2022-10-18 | 京瓷株式会社 | 涂层刀具和切削刀具 |
Family Cites Families (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62214166A (ja) * | 1986-03-13 | 1987-09-19 | Mitsubishi Metal Corp | 表面被覆硬質合金製切削工具 |
| JPH04337083A (ja) * | 1991-05-10 | 1992-11-25 | Citizen Watch Co Ltd | 複合多層膜およびその形成方法 |
| RU2083714C1 (ru) * | 1993-10-25 | 1997-07-10 | Научно-производственное предприятие "Темп" | Сверхтвердый композиционный материал |
| US5879823A (en) * | 1995-12-12 | 1999-03-09 | Kennametal Inc. | Coated cutting tool |
| DE19882178B4 (de) * | 1997-11-12 | 2004-08-05 | Daido Steel Co. Ltd., Nagoya | Mit intermetallischer Verbindung beschichteter rostfreier Stahl und Verfahren zur Herstellung desselben |
| US6155755A (en) * | 1998-03-02 | 2000-12-05 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Hard sintered body tool |
| JP2000233320A (ja) * | 1999-02-12 | 2000-08-29 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 乾式加工用歯車加工工具及び乾式加工用歯車加工工具の皮膜形成方法及び乾式加工用歯車加工工具の皮膜形成装置。 |
| JP2001239608A (ja) * | 2000-02-28 | 2001-09-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 積層被膜およびその被覆摺動部品 |
| US6660133B2 (en) * | 2002-03-14 | 2003-12-09 | Kennametal Inc. | Nanolayered coated cutting tool and method for making the same |
| JP2004230515A (ja) * | 2003-01-30 | 2004-08-19 | Nachi Fujikoshi Corp | 高機能加工用工具 |
| JP4448342B2 (ja) * | 2004-02-02 | 2010-04-07 | 株式会社神戸製鋼所 | 微細結晶硬質皮膜 |
| JP5143571B2 (ja) * | 2005-02-10 | 2013-02-13 | エーリコン・トレイディング・アーゲー・トリューバッハ | 切削工具のための高耐摩耗三重被覆 |
| WO2007031562A2 (de) * | 2005-09-16 | 2007-03-22 | Mehrhof Juergen | Zweiteiliges zahnimplantat |
| JP2007084867A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Citizen Watch Co Ltd | 装飾部品 |
| IL182741A (en) * | 2007-04-23 | 2012-03-29 | Iscar Ltd | Improved coatings |
| JP4442671B2 (ja) * | 2007-09-21 | 2010-03-31 | セイコーエプソン株式会社 | 接合膜付き基材、接合方法および接合体 |
| EP2072636B1 (en) * | 2007-12-21 | 2016-08-31 | Sandvik Intellectual Property AB | Method of making a coated cutting tool |
| EP2072637B1 (en) * | 2007-12-21 | 2018-08-15 | Sandvik Intellectual Property AB | Coated cutting tool and a method of making a coated cutting tool |
| JP2009197268A (ja) * | 2008-02-20 | 2009-09-03 | Tungaloy Corp | 被覆部材 |
| JP2009252319A (ja) * | 2008-04-09 | 2009-10-29 | Fujitsu Ltd | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
| JP4388582B2 (ja) * | 2008-06-09 | 2009-12-24 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜層及びその形成方法 |
| CN101660160A (zh) * | 2009-09-14 | 2010-03-03 | 南昌航空大学 | 一种兼具有高硬度和高抗热震性能的氮化物复合防护涂层 |
-
2009
- 2009-12-06 IL IL202549A patent/IL202549A/en active IP Right Grant
-
2010
- 2010-11-21 EP EP10801708.8A patent/EP2507409B1/en active Active
- 2010-11-21 WO PCT/IL2010/000973 patent/WO2011067751A1/en active Application Filing
- 2010-11-21 KR KR1020127014580A patent/KR20120101435A/ko not_active Application Discontinuation
- 2010-11-21 JP JP2012541619A patent/JP5698257B2/ja active Active
- 2010-11-21 CN CN2010800553211A patent/CN102648305A/zh active Pending
- 2010-11-23 US US12/952,905 patent/US20110135897A1/en not_active Abandoned
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| IL202549A (en) | 2015-02-26 |
| WO2011067751A1 (en) | 2011-06-09 |
| JP2013513027A (ja) | 2013-04-18 |
| CN102648305A (zh) | 2012-08-22 |
| US20110135897A1 (en) | 2011-06-09 |
| IL202549A0 (en) | 2010-06-30 |
| KR20120101435A (ko) | 2012-09-13 |
| EP2507409A1 (en) | 2012-10-10 |
| EP2507409B1 (en) | 2015-06-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5542925B2 (ja) | 切削工具 | |
| US6103357A (en) | Multilayered coated cutting tool | |
| JP5124793B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP5698257B2 (ja) | 被覆切削工具および被覆切削工具を作るための方法 | |
| JP2006297588A5 (ja) | ||
| JP2014531328A (ja) | クロム含有機能層を有する工具 | |
| JP5174292B1 (ja) | 切削工具 | |
| JP2004514061A (ja) | 炭化物又は窒化物の表面コーティング | |
| JP2009154287A (ja) | 被膜付き切削工具および被膜付き切削工具を製造する方法 | |
| JP2013527316A (ja) | 硬質炭素コーティングおよびその形成方法 | |
| JP5348223B2 (ja) | 被覆部材 | |
| JP5395454B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP2008240079A (ja) | 被覆部材 | |
| JP5883161B2 (ja) | 切削工具 | |
| JP2019522721A (ja) | 被覆された物体及びこの物体の製造方法 | |
| JP2013513027A5 (ja) | 被覆切削工具および被覆切削工具を作るための方法 | |
| JP4398224B2 (ja) | 耐摩耗性部材 | |
| CN101688299B (zh) | Al-Ti-Ru-N-C硬质材料涂层 | |
| JP2001513708A (ja) | 多層ｐｖｄ被覆切削工具 | |
| JP5416429B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| CN113388810A (zh) | 涂覆体和用于涂覆的方法 | |
| JP5681093B2 (ja) | 多層硬質皮膜 | |
| WO2018221355A1 (ja) | 被覆工具及びこれを備えた切削工具 | |
| JP5121486B2 (ja) | 切削工具 | |
| JP6092735B2 (ja) | 表面被覆工具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130920 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130920 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140312 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140408 |
|
| A524 | Written submission of copy of amendment under article 19 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A524 Effective date: 20140708 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140805 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141002 |
|
| RD13 | Notification of appointment of power of sub attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7433 Effective date: 20141027 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141104 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141107 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20141027 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150113 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150212 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5698257 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |