JP5695595B2 - X線測定装置 - Google Patents
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Description
(ア)X線検出手段によって求められた測定値を適宜のアプリケーションソフトウエアによってソフト的に補正することや、
(イ)X線測定装置の入射側の光学系を構成するX線源及び/又はX線光学要素の位置を調整して試料に照射されるX線を調整することや、
(ウ)X線測定装置の受光側の光学系を構成するX線検出手段及び/又はX線光学要素の位置を調整してX線検出手段のX線取込部に対するX線の状態を調整すること、
等が考えられる。
(ア)当該振動量検知センサと前記測定対象物との間の距離の変動量、
(イ)当該振動量検知センサと前記測定対象物とを結ぶ線に対して直交する面内での変動量、及び
(ウ)当該振動量検知センサの前記測定対象物に対する傾きの変動量
の少なくとも1つとすることができる。
距離センサは、例えば、レーザ光の発光から受光までの時間に基づいて距離を計測するセンサを用いることができる。角速度センサは、例えばジャイロセンサを用いることができる。
図1は、本発明に係るX線測定装置の一実施形態を示している。このX線測定装置1は、本実施形態では、測定対象物2に欠陥があるか否かをX線を用いて非破壊で検査するものである。また、本実施形態のX線測定装置は、いわゆるハンドヘルドタイプのX線測定装置である。なお、本発明がハンドヘルドタイプ以外の可搬型のX線測定装置に適用できることは明らかである。
(1)X線管7を位置調整のためにX線照射点Bを中心として矢印Cで示すように回転揺動させることができる。これにより、これにより、X線管7から出射するX線の向きを変えることができる。
(2)X線管7をハウジング3に対して横方向(Xs)、前後方向(Ys)及び高さ方向(Zs)のそれぞれの方向へ位置調整のために平行移動させることができる。
(1)X線検出器8を位置調整のためにX線照射点Bを中心として矢印Dで示すように回転揺動させることができる。
(2)X線検出器8を位置調整のためにX線照射点Bに近づき又は遠ざかる方向(矢印E方向)へ平行移動させることができる。
(3)X線検出器8を位置調整のために、測定対象物2から出るX線R2の中心線に対して直角方向(図のG方向及びそれに直角の方向)へ平行移動させることができる。
上記の第1の実施形態では、振動量検知センサ12を、距離センサと、速度センサと、加速度センサと、ジャイロセンサとの各センサによって構成した。また、X線管7を位置調整のために、回転揺動可能(図1のC方向)及び平行移動可能(Xs,Ys,Zs)に設けた。さらに、2次元X線検出器8を位置調整のために、回転揺動可能(図1のD方向)、測定対象物2に対して平行移動可能(図1のE方向)、及びX線R2の中心線に対して直角方向(図1のG方向及びそれに直角の方向)へ平行移動可能に設けた。
上記第2の実施形態では、X線管7をハウジング3に固定し、2次元X線検出器8をハウジング3に固定した上で、2次元X線検出器8によって得られた測定データをアプリケーションソフトによって実現される機能に従って演算によって数値的に補償するようにした。このような構成とは別に、X線管7をアクチュエータ10Aによって位置調整できるようにし、2次元X線検出器8をアクチュエータ10Bによって位置調整できるようにした上で、2次元X線検出器8によって得られた測定データをアプリケーションソフトによって実現される機能に従って演算によって数値的に補償するように構成することもできる。
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
Claims (13)
- 測定対象物に入射するX線を発生するX線源と、
前記測定対象物から出たX線を検出するX線検出手段と、
前記X線源及び前記X線検出手段を収容したハウジングと、
を有するX線測定装置において、
前記ハウジングの振動量を検知する振動量検知センサと、
前記X線源の位置を調節する第1のアクチュエータと、
前記X線検出手段の位置を調節する第2のアクチュエータと、
前記振動量検知センサの出力信号に基づいて前記第1のアクチュエータ及び前記第2のアクチュエータの動作を制御する制御手段と、を有しており、
前記制御手段は、
サンプリング時間ごとに前記X線検出手段によってX線強度を求め、
各サンプリング時間のX線強度を積算した値を測定値とし、
サンプリング時間ごとに前記振動量検知センサによって振動量を検知し、その振動量に基づいて前記ハウジングの前記測定対象物に対する位置の変動量を求め、
その変動量に基づいてその変動量を補償するための前記X線源及び前記X線検出手段に関する測定条件値を求め、
その測定条件値に基づいて前記第1のアクチュエータによって前記X線源の位置を制御し、
前記測定条件値に基づいて前記第2のアクチュエータによって前記X線検出手段の位置を制御し、
前記測定条件値が前記第1のアクチュエータによる補償可能値を越えたか、又は前記測定条件値が前記第2のアクチュエータによる補償可能値を越えたとき、対応するサンプリング時間において求めたX線強度を前記の積算に含めない
ことを特徴とするX線測定装置。 - 前記振動量検知センサが検知した振動量に基づいて求められる変動量は、
(1)当該振動量検知センサと前記測定対象物との間の距離の変動量、
(2)当該振動量検知センサと前記測定対象物とを結ぶ線に対して直交する面内での変動量、及び
(3)当該振動量検知センサの前記測定対象物に対する傾きの変動量
の少なくとも1つであることを特徴とする請求項1記載のX線測定装置。 - 前記振動量検知センサは、
距離の変動を検知する距離センサ、
速度の変動を検知する速度センサ、
加速度の変動を検知する加速度センサ、及び
角速度の変動を検知する角速度センサ
のいずれか1つ又はそれらの2つ以上の組み合せであることを特徴とする請求項1又は請求項2記載のX線測定装置。 - 前記振動量検知センサは、前記ハウジングに固定されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1つに記載のX線測定装置。
- 前記X線検出手段の位置を制御することは、
前記X線検出手段と前記測定対象物との間の距離を変動させることである
ことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1つに記載のX線測定装置。 - 前記X線検出手段の位置を制御することは、
前記測定対象物から出るX線の中心線に対して直角方向へ当該X線検出手段を移動させることである
ことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1つに記載のX線測定装置。 - 前記X線検出手段の位置を制御することは、
当該X線検出手段の前記測定対象物に対する傾斜角度を変動させることである
ことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1つに記載のX線測定装置。 - 前記X線検出手段の位置を制御することは、
前記X線検出手段と前記測定対象物との間の距離を変動させることと、
前記測定対象物から出るX線の中心線に対して直角方向へ当該X線検出手段を移動させることと、
当該X線検出手段の前記測定対象物に対する傾斜角度を変動させることと
のいずれか2つの組合わせ又は3つの組合わせであることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1つに記載のX線測定装置。 - 前記X線源の位置を制御することは、
前記X線源から出て前記測定対象物へ入射するX線を当該測定対象物の一定位置に入射させるための制御である
ことを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1つに記載のX線測定装置。 - 前記X線源の位置を制御することは、
前記X線源の前記測定対象物に対する向きを制御することである
ことを特徴とする請求項9記載のX線測定装置。 - 前記X線源の位置を制御することは、
入射光学系を構成する複数のX線光学要素の少なくとも1つの位置を制御することにより、前記X線源から出たX線の進行方向を制御することである
ことを特徴とする請求項9記載のX線測定装置。 - 前記X線検出手段は、
1次元X線検出器、2次元X線検出器、ピクセル検出器のいずれかである
ことを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか1つに記載のX線測定装置。 - 前記ハウジングは人が手で持ち運ぶことができ、人がハウジングを手で持ってハウジングのX線出射用開口を測定対象物に対面させた状態で測定が行われることを特徴とする請求項1から請求項12のいずれか1つに記載のX線測定装置。
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