JP6876370B2 - 直動案内ユニット - Google Patents

Description

この発明は，例えば，半導体製造装置，各種組立装置，測定・試験装置等の摺動部に適用される軌道レールに対して長手方向に沿って相対移動するスライダを備えた直動案内ユニットに関する。

近年，直動案内ユニットは，半導体製造装置，各種の組立装置等の往復運動機構の各種装置の摺動部へ適用するようになった。これらの各種の装置については，省エネであり，装置そのものの構造をシンプルにして低コストであると共に，設備維持コストを削減することが要望されおり，それと共に，それらの装置に使用される直動案内ユニットについても同様に低コストで，軽量で小形化を実現することが望まれている。

本出願人は，かかる観点から，薄肉板製の軌道レールにスライダを摺動可能に配設した直動案内ユニットを開発し，先に特許出願した。該直動案内ユニットは，薄肉板でＵ字状に形成された軌道レール，薄肉板で形成されたスライダ，及び軌道レールとスライダとの軌道溝で形成された負荷路の軌道路を転動する転動体から構成されている。スライダは，上部とその両側からそれぞれ屈曲垂下した側壁部から形成されたケーシングと，該ケーシングの下側に配設されたサーキュレータとから構成されている。サーキュレータは，上下二分割に形成された合成樹脂から成るサーキュレータ上部とサーキュレータ下部とが互いに整合して合体して構成されている。サーキュレータには，方向転換路とリターン路とが形成されている。転動体は，軌道レールとケーシングとで形成された軌道路，及びサーキュレータに形成された方向転換路とリターン路から成る循環路を転動するように構成されている（例えば，特許文献１参照）。

また，本出願人に係る薄肉鋼板製のＸＹテーブルを開発し，先に特許出願した。該ＸＹテーブルは，極めて小形のものであり，四角平板から垂直上方へ互いに平行に折り曲げられ，かつ第１軌道溝が設けられた第１折曲片が形成されている薄肉鋼板製のベッドと，四角平板から垂直下方へ互いに平行に折り曲げられ，かつ第２軌道溝が設けられた第２折曲片が形成されている薄肉鋼板製のテーブルと，ベッドとテーブルとの間に配設された薄肉鋼板製のクロステーブルとから構成されている。クロステーブルは，四角平板から第１折曲片の第１軌道溝に対峙する第３軌道溝が設けられ，かつ垂直下方へ互いに平行に折り曲げられた第３折曲片が形成されると共に，四角平板の反対面において，第３折曲片と直角方向に第２折曲片の第２軌道溝に対峙する第４軌道溝が設けられ，かつ垂直上方へ互いに平行に折り曲げられた第４折曲片が形成されている。また，ベッドとクロステーブルとテーブルとは，各々対峙した軌道溝間に転動体群がそれぞれ挟持されて一体化された三重体として形成されている。クロステーブルは，一方の転動体群を介してベッド上をＸ方向へ直動自在とされ，かつテーブルは，他方の転動体群を介してクロステーブル上をＸ方向と直角方向であるＹ方向へ直動自在に構成されている（例えば，特許文献２参照）。

更に，本出願人が開発した薄肉鋼板製の軌道部材から成る直動転がり軸受が知られている。該直動転がり軸受は，薄肉鋼板を断面略Ｕ字状に形成してテーブルとベッドを形成し，これらの側面に略Ｖ字状の軌道溝を形成し，テーブル内には転動体が各を通って無限循環する無限循環路を備えたサーキュレータが固着され，サーキュレータの無限循環路には多数の転動体が配設され，テーブルとベッドとが転動体を介して摺動自在に構成されている（例えば，特許文献３参照）。

また，本出願人が開発した直線運動用転がり軸受の固定装置が知られている。該直線運動用転がり軸受は，薄肉の軌道部材をほぼ同一な断面形状でＵ字状に形成し，双方をボールを介して重ね合わせて構成し，軌道部材の取付け面の両側に長手方向のスリットが形成されている（例えば，特許文献４参照）。

特開２００３−３２９０３６号公報 特開平５−１８４１５号公報 特開昭６２−３７５１０号公報 実開昭６１−７３８２８号公報

ところで，直動案内ユニットでは，薄板で構成された断面樋状即ちＵ字状の軌道レールに対して，薄板でプレスタイプで構成されたスライダを相対往復移動可能に配設し，低コスト，軽量で高さ低断面を実現したものが要望されている。

この発明の目的は，上記の課題を解決することであり，長手方向に延びる第１側壁部を備えた断面Ｕ字状の軌道レールと該軌道レールに対して相対移動するスライダを構成するケーシングとを薄肉鋼板を折り曲げ加工して作製し，ケーシングをケーシング上部とそれから垂下折曲した第２軌道溝を備えた第２側壁部から構成し，ケーシング上部の下面に方向転換路とリターン路とを形成した合成樹脂製のサーキュレータを配設し，軌道路，方向転換路及びリターン路から成る循環路を転動体が転走するように構成し，ユニット自体を低コスト，軽量で小形に構成し，特に，ケーシング上部に取り付ける相手部材を安定して堅固にケーシングに固定するため，ケーシング上部を軌道レール上面の幅方向に延び出す形状に形成し，ケーシング上部に相手部材を取り付ける取付け時の変形が第２軌道溝を形成した第２側壁部へ伝達するのを防止するため，ケーシング上部の幅方向に延びる切欠き部をそれぞれ形成したことから成る直動案内ユニットを提供することである。

この発明は，底部の長手方向両側に第１側壁部が形成された断面Ｕ字状に形成され且つ前記第１側壁部の内側面に長手方向に沿って第１軌道溝が形成された薄肉板で形成された軌道レール，及び前記第１軌道溝に対向する第２軌道溝を有し且つ前記第１軌道溝と前記第２軌道溝とで形成される軌道路を転動する転動体を介して前記軌道レールに対して相対摺動自在なスライダを有する直動案内ユニットにおいて，
前記スライダは，前記第２軌道溝が形成された薄肉板で形成されたケーシング，及び前記ケーシングに固定され且つ前記第２軌道溝に平行に延びるリターン路と前記リターン路と前記軌道路とを連通する方向転換路が形成されたサーキュレータから構成され，前記転動体が前記軌道路，前記方向転換路及び前記リターン路で構成される循環路を転走し，
前記ケーシングは，前記軌道レールの上方で且つ幅方向に延び出したフランジ部を備えたケーシング上部と，前記軌道レールの前記第１側壁部にそれぞれ対向して前記ケーシング上部から折り曲げられた第２側壁部とから構成され，前記ケーシング上部は，前記軌道レールの上面を覆って幅方向に突出した四角形状の平板に形成されており，前記平板の四隅には，相手部材を取り付けるための取付けねじ孔が形成され，
前記サーキュレータは，前記軌道レールの前記第１側壁部間に配設され且つ前記リターン路の上側半分と前記方向転換路の上側半分が形成されたサーキュレータ上部と，前記軌道レールの前記第１側壁部間に配設され且つ前記サーキュレータ上部の下面に接して配設された前記リターン路の下側半分と前記方向転換路の下側半分が形成されたサーキュレータ下部とから構成され，
前記第２側壁部の長手方向両端に位置する前記ケーシング上部には，前記相手部材の前記ケーシング上部への取付け時の変形が前記第２側壁部に形成された前記第２軌道溝に影響するのを防止するため，前記ケーシング上部の幅方向に延びる切欠き部がそれぞれ形成されていることを特徴とする直動案内ユニットに関する。

また，この直動案内ユニットは，前記サーキュレータ上部には長手方向に隔置して第１位置決め凸部と第１位置決め凹部が設けられ，前記サーキュレータ下部には長手方向に隔置して第２位置決め凹部と第２位置決め凸部が形成され，前記第１位置決め凸部が前記第２位置決め凹部に嵌入し，前記第２位置決め凸部が前記第１位置決め用凹部に嵌入することによって前記サーキュレータ上部と前記サーキュレータ下部とが互いに位置決めされている。

また，前記サーキュレータ上部と前記サーキュレータ下部は，四角形状に形成され，四隅が前記ケーシングにかしめによって固定されている。

また，前記軌道レール及び前記ケーシング上部は，薄肉鋼板で形成されており，前記第１側壁部に形成された前記第１軌道溝と前記第２側壁部に形成された前記第２軌道溝とはＶ字形の軌道溝に形成されている。

また，この直動案内ユニットは，前記サーキュレータ上部に上方に突出したノック凸部が前記ケーシングに形成されたノック用孔に嵌合して，前記ケーシングと前記サーキュレータ上部とが位置決めして固定されている。

また，この直動案内ユニットは，前記ケーシング上部の前記平板の四隅に形成された取付けねじ孔間に，前記相手部材を取り付けるための別の取付けねじ孔が形成されており，前記別の取付けねじ孔の周囲には，前記別の取付けねじ孔に螺入する取付けねじの締め付け力が前記第２側壁部の前記第２軌道溝に伝達しないように円弧状のスリットが形成されている。

また，この直動案内ユニットにおいて，前記ケーシングの前記ケーシング上部から折り曲げられた前記第２側壁部は，前記ケーシング上部の中央部に形成された第１開口を形成して下方に延びて形成され，前記第２軌道溝は，前記第２側壁部の幅方向に外側面に形成されている。或いは，前記ケーシングの前記ケーシング上部から折り曲げられた前記第２側壁部は，前記ケーシング上部の中央部を残して幅方向に隔置して長手方向に延びる一対の第２開口を形成して下方に延びて形成され，前記第２軌道溝は，前記第２側壁部の幅方向に外側に形成されている。

この発明による直動案内ユニットは，上記のように構成されているので，断面Ｕ字状の軌道レールとスライダを構成するケーシングとを薄肉鋼板でプレス加工し，ケーシングのケーシング上部を軌道レールの幅方向から突出したフランジ部を備えた形状に形成し，ケーシング上部に取り付ける相手部材に応じてケーシング上部に取付けねじ孔の位置を自由に選定することを可能にし，ケーシング上部の下面にサーキュレータを配設し，ユニット自体の断面高さを低く構成し，低コストに作製して軽量化を達成することができた。特に，ケーシングの第２側壁部の長手方向両端に位置するケーシング上部にその幅方向に延びる切欠き部をそれぞれ形成したので，ケーシング上部に固定する相手部材の取付け時の変形が第２側壁部に形成した第２軌道溝へ伝達即ち影響するのを防止すると共に，相手部材に掛かる負荷変動が第２側壁部の軌道溝に悪影響されず，軌道路を転動する転動体への影響，例えば，軌道レールの軌道溝とスライダの軌道溝との間の距離に変動が発生せず，軌道溝間の軌道路の転動体への予圧量に変動が発生せず，軌道溝間の軌道路の転動体への影響を最小限にとどめることができ，スライダが軌道レール上をスムーズに安定して相対摺動することができる。

この発明による直動案内ユニットの第１実施例を示す外観斜視図である。 図１のＡ−Ａ位置の断面図を含む第１実施例の直動案内ユニットを示す正面図である。 図２のＢ−Ｂ位置における直動案内ユニットを示し，転動体が転走する循環路の一部を示す断面図である。 この直動案内ユニットにおけるサーキュレータを構成するサーキュレータ上部を示す平面図である。 図４のＣ−Ｃ位置におけるサーキュレータ上部を示す断面図である。 この直動案内ユニットにおけるサーキュレータを構成するサーキュレータ下部を示す平面図である。 図６のＤ−Ｄ位置におけるサーキュレータ下部を示す断面図である。 この発明による直動案内ユニットを構成する軌道レールを示す平面図である。 図８の軌道レールを示す正面図である。 この発明による直動案内ユニットを構成するスライダにおけるケーシングを示す平面図である。 図１０のケーシングを示す正面図である。 この発明による直動案内ユニットの第２実施例を示す外観斜視図である。 この発明による直動案内ユニットの第３実施例を示す外観斜視図である。 図１３のＥ−Ｅ位置の断面図を含む第３実施例の直動案内ユニットを示す正面図である。

この発明による直動案内ユニットは，例えば，半導体製造装置，各種組立装置，ＮＣ加工機，測定・試験装置等の各種の装置の摺動部に適用でき，薄肉鋼板で形成された軌道レールに対して長手方向に沿って相対移動するスライダを備えているものである。

以下，図１〜図１１を参照して，この発明による直動案内ユニットの第１実施例を説明する。この直動案内ユニットは，主として，底部３１の長手方向両側に側壁部９（第１側壁部）が断面Ｕ字状に形成され且つ側壁部９の内側面３２に長手方向に沿って軌道溝１１（第１軌道溝）が形成された軌道レール１，軌道溝１１に対向する軌道溝１２（第２軌道溝）を側壁部１０の幅方向外側面４４に備え且つ軌道レール１の側壁部９間に相対摺動自在なスライダ２，及び軌道溝１１と軌道溝１２との間に構成される負荷路である軌道路１３を転動するボールでなる転動体８から構成されている。軌道レール１は，ステンレス鋼等の金属製の薄肉鋼板の両側を屈曲して対向した側壁部９を備えた断面Ｕ字状に形成されている。スライダ２は，軌道溝１２が形成された薄肉鋼板で形成されたケーシング３，及びケーシング３に固定され且つ軌道溝１２に平行に延びるリターン路１４と方向転換路１５が形成されたサーキュレータ５から構成されている。転動体８（実施例ではボール）は，軌道路１３，方向転換路５４及びリターン路１４で構成される循環路１６を転走する。軌道溝１１，１２は，例えば，転動体８のボールが摺動抵抗を低減して転動できるように，断面Ｖ字状に形成することができる。また，軌道レール１の底部３１には，軌道レール１をベッド，フレーム等のベース（図示せず）にねじで螺合して取り付けるための取付け用孔４２が形成されている。軌道レール１の側壁部９には，その内側面３２に，例えば，長手方向に延びる断面Ｖ字状の軌道溝１１が形成されている。なお，図示していないが，本出願人に係る特開２００３−３２９０３６号公報に開示したように，軌道レール１の両端にストッパを設け，軌道レール１からスライダ２が抜け出すのを防止するように構成することもできる。

この直動案内ユニットにおいて，スライダ２は，ステンレス鋼等の金属製の薄肉鋼板でプレス加工されたケーシング３及びケーシング３を構成するケーシング上部４の下面３４に固着された合成樹脂製のサーキュレータ５から構成されている。ケーシング３は，軌道レール１の上方に位置するフランジ部５３を備えたケーシング上部４と，軌道レール１の側壁部９にそれぞれ対向してケーシング上部４から中央部に開口２９（第１開口）を形成するように幅方向両側にそれぞれ屈曲加工して形成された側壁部１０（第２側壁部）とから構成されている。側壁部１０には，全長にわたって幅方向外側面４４に，例えば，断面Ｖ字状の軌道溝１２が形成されている。ケーシング上部４には，ワーク，機器，部品等の相手部材（図示せず）を取り付けるため，複数の取付けねじ孔１８が形成されている。この直動案内ユニットにおいて，軌道溝１１，１２は，断面Ｖ字状に限らず，断面Ｒ字状即ち断面半円形状に形成することもできる。軌道溝１１，１２を断面半円形状に形成すると，ボールの転動体８と軌道溝１１，１２との接触面積が大きくなるので，ユニットが負荷を受けるのに有利に働くが，摺動抵抗が大きくなる。また，軌道溝１１，１２を断面Ｖ字状に形成すると，転動体８と軌道溝１１，１２との接触面積が小さいので，摺動抵抗が小さくなる。この直動案内ユニットでは，軌道レール１とケーシング上部４とを金属製の薄板で形成しているので，軌道溝１１，１２の形状は摺動抵抗の小さい断面Ｖ字状の方が好ましい。

この直動案内ユニットは，ケーシング３のケーシング上部４と側壁部１０との境界部分には，ケーシング上部４の幅方向に延びる切欠き部１９がそれぞれ形成されている。即ち，ケーシング３の側壁部１０の長手方向両端に位置するケーシング上部４には，ケーシング上部４の上面３５に配設される相手部材のケーシング上部４への取付け時の変形が，側壁部１０へ影響するのを防止するため，ケーシング上部４の幅方向に延びる切欠き部１９がそれぞれ形成されている。切欠き部１９は，特に，ワーク，機器等の相手部材のケーシング上部４への取付け時の変形が側壁部１０，特に軌道溝１２へ影響して変形するのを防止すると共に，ケーシング上部４からの側壁部１０の折り曲げ加工が容易に行えるように形成されている。また，ケーシング３のケーシング上部４には，軌道レール１の上面３３を覆って幅方向外側へ突出した四角形状の平板のフランジ部５３に形成されており，フランジ部５３の平板の四隅には，ワーク，機器，部品等の相手部材を取り付けるため，複数個（実施例では四隅の箇所に１個ずつ）の取付け用ねじ孔１８が形成されている。また，ケーシング上部４には，サーキュレータ５をケーシング上部４にリベットを挿入してかしめによって固着するため，複数個のかしめ用孔３９が形成されている。サーキュレータ上部６には複数個のかしめ用孔４０が形成され，また，サーキュレータ下部７には複数個のかしめ用孔４６が形成されている。ケーシング３のケーシング上部４から折り曲げられた側壁部１０は，ケーシング上部３の中央部に形成された開口２９を形成して下方に延びて形成されており，軌道溝１２は，側壁部１０の幅方向に外側面４４に形成されている。

スライダ２は，ケーシング３及びケーシング３の下側に配設されたサーキュレータ５から構成されている。サーキュレータ５には，軌道溝１１と軌道溝１２との間に形成される軌道路１３に連通する無負荷路を構成する方向転換路１５，及び方向転換路１５に連通する無負荷路を構成するリターン路１４が形成されている。また，転動体８は，軌道路１０，方向転換路１５及びリターン路１４からなる無限循環路１６を転走するように組み込まれている。サーキュレータ５には，転動体８がボールである場合には，ボールの循環をガタが無く滑らかに案内するため，リターン路１４と方向転換路１５とを断面円形通路に形成する必要がある。そこで，サーキュレータ５に断面円形通路のリターン路１４と方向転換路１５とを形成するため，サーキュレータ５の加工上から，サーキュレータ５を，通常，上下二分割に形成されたサーキュレータ上部６とサーキュレータ下部７とから合成樹脂材から作製されている。サーキュレータ上部６とサーキュレータ下部７には，半リターン路１４Ｕと１４Ｌ及び半方向転換路１５Ｕと１５Ｌとの断面半円形通路がそれぞれ形成されており，半リターン路１４Ｕと１４Ｌ及び半方向転換路１５Ｕと１５Ｌとの断面半円形通路を互いに整合させて合体することによって断面円形通路として，リターン路１４と方向転換路１５とが形成されることになる。即ち，サーキュレータ５は，サーキュレータ上部６とサーキュレータ下部７とを互いに整合して合体することによって構成され，また，サーキュレータ５にリターン路１４と方向転換路１５とが形成される。

また，サーキュレータ上部６には，サーキュレータ５をケーシング上部４にリベットを挿入してかしめによって固着するため，複数個のかしめ用孔４０が形成されている。ケーシング３のかしめ用孔３９とサーキュレータ５のかしめ用孔４０とに，リベットを装着してリベットをかしめることによって，ケーシング３にサーキュレータ５を固着するように構成されている。サーキュレータ５を構成するサーキュレータ上部６とサーキュレータ下部７には，ケーシング３の側壁部１０が嵌入配設する側面凹部５１，５２がそれぞれ形成されている。サーキュレータ上部６には，下面２６の整合面３６に位置決め凸部２０と位置決め凸部２０から長手方向に隔置して位置決め凹部２１されている。サーキュレータ下部７には，上面２７の整合面３６に位置決め凸部２０に嵌入する位置決め凹部２３と位置決め凹部２１に嵌入する位置決め凸部２２が形成されている。サーキュレータ上部６とサーキュレータ下部７とは，位置決め凸部２０に位置決め凹部２３が嵌入し，且つ位置決め凹部２１に位置決め凸部２２が嵌入するすることによって，互いに位置決めされて合体することができる。サーキュレータ上部６とサーキュレータ下部７とが整合して合体することによって，断面半円形通路即ち半リターン路１４Ｕと１４Ｌとが整合してリターン路１４が形成され，及び断面半円形通路即ち半方向転換路１５Ｕと１５Ｌとが整合して方向転換路１５が形成されると共に，サーキュレータ上部６の側面凹部５１とサーキュレータ下部７の側面凹部５２とが整合して，ケーシング３の側壁部１０間にサーキュレータ５が嵌入することができる。

また，この直動案内ユニットは，ケーシング３とサーキュレータ５とを位置決めして固定するため，ケーシング３のケーシング上部４にはノック用孔２５が形成され，サーキュレータ５のサーキュレータ上部６にはノック凸部２４が形成されている。この直動案内ユニットは，ケーシング３に対してサーキュレータ５を位置決めするため，ケーシング３の側壁部１０間に，サーキュレータ５を構成するサーキュレータ上部６の側面凹部５１とサーキュレータ下部７の側面凹部５２を嵌入すると共に，ケーシング３のノック用孔２５にノック凸部２４を嵌入させて位置決めしてケーシング３にサーキュレータ５を組み込むことができる。図１に示すように，軌道レール１に形成された取付け用ねじ孔４２は，軌道レール１をベース等の構造体に取り付けるためのねじ孔になっている（図８）。ベース側からねじで取り付ける場合にねじ孔を利用する。また，軌道レール１の底部３１の上面側からねじで取り付ける場合に，ねじの頭が軌道レール１の底部６の上面から出てしまうので，サーキュレータ５を構成するサーキュレータ下部７の下面３８の中央には，長手方向に沿って逃げ溝４１（図２）が形成され，サーキュレータ５が取付け用のねじに干渉しないように構成する。

スライダ２は，ケーシング３にサーキュレータ５を固定することによって組み立てられるが，例えば，次のようにして，ケーシング３とサーキュレータ５との両者を組み立てることができる。まず，サーキュレータ上部６とサーキュレータ下部７とを整合合体させてサーキュレータ５を形成し，サーキュレータ５のサーキュレータ上部６の側面凹部５１とサーキュレータ下部７の側面凹部５２とを整合させ，サーキュレータ５の側面凹部５１，５２をケーシング３の側壁部１０間に嵌入すると共に，サーキュレータ上部６の上面３７に突出して形成されたノック凸部２４をケーシング３のノック用孔２５に嵌合して両者を位置決めし，次いで，サーキュレータ５の四隅のかしめ用孔４０と，かしめ用孔４０に一致した位置にあるケーシング３のかしめ用孔３９とに，アルミ製リベットを装着し，リベットをかしめてサーキュレータ５をケーシング３に固着する。更に，転動体８のボールを無限循環路１６に組み込み，ボールが脱落しないようにしながらスライダ２を軌道レール１に挿入する。場合によっては，スライダ２を軌道レール１に挿入した後に，無限循環路１６に転動体８を組み込むことも可能である。

次に，図１２を参照して，この発明による直動案内ユニットの第２実施例を説明する。この直動案内ユニットは，スライダ２Ａを構成するケーシング３のケーシング上部４の平板には，該平板の四隅に形成された取付けねじ孔１８が形成されていると共に，更に，ワーク等の相手部材（図示せず）を更に堅固に取り付けるために別の取付けねじ孔４７が形成されている。第２実施例は，第１実施例と比較して，別の取付けねじ孔４７とスリット２８を形成した以外は，実質的に同一構造を有するものである。取付けねじ孔４７の周囲には，取付けねじ孔４７に螺入する取付けねじの締め付け力が側壁部１０の軌道溝１２に影響しないように円弧状のスリット２８が形成されている。ケーシング上部４の取付けねじ孔４７の回りに円弧状のスリット２８を形成することによって，ワーク等の相手部材をケーシング上部４にねじ止めする時に，取付けねじ孔４７にねじを螺入しても，螺合時のケーシング上部４の変形が，側壁部１０に形成した軌道溝１２に伝達されずに，軌道溝１２の変形が発生しない。

次に，図１３及び図１４を参照して，この発明による直動案内ユニットの第３実施例を説明する。この直動案内ユニットにおいて，スライダ２Ｂを構成するケーシング３のケーシング上部４から折り曲げられた側壁部５０（第２側壁部）は，ケーシング上部４の中央部４５を残して幅方向に隔置して長手方向に延びる一対の開口３０（第２開口）を形成して下方に延びて形成されており，軌道溝１２は，側壁部５０の幅方向の外側面４４に形成されている。第３実施例は，第１実施例がケーシング上部４の中央に開口部２９を形成するように側壁部１０をプレス加工したのに対して，ケーシング上部４の中央部４５を残して中央部４５の幅方向両側に開口３０を形成するように側壁部５０をプレス加工した点で相違している。第３実施例では，ケーシング上部４に形成された取付けねじ孔１８，４８，特に，ケーシング上部４の中央に形成された取付けねじ孔４８は，軌道溝１２が形成された側壁部５０との間に開口３０が存在しているので，ケーシング上部４に相手部材を取り付ける際に，取付け時のケーシング上部４の変形を受け難い構造になっている。従って，第３実施例では，取付けねじ孔４８の回りに第２実施例のようなスリットを形成する必要なく，また，側壁部５０の両側に位置するケーシング上部４に形成した切欠き部４９は，第１実施例や第２実施例に形成した切欠き部１９の長さ程は，幅方向に切り込む必要は無い構造に構成されている。

この発明による曲動転がり案内ユニットは，例えば，各種の組立装置，各種の産業ロボット，精密機械，医療機器等の各種の装置における摺動部に組み込んで利用して好ましいものである。

１ 軌道レール
２ スライダ（第１実施例）
２Ａ スライダ（第２実施例）
２Ｂ スライダ（第３実施例）
３ ケーシング
４ ケーシング上部
５ サーキュレータ
６ サーキュレータ上部
７ サーキュレータ下部
８ 転動体
９ 側壁部（第１側壁部）
１０，５０ 側壁部（第２側壁部）
１１ 軌道溝（第１軌道溝）
１２ 軌道溝（第２軌道溝）
１３ 軌道路
１４ リターン路
１４Ｕ リターン路
１４Ｌ リターン路
１５ 方向転換路
１５Ｕ 方向転換路
１５Ｌ 方向転換路
１６ 循環路
１８，４７，４８ 取付けねじ孔
１９，４９ 切欠き部（第２側壁部）
２０ 位置決め凸部（第１位置決め凸部）
２１ 位置決め凹部（第１位置決め凹部）
２２ 位置決め凸部（第２位置決め凸部）
２３ 位置決め凹部（第２位置決め凹部）
２４ ノック凸部
２５ ノック用孔
２６ 下面
２８ スリット
２９ 開口（第１開口）
３０ 開口（第２開口）
３１ 底部
３２ 内側面
３４ 下面
３６ 整合面
３９，４０，４６ かしめ用孔
４３ 内側面
４４ 外側面
４５ 中央部
５１，５２ 側面凹部
５３ フランジ部

Claims (8)

1. 底部の長手方向両側に第１側壁部が形成された断面Ｕ字状に形成され且つ前記第１側壁
   部の内側面に長手方向に沿って第１軌道溝が形成された薄肉板で形成された軌道レール，
   及び前記第１軌道溝に対向する第２軌道溝を有し且つ前記第１軌道溝と前記第２軌道溝と
   で形成される軌道路を転動する転動体を介して前記軌道レールに対して相対摺動自在なス
   ライダを有する直動案内ユニットにおいて，
   前記スライダは，前記第２軌道溝が形成された薄肉板で形成されたケーシング，及び前
   記ケーシングに固定され且つ前記第２軌道溝に平行に延びるリターン路と前記リターン路
   と前記軌道路とを連通する方向転換路が形成されたサーキュレータから構成され，前記転
   動体が前記軌道路，前記方向転換路及び前記リターン路で構成される循環路を転走し，
   前記ケーシングは，前記軌道レールの上方で且つ幅方向に延び出したフランジ部を備え
   たケーシング上部と，前記軌道レールの前記第１側壁部にそれぞれ対向して前記ケーシン
   グ上部から折り曲げられた第２側壁部とから構成され，前記ケーシング上部は，前記軌道
   レールの上面を覆って幅方向に突出した四角形状の平板に形成されており，前記平板の四
   隅には，相手部材を取り付けるための取付けねじ孔が形成され，
   前記サーキュレータは，前記軌道レールの前記第１側壁部間に配設され且つ前記リター
   ン路の上側半分と前記方向転換路の上側半分が形成されたサーキュレータ上部と，前記軌
   道レールの前記第１側壁部間に配設され且つ前記サーキュレータ上部の下面に接して配設
   された前記リターン路の下側半分と前記方向転換路の下側半分が形成されたサーキュレー
   タ下部とから構成され，
   前記第２側壁部の長手方向両端に位置する前記ケーシング上部には，前記相手部材の前
   記ケーシング上部への取付け時の変形が前記第２側壁部に形成された前記第２軌道溝に影
   響するのを防止するため，前記ケーシング上部の幅方向に延びる切欠き部がそれぞれ形成
   されていることを特徴とする直動案内ユニット。
2. 前記サーキュレータ上部には長手方向に隔置して第１位置決め凸部と第１位置決め凹部
   が設けられ，前記サーキュレータ下部には長手方向に隔置して第２位置決め凹部と第２位
   置決め凸部が形成され，前記第１位置決め凸部が前記第２位置決め凹部に嵌入し，前記第
   ２位置決め凸部が前記第１位置決め用凹部に嵌入することによって前記サーキュレータ上
   部と前記サーキュレータ下部とが互いに位置決めされていることを特徴とする請求項１に
   記載の直動案内ユニット。
3. 前記サーキュレータ上部と前記サーキュレータ下部は，四角形状に形成され，四隅が前
   記ケーシングにかしめによって固定されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の
   直動案内ユニット。
4. 前記軌道レール及び前記ケーシング上部は，薄肉鋼板で形成されており，前記第１側壁
   部に形成された前記第１軌道溝と前記第２側壁部に形成された前記第２軌道溝とはＶ字形
   の軌道溝に形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の直動案
   内ユニット。
5. 前記サーキュレータ上部に上方に突出したノック凸部が前記ケーシングに形成されたノ
   ック用孔に嵌合して，前記ケーシングと前記サーキュレータ上部とが位置決めして固定さ
   れていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の直動案内ユニット。
6. 前記ケーシング上部の前記平板の四隅に形成された取付けねじ孔間に，前記相手部材を
   取り付けるための別の取付けねじ孔が形成されており，前記別の取付けねじ孔の周囲には
   ，前記別の取付けねじ孔に螺入する取付けねじの締め付け力が前記第２側壁部の前記第２
   軌道溝に伝達しないように円弧状のスリットが形成されていることを特徴とする請求項１
   〜５のいずれか１項に記載の直動案内ユニット。
7. 前記ケーシングの前記ケーシング上部から折り曲げられた前記第２側壁部は，前記ケー
   シング上部の中央部に形成された第１開口を形成して下方に延びて形成され，前記第２軌
   道溝は，前記第２側壁部の幅方向に外側面に形成されていることを特徴とする請求項１〜
   ６のいずれか１項に記載の直動案内ユニット。
8. 前記ケーシングの前記ケーシング上部から折り曲げられた前記第２側壁部は，前記ケー
   シング上部の中央部を残して幅方向に隔置して長手方向に延びる一対の第２開口を形成し
   て下方に延びて形成され，前記第２軌道溝は，前記第２側壁部の幅方向に外側に形成され
   ていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の直動案内ユニット。

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