JP4646825B2 - Multiple wiring board - Google Patents

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Description

本発明は、セラミック母基板の中央部に、各々が電子部品を収容するための配線基板となる複数の配線基板領域が縦横に配列形成されて成る多数個取り配線基板、配線基板領域ごとに分割されることにより個片化された電子部品収納用パッケージ、および、電子部品が搭載された電子装置に関するものである。   The present invention provides a multi-piece wiring board in which a plurality of wiring board regions, each of which is a wiring board for accommodating electronic components, are arranged vertically and horizontally in the central portion of the ceramic mother board, and is divided into wiring board regions. The present invention relates to an electronic component storage package separated into individual pieces and an electronic device on which the electronic component is mounted.

従来、半導体素子や水晶振動子等の電子部品を搭載するための配線基板(電子部品収納用パッケージ)は、例えば、酸化アルミニウム質焼結体等の電気絶縁材料から成る絶縁基体の表面に、タングステンやモリブデン等の金属粉末メタライズから成る配線導体が配設されることにより形成されている。   2. Description of the Related Art Conventionally, wiring boards (electronic component storage packages) for mounting electronic components such as semiconductor elements and crystal resonators are made of tungsten on the surface of an insulating base made of an electrically insulating material such as an aluminum oxide sintered body. It is formed by disposing a wiring conductor made of metal powder metallization such as molybdenum.

そして、この配線基板の上面には電子部品が搭載されるとともに、その電子部品の各電極が半田やボンディングワイヤ等の電気的接続手段を介して配線導体に電気的に接続された後に、電子部品が金属やセラミックスから成る蓋体あるいはポッティング樹脂で覆われて気密封止されることにより電子装置が製作される。   An electronic component is mounted on the upper surface of the wiring board, and after each electrode of the electronic component is electrically connected to the wiring conductor via an electrical connection means such as solder or a bonding wire, the electronic component Is covered with a lid made of metal or ceramics or potting resin and hermetically sealed to produce an electronic device.

ところで、このような配線基板は、近年の電子装置の小型化の要求に伴い、その大きさが数mm角程度の極めて小さなものとなってきている。そして、このような小型の配線基板は、その取り扱いを容易なものとするために、また配線基板やこれを使用した電子装置の製作の効率を向上させるために、配線基板となる多数の配線基板領域が広面積の母基板の中央部に縦横に配列形成されたいわゆる多数個取り配線基板の形態で製作されている。   By the way, with the recent demand for downsizing of electronic devices, the size of such wiring boards has become extremely small, about several mm square. In order to make such a small wiring board easy to handle and to improve the efficiency of manufacturing a wiring board and an electronic device using the wiring board, a large number of wiring boards that become wiring boards are used. It is manufactured in the form of a so-called multi-cavity wiring board in which the regions are arranged vertically and horizontally in the center of a large-area mother board.

多数個取り配線基板は、例えば、略四角平板状の母基板の中央部に、各々が配線導体を備える多数の配線基板領域が縦横に配列形成され、母基板の少なくとも一方の面に各配線基板領域を区分する分割溝が縦横に形成されている。そして、各配線基板領域に電子部品が搭載される前や搭載された後に、母基板が分割溝に沿って撓折されて配線基板領域ごとに分割されることにより、多数の配線基板や電子装置が同時集約的に製造される。   In the multi-cavity wiring board, for example, a plurality of wiring board regions each provided with a wiring conductor are arranged vertically and horizontally in the central portion of a substantially square plate-like mother board, and each wiring board is formed on at least one surface of the mother board. Dividing grooves that divide the region are formed vertically and horizontally. Then, before or after the electronic components are mounted on each wiring board area, the mother board is bent along the dividing grooves and divided into wiring board areas, so that a large number of wiring boards and electronic devices can be obtained. Are manufactured simultaneously and intensively.

このような多数個取り配線基板に搬送時や電子部品を搭載する際に外部から力が印加されると、その力が分割溝の端部に集中して作用し、その角部を起点として母基板に不用意に割れが発生することがあることから、分割溝の端部と重なる位置に分割溝よりも深い穴を形成するという方法が提案されている。これにより、母基板に搬送時や電子部品を搭載する際に外部から力が印加された際、その力は穴で良好に分散されるので、分割溝の端部を起点として母基板に不用意に割れが発生するのを抑制することができるというものである(特許文献1参照)。   When a force is applied from the outside when transporting or mounting electronic components on such a multi-piece wiring board, the force is concentrated on the end of the dividing groove, and the corner is used as a starting point. Since a substrate may be carelessly cracked, a method has been proposed in which a hole deeper than the dividing groove is formed at a position overlapping the end of the dividing groove. As a result, when force is applied from the outside when transporting or mounting electronic components on the mother board, the force is well dispersed in the holes, so the mother board is inadvertent starting from the end of the dividing groove It is possible to suppress the occurrence of cracks (see Patent Document 1).

また、このような多数個取り配線基板は、例えば、特許文献2に記載されたような自動分割装置により行なわれている。この自動分割装置は、ベルトにより母基板を押え部に移送するとともに、押え部において押え板、押えローラー、押圧ローラーにより分割溝に圧力を印加することによって母基板を分割溝に沿って分割するものである。分割は、まず母基板を配線基板領域が1列に配列された短冊状の母基板に分割し、さらにこの短冊状の母基板を分割溝に沿って分割して個々の配線基板に分割することにより行なわれる。
特開2003−273274号公報 特開2002−166398号公報
Moreover, such a multi-piece wiring board is performed by, for example, an automatic dividing apparatus as described in Patent Document 2. This automatic dividing device divides the mother board along the dividing groove by transferring the mother board to the holding part by the belt and applying pressure to the dividing groove by the holding plate, the pressing roller and the pressing roller in the holding part. It is. In the division, first, the mother board is divided into strip-shaped mother boards in which the wiring board regions are arranged in a line, and this strip-like mother board is further divided along the dividing grooves into individual wiring boards. It is done by.
JP 2003-273274 A JP 2002-166398 A

しかしながら、従来の母基板は搬送時等の外部からの力により分割溝の端部を起点とした母基板の不用意な割れは穴により抑制することができるが、母基板を分割溝に沿って撓折して短冊状の母基板へと分割した際、穴から母基板の外周においては分割溝の延長線に沿って分割されない場合があった。特に、穴の内壁における分割溝の延長線上以外の部分が分割の起点となると、分割される方向が分割溝の延長線上から大きく外れてしまい、短冊状の母基板の外辺が分割溝の延長線上から大きく突出した部分が形成されてしまうということがあった。   However, in the conventional mother board, inadvertent cracking of the mother board starting from the end of the dividing groove due to an external force at the time of conveyance or the like can be suppressed by the hole, but the mother board is moved along the dividing groove. When the substrate is bent and divided into strip-shaped mother substrates, the outer periphery of the mother substrate may not be divided along the extension lines of the dividing grooves from the holes. In particular, if the portion other than the extension line of the dividing groove on the inner wall of the hole becomes the starting point of the division, the direction of division is greatly deviated from the extension line of the dividing groove, and the outer side of the strip-shaped mother board is the extension of the dividing groove. There was a case where a portion protruding greatly from the line was formed.

このように短冊状の母基板の外辺がほぼ直線状ではなく突出した部分があると、例えば短冊状の母基板の幅に合わせた溝内を移送することにより短冊状の母基板を自動分割装置に供給しようとした場合、短冊状の母基板が、この溝に入らなかったり、溝の内壁に引っかかってしまうことで分割装置に対して斜めに供給されてしまったりするという問題があった。短冊状の母基板が分割装置に対して斜めに供給されてしまうと、短冊状の母基板の所定の位置に圧力を印加して分割することができなくなり、分割溝に沿って個々の配線基板に分割することができないので、分割された個々の配線基板にバリや欠けが発生しやすいという問題があった。これは手動分割装置の場合においても同様であり、短冊状の母基板に突出した部分があると分割溝を手動分割装置の所定の位置に合わせることが困難であった。   In this way, if there is a protruding part of the outer edge of the strip-shaped mother board rather than a straight line, the strip-shaped mother board is automatically divided by, for example, transferring it in a groove that matches the width of the strip-shaped mother board. When trying to supply to the apparatus, there is a problem that the strip-shaped mother substrate does not enter the groove or is caught on the inner wall of the groove and is supplied obliquely to the dividing apparatus. If the strip-shaped mother board is supplied obliquely to the dividing device, it is impossible to apply a pressure to a predetermined position of the strip-shaped mother board to divide, and individual wiring boards along the dividing grooves Therefore, there is a problem that burrs and chips are likely to occur in each divided wiring board. The same applies to the manual dividing device. If there is a protruding portion on the strip-shaped mother board, it is difficult to align the dividing groove with a predetermined position of the manual dividing device.

本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み案出されたもので、その目的は、分割溝の端部に形成された穴により母基板の不用意な割れを防止するとともに、母基板を短冊状の母基板に分割する際、分割溝の延長線に沿って良好に分割することができる多数個取り配線基板を提供することにある。   The present invention has been devised in view of the above-mentioned problems of the prior art, and its purpose is to prevent inadvertent cracking of the mother board by the holes formed at the ends of the dividing grooves and to make the mother board a strip. It is an object of the present invention to provide a multi-piece wiring substrate that can be favorably divided along an extended line of a dividing groove when dividing the substrate into a substrate.

本発明の多数個取り配線基板は、平板状の母基板に、該母基板を複数の領域に区分する分割溝が形成されているとともに、前記分割溝の端部に前記分割溝より幅が広くかつ前記分割溝より深さの深い穴が形成されており、前記穴の内周面に、前記分割溝の延長線と交わる部分の前記母基板が露出されるようにメタライズ層が被着されていることを特徴とするものである。   In the multi-cavity wiring board of the present invention, a dividing groove for dividing the mother board into a plurality of regions is formed on a flat mother board, and the width of the dividing groove is wider than that of the dividing groove. A hole deeper than the dividing groove is formed, and a metallized layer is deposited on the inner peripheral surface of the hole so that the mother substrate is exposed at a portion intersecting with the extension line of the dividing groove. It is characterized by being.

また、本発明の多数個取り配線基板は、好ましくは、前記メタライズ層が、前記分割溝の延長線の周囲領域において、前記穴と前記母基板の外辺との間に連続して形成されていることを特徴とするものである。   In the multi-piece wiring board of the present invention, it is preferable that the metallized layer is formed continuously between the hole and the outer side of the mother board in a region around the extension line of the dividing groove. It is characterized by being.

また、本発明の多数個取り配線基板は、好ましくは、前記穴と前記母基板の外辺との間の前記分割溝の延長線上に、前記分割溝よりも浅い第2の分割溝が形成されていることを特徴とするものである。   In the multi-piece wiring board of the present invention, it is preferable that a second division groove shallower than the division groove is formed on an extension line of the division groove between the hole and the outer side of the mother board. It is characterized by that.

本発明の多数個取り配線基板は、穴の内周面に、分割溝の延長線と交わる部分の母基板が露出されるようにメタライズ層が被着されていることにより、穴の内周面においてメタライズ層が被着形成された部分は補強され、メタライズ層が被着形成されずに母基板が露出されている部分はメタライズ層が被着形成された部分よりも機械的強度が低くなり、母基板の露出されている部分が分割する際の起点となり、また、この起点は分割溝の延長線に位置するので、母基板を分割溝の延長線に沿って良好に短冊状の母基板に分割することができ、短冊状の母基板の寸法や形状を良好なものとし、配線基板にバリや欠けが発生することを抑制することができる。   The multi-cavity wiring board according to the present invention has an inner peripheral surface of a hole formed by applying a metallized layer on the inner peripheral surface of the hole so that a portion of the mother substrate that intersects with the extension line of the dividing groove is exposed. The portion where the metallized layer is deposited is reinforced, and the portion where the mother substrate is exposed without the metallized layer being deposited is lower in mechanical strength than the portion where the metallized layer is deposited, The exposed part of the mother board becomes the starting point when dividing, and since this starting point is located at the extension line of the dividing groove, the mother board is well formed into a strip-like mother board along the extending line of the dividing groove. It can be divided, the size and shape of the strip-shaped mother board can be improved, and the occurrence of burrs and chips on the wiring board can be suppressed.

また、好ましくは、メタライズ層が、分割溝の延長線の周囲領域において、穴と母基板の外辺との間に連続して形成されていることにより、分割溝の延長線上の周囲領域がメタライズ層により補強されるので、穴の内周面の母基板が露出されている部分を起点として発生した亀裂がメタライズ層により補強されていない分割溝の延長線上に沿って進行しやすくなり、母基板を分割溝の延長線に沿ってより良好に短冊状の母基板に分割することができ、配線基板にバリや欠けが発生することをより抑制することができる。   Preferably, the metallization layer is continuously formed between the hole and the outer side of the mother substrate in the peripheral region of the extension line of the division groove, so that the peripheral region on the extension line of the division groove is metallized. Since it is reinforced by the layer, the crack generated from the exposed portion of the inner peripheral surface of the hole as a starting point is likely to progress along the extension line of the dividing groove that is not reinforced by the metallized layer. Can be more favorably divided into strip-shaped mother boards along the extended lines of the dividing grooves, and the occurrence of burrs and chips on the wiring board can be further suppressed.

また、好ましくは、穴と前記母基板の外辺との間の前記分割溝の延長線上に、前記分割溝よりも浅い第2の分割溝が形成されていることにより、第2の分割溝部はその周囲よりも機械的強度が相対的に弱いものとなるので、メタライズ層が被着されずに母基板が露出されている部分を起点として発生した亀裂を第2の分割溝に沿って進行させやすくすることができるとともに、第2の分割溝部は分割溝部よりも機械的強度が強いので母基板に搬送時や電子部品を搭載する際に外部から力が印加された際、第2の分割溝の底部から母基板に不用意に割れが発生することを抑制するので、母基板を分割溝の延長線に沿ってより良好に短冊状の母基板に分割することができ、配線基板にバリや欠けが発生することをより抑制することができる。   Preferably, the second divided groove portion is formed by forming a second divided groove shallower than the divided groove on the extended line of the divided groove between the hole and the outer side of the mother substrate. Since the mechanical strength is relatively weaker than that of the surrounding area, a crack generated starting from a portion where the mother substrate is exposed without the metallized layer being deposited is advanced along the second divided groove. The second divided groove portion has a mechanical strength stronger than that of the divided groove portion. Therefore, when a force is applied from the outside when transporting to the mother board or mounting an electronic component, the second divided groove portion. Since the generation of inadvertent cracks in the mother board from the bottom of the substrate is suppressed, the mother board can be better divided into strip-shaped mother boards along the extension lines of the dividing grooves. The occurrence of chipping can be further suppressed.

次に、本発明を添付の図面に基づき詳細に説明する。図1(a)は、本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の一例を示す平面図であり、図1(b)は、図1(a)のA部における要部拡大平面図であり、図2(a)は、図1(b)における多数個取り配線基板のB−B’線における断面図であり、図2(b)は、図1(b)における多数個取り配線基板のC−C’線における断面図である。である。これらの図において、101は母基板、102は分割溝、103は穴、104はメタライズ層、105は配線導体である。   Next, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1A is a plan view showing an example of an embodiment of a multi-cavity wiring board according to the present invention, and FIG. 1B is an enlarged plan view of a main part in part A of FIG. 2A is a cross-sectional view taken along line BB ′ of the multi-cavity wiring board in FIG. 1B, and FIG. 2B is a multi-cavity wiring board in FIG. 1B. It is sectional drawing in CC 'line. It is. In these figures, 101 is a mother board, 102 is a dividing groove, 103 is a hole, 104 is a metallized layer, and 105 is a wiring conductor.

本発明の多数個取り配線基板は、平板状の母基板101に、母基板101を複数の領域に区分する分割溝102が形成されているとともに、分割溝102の端部に分割溝102より幅が広くかつ分割溝102より深さの深い穴103が形成されており、穴103の内周面に、分割溝102の延長線と交わる部分に母基板101が露出されるようにメタライズ層104が被着形成されている。   In the multi-cavity wiring board of the present invention, a dividing groove 102 that divides the mother board 101 into a plurality of regions is formed in a flat mother board 101, and the width of the dividing groove 102 is larger than that of the dividing groove 102. The metallization layer 104 is formed so that the mother substrate 101 is exposed on the inner peripheral surface of the hole 103 at a portion where the extension line of the division groove 102 is crossed. It is deposited.

母基板101は、例えば酸化アルミニウム質焼結体やムライト質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体、炭化珪素質焼結体、窒化珪素質焼結体、ガラスセラミックス等の電気絶縁性のセラミック材料から成り、小型の配線基板を多数個同時集約的に製作するための母材として機能する。そして、各小型の配線基板の上面に半導体素子や抵抗、コンデンサ等の電子部品(図示せず)が搭載される。   The base substrate 101 is an electrically insulating ceramic material such as an aluminum oxide sintered body, a mullite sintered body, an aluminum nitride sintered body, a silicon carbide sintered body, a silicon nitride sintered body, or a glass ceramic. It functions as a base material for manufacturing a large number of small wiring boards simultaneously. Then, electronic components (not shown) such as semiconductor elements, resistors, and capacitors are mounted on the upper surface of each small wiring board.

なお、母基板101は、例えば酸化アルミニウム質焼結体から成る場合であれば、酸化アルミニウム、酸化珪素、酸化マグネシウム、酸化カルシウム等のセラミック原料粉末に適当な有機バインダーおよび溶剤、可塑剤、分散剤等を添加混合して得たセラミックスラリーを従来周知のドクターブレード法等のシート成形方法を採用してシート状に成形してセラミックグリーンシートを得、しかる後、セラミックグリーンシートに適当な打ち抜き加工を施すとともにこれを複数枚積層し、高温(約1500〜1800℃)で焼成することによって製作される。   If the mother substrate 101 is made of, for example, an aluminum oxide sintered body, an organic binder, solvent, plasticizer, and dispersing agent suitable for ceramic raw material powders such as aluminum oxide, silicon oxide, magnesium oxide, and calcium oxide. The ceramic slurry obtained by adding and mixing, etc. is formed into a sheet shape by using a conventionally known sheet forming method such as a doctor blade method, and then a ceramic green sheet is obtained. It is manufactured by laminating a plurality of sheets and baking them at a high temperature (about 1500 to 1800 ° C.).

また、母基板101は、その上面に母基板101を複数の領域に区分するごとく分割溝102が格子状に形成されており、分割溝102で区分された各領域の上面や下面には配線導体105が被着形成されている。   The mother board 101 has a plurality of divided grooves 102 formed in a lattice pattern on the upper surface of the mother board 101 so as to divide the mother board 101 into a plurality of regions. 105 is deposited.

配線導体105は、小型の配線基板に搭載される電子部品を外部電気回路基板に電気的に接続するための導電路として機能し、タングステンやモリブデン、銅、銀等の金属粉末メタライズから成り、母基板101用のセラミックグリーンシートにスクリーン印刷法等の印刷手段により配線導体105用のメタライズペーストを印刷塗布し、母基板101用のセラミックグリーンシートとともに焼成することによって各領域の上面や下面に被着形成される。メタライズペーストは、主成分の金属粉末に有機バインダー,有機溶剤,必要に応じて分散剤等を加えてボールミル、三本ロールミル、プラネタリーミキサー等の混練手段により混合および混練することで作製される。セラミックグリーンシートの焼結挙動に合わせたり、焼成後の母基板との接合強度を高めたりするためにガラスやセラミックスの粉末を添加しても良い。   The wiring conductor 105 functions as a conductive path for electrically connecting an electronic component mounted on a small wiring board to an external electric circuit board, and is made of metal powder metallization such as tungsten, molybdenum, copper, silver, and the like. The metallized paste for the wiring conductor 105 is printed on the ceramic green sheet for the substrate 101 by printing means such as a screen printing method, and is fired together with the ceramic green sheet for the mother substrate 101 to adhere to the upper and lower surfaces of each region. It is formed. The metallized paste is prepared by adding an organic binder, an organic solvent, and a dispersant as required to the main component metal powder, and mixing and kneading them by a kneading means such as a ball mill, a three-roll mill, or a planetary mixer. Glass or ceramic powder may be added to match the sintering behavior of the ceramic green sheet or to increase the bonding strength with the mother substrate after firing.

また、上面および下面に形成された配線導体105は、母基板101を貫通する貫通導体により電気的に接続されている。このような貫通導体は、配線導体105を形成するためのメタライズペーストの印刷塗布に先立って母基板101用のセラミックグリーンシートに金型やパンチングによる打ち抜き方法またはレーザ加工等の加工方法により貫通導体用の貫通孔を形成し、この貫通導体用の貫通孔に貫通導体用のメタライズペーストをスクリーン印刷法等の印刷手段により充填しておくとともにこれを母基板101用のセラミックグリーンシートとともに焼成することによって各領域に形成される。貫通導体用のメタライズペーストは配線導体105用のメタライズペーストと同様にして作製されるが、有機バインダーや有機溶剤の量により充填に適した粘度に調製される。   Further, the wiring conductors 105 formed on the upper surface and the lower surface are electrically connected by a through conductor penetrating the mother board 101. Such penetrating conductors are used for penetrating conductors by a punching method using a die or punching or a processing method such as laser processing on a ceramic green sheet for the mother substrate 101 prior to the printing and application of the metallized paste for forming the wiring conductor 105. The through hole for the through conductor is filled with the metallized paste for the through conductor by a printing means such as a screen printing method and fired together with the ceramic green sheet for the mother substrate 101. Formed in each region. The metallized paste for the through conductor is prepared in the same manner as the metallized paste for the wiring conductor 105, but is prepared to have a viscosity suitable for filling depending on the amount of the organic binder or organic solvent.

母基板101の上面に形成された分割溝102は、母基板101を所望する小型の配線基板の形状に対応した大きさの複数の領域に区分するとともに母基板101を撓折して多数個の小型配線基板となす際、その撓折を容易かつ正確とする作用を為し、その両端が母基板1の外周から離間するようにして形成されており、その母基板101の表面に現れる開口部分の幅は0.05〜1mm程度であり、その深さは0.05〜2mm程度である。なお、このような分割溝2は、断面がV字状の刃先を有するカッター刃や金型を母基板101用のセラミックグリーンシートに押し付けて切込みを入れておくことによって母基板101の上面に格子状に形成される。母基板101がセラミックグリーンシートを複数枚積層して作製される場合は、切込みはセラミックグリーンシートを複数枚積層した積層体を作製した後に入れられる。   Divided grooves 102 formed on the upper surface of the mother board 101 divide the mother board 101 into a plurality of regions having a size corresponding to the shape of a desired small wiring board, and bend the mother board 101 to obtain a plurality of pieces. When forming a small wiring board, the opening is formed so as to make the bending easy and accurate, and both ends thereof are separated from the outer periphery of the mother board 1, and appear on the surface of the mother board 101. The width is about 0.05 to 1 mm, and the depth is about 0.05 to 2 mm. Such dividing grooves 2 are formed on the upper surface of the mother board 101 by pressing a cutter blade or a die having a V-shaped cutting edge against a ceramic green sheet for the mother board 101 to make a cut. It is formed in a shape. When the mother substrate 101 is produced by laminating a plurality of ceramic green sheets, the cut is made after producing a laminated body in which a plurality of ceramic green sheets are laminated.

穴103は、分割溝102の端部に分割溝102より幅が広くかつ分割溝102より深さの深いものとして形成されている。穴103は、分割溝102の端部よりも広くかつ分割溝102より深く形成されているので、母基板101に搬送時や電子部品を搭載する際に外部からの応力が印加された際、応力を穴103にて良好に分散させることができ、分割溝102の端部を起点として不用意に割れが発生するのを抑制するためのものとして作用する。   The hole 103 is formed at the end of the dividing groove 102 as being wider than the dividing groove 102 and deeper than the dividing groove 102. Since the hole 103 is formed wider than the end of the dividing groove 102 and deeper than the dividing groove 102, stress is applied when external stress is applied to the mother board 101 during transportation or mounting of electronic components. Can be satisfactorily dispersed in the holes 103, and acts as a means for suppressing the occurrence of inadvertent cracks starting from the ends of the dividing grooves 102.

このような穴103は、母基板101用のセラミックグリーンシートのいくつかに穴103用の貫通孔を金型やパンチングによる打ち抜き方法またはレーザ加工等の加工方法により形成され、この穴103と連通するように分割溝102用の切込みを母基板101用のセラミックグリーンシートに入れておくことによって、分割溝102の端部に形成される。   Such holes 103 are formed in some of the ceramic green sheets for the mother substrate 101 by forming through holes for the holes 103 by a die or punching method by punching or laser processing or the like, and communicate with the holes 103. In this way, by forming a cut for the dividing groove 102 in the ceramic green sheet for the mother substrate 101, it is formed at the end of the dividing groove 102.

穴103は、母基板101を貫通したものであっても構わないし、母基板101を非貫通としたものであっても構わない。また、穴103は、円形状、四角形状や三角形状等の多角形状の形状に形成しておけば良く、上述以外の形状であっても構わない。穴103は、円形状であることが好ましく、母基板101に搬送時や電子部品を搭載する際に外部からの応力が印加された際、応力を穴で良好に分散させることができ、不用意に割れることを有効に抑制することができるようになる。また、穴103の形状が多角形状のような角部を有する形状の場合は、この角部と分割溝102とが交わると外部からの応力が印加された際に分割溝102の端部に応力が集中しやすくなるので、穴103の角部と分割溝102とが交わらないようにするのが好ましい。   The hole 103 may penetrate the mother substrate 101 or may not penetrate the mother substrate 101. Further, the hole 103 may be formed in a circular shape, a polygonal shape such as a square shape or a triangular shape, and may have a shape other than the above. The hole 103 is preferably circular, and when an external stress is applied to the mother board 101 during transportation or mounting of electronic components, the stress can be well dispersed in the hole, which is inadvertent It becomes possible to effectively suppress cracking. Further, in the case where the shape of the hole 103 is a polygonal shape such as a polygon, if the corner and the divided groove 102 intersect, a stress is applied to the end of the divided groove 102 when external stress is applied. Therefore, it is preferable that the corners of the holes 103 do not intersect with the dividing grooves 102.

そして、本発明においては、穴103の内周面の分割溝102の延長線と交わる部分に母基板101が露出されるようにメタライズ層104が被着形成されている。この構成により、穴103の内周面においてメタライズ層104が被着形成された部分は補強され、メタライズ層104が被着形成されずに母基板101が露出されている部分はメタライズ層104が被着形成された部分よりも機械的強度が低くなり、露出されている部分が分割する際の起点となり、また、この起点は分割溝102の延長線に位置するので、母基板101を分割溝の延長線に沿って良好に短冊状の母基板に分割することができ、短冊状の母基板の寸法や形状を良好なものとし、配線基板にバリや欠けが発生することを抑制することができる。   In the present invention, the metallized layer 104 is deposited so that the mother substrate 101 is exposed at the portion of the inner peripheral surface of the hole 103 that intersects with the extension line of the dividing groove 102. With this configuration, the portion where the metallized layer 104 is deposited on the inner peripheral surface of the hole 103 is reinforced, and the portion where the mother substrate 101 is exposed without the metallized layer 104 being deposited is covered with the metallized layer 104. The mechanical strength is lower than that of the formed part, and the exposed part becomes a starting point when dividing, and since this starting point is located at an extension line of the dividing groove 102, the mother substrate 101 is separated from the dividing groove. It can be divided into strip-shaped mother boards well along the extension line, the dimensions and shape of the strip-shaped mother board can be made good, and the occurrence of burrs and chips on the wiring board can be suppressed. .

このようなメタライズ層104は、タングステンやモリブデン、銅、銀等の金属粉末メタライズから成り、スクリーン印刷法等の印刷手段を用いて、母基板101用のセラミックグリーンシートの穴103の内周面にメタライズ層104用のメタライズペーストを印刷塗布することによって穴103の内周面に形成することができる。そして、穴103の内周面にメタライズ層104用のメタライズペーストを印刷塗布する際、スクリーン印刷用マスク等の開口部を分割溝102の延長線と交わらない部分のみに形成しておき、穴103の内周面に部分的に印刷したり、穴103の内周面の延長線と交わる部分に粘着テープ等を貼付してマスキングすることによりメタライズ層104用のメタライズペーストが穴103の内周面に部分的に印刷塗布されないようにしたりすることで、分割溝102の延長線と交わる部分の母基板101が露出されるように穴103の内周面にメタライズ層104を被着形成することができる。メタライズペーストの塗布は、セラミックグリーンシートの積層を行う前にセラミックグリーンシート1枚1枚に行なってもよいし、セラミックグリーンシートの積層を行った後にまとめて行なってもよい。なお、穴103が母基板101を非貫通である場合、セラミックグリーンシートの積層をし、非貫通とした後にメタライズペーストを印刷塗布すると、メタライズペーストが穴103の底部にまで塗布されやすく、穴の底面が補強されて焼成後の分割時に良好に分割しにくくなるので、セラミックグリーンシートを積層して非貫通とする前にメタライズペーストを塗布することが好ましい。なお、穴103が複数層にわたって形成されている場合は、セラミックグリーンシート1枚1枚にメタライズペーストを塗布した後に積層しても構わないし、穴103が形成されているセラミックグリーンシートのみを先に積層し、メタライズペーストを塗布した後に、他のセラミックグリーンシートと積層して非貫通としても構わない。   The metallized layer 104 is made of metal powder metallized such as tungsten, molybdenum, copper, or silver, and is formed on the inner peripheral surface of the hole 103 of the ceramic green sheet for the mother substrate 101 using a printing means such as a screen printing method. The metallized paste for the metallized layer 104 can be formed on the inner peripheral surface of the hole 103 by printing. Then, when the metallized paste for the metallized layer 104 is printed on the inner peripheral surface of the hole 103, an opening such as a screen printing mask is formed only in a portion that does not intersect with the extension line of the dividing groove 102. The metallized paste for the metallized layer 104 is masked by applying an adhesive tape or the like to the portion that intersects with the extended line of the inner peripheral surface of the hole 103 and masking. The metallized layer 104 may be deposited on the inner peripheral surface of the hole 103 so that the portion of the mother substrate 101 that intersects with the extension line of the dividing groove 102 is exposed. it can. The metallized paste may be applied to each ceramic green sheet before lamination of the ceramic green sheets, or may be collectively performed after lamination of the ceramic green sheets. If the hole 103 is not penetrating the mother substrate 101, the ceramic green sheets are laminated, and when the metallized paste is printed and applied after the non-penetrating, the metallized paste is easily applied to the bottom of the hole 103. Since the bottom surface is reinforced and it becomes difficult to divide well during division after firing, it is preferable to apply the metallized paste before laminating the ceramic green sheets to make them non-penetrating. In addition, when the hole 103 is formed in a plurality of layers, it may be laminated after applying the metallized paste to each ceramic green sheet, or only the ceramic green sheet in which the hole 103 is formed is first. After laminating and applying metallized paste, it may be laminated with other ceramic green sheets so as not to penetrate.

メタライズ層104用のメタライズペーストは配線導体105用のメタライズペーストと同様にして作製されるが、有機バインダーや有機溶剤の量により穴103の内周面への塗布に適した粘度に調製される。   The metallized paste for the metallized layer 104 is produced in the same manner as the metallized paste for the wiring conductor 105, but is prepared to have a viscosity suitable for application to the inner peripheral surface of the hole 103 depending on the amount of the organic binder or organic solvent.

なお、ここでいう分割溝102の延長線と交わる部分とは、分割溝102に沿って母基板1の外辺方向に延長させた線が穴103と交わる部分を示すものであり、母基板101が露出されている部分の幅は、分割溝102の開口部分の幅と同程度であり、できるだけ小さいものがよい。母基板101が露出されている部分の幅が大きすぎると、分割溝102の延長線以外の部分に母基板101が露出されている部分が形成されることから、この部分が分割の起点となり、特に穴103の内周面のメタライズ層104の際は起点となりやすいので、分割溝102の延長線に沿って良好に分割されなくなることがある。また、母基板101が露出されている部分の幅を小さくすると、分割する際に応力が集中しやすい部分を分割溝102の延長線上に形成することができるので、分割溝102の延長線に沿って良好に分割することができる。また、母基板101が露出されている部分の幅が小さすぎると、メタライズペーストの塗布により母基板101が露出されている部分を形成しにくくなるので、穴103の内周面に0.01〜1.0mm程度の幅に形成されることが好ましい。   Here, the portion intersecting with the extended line of the dividing groove 102 indicates a portion where a line extending in the outer edge direction of the mother board 1 along the dividing groove 102 intersects with the hole 103. The width of the exposed portion is about the same as the width of the opening portion of the dividing groove 102 and should be as small as possible. If the width of the portion where the mother substrate 101 is exposed is too large, a portion where the mother substrate 101 is exposed is formed in a portion other than the extension line of the dividing groove 102, and this portion becomes the starting point of the division, In particular, since the metallized layer 104 on the inner peripheral surface of the hole 103 tends to be a starting point, it may not be divided well along the extension line of the dividing groove 102. Further, if the width of the portion where the mother substrate 101 is exposed is reduced, a portion where stress is likely to concentrate when dividing is formed on the extension line of the division groove 102, and therefore, along the extension line of the division groove 102. Can be divided well. Further, if the width of the portion where the mother substrate 101 is exposed is too small, it becomes difficult to form the portion where the mother substrate 101 is exposed by application of the metallized paste. It is preferable to be formed in a width of about 1.0 mm.

また、図1(b)のB−B’線における断面図の一例である図3に示すように、穴103の深さ方向の全域において母基板101が露出されるようにしなくてもよい。すなわち、メタライズ層104は、分割溝102の形成された面(図3では上面)側の母基板101のみが露出されるように被着形成されていても母基板101を分割する際の穴103から母基板101の外辺にかけての分割の起点は分割溝102の延長線上となるので構わない。好ましくは、母基板101の厚み方向において垂直に分割されるように、穴103の深さ方向の全域において露出されるようにメタライズ層104を形成する。   Further, as shown in FIG. 3 which is an example of a cross-sectional view taken along line B-B ′ in FIG. 1B, the mother substrate 101 may not be exposed in the entire region in the depth direction of the hole 103. That is, even if the metallized layer 104 is formed so as to expose only the mother substrate 101 on the surface (the upper surface in FIG. 3) side where the dividing grooves 102 are formed, the hole 103 when dividing the mother substrate 101 is formed. The starting point of the division from the outer edge of the mother substrate 101 may be on the extended line of the dividing groove 102. Preferably, the metallized layer 104 is formed so as to be exposed in the entire depth direction of the hole 103 so as to be vertically divided in the thickness direction of the mother substrate 101.

また、メタライズ層104は、ガラスを含有しているものであっても構わない。メタライズ層104にガラスを含有させることにより、メタライズ層104の表面を平滑になりメタライズ層104の表面が分割の起点となりにくくなり、またメタライズの強度も向上してより補強の効果が高まるので、より母基板101が露出されている部分が起点となって分割されやすくなる。このようなメタライズ層104は、メタライズ層104用のメタライズペーストにシリカガラス、ほう珪酸ガラス等のガラス粉末を添加したものを用いることによって形成することができる。   Further, the metallized layer 104 may contain glass. By including glass in the metallized layer 104, the surface of the metallized layer 104 becomes smooth and the surface of the metallized layer 104 becomes less likely to be a starting point of division, and the strength of the metallization is also improved and the effect of reinforcement is further increased. The portion where the mother board 101 is exposed is likely to be a starting point and is easily divided. Such a metallized layer 104 can be formed by using a metallized paste for the metallized layer 104 to which glass powder such as silica glass or borosilicate glass is added.

また、図4に示すように、分割溝102により区分された領域の外周部の表面において、メタライズ層104は、穴103から母基板101の外辺にかけて分割溝102の延長線の周囲に延出して形成されていることが好ましい。この延出されたメタライズ層104’により、分割溝102の延長線上の周囲が補強されるので、穴103の内周面の母基板101が露出されている部分を起点として発生した亀裂がメタライズ層104’により補強されていない分割溝102の延長線上に沿って進行しやすくなり、母基板101を分割溝102の延長線に沿ってより良好に短冊状の母基板に分割することができ、配線基板にバリや欠けが発生することをより抑制することができる。   Further, as shown in FIG. 4, the metallized layer 104 extends around the extension line of the dividing groove 102 from the hole 103 to the outer side of the mother substrate 101 on the surface of the outer peripheral portion of the region divided by the dividing groove 102. It is preferable to be formed. Since the extended metallized layer 104 ′ reinforces the periphery on the extension line of the dividing groove 102, cracks generated from the portion of the inner peripheral surface of the hole 103 where the mother substrate 101 is exposed are the metallized layer. It becomes easy to proceed along the extension line of the dividing groove 102 that is not reinforced by 104 ′, and the mother board 101 can be better divided into strip-like mother boards along the extension line of the dividing groove 102. Generation of burrs and chips on the substrate can be further suppressed.

さらに、メタライズ層104’は、穴103から母基板101の外辺にかけてのみならず、穴103の周囲の母基板101の表面にも延出して形成されていても構わない。   Furthermore, the metallized layer 104 ′ may be formed not only from the hole 103 to the outer side of the mother substrate 101 but also to extend to the surface of the mother substrate 101 around the hole 103.

このようなメタライズ層104’は、メタライズ層104用のメタライズペーストを穴103の内周面に塗布するのと同時に塗布して形成しても良いし、穴103の内周面に塗布する前または塗布した後、配線導体105用のメタライズペーストを塗布するのと同時に塗布して形成しても良い。   Such a metallized layer 104 ′ may be formed by applying the metallized paste for the metallized layer 104 to the inner peripheral surface of the hole 103 at the same time, or before being applied to the inner peripheral surface of the hole 103 or After application, the metallized paste for the wiring conductor 105 may be applied at the same time as it is applied.

また、図5に示すように、穴103から母基板101の外辺にかけて分割溝102の延長線に沿って分割溝102よりも浅い第2の分割溝106が形成されていることが好ましい。この構成により、第2の分割溝部106は、その周囲よりも機械的強度が相対的に弱いものとなるので、メタライズ層104が被着されずに母基板101が露出されている部分を起点として発生した亀裂を第2の分割溝106に沿って進行させやすくすることができるとともに、第2の分割溝106部は分割溝104部よりも機械的強度が強いので母基板101に搬送時や電子部品を搭載する際に外部から力が印加された際、第2の分割溝106の底部から母基板101に不用意に割れが発生することを抑制するので、母基板101を分割溝の延長線に沿ってより良好に短冊状の母基板に分割することができ、配線基板にバリや欠けが発生することをより抑制することができる。   Further, as shown in FIG. 5, it is preferable that a second divided groove 106 shallower than the divided groove 102 is formed along the extension line of the divided groove 102 from the hole 103 to the outer side of the mother substrate 101. With this configuration, the second divided groove portion 106 has a mechanical strength relatively weaker than that of the periphery thereof. Therefore, the portion where the mother substrate 101 is exposed without the metallized layer 104 being deposited is used as a starting point. The generated crack can be easily advanced along the second dividing groove 106, and the second dividing groove 106 has higher mechanical strength than the dividing groove 104. When a force is applied from the outside when a component is mounted, the mother board 101 is prevented from inadvertently cracking from the bottom of the second dividing groove 106, so that the mother board 101 is extended from the dividing groove. It is possible to better divide the substrate into strip-shaped mother boards along the lines, and to further suppress the occurrence of burrs and chips on the wiring board.

このような第2の分割溝106は、分割溝102と同様に断面がV字状の刃先を有するカッター刃や金型を母基板101用のセラミックグリーンシートに押し付けて第2の分割溝106用の切込みを入れておくことによって母基板101の上面に穴103から母基板101の外辺にかけて形成される。   Similar to the divided groove 102, such a second divided groove 106 is used for the second divided groove 106 by pressing a cutter blade or a die having a V-shaped cutting edge against a ceramic green sheet for the base substrate 101. Is formed on the upper surface of the mother board 101 from the hole 103 to the outer side of the mother board 101.

なお、第2の分割溝106は、母基板101用のセラミックグリーンシートに分割溝102用の切込みと同時に第2の分割溝106用の切込みを入れることによって形成しても良いし、分割溝102用の切込みとは別に第2の分割溝106用の切込みを入れることによって形成されるものであっても構わない。分割溝102と第2の分割溝106との位置ズレを小さなものとするため、分割溝102用の切込みと第2の分割溝106用の切込みとは、母基板101用のセラミックグリーンシートに同時に入れることが好ましい。例えば、分割溝102用の切込み部と第2の分割溝106用の切込み部とにおいて高さの異なるカッター刃や金型を用いて母基板101用のセラミックグリーンシートに切込みを入れることにより、分割溝102用の切込みと第2の分割溝106用の切込みとを同時に入れることができる。   The second divided groove 106 may be formed by making a cut for the second divided groove 106 simultaneously with the cut for the divided groove 102 in the ceramic green sheet for the mother substrate 101, or the divided groove 102. It may be formed by making a notch for the second dividing groove 106 separately from the notch. In order to make the positional deviation between the dividing groove 102 and the second dividing groove 106 small, the notch for the dividing groove 102 and the notch for the second dividing groove 106 are simultaneously formed on the ceramic green sheet for the mother substrate 101. It is preferable to add. For example, by dividing the ceramic green sheet for the mother substrate 101 by using a cutter blade or a mold having different heights in the cut portion for the split groove 102 and the cut portion for the second split groove 106 A cut for the groove 102 and a cut for the second dividing groove 106 can be made simultaneously.

また、第2の分割溝106は、穴103から母基板101の外辺にかけて漸次浅くなるように形成していても構わない。これにより、母基板101の第2の分割溝106部の外辺近傍における機械的強度を保持しやすくなるので、母基板101に搬送時や電子部品を搭載する際に母基板101が不用意に割れることを抑制しやすくなる。   The second dividing groove 106 may be formed so as to become gradually shallower from the hole 103 to the outer side of the mother substrate 101. This makes it easier to maintain the mechanical strength in the vicinity of the outer edge of the second division groove 106 portion of the mother board 101, so that the mother board 101 is inadvertently used when transporting or mounting electronic components on the mother board 101. It becomes easy to suppress cracking.

また、第2の分割溝106の開口部分の幅は、母基板101の第2の分割溝106部の外辺近傍における機械的強度を保持しやすくするため、第2の分割溝106の開口部分の幅は、分割溝102の開口部分の幅よりも狭くしていることが好ましい。   Further, the width of the opening portion of the second dividing groove 106 is set so that the mechanical strength in the vicinity of the outer side of the second dividing groove 106 portion of the mother substrate 101 can be easily maintained. Is preferably narrower than the width of the opening of the dividing groove 102.

なお、多数個取り配線基板の表面に露出した配線導体105の表面には、配線導体105の腐食防止、電子部品と配線導体105との接続、個片化された電子部品収納用パッケージと外部回路基板との接合を強固なものとするために、NiやAu等のめっきを施しておくことが好ましい。   In addition, on the surface of the wiring conductor 105 exposed on the surface of the multi-piece wiring board, corrosion prevention of the wiring conductor 105, connection between the electronic component and the wiring conductor 105, separated electronic component storage package and external circuit are provided. In order to strengthen the bonding with the substrate, it is preferable to perform plating such as Ni or Au.

本発明の電子部品収納用パッケージは、上述の多数個取り配線基板を分割溝102に沿って分割することにより個片化されたものである。この構成により、外縁にバリや欠け等の発生のない良好な電子部品収納用パッケージとすることができる。   The electronic component storage package according to the present invention is obtained by dividing the above-described multi-cavity wiring board along the dividing grooves 102 into individual pieces. With this configuration, it is possible to obtain a good electronic component storage package in which no burr or chipping occurs on the outer edge.

本発明の電子装置は、上述の電子部品収納用パッケージと、電子部品収納用パッケージに搭載された電子部品とを備えている。この構成により、電子部品が良好に収容された電子装置とすることができる。   An electronic device according to the present invention includes the electronic component storage package described above and an electronic component mounted on the electronic component storage package. With this configuration, an electronic device in which electronic components are well accommodated can be obtained.

電子部品は、ICチップやLSIチップ等の半導体素子、水晶振動子や圧電振動子等の圧電素子、各種センサ等であり、多数個取り配線基板を分割溝に沿って分割した電子部品収納用パッケージに搭載してもよいし、多数個取り配線基板に複数の電子部品を搭載した後に分割しても構わない。   Electronic components include semiconductor elements such as IC chips and LSI chips, piezoelectric elements such as crystal vibrators and piezoelectric vibrators, various sensors, etc., and an electronic component storage package in which a multi-piece wiring board is divided along a dividing groove. It may be mounted on a plurality of electronic components mounted on a multi-piece wiring board.

電子部品の搭載は、電子部品がフリップチップ型の半導体素子である場合には、はんだバンプや金バンプ、または導電性樹脂(異方性導電樹脂等)を介して、半導体素子の電極と配線導体105とを電気的に接続することにより行なわれ、また、電子部品がワイヤボンディング型の半導体素子である場合には、ガラス、樹脂、ろう材等の接合材により固定した後、ボンディングワイヤを介して半導体素子の電極と配線導体109とを電気的に接続することにより行なわれる。また、電子部品が水晶振動子等の圧電素子である場合には、導電性樹脂により圧電素子の固定と圧電素子の電極と配線導体105との電気的な接続を行なう。   When the electronic component is a flip-chip type semiconductor element, the electrode of the semiconductor element and the wiring conductor are connected via a solder bump, a gold bump, or a conductive resin (anisotropic conductive resin, etc.). 105, and when the electronic component is a wire bonding type semiconductor element, it is fixed with a bonding material such as glass, resin, brazing material, etc. This is performed by electrically connecting the electrode of the semiconductor element and the wiring conductor 109. When the electronic component is a piezoelectric element such as a crystal resonator, the piezoelectric element is fixed and the electrode of the piezoelectric element and the wiring conductor 105 are electrically connected by a conductive resin.

そして、電子部品は、必要に応じて封止される。封止はエポキシ樹脂等の封止樹脂により電子部品を覆うことにより行なったり、電子部品を覆うようにして載置した樹脂や金属、セラミックス等からなる蓋体をガラス、樹脂、ロウ材等の接着剤により電子部品収納用パッケージに取着することにより行なったりすればよい。   And an electronic component is sealed as needed. Sealing is performed by covering the electronic component with a sealing resin such as epoxy resin, or a lid made of resin, metal, ceramics, etc. placed so as to cover the electronic component is bonded to glass, resin, brazing material, etc. What is necessary is just to carry out by attaching to an electronic component storage package with an agent.

本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能である。例えば、図1において、分割溝102は、母基板101の上面に形成しているが、分割溝102は、母基板101の下面に形成しても良いし、母基板101の上面および下面の両方に形成しても構わない。分割溝102が母基板101の上面および下面の両方に形成されている場合、上面および下面に形成された分割溝102の両方の端部にそれぞれ上記と同様の方法で同様の穴103を形成すれば良い。また、この場合も同様にこれらの穴103の内周面および穴103から母基板101の外辺にかけて分割溝102の延長線の周囲に延出してメタライズ層104を被着形成すれば良い。   The present invention can be variously modified within a range not departing from the gist of the present invention. For example, in FIG. 1, the dividing groove 102 is formed on the upper surface of the mother substrate 101, but the dividing groove 102 may be formed on the lower surface of the mother substrate 101, or both the upper and lower surfaces of the mother substrate 101. You may form in. When the dividing grooves 102 are formed on both the upper surface and the lower surface of the mother substrate 101, the same holes 103 are formed in both ends of the dividing grooves 102 formed on the upper surface and the lower surface by the same method as described above. It ’s fine. In this case as well, the metallized layer 104 may be deposited by extending from the inner peripheral surface of the hole 103 and the outer periphery of the mother substrate 101 to the periphery of the extension line of the dividing groove 102.

また、母基板101は平板状の例で説明したが、分割溝102により区分された各領域の上面または下面の少なくとも一方の面に電子部品を収容するための凹部が形成されているものであっても構わない。   Although the mother board 101 has been described as an example of a flat plate shape, a recess for accommodating electronic components is formed on at least one of the upper surface and the lower surface of each region divided by the dividing grooves 102. It doesn't matter.

(a)は、本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の一例を示す平面図であり、(b)は、(a)のA部における要部拡大平面図である。(A) is a top view which shows an example of embodiment of the multi-piece wiring board of this invention, (b) is a principal part enlarged plan view in the A section of (a). (a)は、図1(b)における多数個取り配線基板のB−B’線における断面図であり、(b)は、図1(b)おける多数個取り配線基板のC−C’線における断面図である。(A) is sectional drawing in the BB 'line of the multi-cavity wiring board in FIG.1 (b), (b) is CC' line of the multi-cavity wiring board in FIG.1 (b). FIG. 本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の一例を示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows an example of embodiment of the multi-piece wiring board of this invention. (a)は、本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の一例を示す平面図であり、(b)は、(a)のD部における要部拡大平面図である。(A) is a top view which shows an example of embodiment of the multi-piece wiring board of this invention, (b) is a principal part enlarged plan view in the D section of (a). (a)は、本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の一例を示す要部拡大図であり、(b)は、(a)のE−E’線における断面図である。(A) is a principal part enlarged view which shows an example of embodiment of the multi-piece wiring board of this invention, (b) is sectional drawing in the E-E 'line of (a).

符号の説明Explanation of symbols

101・・・母基板
102・・・分割溝
103・・・穴
104・・・メタライズ層
105・・・配線導体
106・・・第2の分割溝
101 ... Mother substrate 102 ... Divided groove 103 ... Hole 104 ... Metallized layer 105 ... Wiring conductor 106 ... Second divided groove

Claims (3)

平板状の母基板に、該母基板を複数の領域に区分する分割溝が形成されているとともに、前記分割溝の端部に前記分割溝より幅が広くかつ前記分割溝より深さの深い穴が形成されており、前記穴の内周面に、前記分割溝の延長線と交わる部分の前記母基板が露出されるようにメタライズ層が被着されていることを特徴とする多数個取り配線基板。 A flat groove is formed with a dividing groove for dividing the mother substrate into a plurality of regions, and a hole having a width wider than the dividing groove and deeper than the dividing groove is formed at an end of the dividing groove. And a metallized layer is deposited on the inner peripheral surface of the hole so that the portion of the mother substrate that intersects with the extension line of the dividing groove is exposed. substrate. 前記メタライズ層が、前記分割溝の延長線の周囲領域において、前記穴と前記母基板の外辺との間に連続して形成されていることを特徴とする請求項1記載の多数個取り配線基板。 2. The multi-piece wiring according to claim 1, wherein the metallized layer is continuously formed between the hole and the outer side of the mother substrate in a peripheral region of the extension line of the dividing groove. substrate. 前記穴と前記母基板の外辺との間の前記分割溝の延長線上に、前記分割溝よりも浅い第2の分割溝が形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の多数個取り配線基板 3. The second division groove shallower than the division groove is formed on an extension line of the division groove between the hole and the outer side of the mother substrate. Multiple printed wiring board as described .
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