JP2001239608A - 積層被膜およびその被覆摺動部品 - Google Patents
積層被膜およびその被覆摺動部品Info
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- JP2001239608A JP2001239608A JP2000051584A JP2000051584A JP2001239608A JP 2001239608 A JP2001239608 A JP 2001239608A JP 2000051584 A JP2000051584 A JP 2000051584A JP 2000051584 A JP2000051584 A JP 2000051584A JP 2001239608 A JP2001239608 A JP 2001239608A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 潤滑油下の摺動において、セラミック被膜の
耐摩耗性を大きく損なうことなく摩擦係数の低減を図
り、摺動性を向上させた被膜とその被覆部品を提供す
る。 【解決手段】 周期律表ＩＶａ、Ｖａ、ＶＩａ族金属元
素から選択される１種以上の元素の窒化物、炭窒化物、
および炭化物のうち少なくとも１種からなる化合物層
と、Ａｌ、Ｚｎ、Ｗ、Ｆｅ、Ｍｏから選択される１種以
上を含む金属層を交互に積層する。
耐摩耗性を大きく損なうことなく摩擦係数の低減を図
り、摺動性を向上させた被膜とその被覆部品を提供す
る。 【解決手段】 周期律表ＩＶａ、Ｖａ、ＶＩａ族金属元
素から選択される１種以上の元素の窒化物、炭窒化物、
および炭化物のうち少なくとも１種からなる化合物層
と、Ａｌ、Ｚｎ、Ｗ、Ｆｅ、Ｍｏから選択される１種以
上を含む金属層を交互に積層する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、機械部品、摺動部
品など耐摩耗性とともに、低摩擦係数が要求される被
膜、及び部品に適用される。
品など耐摩耗性とともに、低摩擦係数が要求される被
膜、及び部品に適用される。
【０００２】
【従来の技術】従来、各種内燃機関、燃料ポンプ、各種
機械などの摺動部に利用される部品に、その摺動性を高
めるための表面処理が施されてきた。摺動性は、耐摩耗
性、耐焼き付き性、摩擦係数によって決定される。これ
ら性質を向上するために、部材表面を窒化処理、メッキ
処理、溶射処理、物理的蒸着法によって改質または被覆
することが試みられてきた。特に、ドライプロセスによ
る表面被覆は、優れた摺動性を示すということが、特開
昭５７−５７８６８号公報、特開昭６２−１２０４７１
号公報により知られている。しかし、現在、摺動部材の
使用条件がさらに過酷になっており、ドライプロセスに
よる表面被覆をさらに強化することが必要となってい
る。
機械などの摺動部に利用される部品に、その摺動性を高
めるための表面処理が施されてきた。摺動性は、耐摩耗
性、耐焼き付き性、摩擦係数によって決定される。これ
ら性質を向上するために、部材表面を窒化処理、メッキ
処理、溶射処理、物理的蒸着法によって改質または被覆
することが試みられてきた。特に、ドライプロセスによ
る表面被覆は、優れた摺動性を示すということが、特開
昭５７−５７８６８号公報、特開昭６２−１２０４７１
号公報により知られている。しかし、現在、摺動部材の
使用条件がさらに過酷になっており、ドライプロセスに
よる表面被覆をさらに強化することが必要となってい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来、ドライプロセス
による耐摩耗性被膜を摺動部品に用いた例として、ピス
トンリングの耐摩耗性向上を目的として被膜の配向性を
決定した特開平６−２４８４２５号公報、特開平６−２
９３９５４号公報がある。
による耐摩耗性被膜を摺動部品に用いた例として、ピス
トンリングの耐摩耗性向上を目的として被膜の配向性を
決定した特開平６−２４８４２５号公報、特開平６−２
９３９５４号公報がある。
【０００４】また、工具分野においても、耐摩耗性向上
に対して同様な試みがなされており、例えば、特開平９
−２９１３５３号公報、特開平１０−３３０９１４号公
報、特開平１０−３１７１２３号公報、特開平１０−７
６４０７号公報、特開平９−３２３２０５号公報、特開
平９−１２５２３０号公報、特開平５−２９５５１７号
公報がある。しかし、摩擦係数については、更なる低減
が望まれている。
に対して同様な試みがなされており、例えば、特開平９
−２９１３５３号公報、特開平１０−３３０９１４号公
報、特開平１０−３１７１２３号公報、特開平１０−７
６４０７号公報、特開平９−３２３２０５号公報、特開
平９−１２５２３０号公報、特開平５−２９５５１７号
公報がある。しかし、摩擦係数については、更なる低減
が望まれている。
【０００５】また、耐摩耗性向上のために、被膜と基材
との密着力を高めることを考えて特開平６−２６４２１
４号公報、特開平７−１８４１４号公報、特開平９−２
４１８２５号公報には、金属とセラミックの複合層をセ
ラミック層と基材との中間層として用いた例がある。し
かし、これらも耐摩耗性の向上には効果が期待される
が、摩擦係数を低減するものではない。
との密着力を高めることを考えて特開平６−２６４２１
４号公報、特開平７−１８４１４号公報、特開平９−２
４１８２５号公報には、金属とセラミックの複合層をセ
ラミック層と基材との中間層として用いた例がある。し
かし、これらも耐摩耗性の向上には効果が期待される
が、摩擦係数を低減するものではない。
【０００６】この他、被膜の靭性を向上させる目的とし
て、特開平５−７８８２１号公報、特開平１１−８０９
３３号公報、特開平１１−１００６５６号公報、特開平
１０−１５８８１８号公報、特開平１０−１３０８２０
号公報、特開平１０−１７６２６０号公報、特開平１０
−１２１２２６号公報では、セラミックの中に第３元素
を添加しているが、耐摩耗性の向上を目的としたもので
あり摩擦係数を低減する目的ではない。
て、特開平５−７８８２１号公報、特開平１１−８０９
３３号公報、特開平１１−１００６５６号公報、特開平
１０−１５８８１８号公報、特開平１０−１３０８２０
号公報、特開平１０−１７６２６０号公報、特開平１０
−１２１２２６号公報では、セラミックの中に第３元素
を添加しているが、耐摩耗性の向上を目的としたもので
あり摩擦係数を低減する目的ではない。
【０００７】また、金属の耐摩耗性を向上する目的とし
て、特開平２−１７３２６５号公報、特開平２−１７３
２６６号公報、特開平２−１７３２６７号公報、特開平
５−７８８２１号公報では、金属を主成分とした被膜に
セラミックを複合させたものがあるが、これらも摩擦係
数を低減させるためのものではない。
て、特開平２−１７３２６５号公報、特開平２−１７３
２６６号公報、特開平２−１７３２６７号公報、特開平
５−７８８２１号公報では、金属を主成分とした被膜に
セラミックを複合させたものがあるが、これらも摩擦係
数を低減させるためのものではない。
【０００８】従って、本発明の目的は、潤滑油下の摺動
において、セラミック被膜の耐摩耗性を大きく損なうこ
となく摩擦係数の低減を図り、摺動性を向上させた被膜
とその被覆部品を提供することにある。
において、セラミック被膜の耐摩耗性を大きく損なうこ
となく摩擦係数の低減を図り、摺動性を向上させた被膜
とその被覆部品を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】これらの課題を解決する
ために以下の手段を用いる。すなわち、周期律表ＩＶ
ａ、Ｖａ、ＶＩａ族金属元素から選択される１種以上の
元素の窒化物、炭窒化物、および炭化物のうち少なくと
も１種からなる化合物層と、Ａｌ、Ｚｎ、Ｗ、Ｆｅ、Ｍ
ｏから選択される１種以上を含む金属層を交互に積層し
た被膜を所定の部品上に形成する。
ために以下の手段を用いる。すなわち、周期律表ＩＶ
ａ、Ｖａ、ＶＩａ族金属元素から選択される１種以上の
元素の窒化物、炭窒化物、および炭化物のうち少なくと
も１種からなる化合物層と、Ａｌ、Ｚｎ、Ｗ、Ｆｅ、Ｍ
ｏから選択される１種以上を含む金属層を交互に積層し
た被膜を所定の部品上に形成する。
【００１０】化合物粒に金属粒を複合させることによる
摩擦係数の低減機構は次のように説明できる。潤滑油下
の摩擦力は、（１）のように固体−固体の接触で発生す
る摩擦力と潤滑油同士を引き離すのに必要なせん断力の
和で決定される。 Ｆ＝Ａ｛αＳm＋（１−α）Ｓl｝ （１） ここでＦは摩擦力、Ａは荷重、αは摺動面のうち固体−
固体接触の割合、Ｓmは固体−固体接触の摩擦係数、Ｓl
は潤滑油同士の摩擦係数である。従って、潤滑油下の摩
擦係数を低減させるためには、第１の方法は固体−固体
の摩擦係数を減らすことであり、第２の方法は固体−固
体接触の割合を減らす、すなわち潤滑油での潤滑割合を
増やすこと、である。
摩擦係数の低減機構は次のように説明できる。潤滑油下
の摩擦力は、（１）のように固体−固体の接触で発生す
る摩擦力と潤滑油同士を引き離すのに必要なせん断力の
和で決定される。 Ｆ＝Ａ｛αＳm＋（１−α）Ｓl｝ （１） ここでＦは摩擦力、Ａは荷重、αは摺動面のうち固体−
固体接触の割合、Ｓmは固体−固体接触の摩擦係数、Ｓl
は潤滑油同士の摩擦係数である。従って、潤滑油下の摩
擦係数を低減させるためには、第１の方法は固体−固体
の摩擦係数を減らすことであり、第２の方法は固体−固
体接触の割合を減らす、すなわち潤滑油での潤滑割合を
増やすこと、である。
【００１１】金属層と化合物層の積層構造を形成する
と、摺動時の摩耗及び、表面の凹凸による積層構造のう
ねりによって、図１の様に摺動面に金属層の部分と化合
物層のの部分が存在することになる。摺動面に表れた金
属自体が自己潤滑作用によって第１の方法、すなわち固
体−固体の摩擦係数を減らすという効果を発揮すること
や、または潤滑油中に含まれる摩擦調整剤や極圧剤など
の添加剤と金属が反応することで硫化物などの潤滑物質
が生成され第１の方法の効果を発揮し、潤滑油下の摩擦
係数が低減する。あるいは金属と極圧剤が反応しない場
合でも、摺動表面に対する摩擦調整剤の吸着量が多くな
り、強固な油膜が形成されることで第２の方法、すなわ
ち固体−固体接触の割合を減らすという効果が発揮さ
れ、潤滑油下の摩擦係数が低減する。
と、摺動時の摩耗及び、表面の凹凸による積層構造のう
ねりによって、図１の様に摺動面に金属層の部分と化合
物層のの部分が存在することになる。摺動面に表れた金
属自体が自己潤滑作用によって第１の方法、すなわち固
体−固体の摩擦係数を減らすという効果を発揮すること
や、または潤滑油中に含まれる摩擦調整剤や極圧剤など
の添加剤と金属が反応することで硫化物などの潤滑物質
が生成され第１の方法の効果を発揮し、潤滑油下の摩擦
係数が低減する。あるいは金属と極圧剤が反応しない場
合でも、摺動表面に対する摩擦調整剤の吸着量が多くな
り、強固な油膜が形成されることで第２の方法、すなわ
ち固体−固体接触の割合を減らすという効果が発揮さ
れ、潤滑油下の摩擦係数が低減する。
【００１２】以上のような機構により、金属層と化合物
層を積層することで摩擦係数が低減されるが、金属層の
それぞれ１層の厚さが０．２ｎｍ以上、１５０ｎｍ以下
の方が摩擦係数低減にはより望ましい。金属層の１層の
厚さが１５０ｎｍより大きい場合、金属の摺動特性とな
ってしまい、摩耗量が多くなることがある。また、金属
層の厚さが、０．２ｎｍより小さいと、積層構造を維持
できなくなることが多い。これら金属層の厚さは、小角
散乱Ｘ線回折で観察される金属層と化合物層の積層周期
依存のピークと金属層を構成している金属元素の存在す
る比率から算出してもよいし、透過型電子顕微鏡による
断面観察で観察し、金属層の厚さを１０点測定した平均
値でもよい。
層を積層することで摩擦係数が低減されるが、金属層の
それぞれ１層の厚さが０．２ｎｍ以上、１５０ｎｍ以下
の方が摩擦係数低減にはより望ましい。金属層の１層の
厚さが１５０ｎｍより大きい場合、金属の摺動特性とな
ってしまい、摩耗量が多くなることがある。また、金属
層の厚さが、０．２ｎｍより小さいと、積層構造を維持
できなくなることが多い。これら金属層の厚さは、小角
散乱Ｘ線回折で観察される金属層と化合物層の積層周期
依存のピークと金属層を構成している金属元素の存在す
る比率から算出してもよいし、透過型電子顕微鏡による
断面観察で観察し、金属層の厚さを１０点測定した平均
値でもよい。
【００１３】また、より摺動特性を高めるためには、化
合物層の配向性が、Ｘ線回折による（１１１）面に起因
するピークの積分強度と、（２００）面に起因するピー
クの積分強度比Ｉ（１１１）／Ｉ（２００）が、３以上
１０以下であることがより有効である。Ｉ（１１１）／
Ｉ（２００）が３より小さいと摩耗量が大きくなること
がある。また、Ｉ（１１１）／Ｉ（２００）が１０より
大きい被膜を形成することは困難である。この様な化合
物層は耐摩耗性が高く、金属層と積層することで、より
摩擦係数を低減することができる。
合物層の配向性が、Ｘ線回折による（１１１）面に起因
するピークの積分強度と、（２００）面に起因するピー
クの積分強度比Ｉ（１１１）／Ｉ（２００）が、３以上
１０以下であることがより有効である。Ｉ（１１１）／
Ｉ（２００）が３より小さいと摩耗量が大きくなること
がある。また、Ｉ（１１１）／Ｉ（２００）が１０より
大きい被膜を形成することは困難である。この様な化合
物層は耐摩耗性が高く、金属層と積層することで、より
摩擦係数を低減することができる。
【００１４】また、金属層が被膜全体に占める割合は、
０．１原子％以上５０原子％以下である方が耐摩耗性は
より優れている。積層被膜中の金属層の原子の割合が５
０原子％以上になると、被膜全体に対する金属の割合が
多すぎて、積層被膜の硬度の低下を引き起こし、摺動時
の摩耗が大きくなる傾向がある。また、積層被膜中の金
属層の原子の割合が０．１原子％以下では積層被膜とし
て摩擦係数を低減する効果が得られにくい。
０．１原子％以上５０原子％以下である方が耐摩耗性は
より優れている。積層被膜中の金属層の原子の割合が５
０原子％以上になると、被膜全体に対する金属の割合が
多すぎて、積層被膜の硬度の低下を引き起こし、摺動時
の摩耗が大きくなる傾向がある。また、積層被膜中の金
属層の原子の割合が０．１原子％以下では積層被膜とし
て摩擦係数を低減する効果が得られにくい。
【００１５】これらの被膜は、潤滑油下での摺動に効果
を発揮する。以下の実施例では、基材は、平板の片面を
鏡面仕上げした鉄系合金、超硬合金、Ａｌ合金を用いた
が、特にこれらに限定されるものでもなく、セラミック
焼結体などでも効果が発揮されると期待される。
を発揮する。以下の実施例では、基材は、平板の片面を
鏡面仕上げした鉄系合金、超硬合金、Ａｌ合金を用いた
が、特にこれらに限定されるものでもなく、セラミック
焼結体などでも効果が発揮されると期待される。
【００１６】潤滑油は、エンジン油、軽油、ガソリン
油、ギヤ油、タービン油、航空潤滑油、等いかなる潤滑
油でもよく、あるいは各種グリースなどでも本発明によ
る積層被膜において摩擦係数の低減効果が得られる。
油、ギヤ油、タービン油、航空潤滑油、等いかなる潤滑
油でもよく、あるいは各種グリースなどでも本発明によ
る積層被膜において摩擦係数の低減効果が得られる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を実施
例により説明する。
例により説明する。
【００１８】（実施例１）まず、基材をアルコールおよ
びアセトンで超音波洗浄をした。被膜の形成には、図２
に示す真空アーク放電蒸着装置（装置１）、図３に示す
スパッタリング装置（装置２）、および真空アーク放電
蒸着法とスパッタリング法を複合した図４に示す装置
（装置３）、図５に示すイオンプレーティング装置（装
置４）を使用した。基材を洗浄後、装置１〜４のそれぞ
れの真空槽の中に基材を入れ、槽内の真空排気を行っ
た。基板に−５００Ｖから−１５００Ｖ程度の電圧を印
加し、アルゴンガスを導入することでＡｒイオンによる
基材表面のクリーニングを行った。
びアセトンで超音波洗浄をした。被膜の形成には、図２
に示す真空アーク放電蒸着装置（装置１）、図３に示す
スパッタリング装置（装置２）、および真空アーク放電
蒸着法とスパッタリング法を複合した図４に示す装置
（装置３）、図５に示すイオンプレーティング装置（装
置４）を使用した。基材を洗浄後、装置１〜４のそれぞ
れの真空槽の中に基材を入れ、槽内の真空排気を行っ
た。基板に−５００Ｖから−１５００Ｖ程度の電圧を印
加し、アルゴンガスを導入することでＡｒイオンによる
基材表面のクリーニングを行った。
【００１９】続いて装置１〜４により成膜を行ったが、
化合物粒と金属粒との複合にあたっては、雰囲気ガスを
ＡｒとＮ2、ＣＨ4、またはＣ2Ｈ2として、ＡｒとＮ2、
ＣＨ4，またはＣ2Ｈ2の分圧を制御しながら、２つの蒸
発源の間で基材を回転させること、または電子ビーム照
射位置を移動させてるつぼからの蒸発物質を変化させる
ことにより、積層被膜を形成した。基板の回転速度を大
きすぎないように、あるいは電子ビームのそれぞれの蒸
発源への１回あたりの照射時間が短すぎないようにする
ことにより、被膜が化合物粒と金属粒の粒状構造となら
ないようにして、化合物層、金属層の積層構造の被膜を
得るようにした。すなわち金属層と化合物層の積層構造
とするために、金属層、化合物層それぞれの成膜におい
て、金属、化合物が島状に析出せずに膜構造となるよう
にそれぞれの成膜時間を十分にとった。
化合物粒と金属粒との複合にあたっては、雰囲気ガスを
ＡｒとＮ2、ＣＨ4、またはＣ2Ｈ2として、ＡｒとＮ2、
ＣＨ4，またはＣ2Ｈ2の分圧を制御しながら、２つの蒸
発源の間で基材を回転させること、または電子ビーム照
射位置を移動させてるつぼからの蒸発物質を変化させる
ことにより、積層被膜を形成した。基板の回転速度を大
きすぎないように、あるいは電子ビームのそれぞれの蒸
発源への１回あたりの照射時間が短すぎないようにする
ことにより、被膜が化合物粒と金属粒の粒状構造となら
ないようにして、化合物層、金属層の積層構造の被膜を
得るようにした。すなわち金属層と化合物層の積層構造
とするために、金属層、化合物層それぞれの成膜におい
て、金属、化合物が島状に析出せずに膜構造となるよう
にそれぞれの成膜時間を十分にとった。
【００２０】Ｘ線の回折ピークは、ＣｕＫα線を入射Ｘ
線とした回折であり、化合物のピークから積分強度比Ｉ
（１１１）／Ｉ（２００）比を求め、金属層の厚さは小
角散乱Ｘ線回折により求めた。被膜の組成は、ＥＰＭＡ
分析（電子プローブ微小部分分析）、ＸＰＳ分析（Ｘ線
光電子分光分析）により求めた。ＥＰＭＡ分析により積
層被膜中の元素の割合を求めることができる。同一元素
が化合物層と金属層の両方に存在する場合は、ＸＰＳ分
析によりその元素の結合状態、すなわちその元素の金属
または化合物ととしての存在状態によって、ピーク位置
が異なるために、各ピークの積分強度の比率によって金
属層中と化合物層中に存在する比率を求めることができ
る。図６に示すように津谷式トライボメーターによって
被膜の耐摩耗性、摩擦係数を評価した。相手材は、直径
２０ｍｍのＳＵＳ３０４円柱片として、回転速度１ｍ／
ｓ、荷重４９０Ｎ、総滑り距離３６００ｍとして、室
温、エンジンオイル中で試験した。
線とした回折であり、化合物のピークから積分強度比Ｉ
（１１１）／Ｉ（２００）比を求め、金属層の厚さは小
角散乱Ｘ線回折により求めた。被膜の組成は、ＥＰＭＡ
分析（電子プローブ微小部分分析）、ＸＰＳ分析（Ｘ線
光電子分光分析）により求めた。ＥＰＭＡ分析により積
層被膜中の元素の割合を求めることができる。同一元素
が化合物層と金属層の両方に存在する場合は、ＸＰＳ分
析によりその元素の結合状態、すなわちその元素の金属
または化合物ととしての存在状態によって、ピーク位置
が異なるために、各ピークの積分強度の比率によって金
属層中と化合物層中に存在する比率を求めることができ
る。図６に示すように津谷式トライボメーターによって
被膜の耐摩耗性、摩擦係数を評価した。相手材は、直径
２０ｍｍのＳＵＳ３０４円柱片として、回転速度１ｍ／
ｓ、荷重４９０Ｎ、総滑り距離３６００ｍとして、室
温、エンジンオイル中で試験した。
【００２１】試験結果を表１に示す。摩耗量は、試験機
で評価した後の摩耗痕の断面を表面粗さ計で測定して幾
何学的に求めた断面積を、比較例１の摩耗痕の断面積を
１としたときの値である。
で評価した後の摩耗痕の断面を表面粗さ計で測定して幾
何学的に求めた断面積を、比較例１の摩耗痕の断面積を
１としたときの値である。
【００２２】
【表１】
【００２３】（実施例２）内燃機関のヘッド部モータリ
ング試験において、実施例２、４、１１の被膜をシム面
に形成して試験したところ、比較例１に比較して、２〜
３割のトルク低減が確認された。
ング試験において、実施例２、４、１１の被膜をシム面
に形成して試験したところ、比較例１に比較して、２〜
３割のトルク低減が確認された。
【００２４】
【発明の効果】本発明により、耐摩耗性を大きく損なう
ことなく低い摩擦係数を示す被膜を提供することがで
き、内燃機関、各種機械の摩擦損失を低減することがで
きる。
ことなく低い摩擦係数を示す被膜を提供することがで
き、内燃機関、各種機械の摩擦損失を低減することがで
きる。
【図１】積層被膜の摺動面近傍の断面の概略図である。
【図２】真空アーク蒸着放電蒸着装置の概略図である。
【図３】スパッタリング装置の概略図である。
【図４】真空アーク放電蒸着法とスパッタリング法を複
合した装置の概略図である。
合した装置の概略図である。
【図５】イオンプレーティング装置の概略図である。
【図６】津谷式トライボメーターによる耐摩耗性、摩擦
係数を評価する装置の概略図である。
係数を評価する装置の概略図である。
１ 化合物層 ２ 金属層 ３ 摺動面 ４ 基材 ５ 基材ホルダー ６ 回転テーブル ７ ガス導入口 ８ ガス排出口 ９ 第１のアーク蒸発源 １０ 第２のアーク蒸発源 １１ 直流電源 １２ 直流電源 １３ 直流電源 １４ 基材 １５ 基材ホルダー １６ 回転テーブル １７ ガス導入口 １８ ガス排出口 １９ 第１のスパッタ蒸発源 ２０ 第２のスパッタ蒸発源 ２１ 高周波電源 ２２ 高周波電源 ２３ 基材 ２４ 基材ホルダー ２５ 回転テーブル ２６ ガス導入口 ２７ ガス排出口 ２８ 第１のアーク蒸発源 ２９ 第２のスパッタ蒸発源 ３０ 直流電源 ３１ 高周波電源 ３２ 直流電源 ３３ 基材 ３４ 基材ホルダー ３５ ＲＦコイル ３６ シャッター ３７ 電子銃 ３８ るつぼ ３９ 電子 ４０ ガス導入口 ４１ ガス排出口 ４２ 第１の蒸発源 ４３ 第２の蒸発源 ４４ 相手材 ４５ 試験片 ４６ 相手材の回転方向 ４７ 負荷重の方向 ４８ 負荷重の方向 ４９ 摩擦力の方向
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3J011 JA02 QA03 SB02 SB04 SB05 SB14 SB20 4F100 AA12A AA15A AA16A AA40A AB02B AB10B AB18B AB20B AB40B AT00C BA03 BA07 BA10A BA10B EG00A EG00B EH66 GB31 GB32 GB51 JK10 JK16 YY00A YY00B 4K029 BA01 BA03 BA09 BA11 BA18 BA54 BA55 BA58 BB02 BB07 BD04 CA01 CA02 CA03 CA04 CA05 CA06 FA04
Claims (5)
- 【請求項１】 周期律表ＩＶａ、Ｖａ、ＶＩａ族金属元
素から選択される１種以上の元素の窒化物、炭窒化物、
および炭化物のうち少なくとも１種からなる化合物層
と、Ａｌ、Ｚｎ、Ｗ、Ｆｅ、Ｍｏから選択される１種以
上の元素を含む金属層を交互に積層することを特徴とす
る積層被膜。 - 【請求項２】 前記金属層の１層の厚さが０．２ｎｍ以
上１５０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１に記
載の被膜。 - 【請求項３】 前記化合物層の（１１１）面および（２
００）面のＸ線回折ピークの積分強度の比Ｉ（１１１）
／Ｉ（２００）が３以上１０以下であることを特徴とす
る請求項１、請求項２のいずれかに記載の積層被膜。 - 【請求項４】 積層被膜中の前記金属層を構成する元素
は０．１原子％以上５０原子％以下であることを特徴と
する請求項１〜請求項３のいずれかに記載の積層被膜。 - 【請求項５】 請求項１〜請求項４のいずれかに記載の
積層被膜が基材の表面の少なくとも一部に被覆された潤
滑油中の摺動部に使用される被覆摺動部品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000051584A JP2001239608A (ja) | 2000-02-28 | 2000-02-28 | 積層被膜およびその被覆摺動部品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000051584A JP2001239608A (ja) | 2000-02-28 | 2000-02-28 | 積層被膜およびその被覆摺動部品 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| JP2001239608A true JP2001239608A (ja) | 2001-09-04 |
Family
ID=18573215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000051584A Pending JP2001239608A (ja) | 2000-02-28 | 2000-02-28 | 積層被膜およびその被覆摺動部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001239608A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010285653A (ja) * | 2009-06-11 | 2010-12-24 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 構造部材およびその製造方法 |
| JP2012523500A (ja) * | 2009-04-07 | 2012-10-04 | ナショナル・マテリアル・エルピー | 耐久性を有し変色しにくい多層セラミックコーティングを有するプレーンな銅製のフードウェアおよび金属製物品およびその製造方法 |
| JP2013513027A (ja) * | 2009-12-06 | 2013-04-18 | イスカーリミテッド | 被覆物品および被覆物品を作るための方法 |
-
2000
- 2000-02-28 JP JP2000051584A patent/JP2001239608A/ja active Pending
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