JP5697467B2 - Multiple wiring board - Google Patents

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Description

本発明は、母基板の中央部に、各々が電子部品を搭載するための配線基板となる複数の配線基板領域が縦および横の少なくとも一方の並びに配置された多数個取り配線基板に関するものである。   The present invention relates to a multi-cavity wiring board in which a plurality of wiring board regions each serving as a wiring board for mounting electronic components are arranged in at least one of vertical and horizontal at the center of a mother board. .

従来、撮像素子等の半導体素子や水晶振動子等の電子部品を搭載するための配線基板は、例えば、酸化アルミニウム質焼結体等の電気絶縁材料から成る絶縁基板の表面に、タングステンやモリブデン等の金属粉末メタライズから成る配線導体が配設されることによって形成されている。   Conventionally, wiring boards for mounting electronic elements such as semiconductor elements such as imaging elements and crystal resonators are made of tungsten, molybdenum, etc. on the surface of an insulating board made of an electrically insulating material such as an aluminum oxide sintered body. A wiring conductor made of metal powder metallization is provided.

このような配線基板は、近年の電子装置の小型化の要求に伴って、その大きさが小さくなってきており、複数の配線基板を効率よく製作するために、多数個取り配線基板を分割することによって製作することが行なわれている。多数個取り配線基板は、母基板の中央部に配線基板となる複数の配線基板領域が縦横に配列されて形成されたものである。このような多数個取り配線基板を配線基板領域毎に切断することによって、複数の配線基板が得られる。   Such a wiring board has been reduced in size with the recent demand for downsizing of electronic devices. In order to efficiently produce a plurality of wiring boards, the multi-piece wiring board is divided. The production is done by. The multi-cavity wiring board is formed by arranging a plurality of wiring board regions serving as a wiring board in the center of the mother board vertically and horizontally. A plurality of wiring boards are obtained by cutting such a multi-piece wiring board for each wiring board region.

このような多数個取り配線基板には、外周部に多数個取り配線基板を位置合わせや、めっき用電源と電気的に接続するためのめっき用導体のための切り欠きが形成されていることがある。このような位置合わせ用の切り欠きは、従来、複数の配線基板領域の周囲に配置されたダミー領域の、多数個取り配線基板の母基板の外縁に、母基板の厚み方向に延びた溝を設けることによって形成できる。(例えば、特許文献1を参照。)。   In such a multi-cavity wiring board, a notch for a plating conductor for positioning the multi-cavity wiring board on the outer peripheral portion and electrically connecting to a plating power source is formed. is there. Such alignment notches are conventionally formed by forming grooves extending in the thickness direction of the mother board on the outer edge of the mother board of the multi-cavity wiring board in the dummy area arranged around the plurality of wiring board areas. It can be formed by providing. (For example, see Patent Document 1).

特開2009−10103号公報JP 2009-10103

しかしながら、近年の多数個取り配線基板の小型化や、多数個取り配線基板の面積に対する配線基板領域の面積の増加によって、多数個取り配線基板の外縁と配線基板領域との間のダミー領域の長さが小さくなってきている。このような多数個取り配線基板を撓ませて分割溝に沿って分割すると、切り欠きの近傍の配線基板の側面にバリが生じることがあった。これは、分割溝に力を加えるときには、ダミー領域の端部(多数個取り配線基板の外縁)に力を加えるが、切り欠きがあるとそこには力を加えられず、分割溝の切り欠きの近傍では、分割溝の他の部分に比べて分割溝に加わる力の力点が遠いので、分割溝に力が加わりにくいためであった。   However, due to the recent downsizing of the multi-cavity wiring board and the increase in the area of the wiring board area relative to the area of the multi-cavity wiring board, the length of the dummy area between the outer edge of the multi-cavity wiring board and the wiring board area is increased. Is getting smaller. When such a multi-piece wiring board is bent and divided along the dividing groove, burrs may occur on the side surface of the wiring board near the notch. This is because when a force is applied to the dividing groove, a force is applied to the end of the dummy area (the outer edge of the multi-piece wiring board), but if there is a notch, no force can be applied there, and the notch of the dividing groove This is because the force point of the force applied to the split groove is farther in the vicinity of the part than the other part of the split groove, so that it is difficult to apply force to the split groove.

このように、配線基板の側面にバリが生じると、側面を基準とした位置合わせの精度が低くなるという問題があった。   Thus, when a burr | flash generate | occur | produces in the side surface of a wiring board, there existed a problem that the alignment precision on the basis of a side surface will become low.

本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み案出されたもので、その目的は、配線基板の電子部品搭載領域に精度良く電子部品を搭載可能な配線基板を製作できる多数個取り配線基板を提供することにある。   The present invention has been devised in view of the above-mentioned problems of the prior art, and its purpose is to provide a multi-piece wiring board capable of manufacturing a wiring board capable of accurately mounting electronic components in the electronic component mounting area of the wiring board. It is to provide.

本発明の多数個取り配線基板は、中央部に複数の配線基板領域が縦および横の少なくとも一方の並びに配置されているとともに、複数の前記配線基板領域の周囲にダミー領域が配置されている母基板と、前記配線基板領域と前記ダミー領域との境界に形成された分割溝とを備え、前記母基板の一方主面および側面に開口しており、前記母基板の前記ダミー領域の一方主面から厚み方向の途中まで形成された切り欠きを備えていることを特徴とするものである。
The multi-cavity wiring board according to the present invention includes a mother board in which a plurality of wiring board regions are arranged in the center at least one of vertical and horizontal, and dummy areas are arranged around the wiring board regions. substrate and, e Bei a split groove formed on the boundary between the wiring substrate area and the dummy area are open to one main surface and a side surface of the mother board, one main of the dummy region of the mother substrate A notch formed from the surface to the middle of the thickness direction is provided.

また、本発明の多数個取り配線基板は、上記構成において、前記母基板の他方主面の前記切り欠きが形成されたダミー領域と前記配線基板領域との間に形成された前記分割溝の底部が、前記切り欠きの底面よりも一方主面側に位置していることを特徴とするものである。   Further, the multi-cavity wiring board of the present invention is the bottom of the dividing groove formed between the dummy area in which the notch of the other main surface of the mother board is formed and the wiring board area in the above configuration. However, it is located in the one main surface side rather than the bottom face of the said notch.

本発明の多数個取り配線基板は、中央部に複数の配線基板領域が縦および横の少なくとも一方の並びに配置されているとともに、複数の配線基板領域の周囲にダミー領域が配置されている母基板と、配線基板領域とダミー領域との境界に形成された分割溝とを備え、
母基板の一方主面および側面に開口しており、母基板のダミー領域の一方主面から厚み方向の途中まで形成された切り欠きを備えていることから、多数個取り配線基板を撓ませて分割溝に沿って分割したときに、切り欠きの近傍の、ダミー領域に隣接して配置されていた配線基板の、ダミー領域側に位置していた側面にバリが生じることを低減できる。
The multi-cavity wiring board according to the present invention includes a mother board in which a plurality of wiring board regions are arranged in the center at least one of vertical and horizontal, and dummy areas are arranged around the plurality of wiring board regions. And a dividing groove formed at the boundary between the wiring board region and the dummy region,
Opened on one main surface and side surface of the mother board, and has a notch formed from one main surface of the dummy area of the mother board to the middle of the thickness direction. It is possible to reduce the occurrence of burrs on the side surface located on the dummy region side of the wiring board that is arranged adjacent to the dummy region in the vicinity of the notch when divided along the dividing groove.

また、本発明の多数個取り配線基板は、上記構成において、母基板の他方主面の切り欠きが形成されたダミー領域と配線基板領域との間に形成された分割溝の底部が、切り欠きの底面よりも一方主面側に位置していることから、分割溝の底部から切り欠きに向かって割れることを抑制できるので、ダミー領域側に位置していた側面にバリが生じることを低減するのにより有効である。   In the multi-piece wiring board of the present invention, the bottom of the dividing groove formed between the dummy area in which the notch of the other main surface of the mother board is formed and the wiring board area is notched. Since it is located on the one main surface side with respect to the bottom surface, it is possible to suppress cracking from the bottom portion of the dividing groove toward the notch, thereby reducing the occurrence of burrs on the side surface located on the dummy region side. It is more effective.

(a)は本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の一例を示す平面図であり、(b)は(a)のA−A線断面を示す断面図である。(A) is a top view which shows an example of embodiment of the multi-piece wiring board of this invention, (b) is sectional drawing which shows the AA line cross section of (a). (a)は図1(a)のA部を拡大して示す平面図であり、(b)は(a)のA−A線断面を示す断面図である。(A) is a top view which expands and shows the A section of Fig.1 (a), (b) is sectional drawing which shows the AA line cross section of (a). (a)は本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の他の例を示す平面図であり、(b)は(a)のA−A線断面を示す断面図である。(A) is a top view which shows the other example of embodiment of the multi-piece wiring board of this invention, (b) is sectional drawing which shows the AA line cross section of (a). (a)は図3(a)のA部を拡大して示す平面図であり、(b)は(a)のA−A線断面を示す断面図である。(A) is a top view which expands and shows the A section of Fig.3 (a), (b) is sectional drawing which shows the AA line cross section of (a).

本発明の多数個取り配線基板について、添付の図面を参照しつつ説明する。図1〜図4において、1は母基板、1aは配線基板領域、1bはダミー領域、2は分割溝、2aは分割溝2の底部、3は切り欠き、3aは切り欠き3の底面、4は配線導体、5は凹部、6は穴である。   A multi-piece wiring board of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. 1-4, 1 is a mother board, 1a is a wiring board area, 1b is a dummy area, 2 is a dividing groove, 2a is a bottom part of the dividing groove 2, 3 is a notch, 3a is a bottom surface of the notch 3, Is a wiring conductor, 5 is a recess, and 6 is a hole.

本発明の多数個取り配線基板は図1〜図4に示す例のように、中央部に複数の配線基板領域1aが縦および横の少なくとも一方の並びに配置されているとともに、複数の配線基板領域1aの周囲にダミー領域1bが配置されている母基板1と、配線基板領域1aとダミー領域1bとの境界に形成された分割溝2とを備えた多数個取り配線基板において、母基板1のダミー領域1bの一方主面から厚み方向の途中まで形成された切り欠き3を備えている。   As shown in the example shown in FIGS. 1 to 4, the multi-cavity wiring board of the present invention has a plurality of wiring board regions 1 a arranged at least in the vertical and horizontal directions at the center, and a plurality of wiring board regions. In a multi-piece wiring board including a mother board 1 in which a dummy area 1b is arranged around 1a and a dividing groove 2 formed at a boundary between the wiring board area 1a and the dummy area 1b, A notch 3 formed from one main surface of the dummy region 1b to the middle in the thickness direction is provided.

従って、多数個取り配線基板を撓ませて分割溝2に沿って分割したときに、切り欠き3の近傍の、ダミー領域1bに隣接して配置されていた配線基板4の、ダミー領域1b側に位置していた側面にバリが生じることを低減できる。これは、分割溝2に力を加えるときに、切り欠き3の近傍の分割溝2と分割溝2に加わる力の力点との距離が、切り欠き3の
近傍以外の分割溝2と分割溝2に加わる力の力点との距離よりも長くなることを防ぐことができるためである。
Therefore, when the multi-piece wiring board is bent and divided along the dividing groove 2, the wiring board 4 disposed adjacent to the dummy area 1b in the vicinity of the notch 3 is disposed on the dummy area 1b side. It is possible to reduce the occurrence of burrs on the side surfaces that have been positioned. This is because when a force is applied to the dividing groove 2, the distance between the dividing groove 2 near the notch 3 and the force applied to the dividing groove 2 is such that the dividing groove 2 and the dividing groove 2 other than the vicinity of the notch 3 are separated. It is because it can prevent becoming longer than the distance with the power point of the force added to.

また、図1〜図4に示す例のように、母基板1の他方主面の切り欠き3が形成されたダミー領域1bと配線基板領域1aとの間に形成された分割溝2の底部2aは、切り欠き3の底面3aよりも一方主面側に位置している。このような構成とすることによって、分割溝2の底部2aから切り欠き3に向かって割れることを抑制できるので、ダミー領域1b側に位置していた側面にバリが生じることを低減するのにより有効である。   1 to 4, the bottom 2a of the dividing groove 2 formed between the dummy region 1b in which the notch 3 on the other main surface of the mother substrate 1 is formed and the wiring substrate region 1a is formed. Is located on one main surface side with respect to the bottom surface 3 a of the notch 3. By adopting such a configuration, it is possible to suppress cracking from the bottom 2a of the dividing groove 2 toward the notch 3, so that it is more effective to reduce the occurrence of burrs on the side surface located on the dummy region 1b side. It is.

図1(a)に示す例においては、母基板1に縦方向に5列および横方向に4列の計20個の配線基板領域1aが配置されている。図3(a)に示す例においては、母基板1に縦方向および横方向に3列ずつの計9個の配線基板領域1aが配置されている。なお、配線基板領域1aは縦および横の少なくとも一方の並びに複数配置されていればよく、さらに多数個の並びに配置されたものであってもよい。   In the example shown in FIG. 1A, a total of 20 wiring board regions 1a in 5 rows in the vertical direction and 4 rows in the horizontal direction are arranged on the mother board 1. In the example shown in FIG. 3A, a total of nine wiring board regions 1a are arranged on the mother board 1 in three rows in the vertical and horizontal directions. The wiring board region 1a may be arranged in a plurality of at least one of the vertical and horizontal directions, and may be arranged in a larger number.

また、配線基板領域1aは、図1に示す例のように配線基板領域1a同士が隣接するように配置されていてもよいし、図3に示す例のように、それぞれの配線基板領域1aの周囲にもダミー領域1bが配置されていても良い。それぞれの配線基板領域1aの周囲にダミー領域1bを配置する場合は、例えば、平面視で配線基板領域1aの左右または上下に、非対称な切り欠きとなる穴6を設ける場合に有効である。   Moreover, the wiring board area | region 1a may be arrange | positioned so that wiring board area | regions 1a may adjoin each other like the example shown in FIG. 1, and each wiring board area | region 1a like the example shown in FIG. A dummy region 1b may be arranged around the periphery. The arrangement of the dummy areas 1b around each wiring board area 1a is effective, for example, when holes 6 that are asymmetrical notches are provided on the left and right or top and bottom of the wiring board area 1a in plan view.

このような配線基板領域1aの配置は、母基板1や配線基板領域1aの大きさ、配線基板領域1aに搭載される電子部品や配線導体4の配置等に合わせて設定される。   Such an arrangement of the wiring board area 1a is set in accordance with the size of the mother board 1 and the wiring board area 1a, the arrangement of electronic components and wiring conductors 4 mounted on the wiring board area 1a, and the like.

母基板1は、例えば酸化アルミニウム質焼結体(アルミナセラミックス),ムライト質焼結体,窒化アルミニウム質焼結体,炭化珪素質焼結体,窒化珪素質焼結体,ガラスセラミックス等のセラミック材料から成る単数の絶縁層または複数の絶縁層が積層されて成るものである。この母基板1の中央部に、タングステン,モリブデン,銅,銀等の金属粉末メタライズから成る配線導体4が形成された、図1〜図4に示す配線基板領域1aが縦および横の少なくとも一方の並びに複数配置されている。   The base substrate 1 is made of a ceramic material such as an aluminum oxide sintered body (alumina ceramic), a mullite sintered body, an aluminum nitride sintered body, a silicon carbide sintered body, a silicon nitride sintered body, or a glass ceramic. A single insulating layer made of or a plurality of insulating layers is laminated. A wiring board region 1a shown in FIGS. 1 to 4 in which a wiring conductor 4 made of metal powder metallization of tungsten, molybdenum, copper, silver, or the like is formed in the central portion of the mother board 1 is at least one of vertical and horizontal. A plurality of them are arranged.

母基板1は、絶縁層が例えば酸化アルミニウム質焼結体から成る場合であれば、酸化アルミニウム(Al),酸化珪素(SiO),酸化マグネシウム(MgO)および酸化カルシウム(CaO)等のセラミック原料粉末に適当な有機バインダー,溶剤,可塑剤および分散剤等を添加混合して得たセラミックスラリーを従来周知のドクターブレード法等のシート成形方法を採用してシート状に成形してセラミックグリーンシートを得た後、セラミックグリーンシートに適当な打ち抜き加工を施すとともに必要に応じてこれを複数枚積層して、母基板1となる生成形体を作製して、約1500℃〜1800℃の温度で焼成することで、単数あるいは複数の絶縁層からなるものが製作される。 If the base substrate 1 is made of an aluminum oxide sintered body, for example, aluminum oxide (Al 2 O 3 ), silicon oxide (SiO 2 ), magnesium oxide (MgO), calcium oxide (CaO), etc. A ceramic slurry obtained by adding and mixing an appropriate organic binder, solvent, plasticizer, dispersant, etc. to the ceramic raw material powder is formed into a sheet by using a conventionally known sheet forming method such as a doctor blade method. After obtaining the green sheet, the ceramic green sheet is appropriately punched and, if necessary, a plurality of sheets are laminated to produce a formed body that will be the mother substrate 1 at a temperature of about 1500 ° C to 1800 ° C. By baking, the one made of one or a plurality of insulating layers is manufactured.

ダミー領域1bは、切り欠き3を形成するために必要な領域であるとともに、多数個取り配線基板の製造や搬送を容易とするための領域であり、このダミー領域1bを用いて母基板1となる生成形体や多数個取り配線基板の加工時や搬送時の位置決め、固定等を行なうことができる。   The dummy area 1b is an area necessary for forming the notch 3, and is an area for facilitating the manufacture and transfer of the multi-piece wiring board. The dummy area 1b is used to It is possible to perform positioning, fixing, etc. during processing or transport of the generated shaped body or multi-piece wiring board.

切り欠き3は、図1〜図4に示す例のように、母基板1の外縁に配置され、母基板1の下面から側面にかけて形成されている。このような切り欠き3は、多数個取り配線基板に電子部品を実装する際に、多数個取り配線基板を位置合わせするための棒状の治具が挿入される部分である。なお、切り欠き3の内面に、配線導体4と電気的に接続された電極を配置しておけば、切り欠き3の電極から電流を流して、めっき液に浸漬することによって
、電解めっきを被着できる。
The notch 3 is arrange | positioned at the outer edge of the motherboard 1, and is formed from the lower surface of the motherboard 1 to the side surface like the example shown in FIGS. Such a notch 3 is a portion into which a bar-shaped jig for aligning the multi-cavity wiring board is inserted when an electronic component is mounted on the multi-cavity wiring board. If an electrode electrically connected to the wiring conductor 4 is disposed on the inner surface of the notch 3, an electric current is passed from the electrode of the notch 3 and immersed in a plating solution, so that electrolytic plating is performed. I can wear it.

切り欠き3の底面3aと上面との間の距離L1は、0.1mm〜1mm程度であれば、分
割溝2に沿って分割するときに、平面視で切り欠き3と重なっている部分が破損しにくく、切り欠き3に位置合わせ用の治具や電解めっき用の治具を挿入できるので好ましい。
If the distance L1 between the bottom surface 3a and the top surface of the notch 3 is about 0.1 mm to 1 mm, the portion overlapping the notch 3 in plan view is broken when divided along the dividing groove 2. This is preferable because a positioning jig or an electrolytic plating jig can be inserted into the notch 3.

また、切り欠き3は、図1および図3に示す例のように、分割溝2の延長線と交わらないように配置されていると、分割溝2と切り欠き3との間で不用意に割れてしまうことを抑制するのに有効である。なお、切り欠き3が、分割溝2の延長線上に配置されている場合には、分割溝2の端部が、母基板1の外縁のダミー領域1bに形成されないようにしておくことが好ましい。   If the notch 3 is arranged so as not to intersect with the extension line of the dividing groove 2 as in the example shown in FIGS. 1 and 3, the notch 3 is inadvertently formed between the dividing groove 2 and the notch 3. It is effective in suppressing cracking. When the notch 3 is arranged on the extension line of the dividing groove 2, it is preferable that the end of the dividing groove 2 is not formed in the dummy region 1 b on the outer edge of the mother substrate 1.

分割溝2は、少なくとも母基板1の各配線基板領域1aとダミー領域1bとの境界に形成されていればよいが、図1〜図4に示す例のように、母基板1の各配線基板領域1a同士の間にも形成されていてもよい。これらの分割溝2は、母基板1となる生成形体にカッター刃や金型を押し当てることによって、あるいは母基板1となる生成形体または焼成後の母基板1にレーザー加工やダイシング加工を施すことによって形成できる。分割溝2の縦断面形状は、V字状やU字状あるいは四角形状であってもよいが、図1(b),図2(b),図3(b),図4(b)に示す例のようにV字状にすると、母基板1を撓ませて分割溝2に沿って分割する際に、分割溝2の底部2aに応力が集中しやすいので、U字状または四角形状の場合に比べて小さい力で正確に分割できて好ましい。また、分割溝2は、図3(b)および図4(b)に示す例のように、母基板1の両主面に形成していても構わない。   The dividing groove 2 may be formed at least at the boundary between each wiring board region 1a and dummy area 1b of the mother board 1, but each wiring board of the mother board 1 as in the example shown in FIGS. It may also be formed between the regions 1a. These dividing grooves 2 are formed by pressing a cutter blade or a mold against the generated shape to be the mother substrate 1, or subjecting the generated shape to be the mother substrate 1 or the fired mother substrate 1 to laser processing or dicing. Can be formed. The vertical cross-sectional shape of the dividing groove 2 may be V-shaped, U-shaped or quadrangular, but it is shown in FIGS. 1B, 2B, 3B, and 4B. If the mother board 1 is bent and divided along the dividing groove 2 as shown in the example shown, stress is likely to concentrate on the bottom 2a of the dividing groove 2, so that the U-shaped or quadrangular shape is formed. Compared to the case, it can be accurately divided with a small force, which is preferable. Further, the dividing grooves 2 may be formed on both main surfaces of the mother board 1 as in the examples shown in FIGS. 3B and 4B.

図1〜図4に示す例のような分割溝2が形成された母基板1は、母基板1の適当な箇所に力を加えることで一方主面側または他方主面側に凸になるように撓ませて、分割溝に沿って分割できる。また、母基板1の配線基板領域1a同士の間に分割溝2が形成されていないときには、ダイシングブレードやレーザーカッター等を用いて分割予定線で切断することによって、個々の配線基板に分割されても良い。   The mother substrate 1 in which the dividing grooves 2 as shown in the examples shown in FIGS. 1 to 4 are formed is convex on one main surface side or the other main surface side by applying a force to an appropriate portion of the mother substrate 1. And can be divided along the dividing groove. In addition, when the dividing groove 2 is not formed between the wiring board regions 1a of the mother board 1, it is divided into individual wiring boards by cutting along a planned dividing line using a dicing blade or a laser cutter. Also good.

分割溝2の深さは、母基板1の材料等によって適宜設定され、例えば、母基板1の厚みの50%〜70%に形成されることが好ましい。分割溝2の深さが母基板1の厚みの50%以下であると分割しにくくなる傾向にあり、分割溝2の深さが70%以上であると運搬時の衝撃等によって分割溝2で不用意に割れやすくなる傾向がある。分割溝2の深さを上記範囲とすることで、母基板1が良好に分割されるとともに不用意に割れることのない多数個取り配線基板となる。なお、分割溝2が、母基板1の両主面に形成される場合は、両主面に形成された分割溝2の深さの合計が上記範囲に設定されていればよい。   The depth of the dividing groove 2 is appropriately set depending on the material of the mother substrate 1 and is preferably formed to be 50% to 70% of the thickness of the mother substrate 1, for example. If the depth of the dividing groove 2 is 50% or less of the thickness of the mother substrate 1, it tends to be difficult to divide, and if the depth of the dividing groove 2 is 70% or more, the dividing groove 2 is affected by an impact during transportation. There is a tendency to break easily. By setting the depth of the dividing groove 2 within the above range, the mother substrate 1 is divided well and becomes a multi-piece wiring substrate that does not break carelessly. In addition, when the division | segmentation groove | channel 2 is formed in both main surfaces of the mother board | substrate 1, the sum total of the depth of the division | segmentation groove | channel 2 formed in both main surfaces should just be set to the said range.

なお、図2(b)に示す例のように、分割溝2が上面に配置されている場合であれば、分割溝2は、分割溝2の底部2aと下面との距離L3が、分割溝2の底部2aと切り欠き3との距離L2よりも小さくなるような深さとしておけばよい。このような構成とすると、分割溝2の底部2aから切り欠き3の角部に向かって割れることを抑制できるので、ダミー領域1b側に位置していた側面にバリが生じることを低減するのにより有効である。 Incidentally, as in the example shown in FIG. 2 (b), in the case where the dividing groove 2 is disposed on the top surface, the dividing groove 2, the distance L3 between the bottom portion 2a and the lower surface of the dividing groove 2, dividing grooves The depth may be smaller than the distance L2 between the bottom 2a of the 2 and the notch 3. With such a configuration, it is possible to suppress cracking from the bottom 2a of the dividing groove 2 toward the corner of the notch 3, thereby reducing the occurrence of burrs on the side surface located on the dummy region 1b side. It is valid.

また、図4(b)に示す例のように、分割溝2が上面および下面に、平面視で重なるように配置されている場合であれば、分割溝2の底部2a同士の間の距離L4が、分割溝2の底部2aと切り欠き3との距離L2よりも小さくなるような深さとしておくと、図2(
b)に示す例の場合と同様の理由で、分割溝2の底部2aと切り欠き3との間で割れることを抑制できるので好ましい。
Further, as in the example shown in FIG. 4B, if the dividing groove 2 is arranged so as to overlap the upper surface and the lower surface in a plan view, the distance L4 between the bottom portions 2a of the dividing groove 2. However, if the depth is smaller than the distance L2 between the bottom 2a of the dividing groove 2 and the notch 3, FIG.
For the same reason as in the example shown in b), it is preferable because it can be prevented from breaking between the bottom 2a of the dividing groove 2 and the notch 3.

母基板1の分割溝2の開口幅は、例えば、0.01〜1.0mm程度であれば、母基板1を良
好に分割できるとともに、各配線基板領域1aが分割溝2の占める面積の影響で小さくならず、分割溝2の形成時に配線基板領域1aが大きく変形することがないので好ましい。分割溝2の開口幅が0.01mmよりも小さいと、母基板1を撓ませた際に、分割溝2の底部2aに加わる力が弱くなり、良好に分割できず、また、母基板1となる生成形体に分割溝2を形成し、焼成した際に、分割溝2の開口が閉じてしまったり、分割溝2の深さが浅くなってしまったりしやすくなる。また、分割溝2の開口幅が1.0mmよりも大きいと、配
線基板の一方主面または他方主面の面積が小さくなってしまう。
If the opening width of the dividing groove 2 of the mother board 1 is, for example, about 0.01 to 1.0 mm, the mother board 1 can be divided well, and the wiring board region 1 a becomes smaller due to the area occupied by the dividing groove 2. It is preferable that the wiring board region 1a is not greatly deformed when the dividing groove 2 is formed. If the opening width of the dividing groove 2 is smaller than 0.01 mm, when the mother substrate 1 is bent, the force applied to the bottom 2a of the dividing groove 2 becomes weak and cannot be divided satisfactorily, and the mother substrate 1 is obtained. When the dividing groove 2 is formed in the generated shape and fired, the opening of the dividing groove 2 is easily closed or the depth of the dividing groove 2 is likely to be shallow. Further, if the opening width of the dividing groove 2 is larger than 1.0 mm, the area of one main surface or the other main surface of the wiring board becomes small.

また、分割溝2の両端部が、最外周に配列される配線基板領域1aと母基板1の外周部との間のダミー領域1bに位置するように形成しておくと、母基板1の搬送時等に外部から加わる力によって母基板1が不用意に割れてしまうことを防止することができるので好ましい。   Further, if the both ends of the dividing groove 2 are formed so as to be positioned in the dummy region 1b between the wiring substrate region 1a arranged on the outermost periphery and the outer peripheral portion of the mother substrate 1, the mother substrate 1 is transported. It is preferable because the mother substrate 1 can be prevented from being carelessly broken by a force applied from the outside at times.

母基板1の上面の、各配線基板領域1a同士の境界および各配線基板領域1aとダミー領域1bとの境界には、平面視で横方向および縦方向に分割溝2が形成されている。   Divided grooves 2 are formed in the horizontal direction and the vertical direction in plan view at the boundary between the wiring board regions 1 a and the boundary between the wiring substrate regions 1 a and the dummy region 1 b on the upper surface of the mother board 1.

配線導体4は、タングステン(W),モリブデン(Mo),マンガン(Mn),銀(Ag),銅(Cu)等の金属粉末メタライズから成り、母基板1用のセラミックグリーンシートに配線導体4用のメタライズペーストをスクリーン印刷法等により所定形状に印刷して、母基板1用のセラミックグリーンシートと同時に焼成することによって、母基板1の所定位置に形成される。   The wiring conductor 4 is made of metal powder metallization such as tungsten (W), molybdenum (Mo), manganese (Mn), silver (Ag), copper (Cu), and the like for the ceramic green sheet for the mother substrate 1 for the wiring conductor 4. The metallized paste is printed in a predetermined shape by a screen printing method or the like and fired simultaneously with the ceramic green sheet for the mother substrate 1 to be formed at a predetermined position on the mother substrate 1.

配線導体4には、母基板1の表面や絶縁層間に配置される配線導体と、絶縁層を貫通して上下に位置する配線導体4同士を電気的に接続する貫通導体とがある。表面や絶縁層間に配置される配線導体は、母基板1用のセラミックグリーンシートにスクリーン印刷法等の印刷手段によって配線導体4用のメタライズペーストを印刷塗布し、母基板1用の生成形体とともに焼成することによって形成される。また、貫通導体は、配線導体4を形成するためのメタライズペーストの印刷塗布に先立って母基板1用のセラミックグリーンシートに金型やパンチングによる打ち抜き加工またはレーザー加工等の加工方法によって貫通導体用の貫通孔を形成し、この貫通孔に貫通導体用のメタライズペーストをスクリーン印刷法等の印刷手段によって充填しておき、母基板1となる生成形体とともに焼成することによって形成する。メタライズペーストは、主成分の金属粉末に有機バインダーおよび有機溶剤、また必要に応じて分散剤等を加えてボールミル,三本ロールミルまたはプラネタリーミキサー等の混練手段によって混合および混練することで作製する。また、セラミックグリーンシートの焼結挙動に合わせたり、焼成後の母基板1との接合強度を高めたりするために、ガラスやセラミックスの粉末を添加してもよい。貫通導体用のメタライズペーストは、有機バインダーや有機溶剤の種類や添加量によって、充填に適した、一般的に配線導体4用のメタライズペーストよりも高い粘度に調整される。なお、メタライズペーストには母基板1との接合強度を高めるために、ガラスやセラミックスを含んでいても構わない。   The wiring conductor 4 includes a wiring conductor disposed on the surface of the mother board 1 and between insulating layers, and a through conductor that electrically connects the wiring conductors 4 that are positioned vertically through the insulating layer. The wiring conductor arranged between the surface and the insulating layer is printed with a metallized paste for the wiring conductor 4 on a ceramic green sheet for the mother substrate 1 by printing means such as a screen printing method, and fired together with the generated shape for the mother substrate 1. It is formed by doing. Further, the through conductors are formed for the through conductors by a punching process using a die or punching or laser processing on the ceramic green sheet for the mother substrate 1 prior to the printing and application of the metallized paste for forming the wiring conductors 4. A through hole is formed, and a metallized paste for a through conductor is filled in the through hole by a printing means such as a screen printing method, and is fired together with the formed body to be the mother substrate 1. The metallized paste is prepared by adding an organic binder and an organic solvent to the main component metal powder and, if necessary, a dispersing agent and the like, and mixing and kneading by a kneading means such as a ball mill, a three-roll mill or a planetary mixer. Further, glass or ceramic powder may be added in order to match the sintering behavior of the ceramic green sheet or to increase the bonding strength with the mother substrate 1 after firing. The metallized paste for the through conductor is adjusted to have a higher viscosity than the metallized paste for the wiring conductor 4, which is suitable for filling, depending on the type and amount of the organic binder or organic solvent. The metallized paste may contain glass or ceramics in order to increase the bonding strength with the mother substrate 1.

なお、配線導体4の露出する表面には、ニッケル,金等の耐蝕性に優れる金属めっきが被着され、接続電極または外部端子電極となる。これによって、配線導体4が腐食することを効果的に抑制することができるとともに、配線導体4と電子部品との接合、配線導体4とボンディングワイヤとの接合、および配線導体4と外部回路基板の配線導体との接合を強固にすることができる。また、例えば、配線導体4の露出する表面には、厚さ1〜10
μm程度のニッケルめっき層と厚さ0.1〜3μm程度の金めっき層とが、電解めっき法も
しくは無電解めっき法により順次被着される。
The exposed surface of the wiring conductor 4 is coated with a metal plating having excellent corrosion resistance, such as nickel or gold, to become a connection electrode or an external terminal electrode. Thus, corrosion of the wiring conductor 4 can be effectively suppressed, the bonding between the wiring conductor 4 and the electronic component, the bonding between the wiring conductor 4 and the bonding wire, and the wiring conductor 4 and the external circuit board can be prevented. Bonding with the wiring conductor can be strengthened. Further, for example, the exposed surface of the wiring conductor 4 has a thickness of 1 to 10
A nickel plating layer having a thickness of about μm and a gold plating layer having a thickness of about 0.1 to 3 μm are sequentially deposited by an electrolytic plating method or an electroless plating method.

母基板1の一方主面に凹部5が形成され、分割溝2が他方主面側に開口している場合には、分割溝2の底部2aは、分割溝2の底部2aと凹部5の底面との距離よりも、分割溝2の底部2aと他方主面との距離が短くなるように配置されていることが好ましい。また、両主面に対向するように分割溝2が形成されている場合には、分割溝2の底部2a同士の距離は、それぞれの分割溝2と凹部5の底面との距離よりも短いことが好ましい。このような構成とすることによって、分割溝2の底部2aと凹部5の底面の角部との間で分割されてしまうことを抑制するのに有効である。   When the concave portion 5 is formed on one main surface of the mother substrate 1 and the dividing groove 2 is opened on the other main surface side, the bottom portion 2a of the dividing groove 2 is the bottom portion 2a of the dividing groove 2 and the bottom surface of the concave portion 5. It is preferable that the distance between the bottom 2a of the dividing groove 2 and the other main surface be shorter than the distance between the first and second main surfaces. Further, when the dividing grooves 2 are formed so as to face both the main surfaces, the distance between the bottom portions 2a of the dividing grooves 2 is shorter than the distance between each dividing groove 2 and the bottom surface of the recess 5. Is preferred. By adopting such a configuration, it is effective to suppress the division between the bottom 2a of the dividing groove 2 and the corner of the bottom surface of the recess 5.

図3に示す例のように、配線基板領域1aとダミー領域1bとにまたがって、穴6が配置されていてもよい。穴6は、母基板1の少なくとも一方の主面に開口して形成されている。このような穴6は、多数個取り配線基板を分割して配線基板とした際に、キャスタレーション用の切り欠きや、配線基板を位置合わせするための切り欠きとなる。このような穴6は、母基板1の厚み方向の途中まで形成された底のある穴や、母基板1を厚み方向に貫通した貫通孔であり、平面視で、矩形状や六角形状等の多角形状または円形や楕円形状の円形状等に形成される。   As in the example illustrated in FIG. 3, the hole 6 may be disposed across the wiring board region 1 a and the dummy region 1 b. The hole 6 is formed to open on at least one main surface of the mother board 1. Such a hole 6 becomes a notch for castellation or a position for positioning the wiring board when the multi-piece wiring board is divided into the wiring board. Such a hole 6 is a hole with a bottom formed in the middle of the thickness direction of the mother board 1 or a through-hole penetrating the mother board 1 in the thickness direction, and has a rectangular shape, a hexagonal shape, or the like in plan view. It is formed in a polygonal shape or a circular or elliptical circular shape.

このような穴6は、母基板1を分割する際に、分割された母基板1の外縁のダミー領域1bに形成された切り欠きとなる。このようなときには、穴6が形成されたダミー領域1bと配線基板領域1aとの間に形成された分割溝2の底部2aは、穴6の底面よりも下側に位置していることが好ましい。このような構成とすることによって、母基板1を分割する際に、分割溝2の底部2aから穴6が分割された切り欠きに向かって割れることを抑制できるので、ダミー領域1b側に位置していた側面にバリが生じることを低減するのにより有効である。なお、配線基板の側面に厚み方向に貫通した切り欠きを形成する場合には、穴6はダミー領域1b側では母基板1の厚み方向の途中まで形成され、配線基板領域1a側では貫通するように形成されていてよい。   Such a hole 6 becomes a notch formed in the dummy region 1b on the outer edge of the divided mother substrate 1 when the mother substrate 1 is divided. In such a case, it is preferable that the bottom 2a of the dividing groove 2 formed between the dummy region 1b in which the hole 6 is formed and the wiring board region 1a is located below the bottom surface of the hole 6. . With such a configuration, when dividing the mother substrate 1, it is possible to prevent the hole 6 from cracking from the bottom portion 2 a of the dividing groove 2 toward the divided notch, so that the mother substrate 1 is positioned on the dummy region 1 b side. It is more effective to reduce the occurrence of burrs on the side surface. When a notch penetrating in the thickness direction is formed on the side surface of the wiring board, the hole 6 is formed partway in the thickness direction of the mother board 1 on the dummy area 1b side and penetrates on the wiring board area 1a side. It may be formed.

上記の穴6を有する母基板1は、金型で打ち抜くことやレーザー加工することによって、所望の位置に穴6用の第1の貫通孔を形成したセラミックグリーンシートを積層して焼成したり、第1の貫通孔を形成した第1のセラミックグリーンシートを、第2のセラミックグリーンシート上に積層して焼成することで作製できる。また、穴6を有する母基板1は、セラミックグリーンシートを焼成したセラミック焼結体に、ドリル等の機械加工や、貫通孔を形成する場合に比べて出力を落としたレーザー加工を行なっても作製できる。   The mother substrate 1 having the above holes 6 is fired by laminating a ceramic green sheet in which a first through hole for the hole 6 is formed at a desired position by punching with a die or laser processing, The first ceramic green sheet in which the first through hole is formed can be produced by laminating and firing on the second ceramic green sheet. In addition, the mother substrate 1 having the holes 6 can be produced even if the ceramic sintered body obtained by firing the ceramic green sheet is subjected to mechanical processing such as a drill or laser processing with reduced output compared to the case of forming a through hole. it can.

穴6をキャスタレーション用の切り欠きとする場合であれば、穴6は、内面に配線導体4が被着されており、母基板1を分割した際には、穴6が分割されることによって、配線基板の側面に端子電極が被着された切り欠きを形成して、いわゆるキャスタレーション導体となる。このような配線導体4は、上記のメタライズペーストを用いて、穴6となる母基板1用のセラミックグリーンシートの穴の内面に、スクリーン印刷法等の印刷手段によって印刷塗布し、母基板1用の生成形体とともに焼成することによって形成する。なお、メタライズペーストは、穴6の寸法等に応じて、有機溶剤等の添加量を調整することで適当な粘度にして用いられる。   If the hole 6 is a notch for castellation, the wiring conductor 4 is attached to the inner surface of the hole 6, and when the mother board 1 is divided, the hole 6 is divided. Then, a notch with a terminal electrode attached is formed on the side surface of the wiring substrate to form a so-called castellation conductor. Such a wiring conductor 4 is printed and applied to the inner surface of the hole of the ceramic green sheet for the mother board 1 to be the hole 6 by the printing means such as a screen printing method using the metallized paste. It is formed by firing together with the generated shape. The metallized paste is used with an appropriate viscosity by adjusting the addition amount of an organic solvent or the like according to the size of the hole 6 or the like.

電子部品の搭載は、例えば、電子部品がフリップチップ型の半導体素子である場合には、はんだバンプや金バンプ、または導電性樹脂(異方性導電樹脂等)等の接合材を介して、半導体素子の電極と配線導体4とを電気的および機械的に接続することによって行なわれる。また、接合材によって電子部品を電子部品搭載領域に接合した後に、電子部品と配線基板との間にアンダーフィルを注入してもよい。あるいは、例えば、電子部品がワイヤ
ボンディング型の半導体素子である場合には、電子部品を接合材によって電子部品搭載領域に固定した後、ボンディングワイヤを介して半導体素子の電極と配線導体4とを電気的に接続する。また、例えば、電子部品が水晶振動子等の圧電素子である場合には、導電性樹脂等の接合材によって圧電素子の固定と圧電素子の電極と配線導体4との電気的な接続を行なう。また、必要に応じて、電子部品の周囲に抵抗素子や容量素子等の第2の電子部品を搭載してもよい。
For example, when the electronic component is a flip chip type semiconductor element, the electronic component is mounted on the semiconductor via a bonding material such as a solder bump, a gold bump, or a conductive resin (anisotropic conductive resin, etc.). This is performed by electrically and mechanically connecting the electrode of the element and the wiring conductor 4. Further, after the electronic component is bonded to the electronic component mounting region with the bonding material, an underfill may be injected between the electronic component and the wiring board. Alternatively, for example, when the electronic component is a wire bonding type semiconductor element, the electronic component is fixed to the electronic component mounting region with a bonding material, and then the electrode of the semiconductor element and the wiring conductor 4 are electrically connected via the bonding wire. Connect. For example, when the electronic component is a piezoelectric element such as a crystal resonator, the piezoelectric element is fixed and the electrodes of the piezoelectric element and the wiring conductor 4 are electrically connected by a bonding material such as a conductive resin. Moreover, you may mount 2nd electronic components, such as a resistive element and a capacitive element, around an electronic component as needed.

なお、本発明は上述の実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能である。例えば、図3に示す例の多数個取り配線基板において、穴6のダミー領域1bに形成された部分に貫通孔が形成されていると、穴6内に入っためっき液が留まりにくいので好ましい。また、例えば、凹部5は母基板1の両主面に形成されていても構わない。   Note that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention. For example, in the multi-cavity wiring board of the example shown in FIG. 3, it is preferable that the through hole is formed in the portion formed in the dummy region 1 b of the hole 6 because the plating solution entering the hole 6 is difficult to stay. For example, the recess 5 may be formed on both main surfaces of the mother substrate 1.

1・・・・母基板
1a・・・配線基板領域
1b・・・ダミー領域
2・・・・分割溝
2a・・・分割溝2の底部
3・・・・切り欠き
3a・・・切り欠き3の底面
4・・・・配線導体
5・・・・凹部
6・・・・穴
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Mother board 1a ... Wiring board area | region 1b ... Dummy area 2 ... Dividing groove 2a ... Bottom part of dividing groove 2 ... Notch 3a ... Notch 3 Bottom surface 4 ... Wiring conductor 5 ... Recess 6 ... Hole

Claims (2)

中央部に複数の配線基板領域が縦および横の少なくとも一方の並びに配置されているとともに、複数の前記配線基板領域の周囲にダミー領域が配置されている母基板と、前記配線基板領域と前記ダミー領域との境界に形成された分割溝とを備えた多数個取り配線基板において、前記母基板の一方主面および側面に開口しており、前記母基板の前記ダミー領域の一方主面から厚み方向の途中まで形成された切り欠きを備えていることを特徴とする多数個取り配線基板。 A plurality of wiring board regions are arranged in the central portion in at least one of the vertical and horizontal directions, and a mother board in which a dummy region is arranged around the wiring board regions, the wiring board regions, and the dummy In a multi-piece wiring board provided with a dividing groove formed at a boundary with a region, an opening is formed on one main surface and a side surface of the mother substrate, and a thickness direction extends from one main surface of the dummy region of the mother substrate. A multi-cavity wiring board comprising a notch formed partway through. 前記母基板の他方主面の前記切り欠きが形成されたダミー領域と前記配線基板領域との間に形成された前記分割溝の底部が、前記切り欠きの底面よりも一方主面側に位置していることを特徴とする請求項1に記載の多数個取り配線基板。   A bottom portion of the dividing groove formed between the dummy region where the notch is formed on the other main surface of the mother board and the wiring substrate region is located on the one main surface side with respect to the bottom surface of the notch. The multi-piece wiring board according to claim 1, wherein the wiring board is a multi-piece wiring board.
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