JP5695503B2 - 板金製のステージ装置 - Google Patents
板金製のステージ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5695503B2 JP5695503B2 JP2011124138A JP2011124138A JP5695503B2 JP 5695503 B2 JP5695503 B2 JP 5695503B2 JP 2011124138 A JP2011124138 A JP 2011124138A JP 2011124138 A JP2011124138 A JP 2011124138A JP 5695503 B2 JP5695503 B2 JP 5695503B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- plate
- stage
- axis stage
- edge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims description 41
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 37
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 17
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 4
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 2
- 229930182556 Polyacetal Natural products 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
Images
Description
ベース板、好ましくは板金製のベース板と、
予め定めたX軸方向にスライド可能な状態で前記ベース板に搭載されている板金製のX軸ステージ板とを有し、
前記X軸ステージ板は、
矩形輪郭のX軸ステージ本体板部分と、
このX軸ステージ本体板部分の周囲四辺にそれぞれ一体形成されている一定幅の第1〜第4X軸ステージ縁板部分と、
前記X軸ステージ本体板部分と前記第1〜第4X軸ステージ縁板部分のそれぞれとの間に形成されている直線状の第1〜第4X軸ステージ段差部分とを備え、
前記第1〜第4X軸ステージ段差部分のそれぞれは、前記第1〜第4X軸ステージ縁板部分のそれぞれにおいて、前記X軸ステージ本体板部分に繋がっている板部分を前記X軸ステージ本体板部分の裏面側に直角に折り曲げた後に再び表面側に直角に折り曲げることによって形成された塑性加工部分であり、
前記第1、第2X軸ステージ縁板部分は前記X軸方向に平行に延び、前記第3、第4X軸ステージ縁板部分は前記X軸方向に直交するY軸方向に平行に延びており、
前記X軸ステージ板は、その裏面が前記ベース板に向く状態あるいはその表面が前記ベース板に向く状態に配置されていることを特徴としている。
図1は実施の形態1に係るXYステージ装置のステージ部分を示す斜視図であり、図2はその分解斜視図である。これらの図において駆動機構は図示を省略してある。XYステージ装置1は板金製の矩形のベース板2と、この上に搭載されている板金製の矩形輪郭のX軸ステージ板3と、この上に搭載されている板金製の矩形輪郭のY軸ステージ板4を備えている。
図5(a)〜(f)は、X軸ステージ板3、Y軸ステージ板4として用いることのできるステージ板の別の例を示す斜視図、正面図、平面図、側面図、円Aで囲まれている部分を示す部分拡大平面図および円Bで囲まれている部分を示す部分拡大平面図である。これらの図に示すステージ板3Aの基本構成はX軸ステージ板3と同様であるので、対応する部位には同一の符号を付し、それらの説明を省略する。
図7(a)〜(d)は本発明を適用した実施の形態2に係るXYステージ装置を示す斜視図、平面図、正面図および各ステージ板がスライドした状態を示す説明図である。これらの図に示すXYステージ装置1Bの基本構成は実施の形態1のXYステージ装置1と同様であり、板金製の矩形のベース板2Bと、この上に搭載されている板金製の矩形輪郭のX軸ステージ板3Bと、この上に搭載されている板金製の矩形輪郭のY軸ステージ板4Bを備えている。ベース板2Bの表面におけるX軸方向に延びる左右の縁辺部分には、第1、第2X軸スライドガイド5B、6Bが取り付けられており、X軸ステージ板3Bは第1、第2X軸スライドガイド5B、6BによってガイドされてX軸方向にスライドする。同様に、X軸ステージ板3Bの表面におけるY軸方向に延びる前後の縁辺部分には、第1、第2Y軸スライドガイド8B、9Bが取り付けられており、Y軸ステージ板4Bは第1、第2Y軸スライドガイド8B、9BによってガイドされてY軸方向にスライドする。
図8(a)〜(d)は本発明を適用した実施の形態3に係る送り機構付きX軸ステージ装置を示す斜視図、平面図、正面図および側面図である。X軸ステージ装置1Cは板金製の矩形のベース板2Cと、この上に搭載されている板金製の矩形輪郭のX軸ステージ板3Cと、X軸ステージ板3Cの送り機構100Cとを備えている。
図9は、図8のX軸ステージ装置1Cを用いて構成された送り機構付きXYステージ装置を示す斜視図である。本例のXYステージ装置1Dは、板金製の矩形のベース板2Dと、この上に搭載されている板金製の矩形輪郭のX軸ステージ板3Dと、Y軸ステージ板4Dと、X軸ステージ板3Dの送り機構100DおよびY軸ステージ板4Dの送り機構110Dとを備えている。ベース板2D、X軸ステージ板3Dおよび送り機構100Dからなる部分は、図8のX軸ステージ装置1Cと同一である。
図10は、送り機構付きXYステージ装置の別の例を示す斜視図である。本例のXYステージ装置1Eは、板金製の矩形のベース板2Eと、この上に搭載されている板金製の矩形輪郭のX軸ステージ板3Eと、この上に搭載されている板金製のY軸ステージ板4Eと、X軸ステージ板3Eの送り機構100EおよびY軸ステージ板4Eの送り機構110Eとを備えている。
上記の送り機構100E、110Eにおいては、圧縮コイルバネを配置して送り時の送りネジ102E、112Eのガタ付きを無くすようにしている。この代わりに、バネ特性のある薄板状のワッシャを用いたガタ付き防止構造を採用することができる。
1C X軸ステージ装置
2、2B、2C、2D、2E ベース板
3、3B、3C、3D、3E X軸ステージ板
4、4B、4D、4E Y軸ステージ板
5、5B、5E 第1X軸スライドガイド
6、6B、6E 第2X軸スライドガイド
7 固定ネジ
8、8B、8E 第1Y軸スライドガイド
9、9B、9E 第2Y軸スライドガイド
10 固定ネジ
11、12 第1X軸ステージ板バネ部分
11a、12a 円形状頭部
13、14 第2X軸ステージ板バネ部分
13a、14a 円形状頭部
15B Y軸ガイド
16B Y軸ガイド溝
21、22 縁端部
23〜26 取付用フランジ
27 矩形開口
28C 支持板部分
30、30C X軸ステージ本体板部分
30a 表面
30b 裏面
31〜34、31C〜34C 第1〜第4X軸ステージ縁板部分
35〜38、34C〜38C 第1〜第4X軸ステージ段差部分
39 矩形開口
39C 立ち上げ板部分
40 Y軸ステージ本体板部分
40a 表面
40b 裏面
41〜44 第1〜第4Y軸ステージ縁板部分
45〜48 第1〜第4Y軸ステージ段差部分
49 矩形開口
50 レール板積層体
51 レール上板
52 レール中板
53 レール下板
54、64 X軸スライドガイド溝
55 位置決めピン
84、94 Y軸スライドガイド溝
100C、100D、110D、100E、110E、100F 送り機構
101C、101E、111E、101F ローレットノブ
102C、102E、112E、102F 送りネジ
102a ネジ側面
103C 止め輪
104C コイルスプリング
103F 支持板
107F 保持板
108F ワッシャ
108a 歯
109F 押さえ板
Claims (12)
- ベース板と、
予め定めたX軸方向にスライド可能な状態で前記ベース板に搭載されている板金製のX軸ステージ板とを有し、
前記X軸ステージ板は、
矩形輪郭のX軸ステージ本体板部分と、
このX軸ステージ本体板部分の周囲四辺にそれぞれ一体形成されている一定幅の第1〜第4X軸ステージ縁板部分と、
前記X軸ステージ本体板部分と前記第1〜第4X軸ステージ縁板部分のそれぞれとの間に形成されている直線状の第1〜第4X軸ステージ段差部分とを備え、
前記第1〜第4X軸ステージ段差部分のそれぞれは、前記第1〜第4X軸ステージ縁板部分のそれぞれにおいて、前記X軸ステージ本体板部分に繋がっている板部分を前記X軸ステージ本体板部分の裏面側に直角に折り曲げた後に再び表面側に直角に折り曲げることによって形成された塑性加工部分であり、
前記第1、第2X軸ステージ縁板部分は前記X軸方向に平行に延び、前記第3、第4X軸ステージ縁板部分は前記X軸方向に直交するY軸方向に平行に延びており、
前記X軸ステージ板は、その裏面が前記ベース板に向く状態あるいはその表面が前記ベース板に向く状態に配置されていることを特徴とするステージ装置。 - 請求項1において、
前記ベース板には、前記X軸方向に平行に延びている一対の第1、第2X軸スライドガイド溝が形成されており、
前記第1、第2X軸スライドガイド溝には、それぞれ、前記第1、第2X軸ステージ縁板部分がスライド可能な状態で挿入されていることを特徴とするステージ装置。 - 請求項2において、
前記第1X軸ステージ縁板部分における縁端面には第1X軸板バネ部分が一体形成されており、
前記第2X軸ステージ縁板部分における縁端面には第2X軸板バネ部分が一体形成されており、
前記第1X軸板バネ部分は、前記第1X軸ステージ縁板部分の縁端面から前記Y軸方向に突出して前記第1X軸スライドガイド溝の溝内周面に対して前記Y軸方向に弾性変位可能な状態で押し付けられており、
前記第2X軸板バネ部分は、前記第2X軸ステージ縁板部分の縁端面から前記Y軸方向に突出して前記第2X軸スライドガイド溝の溝内周面に対して前記Y軸方向に弾性変位可能な状態で押し付けられていることを特徴とするステージ装置。 - 請求項3において、
前記第1X軸板バネ部分および前記第2X軸板バネ部分のバネ係数が異なることを特徴とするステージ装置。 - 請求項1ないし4のうちのいずれかの項において、
前記ベース板および前記X軸ステージ板には、それらの中央部分がくり抜かれて開口部となっていることを特徴とするステージ装置。 - 請求項1ないし5のうちのいずれかの項において、
前記ベース板に対して前記X軸ステージ板を前記X軸方向にスライドさせるための送り機構を有しており、
前記送り機構は、前記ベース板の側に配置した送りネジと、前記X軸ステージ板の側に配置したナット部分と、前記送りネジおよび前記ナット部分の間における前記送りネジの進行方向のガタ付きを防止するためのバネ特性のある薄板からなるワッシャとを備えていることを特徴とするステージ装置。 - 請求項1ないし6のうちのいずれかの項において、
前記Y軸方向にスライド可能な状態で前記X軸ステージ板に搭載されている金属製のY軸ステージ板を有し、
前記Y軸ステージ板は、
矩形輪郭のY軸ステージ本体板部分と、
このY軸ステージ本体板部分の周囲四辺にそれぞれ一体形成されている一定幅の第1〜第4Y軸ステージ縁板部分と、
前記Y軸ステージ本体板部分と前記第1〜第4Y軸ステージ縁板部分のそれぞれとの間に形成されている直線状の第1〜第4Y軸ステージ段差部分とを備え、
前記第1〜第4Y軸ステージ段差部分のそれぞれは、前記第1〜第4Y軸ステージ縁板部分のそれぞれにおいて、前記Y軸ステージ本体板部分に繋がっている板部分を前記Y軸ステージ本体板部分の裏面側に直角に折り曲げた後に再び表面側に直角に折り曲げることによって形成された塑性加工部分であり、
前記第3、第4Y軸ステージ縁板部分は前記Y軸方向に平行に延び、前記第1、第2Y軸ステージ縁板部分は前記X軸方向に平行に延びており、
前記Y軸ステージ板は、その裏面が前記X軸ステージ板に向く状態あるいはその表面が前記X軸ステージ板に向く状態に配置されていることを特徴とするステージ装置。 - 請求項7において、
前記X軸ステージ板には、前記Y軸方向に平行に延びる一対の第1、第2Y軸スライドガイド溝が形成されており、
前記第1、第2Y軸スライドガイド溝には、それぞれ、前記第3、第4Y軸ステージ縁板部分がスライド可能な状態で挿入されていることを特徴とするステージ装置。 - 請求項8において、
前記第3Y軸ステージ縁板部分における縁端面には第1Y軸板バネ部分が一体形成されており、
前記第4Y軸ステージ縁板部分における縁端面には第2Y軸板バネ部分が一体形成されており、
前記第1Y軸板バネ部分は、前記第3Y軸ステージ縁板部分の縁端面から前記X軸方向に突出して前記第1Y軸スライドガイド溝の溝内周面に対して前記X軸方向に弾性変位可能な状態で押し付けられており、
前記第2Y軸板バネ部分は、前記第4Y軸ステージ縁板部分の縁端面から前記X軸方向に突出して前記第2Y軸スライドガイド溝の溝内周面に対して前記X軸方向に弾性変位可能な状態で押し付けられていることを特徴とするステージ装置。 - 請求項9において、
前記第1Y軸板バネ部分および前記第2Y軸板バネ部分のバネ係数が異なることを特徴とするステージ装置。 - 請求項7ないし10のうちのいずれかの項において、
前記Y軸ステージ板には、その中央部分がくり抜かれて開口部となっていることを特徴とするステージ装置。 - 請求項7ないし11のうちのいずれかの項において、
前記X軸ステージ板に対して前記Y軸ステージ板を前記Y軸方向にスライドさせるためのY軸送り機構を有しており、
前記Y軸送り機構は、前記X軸ステージ板の側に配置したY軸送りネジと、前記Y軸ステージ板の側に配置したY軸ナット部分と、前記Y軸送りネジおよび前記Y軸ナット部分の間における前記Y軸送りネジの進行方向のガタ付きを防止するためのバネ特性のある薄板からなるY軸ワッシャとを備えていることを特徴とするステージ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011124138A JP5695503B2 (ja) | 2011-06-02 | 2011-06-02 | 板金製のステージ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011124138A JP5695503B2 (ja) | 2011-06-02 | 2011-06-02 | 板金製のステージ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012251854A JP2012251854A (ja) | 2012-12-20 |
JP5695503B2 true JP5695503B2 (ja) | 2015-04-08 |
Family
ID=47524799
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011124138A Active JP5695503B2 (ja) | 2011-06-02 | 2011-06-02 | 板金製のステージ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5695503B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6141696B2 (ja) * | 2013-06-17 | 2017-06-07 | 芳春 中富 | ステージ機構 |
JP6305249B2 (ja) * | 2013-07-16 | 2018-04-04 | 株式会社平出精密 | ステージ装置 |
JP6768988B1 (ja) * | 2019-03-15 | 2020-10-14 | ビブリロォス株式会社 | マイクロヘッド及びこれを用いたステージ機構 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52134885U (ja) * | 1976-04-09 | 1977-10-13 | ||
JPH07113373B2 (ja) * | 1986-01-20 | 1995-12-06 | キヤノン株式会社 | スライドレール |
JP2934536B2 (ja) * | 1991-07-12 | 1999-08-16 | 日本トムソン株式会社 | 薄肉鋼板製xyテーブル |
US7637487B2 (en) * | 2004-06-15 | 2009-12-29 | Thk Co., Ltd. | XY guide table |
JP3142603U (ja) * | 2008-04-07 | 2008-06-19 | 株式会社島津製作所 | 位置調整装置 |
-
2011
- 2011-06-02 JP JP2011124138A patent/JP5695503B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012251854A (ja) | 2012-12-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11761520B2 (en) | Linear drive device, motor, and linear drive device production method | |
US9660556B2 (en) | Linear ultrasonic motor and optical apparatus including the same | |
JP5621472B2 (ja) | 車両用スライド装置、及びスライド装置用転動体循環ユニット | |
JP5695503B2 (ja) | 板金製のステージ装置 | |
JP6234457B2 (ja) | ステータ | |
EP3240180B1 (en) | Motor and electronic apparatus including motor | |
US9568071B2 (en) | Chain guide | |
JP6816870B2 (ja) | 部品一体型クランプトレイ | |
US10291155B2 (en) | Vibration wave motor | |
JPWO2014080694A1 (ja) | 光コネクタおよび光伝送モジュール | |
WO2013186820A1 (ja) | 板金製のステージ装置 | |
WO2008056766A1 (fr) | Dispositif d'entraînement de lentille | |
US20090027507A1 (en) | XY stage and image-taking apparatus | |
JP6876370B2 (ja) | 直動案内ユニット | |
JP5471410B2 (ja) | レンズ押さえバネおよびレンズ押さえバネを用いたレーザ光源装置 | |
US20100164314A1 (en) | Motor | |
JP5432202B2 (ja) | プリント基板保持装置 | |
JP2007065075A (ja) | レンズ送り機構 | |
WO2016131356A1 (zh) | 运动引导装置 | |
JP5550463B2 (ja) | モータ | |
EP3859173B1 (en) | Fastener | |
JP5420120B2 (ja) | ボタン構造およびこれを用いた電子機器 | |
JP2014004723A (ja) | 携帯用丸のこ | |
JP5546505B2 (ja) | 運動案内装置 | |
JP2021085476A (ja) | 直線案内装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140502 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150130 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150203 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150206 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5695503 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |